DE102004036992A1 - Vorrichtung zum Anbinden eines Linearmotorläufers an eine Linearführung - Google Patents

Vorrichtung zum Anbinden eines Linearmotorläufers an eine Linearführung Download PDF

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Abstract

Eine Vorrichtung zum Anbinden eines Linearmotorläufers (1) an eine Linearführung mit einer Trägerplatte (2), an dem der Linearmotorläufer (1) befestigbar ist, mindestens zwei Führungselementen (5), mit welchen die Trägerplatte (2) mit der Linearführung in Eingriff gebracht werden kann, um entlang der Linearführung in einer Bewegungsrichtung beweglich führbar zu sein, weist mindestens ein Ausgleichselement (3) einer ersten Art, über welches die Trägerplatte (2) an einem der mindestens zwei Führungselemente (5) drehgelenkig und quer zur Bewegungsrichtung federnd gelagert ist, und mindestens ein Ausgleichselement (4) einer zweiten Art, über welches die Trägerplatte (2) an einem anderen der mindestens zwei Führungselemente (5) drehgelenkig gelagert ist, auf. Durch die Anordnung zweier Arten von Ausgleichselementen (3, 4) werden einerseits Momente und Seitenkräfte der Trägerplatte (2) nicht auf die Lagerungen der Linearführung übertragen und andererseits wird ein Aufschaukeln der Trägerplatte (2) unterbunden.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Anbinden eines Linearmotorläufers an eine Linearführung, insbesondere in einer Bestückvorrichtung zum Bestücken von Substraten mit Bauelementen.
  • Eine derartige Vorrichtung wird beispielsweise in DE-19842384 gezeigt. Die Vorrichtung besteht aus einem Laufwagen, an dem zwei Führungswagen unmittelbar befestigt sind, die sich an entsprechenden, in einem stationären Führungsgehäuse vorgesehenen Führungsschienen abstützen, und einem Linearmotorläufer, der zwischen den Führungswagen direkt an dem Laufwagen befestigt ist. In dem Führungsgehäuse ist ein Linearmotorstator vorgesehen, der dem Linearmotorläufer gegenübersteht.
  • Aufgrund der hohen magnetischen Anziehungskraft zwischen dem Läufer und dem Stator des Linearmotors und der hohen Wärmeentwicklung bei Betrieb des Linearmotors kann es zu Dehnung und Verzug des Linearmotorläufers und Laufwagens kommen. Dadurch wirken hohe Kräfte und Momente auf die Lager der Linearführung, was zu einem vorzeitigen Verschleiß der Führungswagen, den Schienen und dem Führungsgehäuse führen kann. Darüber hinaus müssen die Führungsschienen strenge Anforderungen an die Parallelität erfüllen, da bei nicht exakt parallelen Schienen hohe Spannungen in der Linearführung entstehen. Da derartige Linearmotoranbindungen auch in der Bestückungstechnik ihre Anwendung finden, wo höchste Anforderungen hinsichtlich der Positioniergenauigkeit gestellt werden, sind Verformungen der Linearführung höchst unerwünscht. Zwar können zur Vermeidung solcher Verformungen die Trägerplatte, der Schienengrund und die Führungen dicker und schwerer ausgeführt werden, jedoch hätte dies eine Vergrößerung des Einbauraums und der zu bewegenden Masse mit den entsprechenden Nachteilen für den Bestückungsautomaten zur Folge.
  • Es ist deshalb die Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Vorrichtung zum Anbinden eines Linearmotorläufers an eine Linearführung zu liefern, die eine erhöhte Bestückgenauigkeit und eine erhöhte Lebensdauer der Lager der Linearführung aufweist.
  • Diese Aufgabe wird durch die Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruch 1 gelöst.
  • Erfindungsgemäß ist das mobile Montageteil auf der einen Seite über ein Ausgleichselement erster Art drehgelenkig und quer zur Bewegungsrichtung federnd (bzw. verschiebbar) und auf der anderen Seite über ein Ausgleichselement zweiter Art drehgelenkig und seitlich fest an den Führungselementen gelagert. Das Ausgleichselement ersten Art nimmt daher sowohl Seitenkräfte und Momente (insbesondere Wankmomente, aber auch Stampf- und Giermomente), das Ausgleichelement zweiter Art nur Momente auf. Dadurch werden die durch Wärmedehnung bzw. Wärmeverzug des Montageteils und durch die hohen Magnetkräfte zwischen den Elementen des Linearmotors hervorgerufenen Seitenkräfte, Spannungen und Momente, die auf die Lager der Linearführung wirken, erheblich reduziert. Da das Montageteil nur auf einer Seite quer zur Bewegungsrichtung federnd gelagert und auf der anderen Seite seitlich fest abgestützt ist, wird verhindert, dass sich das Montageteil aufgrund der Trägheitskräfte beim Beschleunigen und Abbremsen quer zur Bewegungsrichtung aufschwingt. Ein Aufschwingen des Montageteils in einer Richtung senkrecht zur Bewegungsebene, welche von Schienen der Linearführung festgelegt wird, wird durch die hohe Magnetkraft, die zwischen dem Läufer und dem Stator des Linearmotors wirkt, verhindert.
  • Die Reduzierung der auf die Linearführung wirkenden Kräfte und Momente baut einem frühzeitigen Verschleiß der Linearführung bzw. der Führungselemente und damit einer schleichenden Verschlechterung der Bestückgenauigkeit vor. Weiterhin können die Trägerplatte und die Führungselemente wesentlich leichter gestaltet werden, was Vorteile bei hochdynamischen Anwendungen bringt. Außerdem sind größere Fertigungstoleranzen bei den Schienen der Linearführung akzeptierbar, da auch seitliche Kräfte durch leicht gekrümmte, nicht ideal parallele Schienen von den Ausgleichselementen aufgenommen werden.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen der vorliegenden Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
  • Bei der Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung gemäß Anspruch 2 sind die drehgelenkigen Lagerungen federnd ausgestaltet, wodurch das Montageteil stabiler in seiner Lage gehalten wird. Durch geeignete Dimensionierung der Ausgleichselemente kann die Federhärte den Anforderung und den einwirkenden Kräften angepasst werden.
  • Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung nach Anspruch 3 sind die Ausgleichselemente so angeordnet, dass die den Ausgleichselementen zugeordneten Führungselemente mit zwei parallelen Schienen der Linearführung in Eingriff gebracht werden können, sodass die Vorrichtung entlang der beiden Schienen verfahrbar ist.
  • Bei der Ausgestaltung gemäß Anspruch 4 sind insgesamt vier Ausgleichselemente vorgesehen, wobei jeweils ein Paar Ausgleichselemente gleicher Art sind, d.h. die gleiche Bauweise und Lagereigenschaften aufweisen, und jedem Ausgleichselement jeweils ein Führungselement zugeordnet ist. Genauer gesagt ist die Trägerplatte über ein Paar Ausgleichselemente erster Art drehgelenkig und quer zur Bewegungsrichtung federnd und über ein weiteres Paar Ausgleichselemente zweiter Art nur drehgelenkig gelagert.
  • In der in Anspruch 5 beanspruchten Ausgestaltung der Erfindung sind die Ausgleichselemente so angeordnet, dass der Trägerplatte auf Seiten jeder Schiene jeweils ein Paar gleichartiger Ausgleichselemente zugeordnet ist. Dadurch, dass die Trägerplatte auf der einen Schienenseite über ein Paar Ausgleichselemente erster Art drehgelenkig und seitlich federnd (d.h. quer zur Bewegungsrichtung federnd verschiebbar), und auf der anderen Schienenseite über ein Paar Ausgleichselemente zweiter Art drehgelenkig und seitlich fest gelagert ist, werden Momente und Seitenkräfte sicher aufgenommen, jedoch ist die seitliche Abstützung steif genug, um ein Aufschwingen des Montageteils zu verhindern.
  • In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung gemäß Anspruch 6 sind die Ausgleichselemente an den Seitenflächen des Montageteils vorgesehen. Dies ermöglicht eine einfache und kompakte Gestaltung der Ausgleichselemente. Weiterhin kann die gesamte Oberfläche des Montageteils zur Befestigung weiterer zu bewegender Teile, z.B. eines Bestückkopfes, verwendet werden ohne dass Teile der Oberfläche durch die Ausgleichselemente beansprucht werden.
  • Bei der Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung gemäß Anspruch 7 sind in dem mobilen Montageteil Aussparungen vorgesehen, in die die Ausgleichselemente eingesetzt werden können. Diese Ausführungsform ist besonders dann vorteilhaft, wenn ein Anbringen der Ausgleichselemente an den Seitenflächen aus Platzgründen nicht möglich ist.
  • Gemäß der vorteilhaften Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung gemäß Anspruch 8 sind die Ausgleichselemente und das Montageteil aus einem Stück gefertigt, z.B. durch Fräsen oder Gießen. Dies bietet sich vor allem dann an, wenn die Ausgleichselemente an den Seitenflächen des Montageteils vorgesehen sind.
  • Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung nach Anspruch 9 weisen die Ausgleichselemente einen Sockel auf, mit dem sie an den Führungselementen befestigt werden. Dadurch wird verhindert, dass die Kräfte punktförmig in die Führungselemente eingeleitet werden und dadurch zu hohe Flächenpressungen auftreten.
  • Im Folgenden werden zwei vorteilhafte Ausgestaltungen der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert, wobei:
  • 1 eine schematische Querschnittsansicht einer ersten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung darstellt,
  • 2 eine schematische Draufsicht der ersten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung aus 1 darstellt,
  • 3 eine schematische Querschnittsansicht eines ersten Typs von Ausgleichselement erster Art der vorliegenden Erfindung darstellt,
  • 4 eine schematische Querschnittsansicht eines ersten Typs von Ausgleichselement zweiter Art der vorliegenden Erfindung darstellt,
  • 5 eine schematische Querschnittsansicht einer zweiten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung darstellt,
  • 6 eine schematische Draufsicht der zweiten Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung aus 5 darstellt,
  • 7 eine schematische Querschnittsansicht eines zweiten Typs von Ausgleichselement erster Art der vorliegenden Erfindung darstellt, und
  • 8 eine schematische Querschnittsansicht eines zweiten Typs von Ausgleichselement zweiter Art der vorliegenden Erfindung darstellt.
  • Ein erstes vorteilhaftes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist in den 1 und 2 dargestellt. Ein Linearmotorläufer (1) ist an der Unterseite eines mobilen Montageteils (2), hier eine rechteckige Trägerplatte (2), befestigt. Als mobiles Montageteil (2) ist beispielsweise auch ein Trägerarm oder ein Bestückkopf denkbar. Die Trägerplatte (2) ist im Bereich ihrer Ecken über einen ersten Typ von Ausgleichselementen (3) erster Art und einen ersten Typ von Ausgleichselementen (4) zweiter Art mit vier Führungselementen (5) bzw. Führungswagen (5) verbunden. Die Führungswagen (5) stehen mit parallelen Schienen (6) einer Linearführung in Eingriff, um entlang einer in 2 durch einen Pfeil dargestellten Bewegungsrichtung bewegt zu werden. Die Schienen (6) sind auf einem Schienengrund (7), welcher durch eine metallische Platte gebildet wird, befestigt. Die Linearführung besteht aus den Schienen (6) und dem Schienengrund (7). Der Linearmotorläufer (1) steht einem in den Schienengrund (7) integrierten Linearmotorstator (nicht dargestellt) in geringem Abstand gegenüber.
  • Wie den 1 und 2 zu entnehmen ist, sind in der Trägerplatte (2) Aussparungen vorgesehen, in die die vier Ausgleichselemente (3,4) erster und zweiter Art eingesetzt und dort an der Trägerplatte (2) durch eine Schweiß- oder Schraubverbindung befestigt sind. Dabei sind auf Seiten jeder Schiene (in 1 und 2 links und rechts des Linearmotorläufers (1)) jeweils ein Paar gleichartiger Ausgleichselemente (3) vorgesehen Die Ausgleichselemente (3,4) weisen einen Sockel auf, mit dem sie mit den Führungswagen (5) verschraubt oder verschweißt werden. Der Aufbau und die Funktionsweise dieser beiden Arten von Ausgleichselementen werden im Folgenden anhand der 3 und 4 näher erläutert.
  • Ein erster Typ von Ausgleichselement (3) erster Art, welchem in den 1 und 2 das auf der linken Seite der Trägerplatte (2) vorgesehene Paar Ausgleichselemente entspricht, ist schematisch in 3 dargestellt. Dieser erste Typ von Ausgleichselement (3) erster Art weist im Querschnitt die Form eines doppelten „T" auf, bei dem zwei Querbalken in der Mitte über einen vertikalen Balken miteinander verbunden sind. Der untere Querbalken stellt dabei einen Sockel zur Montage an den Führungswagen dar. An den Enden der Schenkel des oberen Querbalkens können jeweils nach unten weisende Überhänge vorgesehen sein, an denen der erste Typ von Ausgleichselement (3) erster Art an die Trägerplatte (2) montiert wird. Der obere Querbalken entspricht einem federnden Drehgelenk (in 3 durch Pfeile dargestellt), wobei der Drehpunkt dem Kreuzungspunkt des vertikalen Balkens mit dem oberen Querbalken entspricht. Der vertikale Balken relativ schmal (beispielsweise 5mm) ausgebildet und verfügt dadurch über eine geringe Seitensteifigkeit, sodass der obere Querbalken gegenüber dem Montagesockel in die in 3 durch Pfeile dargestellte Richtungen quer zur Bewegungsrichtung federnd verschiebbar ist. Somit ist die Trägerplatte (2) über den in 3 dargestellten ersten Typ von Ausgleichselement (3) erster Art federnd drehgelenkig und seitlich federnd verschiebbar gelagert, sodass von diesem Ausgleichselement (3) sowohl Seitenkräfte als auch Momente aufgenommen werden können.
  • Ein erster Typ von Ausgleichselement (4) zweiter Art, welchem in den 1 und 2 das auf der rechten Seite der Trägerplatte (2) vorgesehene Paar Ausgleichselemente entspricht, ist schematisch in 4 dargestellt. Dieser erste Typ von Ausgleichselement (4) zweiter Art weist im Querschnitt im Wesentlichen die Form eines doppelten „T" auf. Der vertikale Balken ist kurz (beispielsweise 2mm) und breit (beispielsweise 10mm) ausgebildet und verfügt dadurch über eine hohe Seitensteifigkeit, sodass der obere Querbalken relativ zum unteren Querbalken, der auch hier den Sockel zur Montage an dem Führungswagen darstellt, seitlich nicht verschoben werden kann. Der obere Querbalken, an dessen seitlichen Endflächen die Trägerplatte (2) befestigt ist, ist relativ lang (beispielsweise 34mm) und dünn (beispielsweise 5mm) ausgebildet. Der obere Querbalken entspricht dabei einem federnden Drehgelenk (in 4 durch Pfeile dargestellt), wobei der Drehpunkt dem Kreuzungspunkt des vertikalen Balkens mit dem obe ren Querbalken entspricht. Die Trägerplatte (2) ist über den in 4 dargestellte ersten Typ von Ausgleichselement (4) zweiter Art federnd drehgelenkig und seitlich fest gelagert, sodass von diesem Ausgleichselement (4) nur Momente, jedoch keine Seitenkräfte aufgenommen werden können.
  • Wie oben schon erwähnt, entsprechen in den 1 und 2 die auf der linken Seite der Trägerplatte (2) vorgesehenen Ausgleichselemente dem in 3 dargestellten ersten Typ von Ausgleichselement (3) erster Art, und die auf der rechten Seite der Trägerplatte (2) vorgesehenen Ausgleichselemente dem in 4 dargestellten ersten Typ von Ausgleichselement (4) zweiter Art. Durch obige Erläuterung der ersten Typen von Ausgleichselementen (3,4) erster und zweiter Art wird deutlich, dass die in den 1 und 2 dargestellte Trägerplatte (2) auf der linken Seite drehgelenkig und quer zur Bewegungsrichtung federnd gelagert und auf der rechten Seite drehgelenkig und seitlich fest gelagert ist. Durch Wärmedehnung der Trägerplatte (2) verursachte Seitenkräfte werden von den linken Ausgleichselementen (3) aufgenommen, wodurch die Lager der Linearführung quer zur Bewegungsrichtung entlastet werden. Dadurch, dass die Ausgleichselemente (4) zweiter Art auf der rechten Seite der Trägerplatte (2) jedoch eine hohe Seitensteifigkeit aufweisen, wird ein Aufschwingen der Trägerplatte (2), wie es bei einer zu weichen seitlichen Abstützung der Platte auftreten könnte, vermieden. Alle vier Ausgleichselemente (3,4) wirken jedoch als federnde Drehlager, sodass durch Wärmeverzug verursachte Momente (hauptsächlich Wankmomente, aber auch Stampf- und Giermomente) von den Ausgleichselementen (3,4) aufgenommen und nicht auf die Linearführung übertragen werden. Durch entsprechende Dimensionierung der einzelnen Schenkel bzw. Balken der Ausgleichselemente (3,4) kann die Federsteifigkeit entsprechend den Anforderungen angepasst werden.
  • Ein zweites vorteilhaftes Ausführungsbeispiel wird anhand der 5 und 6 beschrieben. Gleiche Elemente sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
  • Das in den 5 und 6 dargestellte Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung weist zweite Typen von Ausgleichselementen (3,4) erster und zweiter Art auf. Die Ausgleichselemente (3,4) sind an den Seitenwänden der Trägerplatte (2) durch eine Schweiß- oder Schraubverbindung befestigt und erstrecken sich in der in 6 durch einen Pfeil dargestellten Bewegungsrichtung über die gesamte Länge der Trägerplatte (2). Dadurch kann die volle Fläche des mobilen Montageteils (2) zur Befestigung eines zu bewegenden Funktionsteils, wie beispielsweise eines Bestückkopfes, genutzt werden. An jedem Ausgleichselement (3,4) sind jeweils zwei Führungswagen angebracht, die mit Schienen (5) der Linearführung in Eingriff stehen. Die Ausgleichselemente (3,4) werden im Folgenden anhand der 7 und 8 genauer beschrieben.
  • In 7 ist der Querschnitt des zweiten Typs von Ausgleichselement (3) erster Art abgebildet, welchem in den 5 und 6 das an der linken Seite der Trägerplatte (2) vorgesehene Ausgleichselement (3) entspricht. Der zweite Typ Ausgleichselement (3) erster Art weist einen Sockel zur Befestigung an dem Führungswagen (5) und einen schmal ausgebildeten senkrechten Balken (beispielsweise 5mm) mit geringer Seitensteifigkeit auf. An einem Ende kann der waagerechte Schenkel einen kurzen senkrechten Überhang aufweisen, mit dem das Ausgleichselement (3) an der Trägerplatte (2) befestigt wird. Vom zweiten Typ Ausgleichselement (3) erster Art können sowohl Momente als auch Seitenkräfte aufgenommen werden. Seitenkräfte, die bei einer Wärmedehnung der Trägerplatte (2) auftreten, werden durch eine seitliche federnde Verschiebung des horizontalen Schenkels relativ zum Sockel aufgenommen, wie es in 7 durch einen Pfeil dargestellt ist. Momente werden durch Drehung des oberen horizontalen Schenkels um den Kreuzungspunkt mit dem vertikalen Balken abgefangen (in 7 ebenfalls durch einen Pfeil dargestellt)
  • Der in 8 dargestellte Querschnitt eines zweiten Typs von Ausgleichselement (4) zweiter Art entspricht dem in den 5 und 6 auf der rechten Seite der Trägerplatte (2) vorgesehenen Ausgleichselement (4). Dieses Ausgleichselement (4) verfügt über einen Sockel zur Befestigung an dem Führungswagen, einen kurz (beispielsweise 2mm) und breit (beispielsweise 10mm) gestalteten vertikalen Balken und einen länglichen waagerechten Schenkel (beispielsweise 17mm lang und 5mm dick), an dessen Stirnseite die Trägerplatte (2) befestigt ist. Vom zweiten Typ Ausgleichselement (4) zweiter Art können nur Momente aufgenommen werden. Der kurze und breite vertikale Balken weist eine hohe Seitensteifigkeit auf, sodass die Trägerplatte (2) in seitlicher Richtung fest gelagert ist. Der obere waagerechte Schenkel fungiert als Drehgelenk. Momente, die bei Wärmeverzug der Trägerplatte (2) auftreten, werden also auch hier durch Drehung des waagerechten Schenkels aufgenommen, wie es in 8 durch Pfeil dargestellt ist.
  • Da die zweiten Typ von Ausgleichselementen (3,4) erster und zweiter Art seitlich an der Trägerplatte (2) vorgesehen sind, weisen diese Ausgleichselemente (3,4) einen kompakteren Aufbau auf und sind einfacher herzustellen. Weiterhin muss die Trägerplatte (2) nicht in einem zusätzlichen Arbeitsschritt zur Aufnahme der Ausgleichselemente (3,4) (beispielsweise Aussparungen) vorbearbeitet werden, wie es bei den ersten Typen von Ausgleichselementen (3,4) notwendig ist. Schließlich ist es möglich, die Trägerplatte (2) und die Ausgleichselemente (3,4) dieses zweiten Typs aus einem Stück zu fertigen (beispielsweise Gießen oder Fräsen), sodass keine zusätzlichen Bauteile notwendig sind. Auch bei den zweiten Typen von Ausgleichselementen (3,4) erster und zweiter Art können die Federsteifigkeit der beweglichen Balken bzw. Schenkel durch entsprechende Dimensionierung den Anforderungen angepasst werden.
  • In dem in den 5 und 6 dargestellten zweiten Ausführungsbeispiel verfügt die Trägerplatte (2) über zwei Ausgleichselemente (3,4), an denen jeweils zwei Führungswagen vorgesehen ist. Es ist jedoch auch möglich, vier Ausgleichselemente (3) vorzusehen, wobei bezüglich jeder Schiene (5) zwei Ausgleichselemente (3) gleicher Art mit jeweils einem Führungswagen (4) an der Trägerplatte (2) angebracht sind.
  • 1
    Linearmotorläufer
    2
    mobiles Montageteil/Trägerplatte
    3
    Ausgleichselement erster Art
    4
    Ausgleichselement zweiter Art
    5
    Führungselement/Führungswagen
    6
    Schienen
    7
    Schienengrund

Claims (9)

  1. Vorrichtung zum Anbinden eines Linearmotorläufers (1) an eine Linearführung , insbesondere in einer Bestückvorrichtung zum Bestücken von Substraten mit Bauelementen, mit – einem mobilen Montageteil (2), an dem der Linearmotorläufer (1) befestigbar ist, – mindestens zwei Führungselementen (5), mit welchen das mobile Montageteil (2) mit der Linearführung in Eingriff gebracht werden kann , um entlang der Linearführung in einer Bewegungsrichtung beweglich führbar zu sein, dadurch gekennzeichnet, dass – mindestens ein Ausgleichselement (3) einer ersten Art vorgesehen ist, über welches das mobile Montageteil (2) an einem der mindestens zwei Führungselemente (5) drehgelenkig und quer zur Bewegungsrichtung federnd gelagert ist, und – mindestens ein Ausgleichselement (4) einer zweiten Art vorgesehen ist, über welches das mobile Montageteil (2) an einem anderen der mindestens zwei Führungselemente (5) drehgelenkig gelagert ist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die drehgelenkigen Lagerungen in Drehrichtung federnd sind.
  3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausgleichselemente (3,4) so angeordnet sind, dass die Vorrichtung entlang zweier Schienen (6) der Linearführung beweglich führbar ist.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass zwei Paare gleichartiger Ausgleichselemente (3,4) vorgesehen sind, wobei jedem Ausgleichselement (3,4) ein Führungselement (5) zugeordnet ist.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass bezüglich jeder Schiene (6) der Linearführung jeweils ein Paar gleichartiger Ausgleichselemente (3,4) an der Trägerplatte (2) vorgesehen sind.
  6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausgleichselemente (3,4) an den Seitenflächen des mobilen Montageteils (2) befestigt sind.
  7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass an dem mobilen Montageteil (2) entsprechende Aussparungen vorgesehen sind, in die die Ausgleichselemente (3,4) einsetzbar sind.
  8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausgleichselemente (3,4) und das mobile Montageteil (2) einstückig gefertigt sind.
  9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausgleichselemente (3,4) einen Sockel aufweisen, mit dem sie an den Führungselementen (5) befestigt werden.
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