DE102004010689B3 - Absorber mit einer strahlungsselektiven Absorberbeschichtung und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
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Abstract
Es wird ein Absorber mt einer strahlungsselektiven Absorberbeschichtung beschrieben, die ein Metallsubstrat, eine Diffusionssperrschicht, eine metallische Reflexionsschicht, eine Cermetschicht und eine Antireflexionsschicht aufweist. Die Diffusionssperrschicht ist eine Oxidschicht, die aus oxidierten Komponenten des Metallsubstrates besteht. Das Verfahren zur Herstellung eines solchen Absorbers sieht vor, dass das polierte Substrat zur Herstellung einer Diffusionssperrschicht an Luft in einem Ofen bei einer Temperatur von 400 bis 600 DEG C 0,5 bis 2 Stunden getempert wird.
Description
- Die Erfindung betrifft einen Absorber mit einer strahlungsselektiven Absorberbeschichtung mit einem Metallsubstrat, einer Diffusionssperrschicht, einer metallischen Reflexionsschicht, einer Cermetschicht und einer Antireflexionsschicht. Die Erfindung bezieht sich auch auf ein Verfahren zur Herstellung eines Absorbers mit einer strahlungsselektiven Absorberbeschichtung, bei dem ein Absorber aus Metall poliert wird und die Oberflächenrauhigkeit auf ra<0,3μm eingestellt wird, sowie eine Diffusionssperrschicht, eine metallische Reflexionsschicht, eine Cermetschicht und eine Antireflexionsschicht aufgebracht wird.
- In der thermischen Solarenergienutzung werden zur Strahlungskonversion selektive Absorberbeschichtungen eingesetzt, die sich durch einen hohen solaren Absorptionsgrad und einen niedrigen thermischen Emissionsgrad auszeichnen.
- Es werden überwiegend Dünnschichtsysteme auf der Basis von Cermet (keramisch-metallische Mischung) eingesetzt, die durch Aufdampfen oder Sputtern erzeugt werden. Der Aufbau eines solchen Schichtsystems erfolgt ausgehend vom Substrat in der Reihenfolge: Metallische Reflexionsschicht, Cermetschicht, Antireflexionsschicht.
- Die metallische Reflexionsschicht besteht in der Regel aus einem im Infrarotbereich hoch reflektierenden Metall, wie z.B. Kupfer, Aluminium oder Molybdän. Die Cermetschicht besteht üblicherweise aus einem Oxid, wie z.B. Al2O3, SiO2, das in ein Metall, wie z.B. Mo, eingebettet wird. Der Metallanteil wird als Füllfaktor bezeichnet.
- Die Antireflexionsschicht besteht aus einem reinen Oxid, wie z.B. SiO2 oder Al2O3.
- Um eine gute Haftung der Beschichtung auf dem Substrat, wie z.B. Kupfer, Edelstahl oder Glas, zu gewährleisten, werden zusätzlich Haftvermittlerschichten eingesetzt. Diese Haftvermittlerschichten bestehen meistens aus Chrom oder sind chrombasierte Schichten.
- Betriebstemperaturen zwischen 300 und 600° C, die insbesondere bei konzentrierenden solarthermischen Systemen auftreten, bedingen Diffusionsprozesse innerhalb des Absorberschichtsystems und durch das Absorberschichtsystem. Diese Diffusionsprozesse wirken sich negativ auf die Leistung des Gesamtsystems aus.
- Hierbei sind folgende Effekte zu unterscheiden: Die Diffusion von Elementen aus dem Substrat in die Absorberbeschichtung, die eine Veränderung der Schichteigenschaft zur Folge hat. Bei einem Stahlsubstrat diffundiert z.B. Eisen in das Schichtsystem.
- Bei Vakuumbauteilen, wie Röhrenkollektoren oder Receiverrohre für Parabolrinnen, können Diffusionsprozesse zur Zerstörung des Vakuums führen. Dadurch wird die Leistung vermindert. Gase können auch aus dem Substrat austreten oder aus dem im Rohr geführten Wärmeträger durch das Rohr und durch die Beschichtung in das Vakuum diffundieren. Als ein Diffusionsprozess ist z.B. die H2-Diffusion durch das Stahlsubstrat oder das Edelstahlsubstrat bekannt.
- Aus „Solar selective absorber coating for high service temperatures, produced by plasma sputtering" von M. Lanxner und Zvi Elgat, SPIE Vol. 1272, Optical Materials Technology for Energy Efficiency and Solar Energy Conversion IX (1990), Seite 240 ff sind Absorberrohre aus Edelstahl bekannt, die in evakuierten Glasrohren angeordnet werden. Diese Rohre, die die Solarenergie absorbieren, führen eine Wärmeträgerflüssigkeit, deren Energie in elektrischen Strom umgewandet wird. Die Absorberoberfläche besitzt eine Temperatur von 350 bis 400° C.
- Um Diffusionseffekte zwischen Substrat und Absorberbeschichtung zu verhindern, ist eine Diffusionssperrschicht aus Al2O3 vorgesehen. Bevor die Al2O3-Schicht aufgesputtert wird, wird die Metalloberfläche der Rohre poliert, so dass die mittlere Rauhigkeit <0,2 μm beträgt. Nach dem Polieren erfolgt noch ein Reinigungsprozess im Vakuum unter Wärmezuführung.
- Diffusionssperrschichten aus gesputterten Materialien haben jedoch den Nachteil, dass sie poröse Strukturen aufweisen, wodurch die Wirksamkeit gegen Diffusionen vermindert ist.
- Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, die Diffusionsdichtheit und die Hafteigenschaften von Substratoberflächen aus Stahl oder Edelstahl, auf die strahlungsselektive Absorberbeschichtungen aufgebracht werden, zu verbessern.
- Diese Aufgabe wird mit einem Absorber gelöst, der dadurch gekennzeichnet ist, dass die Diffusionssperrschicht eine Oxidschicht ist, die aus oxidierten Komponenten des Metallsubstrates besteht.
- Die Oxidschicht bildet eine diffusionsdichte Barriereschicht zwischen der Absorberbeschichtung und dem Substrat. Sie verhindert oder vermindert Transport- und Diffusionsprozesse aus dem Substrat sowie eine Gasdiffusion durch das Substrat in die strahlungsselektive Absorberbeschichtung. Eine derartige Oxidschicht hat auch den Vorteil, dass ein guter Haftgrund für die nachfolgend aufzutragende Absorberbeschichtung gebildet wird.
- Vorzugsweise besteht das Metallsubstrat aus Stahl oder Edelstahl und die Oxide sind Eisenoxide und/oder Chromoxide.
- Die Oxidschicht weist vorzugsweise eine Dicke zwischen 50 und 200 nm, insbesondere zwischen 50 und 100 nm auf.
- Ein Absorberrohr für solarthermische Anwendungen aus Stahl oder Edelstahl mit einer metallischen Reflexionsschicht, einer Cermetschicht und einer Antireflexionsschicht ist dadurch gekennzeichnet, dass die Diffusionssperrschicht zwischen der Rohraußenflächen und der metallischen Reflexionsschicht eine Oxidschicht ist, die Eisenoxid und/oder Chromoxide aufweist.
- Das Verfahren zur Herstellung eines Absorbers mit einer strahlungsselektiven Beschichtung, bei dem ein Absorber aus Metall poliert wird und bei dem die Rauhigkeit auf ra<0,3 μm eingestellt wird und anschließend eine strahlungsselektive Beschichtung aufgebracht wird, ist dadurch gekennzeichnet, dass die polierte Substratoberfläche zur Herstellung einer Diffusionssperrschicht an Luft in einem Ofen bei einer Temperatur von 400 bis 600° C 0,5 bis 2 Stunden getempert wird. Durch diesen Temperprozess wird auf der Oberfläche eine Oxidschicht gebildet, die durch eine braune bis blaue Anlauffarbe visuell erkennbar ist.
- Der Oxidationsprozess im Ofen kommt nach Erreichen einer bestimmten Schichtdicke zum Stillstand. Es hat sich gezeigt, dass die Schichtdicke von der Oberflächenrauhigkeit abhängt. Bei größeren Oberflächenrauhigkeiten entstehen dickere Oxidschichten.
- Vorzugsweise wird das Substrat mechanisch oder elektrisch poliert. Unter elektrischem Polieren wird ein umgekehrter galvanischer Vorgang verstanden.
- Ausführungsbeispiel:
- Eine polierte Edelstahloberfläche (Werkstoff 1.4404) wird für eine Stunde an Luft in einem Umluftofen getempert. Die Ofentemperatur liegt bei 450° C bis 550° C. Niedrige Temperaturen verlängern den Temperprozess. Der Werkstoff ist zuvor poliert worden, so dass die Oberflächenrauhigkeit ra<0,3 μm beträgt. Durch den Temperprozess bildet sich eine 50 nm bis 100 nm dicke diffusionsdichte Oxidschicht aus. Der Oxidationsprozess kommt nach Erreichen der genannten Schichtdicke zum Stillstand.
- Nach Beendigung des Temperprozesses wird auf das Substrat im Vakuum ein strahlungsselektives Absorberschichtsystem aufgebracht.
Claims (8)
- Absorber mit einer strahlungsselektiven Absorberbeschichtung, mit einem Metallsubstrat, einer Diffusionssperrschicht, einer metallischen Reflexionsschicht, einer Cermetschicht und einer Antireflexionsschicht, dadurch gekennzeichnet, dass die Diffusionssperrschicht eine Oxidschicht ist, die aus oxidierten Komponenten des Metallsubstrates besteht.
- Absorber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Metallsubstrat aus Stahl oder Edelstahl besteht und dass die Oxide Eisenoxide und/oder Chromoxide sind.
- Absorber nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Oxidschicht eine Dicke zwischen 50 und 200 nm aufweist.
- Absorber nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Oxidschicht eine Dicke zwischen 50 und 100 nm aufweist.
- Absorberrohr für solarthermische Anwendungen aus Stahl oder Edelstahl mit einer Diffusionssperrschicht, einer metallischen Reflexionsschicht, einer Cermetschicht und einer Antireflexionsschicht, dadurch gekennzeichnet, dass die Diffusionssperrschicht eine Oxidschicht ist, die Eisenoxide und/oder Chromoxide aufweist.
- Verfahren zur Herstellung eines Absorbers mit einer strahlungsselektiven Absorberbeschichtung, bei dem ein Absorber aus Metall poliert wird und die Rauhigkeit auf ra<0,3 μm eingestellt wird, und bei dem eine Diffusionssperrschicht, eine metallische Reflexionsschicht, eine Cermetschicht und eine Antireflexionsschicht aufgebracht wird, dadurch gekennzeichnet, dass das polierte Substrat zur Herstellung einer Diffusionssperrschicht an Luft in einem Ofen bei einer Temperatur von 400 bis 600° C 0,5 bis 2 Stunden getempert wird.
- Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat mechanisch oder elektrisch poliert wird.
- Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat bei 450 bis 550° C über eine Zeitdauer von 0,5 bis 1 Stunde getempert wird.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004010689A DE102004010689B3 (de) | 2004-02-27 | 2004-02-27 | Absorber mit einer strahlungsselektiven Absorberbeschichtung und Verfahren zu seiner Herstellung |
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IL167080A IL167080A (en) | 2004-02-27 | 2005-02-24 | Radiation-selective absorber coating with an adherent oxide layer and method of making same |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004010689A DE102004010689B3 (de) | 2004-02-27 | 2004-02-27 | Absorber mit einer strahlungsselektiven Absorberbeschichtung und Verfahren zu seiner Herstellung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102004010689B3 true DE102004010689B3 (de) | 2005-06-30 |
Family
ID=34625830
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102004010689A Expired - Fee Related DE102004010689B3 (de) | 2004-02-27 | 2004-02-27 | Absorber mit einer strahlungsselektiven Absorberbeschichtung und Verfahren zu seiner Herstellung |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7793653B2 (de) |
CN (1) | CN1670446B (de) |
DE (1) | DE102004010689B3 (de) |
ES (1) | ES2289854A1 (de) |
IL (1) | IL167080A (de) |
IT (1) | ITTO20050096A1 (de) |
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8364 | No opposition during term of opposition | ||
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