DE102004035728B4

DE102004035728B4 - Shut-off valve and pressure measuring head

Info

Publication number: DE102004035728B4
Application number: DE102004035728.5A
Authority: DE
Inventors: Michael Neumann; Dr. Wenning Udo; Ulrich Wolf
Original assignee: BSH Hausgeraete GmbH
Current assignee: BSH Hausgeraete GmbH
Priority date: 2004-07-23
Filing date: 2004-07-23
Publication date: 2020-10-01
Anticipated expiration: 2024-07-24
Also published as: DE102004035728A1; WO2006010745A1

Abstract

Druckmesskopf, mit einem Grundkörper (1), der eine erste Anschlussseite (3) zum Anschließen an einen Vakuumbehälter und eine von der ersten Anschlussseite (3) ausgehende Gewindebohrung (15) aufweist, sowie mit einer Druckmesssonde (21), die einen in die Gewindebohrung (15) eingeschraubten Schraubsockel (22) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass eine Stromdurchführung (17) in eine quer zur Gewindebohrung (15) orientierte Stichbohrung (16) dicht eingefügt ist und einen Leiter (18) aufweist, der einen elektrischen Kontakt des Schraubsockels (22) berührt.Pressure measuring head, with a base body (1), which has a first connection side (3) for connection to a vacuum container and a threaded bore (15) extending from the first connection side (3), as well as with a pressure measuring probe (21) which one into the threaded bore (15) has screwed-in screw base (22), characterized in that a current feedthrough (17) is tightly inserted into a branch bore (16) oriented transversely to the threaded bore (15) and has a conductor (18) which makes electrical contact with the screw base ( 22) touches.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Absperrventil zum dauerhaften Abdichten einer evakuierten Kammer, insbesondere eines Vakuumpaneels für ein Kältegerät, sowie einen Druckmesskopf zum Erfassen des Drucks in einem solchen Vakuumbehälter.The present invention relates to a shut-off valve for permanent sealing of an evacuated chamber, in particular a vacuum panel for a refrigeration device, as well as a pressure measuring head for detecting the pressure in such a vacuum container.

Druckmessköpfe für Unterdrücke im Mikro- bis Millibar-Bereich sind meist auf standardisierten sogenannten Kleinflanschen montiert, so dass zur Montage des Druckmesskopfs an dem Vakuumbehälter letzterer einen zu dem Druckmesskopf komplementären Kleinflansch aufweisen muss. Eine weitere Anschlussstelle am Vakuumbehälter ist erforderlich, um daran ein Absperrventil anzuschließen, über welches der Behälter evakuiert und anschließend verschlossen werden kann. Beide Anschlussstellen beinhalten jeweils die Gefahr von Undichtigkeit.Pressure measuring heads for negative pressures in the micro to millibar range are usually mounted on standardized so-called small flanges, so that in order to mount the pressure measuring head on the vacuum container, the latter must have a small flange that is complementary to the pressure measuring head. Another connection point on the vacuum container is required in order to connect a shut-off valve, via which the container can be evacuated and then closed. Both connection points each contain the risk of leakage.

Für Massenanwendungen geeignete, preiswerte Absperrventile haben im Allgemeinen Dichtungen aus organischem Material. Die mit diesen Dichtungen erreichbaren Leckraten liegen über 1×10^-8 mbar I/s, so dass lange Standzeiten in der Größenordnung von mehreren Monaten eines verschlossenen evakuierten Behälters nicht möglich sind. Es sind zwar Absperrventile mit metallischen Dichtungen bekannt, die es erlauben, niedrigere Leckraten zu erreichen, doch sind diese Ventile im Allgemeinen in der Fertigung aufwändig und dementsprechend teuer, so dass sie für Massenanwendungen nicht in Betracht kommen.Inexpensive shut-off valves suitable for mass applications generally have seals made of organic material. The leakage rates that can be achieved with these seals are over 1 × 10 ^-8 mbar I / s, so that long service lives of the order of several months for a closed evacuated container are not possible. Although shut-off valves with metallic seals are known which allow lower leakage rates to be achieved, these valves are generally complex to manufacture and accordingly expensive, so that they cannot be considered for mass applications.

Aus US 4 205 703 A ist ein Durchflussventil bekannt, bei dem eine Durchgangsbohrung zwei Anschlussseiten eines Ventilkörpers miteinander verbindet und ein durchflussgesteuertes Ventil in der Durchgangsbohrung angeordnet ist. Das Ventil ist gesteuert durch den Fluss in einem Steuerdurchgang, der sich ebenfalls zwischen den zwei Anschlussseiten erstreckt und immer offen ist.Out U.S. 4,205,703 A a flow valve is known in which a through hole connects two connection sides of a valve body with one another and a flow-controlled valve is arranged in the through hole. The valve is controlled by the flow in a control passage that also extends between the two connection sides and is always open.

DE 199 13 968 A1 , DE 196 23 486 A1 und DE 299 24 037 U1 betreffen thermische Durchflusssensoren mit einer Heizeinrichtung zum Erwärmen eines Fluids und einem von der Heizeinrichtung beabstandeten Temperatursensor zum Erfassen der Temperatur des Fluids und ein Verfahren zum Bestimmen des Durchflusses eines Fluids. Die Sensoren verfügen weder über Mittel zum dichten Absperren einer Durchgangsbohrung, noch ist die Dichtheit einer Absperrung mit den Sensoren nach DE 199 13 968 A1 , DE 196 23 486 A1 oder DE 299 24 037 U1 bzw. mit dem Verfahren nach DE 199 13 968 A1 sicher erkennbar. DE 199 13 968 A1 , DE 196 23 486 A1 and DE 299 24 037 U1 relate to thermal flow sensors with a heating device for heating a fluid and a temperature sensor spaced apart from the heating device for detecting the temperature of the fluid and a method for determining the flow rate of a fluid. The sensors do not have any means to shut off a through hole tightly, nor is the tightness of a shut-off with the sensors after DE 199 13 968 A1 , DE 196 23 486 A1 or DE 299 24 037 U1 or with the procedure according to DE 199 13 968 A1 certainly recognizable.

DE 39 01 371 A1 offenbart ein Ventil für einen Flüssigkeitsspender, in dem ein harter Schließkörper mit einem Ventilsitz aus einem weicheren Material kombiniert ist. DE 39 01 371 A1 discloses a valve for a liquid dispenser in which a hard closing body is combined with a valve seat made of a softer material.

US 6 679 291 B1 betrifft ein Tellerventil zum Abtanken eines Tankfahrzeugs mit einem Schauglas, in dem erkennbar ist, ob ein Mindestdurchsatz überschritten ist. US 6 679 291 B1 relates to a poppet valve for refueling a tanker with a sight glass in which it can be seen whether a minimum throughput has been exceeded.

DE 40 01 170 A1 und DE 199 13 230 A1 offenbaren jeweils ein Durchflussventil mit einem in einen Durchgang eingeschraubten, den Durchfluss bestimmenden Einschraubkörper, in den ein Manometer integriert ist. DE 40 01 170 A1 and DE 199 13 230 A1 each disclose a flow valve with a screw-in body which is screwed into a passage and determines the flow and in which a pressure gauge is integrated.

Für Druckmessungen im eingangs genannten Druckbereich sind Messsonden mit einem elektrisch beheizten Glühfaden verbreitet. Der Wärmeverlust eines solchen Glühfadens ist in einem weiten Bereich proportional zum Druck der Atmosphäre, in dem sich der Glühfaden befindet, so dass die elektrische Leistung, die benötigt wird, um den Glühfaden auf einer konstanten Temperatur zu halten, Aufschluss über den Druck gibt. Ein Druckmesskopf mit einem solchen Glühfaden ist z.B. in WO 2003/106954 A2 beschrieben.For pressure measurements in the pressure range mentioned above, measuring probes with an electrically heated filament are common. The heat loss of such a filament is in a wide range proportional to the pressure of the atmosphere in which the filament is located, so that the electrical power required to keep the filament at a constant temperature provides information about the pressure. A pressure measuring head with such a filament is for example in WO 2003/106954 A2 described.

DE 103 61 842 A1 offenbart ein Ventil mit einer Durchgangsbohrung, einem in der Durchgangsbohrung eine Drosselstelle bildenden Schließkörper und einem Drucksensor, der Drosselstelle verbunden ist, um anhand einer Druckmessung den Verschleißgrad des Schließkörpers zu beurteilen. DE 103 61 842 A1 discloses a valve with a through hole, a closing body forming a throttle point in the through hole and a pressure sensor connected to the throttle point in order to assess the degree of wear of the closing body on the basis of a pressure measurement.

JP H09 330132 A zeigt eine Ventilanordnung, bei dem ein Ventilkörper und ein den Ventilkörper steuernder Drucksensor in einem gemeinsamen Gehäuse untergebracht sind und der Ventilkörper mit einem Ventilsitz in einer Wand des Gehäuses zusammenwirkt. JP H09 330132 A shows a valve arrangement in which a valve body and a pressure sensor controlling the valve body are accommodated in a common housing and the valve body cooperates with a valve seat in a wall of the housing.

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, einen bequem und schnell zu wartenden Druckmesskopf zu schaffen.One object of the present invention is to create a pressure measuring head that is easy and quick to maintain.

Diese Aufgabe wird gelöst durch einen Druckmesskopf nach Anspruch 1.This object is achieved by a pressure measuring head according to claim 1.

Zur Stromversorgung der Druckmesssonde dient eine Stromdurchführung, die in eine quer zur Gewindebohrung orientierte Stichbohrung dicht eingefügt ist und einen elektrischen Kontakt des Schraubsockels berührt.A current feedthrough is used to supply power to the pressure measuring probe.

Ein zweiter elektrischer Kontakt des Schraubsockels kann wie bei einer Glühbirne durch das Gewinde des Schraubsockels selbst gebildet sein, das in leitendem Kontakt mit dem metallischen Grundkörper des Druckmesskopfs steht.A second electrical contact of the screw base can be formed, as in the case of a light bulb, by the thread of the screw base itself, which is in conductive contact with the metallic base body of the pressure measuring head.

Der Druckmesskopf kann in ein Absperrventil integriert sein, indem in dem Grundkörper zusätzlich zu der ersten Anschlussseite, von der die Gewindebohrung ausgeht, eine zweite Anschlussseite und eine sich zwischen der ersten Anschlussseite und der zweiten Anschlussseite erstreckende Durchgangsbohrung vorgesehen sind und ein Schließkörper zum Absperren der Durchgangsbohrung an einen Ventilsitz andrückbar ist.The pressure measuring head can be integrated into a shut-off valve, in that in addition to the first connection side from which the threaded hole starts, a second connection side and a through-hole extending between the first connection side and the second connection side are provided in the base body, and a closing body for shutting off the through-hole can be pressed against a valve seat.

Die Führung eines Trägers des Schließkörpers in einem Innengewinde der Durchgangsbohrung führt zu einer beträchtlichen Vereinfachung des Aufbaus des Ventils im Vergleich zu einem üblichen Eckventil, bei dem eine Gewindebohrung zum Führen des Trägers von der gewinkelten Durchgangsbohrung des Grundkörpers abzweigt und gegen die Durchgangsbohrung z.B. durch einen Faltenbalg abgedichtet sein muss, um eine gute Dichtigkeit des Ventils zu erreichen.The guidance of a carrier of the closing body in an internal thread of the through hole leads to a considerable simplification of the structure of the valve compared to a conventional angle valve, in which a threaded hole for guiding the carrier branches off from the angled through hole of the base body and against the through hole e.g. must be sealed by a bellows in order to achieve a good tightness of the valve.

Vorzugsweise ist der Schließkörper an dem Träger von einer Drehung des Trägers entkoppelt gehalten, so dass er beim Schließen des Ventils spätestens dann, wenn er mit einem Ventilsitz in Reibkontakt gelangt, nicht mehr rotiert. So ist es unter dem Schließdruck des Ventils möglich, dass Schließkörper und/oder Ventilsitz durch den Schließdruck plastisch verformt werden, so dass sich einer von beiden an Unregelmäßigkeiten des anderen anschmiegt und eine Abdichtung minimaler Leckrate erreicht wird.The closing body is preferably held decoupled from a rotation of the carrier on the carrier, so that it no longer rotates when the valve is closed at the latest when it comes into frictional contact with a valve seat. Thus, under the closing pressure of the valve, it is possible for the closing body and / or valve seat to be plastically deformed by the closing pressure, so that one of the two clings to irregularities in the other and a seal with minimal leakage rate is achieved.

Vorzugsweise ist der Schließkörper in wenigstens einem den Ventilsitz berührenden Bereich aus einem weicheren Metall als der Ventilsitz gebildet, so dass es der Schließkörper ist, der sich eventuell an Unregelmäßigkeiten des Ventilsitzes anpasst. Der Schließkörper kann - gegebenenfalls zusammen mit dem Träger - einfach und preiswert ausgetauscht werden, wenn er verschlissen ist und eine ausreichende Abdichtung nicht mehr gewährleistet ist.Preferably, the closing body is formed from a softer metal than the valve seat in at least one area in contact with the valve seat, so that it is the closing body that may adapt to irregularities in the valve seat. The closing body can - if necessary together with the carrier - be exchanged easily and inexpensively when it is worn out and adequate sealing is no longer guaranteed.

Vorzugsweise umfasst der Schließkörper eine dem Ventilsitz zugewandte erste Platte, deren Rand durch eine umlaufende Nut vom Träger beabstandet ist. Diese Nut ermöglicht es, beim Andrücken der ersten Platte an den Ventilsitz die Platte als Ganzes unter Verengung der Nut zu verformen, und so eine ausgezeichnete Abdichtung zwischen der Platte und dem Ventilsitz zu erzielen.The closing body preferably comprises a first plate facing the valve seat, the edge of which is spaced from the carrier by a circumferential groove. This groove makes it possible, when the first plate is pressed against the valve seat, to deform the plate as a whole, narrowing the groove, and thus to achieve an excellent seal between the plate and the valve seat.

Vorzugsweise umfasst der Schließkörper ferner eine dem Träger zugewandte zweite Platte, die mit der ersten über eine gewölbte Kalotte verbunden ist. Die durch die Wölbung der Kalotte bedingte kleine Übergangsfläche zwischen der Kalotte und einer der Platten bewirkt, dass die Platten mit geringem Kraftaufwand um einen kleinen Winkel in Bezug zueinander schwenkbar sind, so dass sich die Orientierung der ersten Platte an die des Ventilsitzes anpassen kann, falls die Ebene des Ventilsitzes nicht exakt senkrecht auf der Verschiebungsrichtung des Trägers steht.The closing body preferably further comprises a second plate facing the carrier, which is connected to the first via a curved dome. The small transition area caused by the curvature of the dome between the dome and one of the plates means that the plates can be pivoted through a small angle in relation to one another with little effort, so that the orientation of the first plate can adapt to that of the valve seat, if the plane of the valve seat is not exactly perpendicular to the direction of displacement of the carrier.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen mit Bezug auf die beigefügten Figuren. Es zeigen:

1 einen schematischen Schnitt durch eine erste Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Absperrventils, zerlegt in seine Bestandteile;
2 ein vergrößertes Detail aus 1;
3 einen schematischen Schnitt durch eine geringfügig abgewandelte Ausgestaltung des Absperrventils mit eingeschraubtem Schließkörper;
4 einen Aufbau zum Evakuieren einer Vakuumkammer über das Absperrventil und zum anschließenden Absperren des Absperrventils; und
5 eine Draufsicht auf den atmosphärenseitigen Anschlussflansch eines Absperrventils gemäß einer dritten Ausgestaltung.

Further features and advantages of the invention emerge from the following description of exemplary embodiments with reference to the accompanying figures. Show it:

1 a schematic section through a first embodiment of the shut-off valve according to the invention, disassembled into its components;
2 an enlarged detail 1 ;
3 a schematic section through a slightly modified embodiment of the shut-off valve with screwed-in closing body;
4th a structure for evacuating a vacuum chamber through the shut-off valve and then shutting off the shut-off valve; and
5 a plan view of the atmosphere-side connection flange of a shut-off valve according to a third embodiment.

Das in 1 gezeigte Absperrventil hat im Wesentlichen die Form eines zylindrischen Körpers aus Metall, vorzugsweise rostfreiem Stahl, mit zwei an den gegenüberliegenden Enden des Grundkörpers 1 ausgebildeten Kleinflanschen 2, 3. Eine Durchgangsbohrung 4 erstreckt sich axial zwischen den Kleinflanschen 2, 3 und setzt sich zusammen aus zwei Abschnitten von unterschiedlichem Durchmesser, einem dem vakuumseitigen Kleinflansch 3 zugewandten engen Abschnitt 5, einem dem atmosphärenseitigen Kleinflansch 2 zugewandten weiten Abschnitt 6 und einer als Ventilsitz 7 geformten Schulter zwischen den zwei Abschnitten 5, 6. Der weite Abschnitt 6 ist wenigstens auf einem Teil seiner Länge mit einem Innengewinde 8 versehen.This in 1 The shut-off valve shown has essentially the shape of a cylindrical body made of metal, preferably stainless steel, with two at the opposite ends of the base body 1 trained small flanges 2 , 3 . A through hole 4th extends axially between the small flanges 2 , 3 and is composed of two sections with different diameters, one of the vacuum-side small flange 3 facing narrow section 5 , a small flange on the atmosphere side 2 facing wide section 6th and one as a valve seat 7th shaped shoulder between the two sections 5 , 6th . The wide section 6th is at least part of its length with an internal thread 8th Mistake.

Solange eine nicht dargestellte an den Kleinflansch 3 angeschlossene Vakuumkammer evakuiert wird, ist der weite Abschnitt 6 frei. Ein Träger 9, an dem ein Dichtkörper 10 befestigt ist, ist vorgesehen, um in den weiten Abschnitt 6 eingeschraubt zu werden, sobald ein an den Flansch 3 angeschlossener Vakuumbehälter einen vorgesehenen Enddruck erreicht hat.As long as a not shown on the small flange 3 connected vacuum chamber is evacuated, is the wide section 6th free. A carrier 9 on which a sealing body 10 attached is intended to be in the wide section 6th to be screwed in as soon as one is attached to the flange 3 connected vacuum container has reached a specified final pressure.

Der Träger 9 hat hier die Form einer Madenschraube, an deren Spitze der Dichtkörper 10 um die Längsachse A des Grundkörpers 1 drehbar befestigt ist. Der Dichtkörper 10 umfasst eine Platte 11, die die dem Ventilsitz zugewandte Spitze des Trägers 9 weitgehend überdeckt und eine halbkugelförmige Kalotte 12 trägt. An der Kalotte 12 wiederum ist eine Platte 13 befestigt, die aus einem weicheren Metall als dem des Grundkörpers 1 und des Trägers 9 besteht, z.B. aus Aluminium, Kupfer, insbesondere OFHC-Kupfer, oder Indium. Die Platte könnte aber auch aus einem dünnen, verformbaren Substrat aus Stahl bestehen, auf das zumindest in denjenigen Oberflächenbereichen, die vorgesehen sind, um mit dem Ventilsitz 7 in Kontakt zu kommen, mit einer Schicht aus weicherem Metall wie etwa OFHC-Kupfer oder Indium, versehen ist.The carrier 9 here has the form of a grub screw, at the tip of which the sealing body 10 around the longitudinal axis A of the base body 1 is rotatably attached. The sealing body 10 includes a plate 11 the tip of the carrier facing the valve seat 9 largely covered and a hemispherical dome 12 wearing. On the dome 12 turn is a plate 13 attached, made of a softer metal than that of the base body 1 and the wearer 9 exists, e.g. made of aluminum, copper, especially OFHC copper, or indium. The plate could, however, also consist of a thin, deformable substrate made of steel, onto which at least those surface areas which are provided to with the valve seat 7th to come into contact is provided with a layer of softer metal such as OFHC copper or indium.

Beim Einschrauben des Trägers 9 in das Gewinde des Abschnitts 6 kommt schließlich die Platte 13 in Reibkontakt mit dem Ventilsitz 7. Wenn von diesem Zeitpunkt an der Träger 9 tiefer in den Abschnitt 6 hineingeschraubt wird, so führt dies zunächst, sofern sich Platte 13 und Ventilsitz 7 nicht auf dem gesamten Umfang des Ventilsitzes berühren, zu einer Verbiegung in der Verbindung zwischen Platte 13 und Kalotte 12, bis die Platte 13 am gesamten Umfang des Ventilsitzes 7 anliegt. Anschließend beginnt die Platte 13, sich unter dem Druck der Kalotte 12 kegelig zu verformen, wobei eventuelle Unebenheiten des Ventilsitzes 7 sich in das weiche Material der Platte 13 eindrücken. Während sich so eine die Kalotte 12 umgebende Nut 14 zwischen den Platten 11, 13 zunehmend verengt, wird schließlich ein dichter Kontakt zwischen Platte 13 und Ventilsitz 7 erreicht.When screwing in the carrier 9 into the thread of the section 6th finally comes the record 13 in frictional contact with the valve seat 7th . If from that point on the carrier 9 deeper into the section 6th is screwed in, this leads first, provided there is plate 13 and valve seat 7th do not touch the entire circumference of the valve seat, causing a bend in the joint between the plate 13 and dome 12 until the plate 13 on the entire circumference of the valve seat 7th is applied. Then the plate begins 13 , under the pressure of the calotte 12 to deform conically, with any unevenness of the valve seat 7th into the soft material of the plate 13 press in. While one of these is the dome 12 surrounding groove 14th between the panels 11 , 13 increasingly narrowed, there will eventually be a tight contact between plate 13 and valve seat 7th reached.

In dem dem vakuumseitigen Kleinflansch 3 zugewandten Teil des Grundkörpers 1 ist parallel zum engen Abschnitt 5 der Durchgangsbohrung 4 eine Gewindebohrung 15 eingebracht, die auf den freien Querschnitt des Flansches 3 mündet. Die Gewindebohrung 15 wird von einer von der Seite des Grundkörpers 1 kommenden Stichbohrung 16 gekreuzt. In der Stichbohrung 16 ist eine einpolige Stromdurchführung 17 dicht montiert. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel ist ein den Leiter 18 der Stromdurchführung umgebender Isolatorkörper 19 aus Glas oder Keramik mit Hilfe eines vakuumtauglichen, z.B. keramischen Klebers 20 am Grundkörper 1 befestigt. Selbstverständlich können auch andere kommerziell verfügbaren Bauformen von Stromdurchführungen verwendet werden, z.B. solche, bei denen an den Isolatorkörper eine metallische Hülse angefügt ist, die am Grundkörper 1 verschweißt wird.In the small flange on the vacuum side 3 facing part of the base body 1 is parallel to the narrow section 5 the through hole 4th a threaded hole 15th introduced on the free cross-section of the flange 3 flows out. The threaded hole 15th is from one of the side of the body 1 coming tap hole 16 crossed. In the tap hole 16 is a single pole power feedthrough 17th tightly mounted. In the present embodiment, a is the head 18th the insulator body surrounding the current feedthrough 19th made of glass or ceramic with the help of a vacuum-compatible, e.g. ceramic adhesive 20th on the main body 1 attached. Of course, other commercially available designs of current feedthroughs can also be used, for example those in which a metallic sleeve is attached to the insulator body and which is attached to the base body 1 is welded.

Eine in 2 vergrößert gezeigte Druckmesssonde 21 ist zum Einschrauben in die Gewindebohrung 15 vorgesehen. Der Aufbau der Druckmesssonde 21 ähnelt dem einer Glühbirne ohne Glaskörper; sie umfasst einen metallischen Schraubsockel 22, einen auf der Längsachse des Schraubsockels 22 durch einen Isolatorkörper 23 fixierten metallischen Kontaktpunkt 24 sowie einen Glühdraht 25, über den der Schraubsockel 22 und der Kontaktpunkt 24 leitend verbunden sind. Der Glühdraht 25 ist in der Figur zum Schutz vor Beschädigung in den Schraubsockel 22 versenkt dargestellt, könnte aber auch über diesen überstehen.One in 2 Pressure measuring probe shown enlarged 21st is to be screwed into the threaded hole 15th intended. The structure of the pressure measuring probe 21st resembles that of a lightbulb without a glass body; it includes a metallic screw base 22nd , one on the longitudinal axis of the screw base 22nd through an insulator body 23 fixed metallic contact point 24 as well as a filament 25th over which the screw base 22nd and the point of contact 24 are conductively connected. The glow wire 25th is in the figure to protect against damage in the screw base 22nd shown sunk, but could also protrude over this.

Wenn die Druckmesssonde 21 in die Gewindebohrung 15 eingeschraubt wird, bis der Kontaktpunkt 24 den Leiter 18 berührt, ist die Druckmesssonde 21 betriebsbereit. Eine Ansteuerelektronik, die den Glühdraht 25 mit elektrischer Heizleistung versorgt und den Widerstandswert des Glühdrahts 25 erfasst, ist in der Figur nicht dargestellt.When the pressure measuring probe 21st into the threaded hole 15th is screwed in until the contact point 24 the head 18th touched, the pressure measuring probe is 21st operational. Control electronics that control the filament 25th supplied with electrical heating power and the resistance value of the glow wire 25th detected is not shown in the figure.

3 zeigt eine zweite Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Ventils mit eingeschraubtem Träger 9 und am Ventilsitz 7 anliegendem Dichtkörper 10. Diese Ausgestaltung unterscheidet sich von der der 1 zum einen durch eine am Grundkörper 1 ausgebildete Schlüsselweite 26, hier in Form von zwei Ausfräsungen, die es erlauben, einen Gabelschlüssel an den Grundkörper 1 anzulegen und mit seiner Hilfe ein beim Anziehen des Trägers 9 ausgeübtes Drehmoment zu kompensieren. 3 shows a second embodiment of the valve according to the invention with a screwed-in carrier 9 and on the valve seat 7th adjacent sealing body 10 . This configuration differs from that of 1 on the one hand by one on the base body 1 trained wrench size 26th , here in the form of two cutouts that allow a wrench to be attached to the base body 1 to put on and with its help one when putting on the carrier 9 to compensate the torque exerted.

Ein zweiter Unterschied, der mit dem ersten in keinem sachlichen Zusammenhang steht, ist eine Verbindungsbohrung 27, die sich in Verlängerung der Stichbohrung 16 bis zur Durchgangsbohrung 4 erstreckt. Zweck der Verbindungsbohrung 27 ist es, eine schnelle Entlüftung der Stichbohrung 16 während des Evakuierens des (nicht dargestellten) Vakuumbehälters zu ermöglichen, so dass die Messergebnisse der Druckmesssonde 21 nicht durch Restluft verfälscht werden, die aus der Stichbohrung 16 an der in die Gewindebohrung 15 eingeschraubten Messsonde 21 vorbei entweicht.A second difference, which has no material connection with the first, is a connecting hole 27 that are in extension of the branch hole 16 up to the through hole 4th extends. Purpose of the connecting hole 27 is to quickly vent the tap hole 16 to enable during evacuation of the (not shown) vacuum container, so that the measurement results of the pressure measuring probe 21st are not falsified by residual air coming from the branch hole 16 at the in the threaded hole 15th screwed-in measuring probe 21st escapes past.

4 zeigt einen Aufbau zum Evakuieren eines Vakuumbehälters über das erfindungsgemäße Absperrventil. Ein gekrümmtes Rohr 28 ist an dem atmosphärenseitigen Kleinflansch 2 des Grundkörpers 1 in an sich bekannter Weise mit Hilfe einer Klammer 29 fixiert. Die einander zugewandten Flansche von Grundkörper 1 und Rohr 28 sind durch einen eingeklemmten und von einem metallischen Stützring 30 gehaltenen Polymer-O-Ring 31 gedichtet. Ein Inbusschlüssel 32 mit zylindrischem Schaft ist in einer mit der Durchgangsbohrung 4 fluchtenden Bohrung 33 des Rohrs 28 durch Elastomer-O-Ringe 34 abgedichtet drehbar und verschiebbar gehalten. Er ist in einer Ausgangsstellung dargestellt, in der der Träger 9, wie in der Figur gestrichelt dargestellt, auf die Spitze des Schlüssels 32 aufsteckbar ist. In dieser Stellung sind Rohr 28 und Durchgangsbohrung 4 offen, und der angeschlossene Vakuumbehälter kann evakuiert werden. Wenn die Druckmesssonde 21 anzeigt, dass der gewünschte Enddruck erreicht ist, wird der Schlüssel 32 vorgeschoben, bis der Träger 9 das Innengewinde 8 erreicht, und dann wird begonnen, den Schlüssel 32 zu drehen, um den Träger 9 mit dem Innengewinde 8 in Eingriff zu bringen und schließlich das Ventil abzusperren. Luft, die während des Schließens des Ventils zwischen dem Schlüssel 32 und den O-Ringen 34 durchsickert, beeinträchtigt kaum den Enddruck des Vakuumbehälters, da sie fortwährend über das Rohr 28 abgepumpt wird und der Leitwert des Ventils bereits zu dem Zeitpunkt, wo der Träger 9 den O-Ring 31 durchquert, sehr gering ist. 4th shows a structure for evacuating a vacuum container via the shut-off valve according to the invention. A curved pipe 28 is on the small flange on the atmosphere side 2 of the main body 1 in a manner known per se with the help of a bracket 29 fixed. The facing flanges of the base body 1 and pipe 28 are by a clamped and by a metallic support ring 30th held polymer O-ring 31 sealed. An Allen key 32 with a cylindrical shaft is in one with the through hole 4th aligned bore 33 of the pipe 28 held in a sealed manner, rotatable and displaceable by elastomer O-rings 34. He is shown in an initial position in which the carrier 9 , as shown in dashed lines in the figure, on the tip of the key 32 is attachable. In this position are pipes 28 and through hole 4th open and the connected vacuum container can be evacuated. When the pressure measuring probe 21st indicates that the desired final pressure has been reached, is the key 32 advanced until the carrier 9 the internal thread 8th reached, and then begins to use the key 32 to rotate to the carrier 9 with the internal thread 8th to engage and finally shut off the valve. Air released during the closing of the valve between the key 32 and the O-rings 34 Leaked through, hardly affects the final pressure of the vacuum container, since it is continuously over the pipe 28 is pumped out and the conductance of the valve already at the time when the wearer 9 the O-ring 31 traversed is very low.

5 zeigt eine weitere Abwandlung des Ventils in einer Draufsicht auf dessen atmosphärenseitigen Kleinflansch 2. Eine Mehrzahl von Kanälen 35 erstreckt sich in axialer Richtung entlang der Wand des weiten Abschnitts 6 der Durchgangsbohrung 4. Diese Kanäle ermöglichen ein Evakuieren eines an das Ventil angeschlossenen Vakuumbehälters auch dann, wenn der Träger 9 des Ventils bereits mit dem Innengewinde 8 im Eingriff ist, da die Luft aus dem Vakuumbehälter durch die Kanäle 35 an dem Träger 9 vorbeiströmen kann. Erst wenn der Träger 9 so tief in das Gewinde 8 eingeschraubt ist, dass er die Kanäle 35 auf ihrer gesamten Länge verdeckt, nimmt der Leitwert des Ventils so weit ab, dass das Evakuieren nicht mehr möglich ist. 5 shows a further modification of the valve in a plan view of its small flange on the atmosphere side 2 . A plurality of channels 35 extends in the axial direction along the wall of the wide section 6th the through hole 4th . These channels allow a vacuum container connected to the valve to be evacuated even when the wearer 9 of the valve already with the internal thread 8th is engaged as the air from the vacuum vessel through the channels 35 on the carrier 9 can flow past. Only when the carrier 9 so deep in the thread 8th is screwed that he has the channels 35 Covered over its entire length, the conductance of the valve decreases so much that evacuation is no longer possible.

Claims

Pressure measuring head, with a base body (1), which has a first connection side (3) for connection to a vacuum container and a threaded bore (15) extending from the first connection side (3), as well as with a pressure measuring probe (21) which one into the threaded bore (15) has screwed-in screw base (22), characterized in that a current feedthrough (17) is tightly inserted into a branch bore (16) oriented transversely to the threaded bore (15) and has a conductor (18) which makes electrical contact with the screw base ( 22) touches.

Pressure measuring head after Claim 1 , characterized in that the pressure measuring probe (21) comprises a glow wire (25).

Shut-off valve with a pressure measuring head Claim 1 or 2 , a through-hole (4) extending between the first connection side (3) and a second connection side (2) of the base body (1) and a closing body (10) which can be pressed against a valve seat (7) to shut off the through-hole (4) .

Shut-off valve after Claim 3 , characterized in that the closing body (10) is held on a carrier (9) which is guided in an internal thread (8) of the through hole (4).

Shut-off valve after Claim 4 , characterized in that the closing body (10) on the carrier (9) is held decoupled from a rotation of the carrier (9).

Stop valve after one of the Claims 3 to 5 , characterized in that the closing body (10) is formed from a softer metal than the valve seat (7) at least in an area in contact with the valve seat (7).

Stop valve after one of the Claims 3 to 6th , characterized in that the valve seat (7) is a shoulder formed in the through hole (4).

Stop valve after one of the Claims 3 to 7th , characterized in that the closing body (10) comprises a first plate (13) facing the valve seat (7), the edge of which is spaced from the carrier (9) by a circumferential groove (14).

Shut-off valve after Claim 8 , characterized in that the closing body (10) comprises a second plate (11) facing the carrier (9), and in that the plates (11, 13) are connected to one another via a curved dome (12).