DE102004005447A1 - Piezoaktor - Google Patents
Piezoaktor Download PDFInfo
- Publication number
- DE102004005447A1 DE102004005447A1 DE102004005447A DE102004005447A DE102004005447A1 DE 102004005447 A1 DE102004005447 A1 DE 102004005447A1 DE 102004005447 A DE102004005447 A DE 102004005447A DE 102004005447 A DE102004005447 A DE 102004005447A DE 102004005447 A1 DE102004005447 A1 DE 102004005447A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- piezoelectric actuator
- connection elements
- piezoelectric
- internal electrodes
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 claims description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 2
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 claims description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims 1
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/875—Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02M—SUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
- F02M2200/00—Details of fuel-injection apparatus, not otherwise provided for
- F02M2200/21—Fuel-injection apparatus with piezoelectric or magnetostrictive elements
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
Abstract
Es wird ein Piezoaktor, beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils, vorgeschlagen, mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen mit in Wirkrichtung (4) dazwischen angeordneten Innenelektroden (2, 3), die alternierend mit einer positiven und einer negativen elektrischen Ladung beaufschlagbar sind. Aufgrund eines jeweils unterschiedlichen Elektrodendesings der Innenelektroden (2, 3) ist eine wechselseitige Kontaktierung der Innenelektroden (2, 3) jeweils nach außen führbar. Die wechselseitige Kontaktierung der Innenelektroden (2, 3) erfolgt jeweils über Kontaktelemente (5, 6) in einer inneren Ausnehmung des Piezoaktors (1) senkrecht zum Lagenaufbau zu einem Anschlusselement (7, 8) und die Anschlusselemente (7, 8) liegen in einem mit einem Dichtsitz versehenen separaten Aktorfuß (13) aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff, wobei die Kontaktelemente (7, 8) jeweils eingebettet in einschmelzbares Material in einer Ausnehmung (10, 11) des Aktorfußes (9) liegen und an der dem Piezoaktor (1) zugewandten Seite (14) dicht anliegend mit den Kontaktelementen (5, 6) kontaktiert sind.
Description
- Stand der Technik
- Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor, beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils wie ein Ventil oder dergleichen, nach den gattungsgemäßen Merkmalen des Hauptanspruchs.
- Es ist beispielsweise aus der
DE 199 28 189 A1 bekannt, dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts ein Piezoelement zur Steuerung des Nadelhubes eines Ventils oder dergleichen aus einem Material mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut werden kann. Bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung erfolgt eine mechanische Reaktion des Piezoelements, die in Abhängigkeit von der Kristallstruktur und der Anlagebereiche der elektrischen Spannung einen Druck oder Zug in eine vorgebbare Richtung darstellt. - Der Aufbau eines solchen Piezoaktors erfolgt beim Stand der Technik in mehreren Schichten als sogenannter Multilayer-Aktor, wobei Innenelektroden, über die die elektrische Spannung aufgebracht wird, jeweils in Wirkrichtung zwischen den Schichten angeordnet werden und mittels Kontaktflächen, die außen an der Oberfläche liegen, in un terschiedlichen Anordnungen kontaktiert werden. Wegen möglicher Risse der Piezokeramik im Kontaktierungsbereich werden hier auch überbrückende Leiter eingesetzt, wie zum Beispiel Wellelektroden oder Siebe, Doppelsiebe oder Netze, die gut haften und die Dehnung während des Arbeitshubes des Piezoaktors mitmachen müssen.
- Wenn beispielsweise Piezoaktoren, die als Injektoren in Kraftfahrzeug-Einspritzsystemen eingesetzt werden, einen innenliegenden Anschluss benötigen, werden häufig Fußteile aus Stahl mit entsprechender isolierter Leitungsführung verwendet, wobei die Dichtung des Systems besonders schwierig ist. Die Leitungsführung von der Piezoaktoraußenfläche nach innen zur Zentralbohrung benötigt verhältnismäßig viel Bauhöhe und ist bei höheren Drücken weniger geeignet.
- Problematisch ist hier insbesondere die Dichtung des gesamten Piezoaktor-Systems, da die Piezoaktormodule in der Regel zwei Dichtungen benötigen, einerseits zur Abdichtung des Piezoaktors gegen das umgebende Medium und andererseits soll das Piezoaktormodul ein Dichtelement gegen den Austritt des Mediums aus einem Aggregat ins Freie darstellen. Daher ist eine äußere Leitungsführung nicht sinnvoll und es sollte eine Leiterführung auf engstem Raum im Aktorfuß integriert werden.
- Vorteile der Erfindung
- Der eingangs beschriebene Piezoaktor, der beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils verwendbar sein kann, weist einen Mehrschichtaufbau von Piezolagen mit in Wirkrichtung dazwischen angeordneten Innenelektroden auf, die alternierend mit einer positiven und einer negativen elektrischen Ladung beaufschlagbar sind. Es ist weiterhin eine aufgrund eines jeweils unterschiedlichen Elektrodendesigns der Innenelektroden wechselseitige Kontaktierung der Innenelektroden nach außen führbar. In vorteilhafter Weise erfolgt erfindungsgemäß die wechselseitige Kontaktierung der Innenelektroden jeweils über Kontaktelemente in einer inneren Ausnehmung des Piezoaktors senkrecht zum Lagenaufbau zu einem Anschlusselement und die Anschlusselemente liegen in einem mit einem Dichtsitz versehenen separaten Aktorfuß aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff, wobei die Kontaktelemente jeweils eingebettet in einschmelzbares Material in einer Ausnehmung des Aktorfußes liegen und an der dem Piezoaktor zugewandten Seite dicht anliegend mit den Kontaktelementen kontaktiert sind.
- Nach der Erfindung wird in vorteilhafter Weise vorgesehen, dass der Aktorfuß als ein Dichtelement aus einem isolierenden, steifen und kraftstofffesten Werkstoff mit integrierten Durchführungen für die Anschlusselemente vorgesehen wird, beispielsweise aus Keramik, bzw. Aluminiumoxyd, Zirkonoxyd etc.. Der Aktorfuß kann darüber hinaus an der äußeren mit den herausstehenden Anschlusselementen versehenen Seite einen abgerundeten oder kegelförmig abgestumpften Dichtsitz, gegebenenfalls mit einem zusätzlichen Absatz, aufweisen.
- Wesentlich ist bei der Erfindung, dass eine dicht verschlossene Bohrung für die durchzuleitenden Anschlusselemente geschaffen wird, auf die einerseits mit Druckkontakten ein Verbraucher, hier der Piezoaktor mit seinen innenliegenden Kontaktelementen, aufgesetzt oder über Schmelzkontakten verbunden werden kann, und andererseits auch Drähte angeschlossen werden können.
- Als Material für die Einbettung der Anschlusselemente wird vorzugsweise ein leitender Werkstoff verwendet, wie es von der Leiterplattentechnik her als Durchkontaktie rungen bereits bekannt ist. Alternativ können die Anschlusselemente in das Material für die Einbettung eingegossen werden oder nachträglich in das Material für die Einbettung eingebracht werden, wie zum Beispiel durch Stecken, Löten oder Kleben.
- Bei einer anderen Ausführungsform ist das Material für die Einbettung der Kontaktelemente eine Glasschmelze und die Anschlusselemente sind bis an die Dichtfläche zwischen dem Aktorfuß und dem Piezoaktor geführt.
- Vorteilhaft ist es außerdem, wenn die Ausnehmungen für die eingebetteten Anschlusselemente korrespondierend mit diesen eine kegelförmige Erweiterung in Richtung der Dichtfläche zum Piezoaktor aufweisen, um an der Dichtfläche auftretende Drücke besser abzuleiten. Auf einfache Weise können hier für die Bearbeitung der Oberfläche zum Aufstellen eines Piezoaktors ebene und geschlossene Flächen hergestellt werden und die Dichtfläche am Aktorfuß zum Piezoaktor ist auch über eine zusätzliche eingebrannte oder eingesinterte Schicht herstellbar.
- Zeichnung
- Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen Piezoaktors werden anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:
-
1 einen Längsschnitt durch einen Piezoaktor mit jeweils einem innenliegenden Kontaktelement für die Innenelektroden und einem dichtenden Aktorfuß mit eingebetteten Anschlusselementen, -
2 eine Detailansicht des Aktorfußes mit eingebetteten Anschlusselementen, die eine kegelförmige Erweiterung im Bereich der Anlage an den Piezoaktor aufweisen, -
3 eine Detailansicht des Aktorfußes mit eingebetteten Anschlusselementen, der in Abwandlung zur -
2 eine Kontakthülse mit nachträglich einbringbaren Anschlusselementen aufweist, -
4 eine Detailansicht des Aktorfußes mit einem abgerundeten Dichtsitz, -
5 eine Detailansicht des Aktorfußes mit einem kegelförmig abgeschrägten Dichtsitz und -
6 eine Detailansicht des Aktorfußes mit einem zusätzlichen Absatz am abgeschrägten Dichtsitz. - Beschreibung des Ausführungsbeispiels
- In
1 ist ein als sogenannter Multilayer aufgebauter Piezoaktor1 gezeigt, der in an sich aus dem eingangs genannten Stand der Technik bekannter Weise aus Piezofolien eines Quarzmaterials mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut ist, so dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung an hier nur beispielhaft mit Bezugszeichen versehene Innenelektroden2 und3 eine mechanische Reaktion des Piezoaktors1 in Wirkrichtung4 erfolgt. - Die wechselseitige Kontaktierungen der Innenelektroden
2 und3 erfolgen bei diesem Ausführungsbeispiel der Erfindung mit Kontaktelementen, beispielsweise aus Metallfaserknäulen5 und6 , die so eingebracht sind, dass sie mit den jeweiligen Innenelektroden2 oder3 kontaktieren und dabei senkrecht zum Lagenaufbau jeweils zu einem Anschlusselement7 oder8 für die äußere Kontaktierung geführt sind. - Die Anschlusselemente
7 und8 liegen in einem Aktorfuß9 , der hier als ein Dichtelement zu einem nicht dargestellten Aggregat, in das der Piezoaktor1 mit einem Deckel18 eingefügt werden soll, wirkt und dazu aus einem isolierenden, steifen und kraftstofffesten Werkstoff, bei spielsweise aus Keramik, bzw. Aluminiumoxyd, Zirkonoxyd etc., mit integrierten Ausnehmungen10 ,11 zur Durchführungen der Anschlusselemente7 ,8 hergestellt ist. Als Material für die Einbettung12 der Anschlusselemente7 ,8 wird vorzugsweise ein leitender Werkstoff als Durchkontaktierungen verwendet. Alternativ können die Anschlusselemente7 und8 in das Material für die Einbettung12 eingegossen werden oder wie nach3 nachträglich in das Material für die Einbettung12 eingebracht werden, wie zum Beispiel durch Stecken, Löten oder Kleben. Hierzu müssen dann in der Einbettung12 geeignete Löcher für die Anschlusselemente7 und8 vorgesehen werden. Aus der1 ist als Ausnehmung10 und11 eine zylindrische Bohrung mit einem eingelegten Draht als Anschlusselemente7 und8 zu entnehmen, wobei eine Dichtfläche14 an der Oberfläche entsprechend nachgearbeitet ist. - Die Ausnehmungen
10 ,11 für die eingebetteten Anschlusselemente7 und8 sind nach den2 und3 korrespondierend mit den Anschlusselementen7 und8 mit einer kegelförmigen Erweiterung13 in Richtung der Dichtfläche 14 zum Piezoaktor1 versehen. - Der Aktorfuß
9 kann darüber hinaus nach4 an der äußeren mit den herausstehenden Anschlusselementen7 und8 versehenen Seite einen abgerundeten Dichtsitz15 aufweisen. Aus5 ist ein anderes Ausführungsbeispiel mit einem kegelförmig abgeschrägten Dichtsitz16 zu entnehmen. Das Ausführungsbeispiel nach6 zeigt einen ebenfalls abgeschrägten Dichtsitz16a mit einem zusätzlichen Absatz17 .
Claims (9)
- Piezoaktor, mit – einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen mit in Wirkrichtung dazwischen angeordneten Innenelektroden (
2 ,3 ), die alternierend mit einer positiven und einer negativen elektrischen Ladung beaufschlagbar sind, und mit – einer aufgrund eines jeweils unterschiedlichen Elektrodendesigns der Innenelektroden (2 ,3 ) wechselseitigen Kontaktierung der Innenelektroden (2 ,3 ), die jeweils nach außen führbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass – die wechselseitige Kontaktierung der Innenelektroden (2 ,3 ) jeweils über Kontaktelemente (5 ,6 ) in einer inneren Ausnehmung des Piezoaktors (1 ) senkrecht zum Lagenaufbau zu einem Anschlusselement (7 ,8 ) erfolgt und dass – die Anschlusselemente (7 ,8 ) in einem mit einem Dichtsitz versehenen separaten Aktorfuß (13 ) aus einem elektrisch isolierenden Werkstoff liegen, wobei die Anschlusselemente (7 ,8 ) jeweils eingebettet in einschmelzbares Material in einer Ausnehmung (10 ,11 ) des Aktorfußes (9 ) liegen und an der dem Piezoaktor (1 ) zugewandten Seite (14 ) dicht anliegend mit den Kontaktelementen (5 ,6 ) kontaktiert sind. - Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass – das Material für die Einbettung (
12 ) der Anschlusselemente (7 ,8 ) ein leitender Werkstoff ist. - Piezoaktor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass – die Anschlusselemente (
7 ,8 ) in das Material für die Einbettung (12 ) eingegossen sind. - Piezoaktor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass – die Anschlusselemente (
7 ,8 ) nachträglich in das Material für die Einbettung (12 ) eingebracht sind. - Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass – das Material für die Einbettung (
12 ) der Kontaktelemente (7 ,8 ) eine Glasschmelze ist und die Anschlusselemente (7 ,8 ) bis an die Dichtfläche (14 ) zwischen dem Aktorfuß (9 ) und dem Piezoaktor (1 ) geführt sind. - Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – die Ausnehmungen (
10 ,11 ) für die eingebetteten Anschlusselemente (7 ,8 ) korrespondierend mit diesen eine kegelförmige Erweiterung (13 ) in Richtung der Dichtfläche (14 ) zum Piezoaktor (1 ) aufweisen. - Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – die Dichtfläche (
14 ) am Aktorfuß (9 ) zum Piezoaktor (1 ) über eine zusätzliche eingebrannte oder eingesinterte Schicht herstellbar ist. - Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – der Aktorfuß (
9 ) an der äußeren mit den herausstehenden Anschlusselementen (7 ,8 ) versehenen Seite einen abgerundeten oder kegelförmig abgestumpften Dichtsitz (15 ;16a ), gegebenenfalls mit einem zusätzlichen Absatz (17 ), aufweist. - Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – die Kontaktelemente (
5 ,6 ) aus einem Geflecht, Gewebe oder beliebigen Knäuel von leitenden Fasern gebildet sind, die jeweils in einer inneren Ausnehmung des Piezoaktors (1 ) mit den jeweiligen Innenelektroden (2 ,3 ) und nach dem Anfügen des Aktorfußes (9 ) mit den jeweiligen Anschlusselementen (7 ,8 ) und/oder deren Einbettung (12 ) kontaktiert sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004005447A DE102004005447A1 (de) | 2004-02-04 | 2004-02-04 | Piezoaktor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004005447A DE102004005447A1 (de) | 2004-02-04 | 2004-02-04 | Piezoaktor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102004005447A1 true DE102004005447A1 (de) | 2005-08-25 |
Family
ID=34801550
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102004005447A Withdrawn DE102004005447A1 (de) | 2004-02-04 | 2004-02-04 | Piezoaktor |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102004005447A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007033859A1 (de) * | 2005-09-20 | 2007-03-29 | Robert Bosch Gmbh | Anordnung mit einem piezoaktor |
DE102006018916A1 (de) * | 2006-04-24 | 2007-10-25 | Siemens Ag | Metallischer Körper |
CN112292766A (zh) * | 2018-06-04 | 2021-01-29 | 雷莱昂等离子有限责任公司 | 具有电陶瓷部件的装置 |
-
2004
- 2004-02-04 DE DE102004005447A patent/DE102004005447A1/de not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007033859A1 (de) * | 2005-09-20 | 2007-03-29 | Robert Bosch Gmbh | Anordnung mit einem piezoaktor |
DE102006018916A1 (de) * | 2006-04-24 | 2007-10-25 | Siemens Ag | Metallischer Körper |
CN112292766A (zh) * | 2018-06-04 | 2021-01-29 | 雷莱昂等离子有限责任公司 | 具有电陶瓷部件的装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1636859B1 (de) | Piezoelektrisches bauteil mit sollbruchstelle, verfahren zum herstellen des bauteils und verwendung des bauteils | |
DE102004031404B4 (de) | Piezoelektrisches Bauteil mit Sollbruchstelle und elektrischem Anschlusselement, Verfahren zum Herstellen des Bauteils und Verwendung des Bauteils | |
WO2001091199A1 (de) | Piezoaktor | |
EP1920476B1 (de) | Anordnung mit einem piezoaktor | |
EP1842246A1 (de) | Piezoelektrisches bauelement | |
WO2005015651A1 (de) | Piezoaktor | |
DE19909452C1 (de) | Piezoelektrischer Aktor | |
EP1579514B1 (de) | Piezoaktor und ein verfahren zu dessen herstellung | |
DE102012207276B4 (de) | Vollaktiver Piezostack mit Passivierung | |
EP2319102B1 (de) | Piezoaktor mit sollbruchschicht | |
DE10259949A1 (de) | Piezoaktor | |
EP1275160B1 (de) | Piezoelektrischer vielschichtaktor | |
DE102004005447A1 (de) | Piezoaktor | |
DE102005040122A1 (de) | Piezoaktor mit innenliegender Kontaktierung | |
DE10112588C1 (de) | Piezoaktor sowie Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktors | |
DE102004004737A1 (de) | Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
EP1929620A1 (de) | Anordnung mit einem piezoaktor und ein verfahren zu dessen herstellung | |
DE102005040198A1 (de) | Anordnung mit einem Piezoaktor | |
DE102005050340A1 (de) | Piezoaktor und Verfahren zur Herstellung desselben | |
DE102020113700B4 (de) | Piezoelektrisches Funktionsnetzwerk | |
DE102004043525B4 (de) | Piezoaktor und Verwendung des Piezoaktors | |
DE10237588A1 (de) | Piezoaktor | |
DE102004028884A1 (de) | Piezoaktor | |
DE102005039567A1 (de) | Anordnung mit einem Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE102004002087A1 (de) | Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |