DE10133816A1 - Filter arrangement for filtering used air during laser processing of workpieces, especially circuit boards, has mechanical pre-separation device, pre-filtering and fine filtering devices - Google Patents

Filter arrangement for filtering used air during laser processing of workpieces, especially circuit boards, has mechanical pre-separation device, pre-filtering and fine filtering devices

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Abstract

The filter arrangement has used air channel with an inlet opening for the used air (14), a suction fan for producing a used air flow, whereby the air is transported through a filter device by the fan, a mechanical pre-separation device (16) and pre-filtering and fine filtering devices (18,24,26) arranged after the pre-separation device.

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Filterung von Abluft bei der Laserbearbeitung von Werkstücken, insbesondere von Leiterplatten, mit einem eine Eintrittsöffnung für die Abluft aufweisenden Abluftkanal sowie einem einen Abluftstrom erzeugenden Absaugventilator, wobei die Abluft mittels des Absaugventilators durch mindestens eine im Abluftstrom angeordnete Filtereinrichtung förderbar ist. The invention relates to an arrangement for filtering exhaust air in the Laser processing of workpieces, especially circuit boards, with one an inlet opening for the exhaust air duct and an an exhaust air generating exhaust fan, the exhaust air by means of of the exhaust fan by at least one arranged in the exhaust air flow Filter device is eligible.

Moderene Bearbeitungsverfahren und/oder moderne Werkstoffe, speziell Verbundwerkstoffe, führen zu der Bildung von feinen, teilweise gesundheitsschädlichen Stäuben, die von herkömmlichen Filteranlagen nur unzureichend aus der Abluft entfernt werden können. Insbesondere bei der Laserbearbeitung von Werkstücken werden sehr feine Stäube erzeugt. Die Partikelgröße kann dabei weniger als ein Mikrometer bis hin zur mittels Partikelmeßgeräten nachweisbaren Grenze von etwa 0,1 Mikrometer betragen. Bei der Leiterplattenbearbeitung in den Laserbearbeitungszentren entsteht neben diesen sehr feinen Staubpartikeln, die abhängig von der bearbeiteten Materialkombination zudem hoch giftig sein können, durch den Wärmeeintrag des Laserstrahls verdampftes, also zunächst gasförmiges, Leiterplattenmaterial, das mit fortschreitender Abkühlung in einen klebrigen und festeren Zustand übergeht. Bei bekannten Filtergeräten, wie sie üblicherweise auch bei der Lötrauchabsaugung eingesetzt werden, werden die Staubpartikel und Dämpfe abgesaugt und gefiltert. Die bekannten Geräte weisen dabei eine Vorfiltermatte zur Grobabscheidung mit einer Filterfläche von etwa 0,1 m2 sowie eine Feinfilterstufe mit etwa 4 m2 Filterfläche für die Stäube auf. Teilweise ist der Feinfilterstufe noch eine Aktivfilterkohlestufe zur Abscheidung von Gerüchen nachgeordnet. Ein Nachteil dieser Filtergeräte besteht darin, daß die in der abgesaugten Luft vorhandenen klebrigen Bestandteile den Vorfilter innerhalb vergleichsweise kurzer Zeit verkleben. Hierdurch wird ein täglicher Wechsel der Filtereinsätze erforderlich. Auf Grund der toxischen Belastung und der kleinen, lungengängigen Partikelgröße von weniger als 3 Mikrometer ist bei dem Wechsel der Filtereinsätze das Tragen von Schutzkleidung und Atemschutz erforderlich. Eine Kontamination der Umgebung der Maschine und des Filters ist durch den offenen Umgang mit den Filterelementen nicht auszuschließen. Modern processing methods and / or modern materials, especially composite materials, lead to the formation of fine, sometimes harmful dusts, which conventional filter systems cannot remove adequately from the exhaust air. Very fine dusts are generated, particularly when laser machining workpieces. The particle size can be less than one micrometer up to the limit of approximately 0.1 micrometer detectable by means of particle measuring devices. When processing printed circuit boards in the laser processing centers, in addition to these very fine dust particles, which, depending on the material combination being processed, can also be highly toxic, the heat input from the laser beam vaporizes, i.e. initially gaseous, printed circuit board material that changes into a sticky and firmer state as it cools down. In known filter devices, such as are usually used in solder fume extraction, the dust particles and vapors are extracted and filtered. The known devices have a pre-filter mat for coarse separation with a filter area of about 0.1 m 2 and a fine filter stage with about 4 m 2 filter area for the dust. In some cases the fine filter stage is followed by an active filter carbon stage for the separation of odors. A disadvantage of these filter devices is that the sticky components present in the extracted air stick the prefilter within a comparatively short time. This means that the filter inserts have to be changed daily. Due to the toxic load and the small, respirable particle size of less than 3 micrometers, protective clothing and respiratory protection must be worn when changing the filter inserts. Contamination of the surroundings of the machine and the filter cannot be ruled out due to the open handling of the filter elements.

Ausgehend hiervon besteht die Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, eine Anordnung zur Filterung von Abluft bei der Laserbearbeitung von Werkstücken bereit zu stellen, die eine hohe Filterstandzeit in der Größenordnung eines Jahres gewährleistet und dabei die entstehenden feinen Stäube sowie die klebrigen Dämpfe und gegebenenfalls Gerüche zuverlässig abscheidet. Darüber hinaus soll der Wechsel der Filterelemente für Personen und Umgebung kontaminationsfrei möglichst sein. Proceeding from this, the object of the present invention is an arrangement for filtering exhaust air in the laser processing of To provide workpieces that have a long filter life of the order of magnitude guaranteed one year and the resulting fine dusts as well reliably removes the sticky vapors and possibly odors. In addition, the change of filter elements for people and Environment should be contamination-free if possible.

Zur Lösung dieser Aufgabe wird die in Patentanspruch 1 angegebene Merkmalskombination vorgeschlagen. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen. To solve this problem, that specified in claim 1 Characteristic combination proposed. Advantageous configurations and Further developments of the invention result from the dependent Claims.

Die Erfindung geht vor allem von dem Gedanken aus, daß eine gute und zuverlässige Filterwirkung bei langen Wartungsintervallen dann erreicht werden kann, wenn mehrere Filterstufen mit einer mechanischen Vorabscheideeinrichtung vorgesehen sind. Gemäß der Erfindung wird daher vorgeschlagen, daß die Anordnung eine mechanische Vorabscheideeinrichtung und dieser nachgeordnete Vorfilter- und Feinfiltereinrichtungen aufweist. Die mechanische Vorabscheideeinrichtung ist dabei bevorzugt durch eine Anzahl von im Abluftstrom angeordnete Prallbleche gebildet. The invention is based primarily on the idea that a good and reliable filter effect is then achieved with long maintenance intervals can be used if several filter stages with a mechanical Pre-separator are provided. Therefore, according to the invention proposed that the arrangement a mechanical pre-separator and this has subordinate pre-filter and fine filter devices. The mechanical pre-separator is preferred by a number formed by baffles arranged in the exhaust air flow.

Die Vorfiltereinrichtung weist in bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung einen Rollbandfilter auf, der in Abhängigkeit von der anfallenden Abluftmenge und den in dieser enthaltenen Partikeln laufend oder getaktet unverbrauchtes Filtermaterial von einer Vorratsrolle zur Verfügung stellt. Der Rollbandfilter ist insbesondere zur Abscheidung der in der Abluft enthaltenen klebrigen Partikel bestimmt. Grundsätzlich sind Rollbandfilter zwar bekannt, wurden bisher jedoch ausschließlich als groß dimensionierte Grobfilter für hohe Volumenströme in der Lüftungstechnik eingesetzt. Die spezifische Filterflächenbelastung, d. h. der Volumenstrom pro angeströmter Flächeneinheit, ist dabei mit mehr als 3 m/s sehr hoch. Bei der erfindungsgemäßen Anlage sind die Volumenströme hingegen vergleichsweise geringer, so daß trotz kompakter Bauweise hinreichend Filtermaterial bevorratet werden kann, um eine sehr lange Standzeit des Rollbandfilters in der Größenordnung von einem Jahr zu gewährleisten. In a preferred embodiment of the invention, the pre-filter device has a roll band filter, which depends on the accumulating Exhaust air volume and the particles contained in it continuously or clocked provides unused filter material from a supply roll. The Roll belt filter is especially for separating the contained in the exhaust air determined sticky particles. Basically, belt filters are known, So far, however, they have only been used as large coarse filters for high volume flows used in ventilation technology. The specific Filter surface loading, d. H. the volume flow per inflow Area unit, is very high with more than 3 m / s. In the case of the invention However, the volume flows are comparatively lower, so that despite the compact design, sufficient filter material can be stored, by a very long service life of the roller belt filter in the order of to guarantee one year.

In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung bilden die mechanische Vorabscheideeinrichtung und die Vorfiltereinrichtung eine bauliche Einheit mit einem gemeinsamen Vorfiltergehäuse. In besonders bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung ist der Rollbandfilter in einem staubdichten und/oder bei Herausnahme aus dem Vorfiltergehäuse selbst verschließenden Kassettengehäuse angeordnet. Hierdurch ist es möglich, den Rollbandfilter nach Verbrauch des gesamten Filtermaterials ohne besondere Schutzmaßnahmen aus dem Vorfiltergehäuse zu entfernen und durch einen neuen Filtereinsatz zu ersetzen. Dabei ist es von Vorteil, wenn sowohl das Filtermaterial als auch das Kassettengehäuse aus einem voll veraschbaren Material bestehen. Gemäß einer besonders bevorzugten Weiterbildung der Erfindung sind die Prallbleche in das Kassettengehäuse des Rollbandfilters integriert, so daß die gesamte Vorfilterstufe als Einheit austauschbar ist. Dadurch ist ein gefahrloser Austausch der Vorfilterstufe ohne besondere Vorsichtsmaßnahmen durch das Bedienungspersonal möglich. Ein besonderer Vorteil der Verwendung des Rollbandfilters als Vorstufe zu der Feinfiltereinheit besteht darin, daß die klebrigen Bestandteile im Abluftstrom von letzterer ferngehalten werden und damit deren Standzeit wesentlich verlängert wird. In a further advantageous embodiment of the invention, the mechanical Pre-separation device and the pre-filter device a structural unit with a common prefilter housing. Particularly preferred Embodiment of the invention is the roll band filter in a dustproof and / or self-closing when removed from the pre-filter housing Cassette housing arranged. This makes it possible to move the roll band filter Consumption of all filter material without any special Remove protective measures from the prefilter housing and use a new one Replace filter insert. It is advantageous if both Filter material as well as the cassette housing made of a fully incinerable material consist. According to a particularly preferred development of the invention the baffle plates are integrated in the cassette housing of the roll band filter, so that the entire pre-filter stage is interchangeable as a unit. This is a safe exchange of the pre-filter stage without any special Precautionary measures possible by the operating personnel. A particular advantage of Use of the roll belt filter as a preliminary stage to the fine filter unit in that the sticky components in the exhaust air stream from the latter are kept away and thus their service life is significantly extended.

Der Vorfiltereinheit ist eine Feinfiltereinheit nachgeordnet, die bevorzugt einen HEPA-Filter (High Efficiency Particulate Arresting Filter) aufweist. Dieser HEPA-Feinfilterstufe kann in weiterer Ausgestaltung der Erfindung ein Aktivkohlefilter zur Abscheidung von Gerüchen nachgeordnet sein, bevor die gefilterte Abluft ins Freie austritt. Vorzugsweise sind die Feinfilterelemente in einem gemeinsamen Feinfiltergehäuse angeordnet, wobei es von besonderem Vorteil ist, wenn das HEPA-Filterelement und/oder der Aktivkohlefilter ähnlich wie der Rollbandfilter in staubdichten und/oder bei der Herausnahme aus dem Feinfiltergehäuse selbst verschließenden Kassettengehäusen angeordnet sind. Von besonderem Vorteil ist es, wenn das HEPA-Filterelement und der Aktivkohlefilter in einem gemeinsamen Kassettengehäuse angeordnet sind. The prefilter unit is followed by a fine filter unit, which is preferred has a HEPA filter (High Efficiency Particulate Arresting Filter). This HEPA fine filter stage can be in a further embodiment of the invention Activated carbon filter to separate odors before the filtered exhaust air exits outdoors. The fine filter elements are preferably in arranged a common fine filter housing, it from It is particularly advantageous if the HEPA filter element and / or the activated carbon filter similar to the roll band filter in dustproof and / or when removing from the self-sealing cassette housings are arranged. It is particularly advantageous if the HEPA filter element and the activated carbon filter in a common cassette housing are arranged.

Weiterhin ist es von Vorteil, wenn der Abluftstrom zwischen der Vorfiltereinrichtung und der Feinfiltereinrichtung eine Umlenkstrecke mit einem Umlenkwinkel von mindestens 90° durchströmt, wobei diese Umlenkstrecke auch in das Feinfiltergehäuse integriert sein kann. Zusätzlich kann im Bereich der Umlenkstrecke oder an deren Ende vor Eintritt des Abluftstroms in das HEPA-Filterelement eine Querschnittserweiterung des Strömungskanals vorgesehen sein, die zu einer Reduzierung der Strömungsgeschwindigkeit des Abluftstroms führt. Mit diesen Maßnahmen wird eine zusätzliche gravimetrische Abscheidung von Partikeln erreicht. Der HEPA-Filter und der Aktivkohlefilter sowie deren Kassettengehäuse sind bevorzugt voll veraschbar, so daß verbrauchte Filtereinheiten in einer Verbrennungsanlage rückstandsfrei entsorgt werden können. It is also advantageous if the exhaust air flow between the Pre-filter device and the fine filter device with a deflection Flows through a deflection angle of at least 90 °, this deflection path can also be integrated in the fine filter housing. In addition, Area of the deflection section or at the end of it before the exhaust air flow enters the HEPA filter element is a cross-sectional expansion of the flow channel be provided to reduce the flow rate of the exhaust air flow. With these measures, an additional gravimetric separation of particles achieved. The HEPA filter and the Activated carbon filters and their cassette housings are preferably fully incinerable, so that used filter units in an incinerator can be disposed of without residue.

Die einzelnen Filtereinheiten können hinsichtlich ihrer Filterkapazität so dimensioniert sein, daß ihre Standzeiten aneinander angeglichen sind, so daß sämtliche Filter in bestimmten Intervallen gemeinsam ausgetauscht werden, oder sie können bei Bedarf einzeln ausgetauscht werden. Die Steuerung des Vorschubs des Rollbandsfilters sowie die Überwachung der Belastung der Feinfilter kann mit herkömmlichen Steuerungs- und Überwachungstechniken erfolgen. Es kann beispielsweise eine zeitabhängige oder in den Filterstufen Druckdifferenz abhängige Weiterschaltung des Rollbandfilters bzw. Austausch der Feinfilter erfolgen. The individual filter units can do so with regard to their filter capacity be dimensioned so that their service lives are aligned, so that all filters are exchanged together at certain intervals, or they can be replaced individually if necessary. The control of the Feeding the roll belt filter and monitoring the load on the Fine filter can be used with conventional control and monitoring techniques respectively. For example, it can be time-dependent or in the filter stages Pressure difference dependent switching of the roll band filter or The fine filters are replaced.

Im folgenden wird die Erfindung anhand eines schematisch in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher beschrieben, wobei die einzige Figur zwei im Abluftstrom angeordnete Filtergehäuse mit darin angeordneten Vor- und Feinfiltern zeigt. In the following the invention is illustrated schematically in the drawing illustrated embodiment described in more detail, the only one Figure two arranged in the exhaust air filter housing with arranged therein Pre- and fine filtering shows.

Die in Fig. 1 dargestellte Filteranordnung besteht im wesentlichen aus einem Vorfiltergehäuse 10 und einem Feinfiltergehäuse 12. Der mittels eines nicht näher dargestellten Absaugventilators von einem Laserbearbeitungszentrum abgesaugte Abluftstrom 14 tritt zunächst in das Vorfiltergehäuse 10 ein und wird dort durch eine Prallblechanordnung 16 geleitet, in der eine mechanische Vorabscheidung von Partikeln stattfindet. Die weitere Vorfiltration und insbesondere die Abscheidung der im Abluftstrom enthaltenen klebrigen Partikel erfolgt mittels eines Rollbandfilters 18, der eine Vorratsrolle 20 mit frischem Filtermaterial sowie eine Aufnahmerolle 22 für verbrauchtes Filtermaterial aufweist. Der Rollbandfilter 18 ist als Filterkassette ausgebildet und lässt sich ohne Freisetzung von toxischen Partikeln aus dem Vorfiltergehäuse entfernen. The filter arrangement shown in FIG. 1 essentially consists of a pre-filter housing 10 and a fine filter housing 12 . The exhaust air flow 14 , which is extracted from a laser processing center by means of a suction fan (not shown in detail), first enters the prefilter housing 10 and is passed there through a baffle plate arrangement 16 , in which mechanical pre-separation of particles takes place. The further pre-filtration and in particular the separation of the sticky particles contained in the exhaust air flow takes place by means of a roller belt filter 18 , which has a supply roll 20 with fresh filter material and a take-up roll 22 for used filter material. The roller belt filter 18 is designed as a filter cassette and can be removed from the prefilter housing without releasing toxic particles.

Der auf diese Weise vorgefilterte Abluftstrom 14' tritt sodann in die Feinfiltereinrichtung 12 ein, wo er zunächst eine Umlenkstrecke mit daran anschließender Querschnittserweiterung durchläuft, um eine gravimetrische Abscheidung weiterer Partikel zu erreichen. Der nachfolgende Feinfilter 24 ist als HEPA-Filter (High Efficiency Particulate Arresting Filter) ausgebildet. The exhaust air flow 14 ′, which is prefiltered in this way, then enters the fine filter device 12 , where it first runs through a deflection section with subsequent cross-sectional expansion in order to achieve gravimetric separation of further particles. The subsequent fine filter 24 is designed as a HEPA filter (High Efficiency Particulate Arresting Filter).

Dieser Filter hält Partikel bis unter die Nachweisgrenze von etwa 0,1 Mikrometer zurück. Zur Abscheidung ist dem HEPA-Filter 24 ein Aktivkohlefilter 26 nachgeordnet. Schließlich wird die auf diese Weise gereinigte Abluft 14" aus der Filteranordnung zurück in den Arbeitsraum (Umluftbetrieb) oder ins Freie geleitet. This filter retains particles below the detection limit of approximately 0.1 micrometers. For separation, the HEPA filter 24 is followed by an activated carbon filter 26 . Finally, the exhaust air 14 ″ cleaned in this way is passed back out of the filter arrangement into the work space (recirculation mode) or into the open.

Zusammenfassend ist folgendes festzustellen: Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Filterung von Abluft bei der Laserbearbeitung von Werkstücken, insbesondere von Leiterplatten, mit einem eine Eintrittsöffnung für die Abluft 14 aufweisenden Abluftkanal sowie einem einen Abluftstrom erzeugenden Absaugventilator, wobei die Abluft 14 mittels des Absaugventilators durch mindestens eine im Abluftstrom angeordnete Filtereinrichtung 10, 12 förderbar ist. Um eine hohe Filterwirkung und lange Standzeit der Filtereinheiten zu erreichen, ist gemäß der Erfindung vorgesehen, daß die Anordnung eine mechanische Vorabscheideeinrichtung 16 und dieser nachgeordnete Vorfilter- und Feinfiltereinrichtungen 18, 24, 26 aufweist. In summary, the following can be stated: The invention relates to an arrangement for filtering exhaust air during the laser processing of workpieces, in particular printed circuit boards, with an exhaust air duct having an inlet opening for the exhaust air 14 and an exhaust fan producing an exhaust air flow, the exhaust air 14 by means of the exhaust fan by at least a filter device 10 , 12 arranged in the exhaust air flow can be conveyed. In order to achieve a high filter effect and long service life of the filter units, it is provided according to the invention that the arrangement has a mechanical pre-separating device 16 and this pre-filter and fine filter devices 18 , 24 , 26 arranged downstream.

Claims (14)

1. Anordnung zur Filterung von Abluft bei der Laserbearbeitung von Werkstücken, insbesondere von Leiterplatten, mit einem eine Eintrittsöffnung für die Abluft (14) aufweisenden Abluftkanal sowie einem einen Abluftstrom erzeugenden Absaugventilator, wobei die Abluft (14) mittels des Absaugventilators durch mindestens eine im Abluftstrom angeordnete Filtereinrichtung förderbar ist, gekennzeichnet durch eine mechanische Vorabscheideeinrichtung (16) und dieser nachgeordnete Vorfilter- und Feinfiltereinrichtungen (18, 24, 26). 1. Arrangement for filtering exhaust air during the laser processing of workpieces, in particular printed circuit boards, with an exhaust air duct having an inlet opening for the exhaust air ( 14 ) and an exhaust fan producing an exhaust air flow, the exhaust air ( 14 ) by means of the exhaust fan by at least one in the exhaust air flow arranged filter device can be conveyed, characterized by a mechanical pre-separating device ( 16 ) and pre-filter and fine filter devices ( 18 , 24 , 26 ) arranged after this. 2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorabscheideeinrichtung (16) und die Vorfiltereinrichtung (18) in einem gemeinsamen Vorfiltergehäuse (10) angeordnet sind. 2. Arrangement according to claim 1, characterized in that the pre-separator ( 16 ) and the pre-filter device ( 18 ) are arranged in a common pre-filter housing ( 10 ). 3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die mechanische Vorabscheideeinrichtung (16) mindestens ein im Abluftstrom (14) angeordnetes Prallblech aufweist. 3. Arrangement according to claim 1 or 2, characterized in that the mechanical pre-separator ( 16 ) has at least one baffle arranged in the exhaust air flow ( 14 ). 4. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorfiltereinrichtung einen Rollbandfilter (18) aufweist. 4. Arrangement according to one of claims 1 to 3, characterized in that the pre-filter device has a roller belt filter ( 18 ). 5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Rollbandfilter (18) in einem staubdichten und/oder bei Herausnahme aus dem Vorfiltergehäuse (10) selbstverschließenden Kassettengehäuse angeordnet ist. 5. Arrangement according to claim 4, characterized in that the roll-up filter ( 18 ) is arranged in a dustproof and / or self-closing cassette housing when removed from the prefilter housing ( 10 ). 6. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das mindestens eine Prallblech in das Kassettengehäuse des Rollbandfilters (18) integriert ist. 6. Arrangement according to claim 5, characterized in that the at least one baffle plate is integrated in the cassette housing of the roll band filter ( 18 ). 7. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Feinfiltereinrichtung ein HEPA-Filterelement (24) aufweist. 7. Arrangement according to one of claims 1 to 6, characterized in that the fine filter device has a HEPA filter element ( 24 ). 8. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Feinfiltereinrichtung einen Aktivkohlefilter (26) aufweist. 8. Arrangement according to one of claims 1 to 7, characterized in that the fine filter device has an activated carbon filter ( 26 ). 9. Anordnung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß das HEPA-Filterelement (24) und der Aktivkohlefilter (26) in einem gemeinsamen Feinfiltergehäuse (12) angeordnet sind. 9. Arrangement according to claim 7 or 8, characterized in that the HEPA filter element ( 24 ) and the activated carbon filter ( 26 ) are arranged in a common fine filter housing ( 12 ). 10. Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das HEPA-Filterelement (24) in einem staubdichten und/oder bei Herausnahme aus dem Feinfiltergehäuse (12) selbstverschließenden Kassettengehäuse angeordnet ist. 10. The arrangement according to claim 9, characterized in that the HEPA filter element ( 24 ) is arranged in a dust-tight and / or self-closing cassette housing when removed from the fine filter housing ( 12 ). 11. Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Aktivkohlefilter (26) in einem staubdichten und/oder bei Herausnahme aus dem Feinfiltergehäuse (12) selbstverschließenden Kassettengehäuse angeordnet ist. 11. The arrangement according to claim 9, characterized in that the activated carbon filter ( 26 ) is arranged in a dustproof and / or self-closing cassette housing when removed from the fine filter housing ( 12 ). 12. Anordnung nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß das HEPA-Filterelement (24) und der Aktivkohlefilter (26) in einem gemeinsamen staubdichten und/oder bei Herausnahme aus dem Feinfiltergehäuse (12) selbstverschließenden Kassettengehäuse angeordnet sind. 12. Arrangement according to one of claims 9 to 11, characterized in that the HEPA filter element ( 24 ) and the activated carbon filter ( 26 ) are arranged in a common dustproof and / or self-closing cassette housing when removed from the fine filter housing ( 12 ). 13. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Vorfiltereinrichtung (16, 18) und der Feinfiltereinrichtung (24, 26) eine den Abluftstrom (14') um mindestens 90° umlenkende Umlenkstrecke vorgesehen ist. 13. Arrangement according to one of claims 1 to 12, characterized in that between the pre-filter device ( 16 , 18 ) and the fine filter device ( 24 , 26 ) is provided a deflecting section deflecting the exhaust air flow ( 14 ') by at least 90 °. 14. Anordnung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Umlenkstrecke in Strömungsrichtung eine die Strömungsgeschwindigkeit des Abluftstroms (14') reduzierende Querschnittserweiterung aufweist. 14. Arrangement according to claim 13, characterized in that the deflection path in the flow direction has a cross-sectional widening reducing the flow velocity of the exhaust air flow ( 14 ').
DE10133816A 2001-07-16 2001-07-16 Filter arrangement for filtering used air during laser processing of workpieces, especially circuit boards, has mechanical pre-separation device, pre-filtering and fine filtering devices Ceased DE10133816A1 (en)

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