DE102004038851B4 - Monolithisch integrierter Leistungsverstärker - Google Patents

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Abstract

Monolithisch integrierter Mikrowellen-Hochleistungsverstärker, welcher umfasst:
– ein Eingangsmittel zur Entgegennahme eines Mikrowellen-Signals,
– eine erste Leistungsverstärkerstufe (11; 32) mit einem Bipolar-Transistor, welche einen Eingang und einen Ausgang umfasst, wobei der Eingang der ersten Leistungsverstärkerstufe (11; 32) zur Entgegennahme des Mikrowellen-Signals verbunden ist und die erste Leistungsverstärkerstufe (11; 32) mit einer ersten Versorgungsspannung betrieben wird,
– eine zweite Leistungsverstärkerstufe (12; 33) mit einem LDMOS-Transistor, welche einen Eingang und einen Ausgang umfasst, wobei der Eingang der zweiten Leistungsverstärkerstufe (12; 33) zur Entgegennahme des Mikrowellen-Signals, nachdem dieses durch die erste Leistungsverstärkerstufe (11; 32) verstärkt worden ist, verbunden ist und die zweite Leistungsverstärkerstufe (12; 33) mit einer zweiten Versorgungsspannung betrieben wird, die größer als die erste Versorgungsspannung ist, und
– einen Ausgang zur Ausgabe des Mikrowellen-Signals, nachdem dieses durch die erste und die zweite Leistungsverstärkerstufe (11, 12; 31, 33) verstärkt worden ist.

Description

  • TECHNISCHES FACHGEBIET DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft im Allgemeinen das technische Fachgebiet der integrierten Schaltungstechnik, insbesondere betrifft die Erfindung einen monolithisch integrierten Hochleistungsverstärker für Frequenzen im Mikrowellen-Bereich.
  • BESCHREIBUNG DER STANDES DER TECHNIK UND HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Da der Geschäftsbereich der drahtlosen Kommunikation kontinuierlich wächst, gibt es in diesem Bereich einen großen Bedarf nach weiterer Kostenreduktion and danach, Halbleiter-Fertigungsprozesse und Komponenten-Techniken zu verwenden, welche die Fertigung sehr große Stückzahlen während der kurzen Produkt-Zyklen vieler der neuen Bauteile erlauben. Der ständig zunehmende Markt für Mikrowellen-Leistungsverstärker in PCS-, CDMA- und WCDMA-Systemen erfordert eine preiswerte, leicht einsetzbare Technologie, welche hohe Leistung und ein hohes Maß an Linearität ermöglicht.
  • LDMOS begann bereits vor 3–4 Jahren damit, bipolare Bauteile in dem Bereich der Basis-Station-Anwendungen zu ersetzen, und ist aus einer Vielzahl von Gründen die vorherrschende Technologie im Bereich der Leistungsverstärker für Basis-Stationen geworden. Diese Technologie weist eine hohe Verstärkung sowie eine ausgezeichnete Linearität bei Unteraussteuerung auf. Für den Ausgangsleistungsverstärker dominieren jedoch noch diskrete Bauteile.
  • Integrierte Leistungsverstärker in LDMOS-Silizium-Technologie, welche als MMICs (microwave monolithic integrated circuits) moderat integriert sind, haben erst in letzter Zeit den Weg aus den Forschungs- und Entwicklungslaboren her aus gefunden, vgl. dazu beispielsweise die Veröffentlichungen G. Bouisse, „Latest Advances in High Power Si MMIC”, IEEE Eumw, GaAs Symposium 2001, und G. Bouisse, „0.2 dB gain ripple-20W-WCDMA Si MMIC”, IEEE EuMC-ECWT Symposium 2001.
  • Die Integration von LDMOS-Transistoren in Hochfrequenz-BiCMOS-Prozesse ohne die Beeinträchtigung anderer Bauelemente ist in der U.S.-Patentanmeldung 20020055220 A1 sowie in der Druckschrift „Small-Signal and Power Evaluation of Novel BiC-MOS-Compatible Short Channel LDMOS Technology”, O. Bengtsson, A. Litwin und J. Olsson, IEEE Transactions an Microwave Theory and Techniques, Vol. 51, No. 3, März 2003, beschrieben. Dies eröffnet den Weg zu preiswerten und effizienteren linearen, integrierten Hochfrequenz-Leistungsverstärkern mit mehrfachen Verstärkungsstufen auf demselben Chip.
  • Aus der deutschen Offenlegungsschrift DE 196 04 239 A1 ist ein Leistungsverstärker bekannt, welcher eine Hochfrequenz-Verstärkerstufe mit mindestens einem Transistor umfasst. Die deutsche Offenlegungsschrift DE 100 35 065 A1 offenbart eine Leistungsverstärkungsschaltung mit einer Einstelleinheit zum Einstellen der Versorgungsspannung des Leistungsverstärkers.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • MMIC-Leistungsverstärker für Basis-Funk-Stationen erfordern aufgrund der Fehlanpassung zwischen der Ausgangsimpedanz einer Treiberstufe und der Eingangsimpedanz der nachfolgenden Verstärkerstufe breitbandig effiziente Impedanz-Anpassungsnetzwerke zwischen den Verstärkerstufen. Das hohe Übersetzungsverhältnis verursacht in Hinblick auf einen stabilen Breitband-Betrieb Probleme und reduziert die Verstärkung, wodurch die Gesamteffizienz reduziert wird, wegen des hohen belasteten Q-Werts des Anpassungsnetzwerkes. Die Fehlanpassung hinsichtlich des Übersetzungsverhältnisses könnte bei Verringerung der Versorgungsspannung der Treiberstufe reduziert werden. Jedoch bewirkt eine solche Lösung andererseits, dass die Transistoren nicht optimal betrieben werden, da diese entsprechend ihres Designs das bestmögliche Leistungsverhalten bei einer bestimmten Versorgungsspannung aufweisen. Außerdem belegen die notwendigen Induktivitäten und Kondensatoren, welche von dem Anpassungsnetzwerk umfasst werden, eine erhebliche Chip-Fläche, wodurch die Kosten für das Bauteil zunehmen und sich ein Leistungsverlust ergibt.
  • Folglich ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen monolithisch integrierten Hochleistungsverstärker für Frequenzen im Mikrowellenbereich bereitzustellen, bei welchem die Probleme und Einschränkungen, welche mit dem Stand der Technik verbunden sind, ausgeräumt sind.
  • Es ist insbesondere eine Aufgabe der Erfindung, solch einen Verstärker zur Verfügung zu stellen, bei welchem geringere Anforderungen an alle Impedanz-Anpassungsnetzwerke zwischen den Stufen in dem Verstärker gestellt werden.
  • Darüber hinaus ist es Aufgabe der Erfindung, einen derartigen Verstärker zur Verfügung zu stellen, welcher eine höhere Effizienz und Leistungsverstärkung sowie günstigere Linearitätseigenschaften als aus dem Stand der Technik bekannte MMIC-Leistungsverstärker aufzuweisen vermag.
  • Es ist außerdem eine weitere Aufgabe der Erfindung, einen derartigen Verstärker anzugeben, welcher in einem dokumentierten BiCMOS-Prozess ohne zusätzliche Prozess-Schritte gefertigt werden kann.
  • Diese Aufgaben werden gemäß der vorliegenden Erfindung durch diejenigen Verstärker gelöst, welche in den beigefügten Patentansprüchen beansprucht werden.
  • Ein monolithisch integrierter Mikrowellen-Hochleistungsverstärker der vorliegenden Erfindung umfasst eine erste Leistungsverstärkerstufe und eine zweite Leistungsverstärkerstufe. Ein Signal im Mikrowellen-Frequenzbereich wird an dem Eingang der ersten Leistungsverstärkerstufe entgegengenommen, wird mittels der ersten und der zweiten Leistungsverstärkerstufe verstärkt und wird an dem Ausgang der zweiten Leistungsverstärkerstufe ausgegeben. Die erste Leistungsverstärkerstufe ist dahingehend optimiert, mit einer ersten Versorgungsspannung versorgt zu werden, und die zweite Leistungsverstärkerstufe ist dahingehend opti miert, mit einer zweiten Versorgungsspannung versorgt zu werden, wobei die erste Versorgungsspannung geringer, vorteilhafterweise erheblich geringer, als die zweite Versorgungsspannung ist.
  • Im Allgemeinen gilt für einen n-stufigen monolithisch integrierten Mikrowellen-Hochleistungsverstärker gemäß der vorliegenden Erfindung, dass die Versorgungsspannungen V1, V2, ..., Vn, auf die die jeweiligen Verstärkerstufen 1, 2, ..., n optimiert sind, der Relation V1 < V2 < ... < Vngenügen, wobei n eine natürliche Zahl darstellt und die Verstärkerstufen vom Eingang zum Ausgang mit zunehmender Reihenfolge durchnummeriert sind.
  • Erfindungsgemäß basiert eine Eingangs- oder Treiberstufe des integrierten Leistungsverstärkers auf einem Bipolar-Transistor mit niedriger Spannung, wobei eine Endstufe des integierten Leistungsverstärkers auf einem LDMOS-Transistor mit hoher Spannung basiert.
  • Die Kombination einer Treiberstufe mit geringer Spannung, welche auf einem Bipolar-Transistor basiert, mit einer Endstufe mit hoher Spannung, welche auf einem LDMOS-Leistungstransistor basiert, bewirkt näherungsweise eine Impedanz-Anpassung zwischen den Stufen. Hierbei ist ein Impedanz-Anpassungsnetzwerk, welches sich zwischen den zwei Stufen befindet, in einem breiteren Frequenzbereich stabiler gegenüber Prozess- und Temperatur-Schwankungen. Dies ermöglicht außerdem ein einfacheres Anpassungsnetzwerk zwischen den Stufen mit einer geringeren Anzahl von Bauelementen. Im Idealfall ist überhaupt keine Impedanzanpassung zwischen den Stufen notwendig. In einem solchen Fall wird teure Chip-Fläche eingespart und der Leistungsverlust reduziert.
  • Überdies sind Simulationen durchgeführt worden, um den erfindungsgemäßen zweistufigen Bipolar-LDMOS-MMIC-Leistungsverstärker mit einem konventionellen zweistufigen LDMOS-LDMOS-MMIC-Leistungsverstärker zu vergleichen. Die Simulationsergebnisse zeigen, dass der erfindungsgemäße Bipolar-LDMOS-MMIC-Leistungsverstärker eine höhere Effizienz und eine höhere Leistungsverstärkung sowie bessere Linearitätseigenschaften aufweist.
  • Die Transistoren mit notwendigerweise niedriger und hoher Spannung sowie andere Bauelemente zur Herstellung von MMIC-Leistungsverstärkern können leicht in Hochfrequenz-BiCMOS-Prozessen bereitgestellt werden, beispielsweise in solchen, welche in der oben angegebenen, veröffentlichten U.S.-Patentanmeldung US 20020055220 A1 und in dem Artikel von O. Bengtsson et al. veröffentlicht sind, deren Inhalt durch Bezugnahme in den Offenbarungsgehalt der Anmeldung aufgenommen wird.
  • Darüber hinaus führt ein solcher Ansatz zu einer vielversprechenden Vielfalt von Optionen für den Schaltungsentwurf, welche andernfalls in spezialisierten LDMOS-Prozessen nicht auf einfache Weise zur Verfügung stehen. Derartige Optionen für den Schaltungsentwurf können die Bias-Einstellung, die Temperatur-Regelung, Schaltungen zur Linearisierung, welche beispielweise auf digitaler oder analoger Vorverzerrung basieren, und digitale Schnittstellen betreffen.
  • Weitere Eigenschaften und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung von vorteilhaften Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung und aus den beiliegenden 1 bis 3, welche lediglich der Veranschaulichung dienen und daher nicht beschränkend für die vorliegende Erfindung sind.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 zeigt schematisch einen monolithisch integrierten zweistufigen Leistungsverstärker gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 2 stellt ein detailliertes Schaltbild des Leistungsverstärkers gemäß 1 dar.
  • 3 zeigt schematisch einen monolithisch integrierten, dreistufigen Leistungsverstärker gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG VORTEILHAFTER AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • In 1 ist ein monolithisch integrierter, zweistufiger Mikrowellen-Hochleistungsverstärker gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung schematisch dargestellt.
  • Der monolithisch integrierte Leistungsverstärker umfasst eine erste Leistungsverstärkerstufe 11 und eine zweite Leistungsverstärkerstufe 12, welche in Serie geschaltet sind. Die erste Leistungsverstärkerstufe 11, welche als Treiberstufe bezeichnet wird, ist so angeschlossen, dass diese ein Mikrowellen-Signal entgegennimmt und anschließend verstärkt. Die zweite Leistungsverstärkerstufe 12, welche als Endstufe bezeichnet wird, ist so angeschlossen, dass diese das Mikrowellen-Signal entgegennimmt, nachdem dieses durch die Treiberstufe 11 verstärkt worden ist, und ferner das Mikrowellen-Signal verstärkt.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Treiberstufe 11 dahingehend optimiert, dass diese durch eine erste Versorgungsspannung versorgt wird (schematisch angedeutet durch das Bezugszeichen 13), wohingegen die Endstufe 12 dahingehend optimiert ist, dass diese durch eine zweite Versorgungsspannung (schematisch angedeutet durch das Bezugszeichen 14) versorgt wird. Die erste Versorgungsspannung ist geringer als die zweite Versorgungsspannung, abhängig von den Eingangseigenschaften der Endstufe.
  • Erfindungsgemäß umfasst die Treiberstufe 11 einen Bipolar-Transistor mit niedriger Spannung, wohingegen die Endstufe 12 einen LDMOS-Transistor mit hoher Spannung umfasst.
  • Ferner umfasst der monolithisch integrierte Leistungsverstärker vorteilhafterweise ein eingangsseitiges Impedanz-Anpassungsnetzwerk 15, welches an dem Eingang des Leistungsverstärkers angeordnet ist, und ein Impedanz-Anpassungsnetzwerk 16, welches zwischen den beiden Verstärkerstufen 11 und 12 angeordnet ist. Ein ausgangsseitiges Impedanz-Anpassungsnetzwerk 17 befindet sich an dem Ausgang des Leistungsverstärkers. Dieses ist aufgrund der großen Abmessungen eines solchen Netzwerkes vorteilhafterweise auf einer Platine außerhalb des monolithisch integrierten Leistungsverstärkers angeordnet.
  • In dem Idealfall, in dem die Ausgangsimpedanz der Treiberstufe 11 mit der Eingangsimpedanz der Endstufe 12 identisch ist, ist überhaupt keine Impedanzanpassung zwischen den Stufen notwendig. Dann kann der Ausgang der Treiberstufe 11 direkt mit dem Eingang der Endstufe 12 verbunden werden (nicht dargestellt). Dennoch ist es von Vorteil, wenn zumindest ein DC-Blockkondensator zwischen den Verstärkerstufen 11, 12 angeschlossen ist.
  • In 2 ist ein detaillierter Schaltplan des Leistungsverstärkers nach 1 dargestellt. In der Schaltung bezeichnen R einen Widerstand, L eine Induktivität und C einen Kondensator. Darüber hinaus bezeichnet 21 ein Bias-Netzwerk zur Einstellung des Arbeitspunkts der Treiberstufe 11 und 22 bezeichnet ein Bias-Netzwerk zur Einstellung des Arbeitspunkts der Endstufe 12. Der Bipolar-Transistor 11 der Treiberstufe ist dahingehend optimiert, mit einer Versorgungsspannung von etwa 3 V vorsorgt zu werden, während der MOS-Transistor 12 der Endstufe dahingehend optimiert ist, mit einer Versorgungsspannung von etwa 12 V versorgt zu werden.
  • Die Endstufe 12 ist so entworfen, dass diese das beste Linearitätsverhalten über einen weiten Dynamikbereich bei der oben angegebenen Versorgungsspannung aufweist. Dies wird dadurch erreicht, dass dieser die gewünschten Impedanzen ausgehend von den Niederfrequenz-Abschlüssen bis hin zu den Abschlüssen der 3. Oberwelle präsentiert werden. Die Arbeitspunkt-Einstellung ist dahingehend untersucht worden, dass diese das bestmögliche Linearitätsverhalten und die bestmögliche Leistungseffizienz ermöglicht. Die Treiberstufe 11 ist als Class-A-Stufe entworfen worden und ist so ausgelegt, dass diese die Endstufe 12 über ihren gesamten Dynamikbereich ansteuert und nicht die Gesamt-Linearität beeinträchtigt.
  • Es ist eine Eigenschaft der Treiberstufe 11, dass diese auf einer Vorsorgungsspannung von etwa 3 V optimiert ist, so dass sich bei der ausgewählten Betriebsfrequenz eine Ausgangsimpedanz in der Nähe der benötigten Eingangsimpedanz für die Endstufe 12 ergibt. Dies resultiert letztendlich darin, dass sich ein belastetes Q ergibt, welches viel geringer ist als das Q eines zweistufigen Entwurfs unter ausschließlicher Verwendung von LDMOS-Transistoren. Der Zusammenhang zwischen Q und der Bandbreite B ist gegeben durch: B = f0/QL,wobei f0 die Betriebsgrundfrequenz darstellt.
  • Es wurden Simulationen durchgeführt, um den erfindungsgemäßen zweistufigen Bipolar-LDMOS-MMIC-Leistungsverstärker gemäß der 1 und 2 mit einem konventionellen zweistufigen LDMOS-LDMOS-MMIC-Leistungsverstärker zu vergleichen. Beide Schaltungsentwürfe wurden dahingehend optimiert, dass diese als Vergleichsmaßstab die höchstmögliche Effizienz bei –40 dBc für Intermodulationsprodukte 3. Ordnung aufweisen. Bei dem Vergleich des belasteten Q für das Impedanz-Anpassungsnetzwerk 16 zwischen den Stufen ergibt sich, dass der erfindungsgemäße Bipolar-LDMOS-Leistungsverstärker einen um den Faktor 3,25 geringeren Q-Wert aufweist als die konventionelle LDMOS-LDMOS-Konfiguration. Der erfindungsgemäße Bipolar-LDMOS-Leistungsverstärker hat bei dem gegebenen Linaritätsvergleichsmaßstab eine über 20% höhere Effizienz und eine um 6 dB höhere Gesamtleistungsverstärkung als die konventionelle LDMOS-LDMOS-Konfiguration.
  • In 3 ist ein monolithisch integrierter, dreistufiger Leistungsverstärker gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung schematisch dargestellt.
  • Der Verstärker umfasst eine erste, eine zweite und eine dritte Leistungsverstärkerstufe 31, 32, 33, wobei jede eine eigene Spannungsversorgung 34, 35, 36 aufweist. Ferner sind ein eingangsseitiges Impedanz-Anpassungsnetzwerk 37, ein ausgangsseitiges Impedanz-Anpassungsnetzwerk 40 sowie zwei zwischen den Stufen angeordnete Impedanz-Anpassungsnetzwerke 38 und 39 vorgesehen.
  • Die erste, zweite und dritte Leistungsverstärkerstufe 31, 32, 33 sind dahingehend optimiert, dass diese mit den jeweiligen Versorgungsspannungen V1, V2, V3 versorgt werden, für die gilt: V1 < V2 < V3,wobei V1 die optimierte Versorgungsspannung der ersten Verstärkerstufe 31, d. h. der Verstärkereingangsstufe, V2 die optimierte Versorgungsspannung der zweiten Verstärkerstufe 32, d. h. der Verstärkerzwischenstufe, und V3 die optimierte Versorgungsspannung der dritten Verstärkerstufe 33, d. h. der Verstärkerausgangsstufe, darstellen.
  • Zweckmäßigerweise basiert die erste Leistungsverstärkerstufe 31 auf einem NMOS- oder PMOS-Transistor mit geringer Spannung, wobei die zweite Verstärkerstufe 32 auf einem Bipolar-Transistor mit geringer Spannung basiert. Die dritte Verstärkerstufe 33 basiert auf einem LDMOS-Transistor mit hoher Spannung.
  • Im Idealfall ist überhaupt keine Impedanz-Anpassung zwischen den Stufen notwendig, so dass auf jedes der Impedanz-Anpassungsnetzwerke 38 und 39 zwischen den Stufen verzichtet werden kann.
  • Alternativ wird jedes der Impedanz-Anpassungsnetzwerke 38 und 39 jeweils durch einen einfachen DC-Blockkondensator ersetzt, welcher mit den jeweiligen Verstärkerstufen verbunden ist.
  • Im Allgemeinen wird ein integrierter Mikrowellen-Leistungsverstärker auf einem einzigen Silizium-Chip entworfen, vorzugsweise unter Verwendung einer BiCMOS-Technologie, wobei der Chip mehrere Verstärkungsstufen und Impedanz-Anpassungsschaltungen zwischen den Stufen sowie möglicherweise eine eingangsseitige Impedanz-Anpassungsschaltung kombiniert. Verschiedene Verstärkerstufen, welche vom Eingang zum Ausgang des integrierten Mikrowellen-Leistungsverstärkers mit 1, 2, ..., n nummeriert werden, haben verschiedene Versorgungsspannungen V1, V2, ..., Vn, für die die jeweiligen Stufen optimiert worden sind, wobei die Versorgungsspannungen V1, V2, ..., Vn die Bedingung V1 < V2 < ... < Vnerfüllen, um die Unterschiede der Ausgangs- und Eingangsimpedanz zwischen benachbarten Verstärkerstufen zu reduzieren. Diese Reduktion hinsichtlich des notwendigen Übersetzungsver hältnisses erhöht die Bandbreite des Anpassungsnetzwerkes zwischen den Stufen und somit auch die Bandbreite des Leistungsverstärkers.
  • Für den Fall, dass das Übersetzungsverhältnis nahe 1 ist, d. h. die Ausgangsimpedanz eines Verstärkerstufe ist ungefähr gleich der Eingangsimpedanz einer nachfolgenden Leistungsverstärkerstufe, ist keine Impedanz-Anpassungsschaltung zwischen diesen beiden Stufen notwendig, wodurch der größte Teil der Fläche, welche passive Bauelemente, wie beispielsweise Kondensatoren und Induktivitäten, in dem Hochfrequenz-Pfad belegen, wegfällt. In diesem Fall wird die Frequenz-Bandbreite des kaskadierten Leistungsverstärkers durch die Transistor-Hochfrequenz-Eigenschaften und nicht durch die Anpassungsnetzwerke zwischen den Stufen begrenzt.

Claims (11)

  1. Monolithisch integrierter Mikrowellen-Hochleistungsverstärker, welcher umfasst: – ein Eingangsmittel zur Entgegennahme eines Mikrowellen-Signals, – eine erste Leistungsverstärkerstufe (11; 32) mit einem Bipolar-Transistor, welche einen Eingang und einen Ausgang umfasst, wobei der Eingang der ersten Leistungsverstärkerstufe (11; 32) zur Entgegennahme des Mikrowellen-Signals verbunden ist und die erste Leistungsverstärkerstufe (11; 32) mit einer ersten Versorgungsspannung betrieben wird, – eine zweite Leistungsverstärkerstufe (12; 33) mit einem LDMOS-Transistor, welche einen Eingang und einen Ausgang umfasst, wobei der Eingang der zweiten Leistungsverstärkerstufe (12; 33) zur Entgegennahme des Mikrowellen-Signals, nachdem dieses durch die erste Leistungsverstärkerstufe (11; 32) verstärkt worden ist, verbunden ist und die zweite Leistungsverstärkerstufe (12; 33) mit einer zweiten Versorgungsspannung betrieben wird, die größer als die erste Versorgungsspannung ist, und – einen Ausgang zur Ausgabe des Mikrowellen-Signals, nachdem dieses durch die erste und die zweite Leistungsverstärkerstufe (11, 12; 31, 33) verstärkt worden ist.
  2. Verstärker nach Anspruch 1, wobei der Verstärker ein zweistufiger Verstärker ist, in welchem die erste Leistungsverstärkerstufe eine Treiberstufe (11) und die zweite Leistungsverstärkerstufe eine Endstufe (12) sind.
  3. Verstärker nach Anspruch 1, wobei der Verstärker ein dreistufiger Verstärker ist, in welchem die erste Leistungsverstärkerstufe eine Treiberstufe (32) und die zweite Leistungsverstärkerstufe eine Endstufe (33) sind, und wobei eine dritte Leistungsverstärkerstufe (31) vorgesehen wird, welche einen Eingang und einen Ausgang aufweist, wobei der Eingang der dritten Leistungsverstärkerstufe zur Entgegennahme des Mikrowellen-Signals, bevor dieses von der ersten Leistungsverstärkerstufe (32) entgegengenommen worden ist, verbunden ist, und wobei der Ausgang zur Speisung des Mikrowellen-Signals in die erste Leistungsverstärkerstufe verbunden ist, nachdem das Mikrowellen-Signal durch die dritte Leistungsverstärkerstufe verstärkt worden ist.
  4. Verstärker nach Anspruch 3, wobei die dritte Leistungsverstärkerstufe mit einer dritten Versorgungsspannung (34) versorgt wird, welche geringer als die erste Versorgungsspannung ist.
  5. Verstärker (31) nach Anspruch 3 oder 4, wobei die dritte Leistungsverstärkerstufe einen dritten Transistor umfasst, welcher ein NMOS- oder PMOS-Transistor ist.
  6. Verstärker nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei ein Impedanz-Anpassungsnetzwerk (16; 39) zwischen den Ausgang der ersten Leistungsverstärkerstufe und dem Eingang der zweiten Leistungsverstärkerstufe geschaltet ist.
  7. Verstärker nach Anspruch 1, wobei der Ausgang der ersten Leistungsverstärkerstufe direkt mit dem Eingang der zweiten Leistungsverstärkerstufe verbunden ist.
  8. Verstärker nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei der Ausgang der ersten Leistungsverstärkerstufe mit dem Eingang der zweiten Leistungsverstärkerstufe nur über einen DC-Blockkondensator verbunden ist.
  9. Verstärker nach einem der Ansprüche 3 bis 5, wobei ein Impedanz-Anpassungsnetzwerk (38) zwischen den Ausgang der dritten Leistungsverstärkerstufe und dem Eingang der ersten Leistungsverstärkerstufe geschaltet ist.
  10. Verstärker nach einem der Ansprüche 3 bis 5, wobei der Ausgang der dritten Leistungsverstärkerstufe mit dem Eingang der ersten Leistungsverstärkerstufe nur über einen DC-Blockkondensator verbunden ist.
  11. Verstärker nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei das Eingangsmittel ein eingangsseitiges Impedanz-Anpassungsnetzwerk (15; 37) umfasst.
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