DE10128712C2 - Device with at least two columns, along which a component can be moved vertically - Google Patents

Device with at least two columns, along which a component can be moved vertically

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DE10128712C2 DE2001128712 DE10128712A DE10128712C2 DE 10128712 C2 DE10128712 C2 DE 10128712C2 DE 2001128712 DE2001128712 DE 2001128712 DE 10128712 A DE10128712 A DE 10128712A DE 10128712 C2 DE10128712 C2 DE 10128712C2
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Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit mindestens zwei vertikal verlaufenden Säulen, wobei entlang dieser Säulen ein Bauteil vertikal verfahrbar angeordnet ist.The invention relates to a device with at least two vertical columns, along which Pillars a component is arranged vertically movable.

Beispielsweise bei der Erstellung von elektrischen Struk­ turen (Schaltungen) auf Substratscheiben, wie Halbleiter­ scheiben, ist es notwendig, die Substratscheibe (bei­ spielsweise einen Wafer) exakt parallel zu einer Pro­ jektions-Belichtungsmaske auszurichten. For example, when creating electrical structures structures (circuits) on substrate wafers, such as semiconductors discs, it is necessary to remove the substrate disc (at for example a wafer) exactly parallel to a pro alignment exposure mask.  

Dabei sind Vorrichtungen bekannt, die mehrere vertikale Spindeln umfassen, entlang derer beispielsweise zwei Bau­ teile, meist in Plattenform, vertikal verstellbar sind, wobei eine der Platten beispielsweise die genannte Maske und die weitere Platte, die im Abstand dazu angeordnet ist, einen Wafer trägt.Devices are known that have several vertical Include spindles along which, for example, two construction parts, usually in plate form, are vertically adjustable, one of the plates, for example, said mask and the further plate, which is spaced apart is carrying a wafer.

Soweit nachstehend von Maske und/oder Wafer gesprochen wird, ist dies für die Erfindung ebensowenig beschränkend wie der Hinweis auf die Verwendung einer solchen Vor­ richtung zum Beispiel für lithographische Belichtungs­ verfahren.As far as spoken below of mask and / or wafer is, this is also not limiting for the invention like the reference to the use of such a pre direction for example for lithographic exposure method.

Um zum Beispiel mit einem solchen lithographischen Ver­ fahren eine elektrische Struktur auf einen Wafer aufzu­ bringen, werden eine Maske und ein Wafer auf den genann­ ten Platten angeordnet. Beide müssen anschließend zuein­ ander ausgerichtet werden. Neben einer exakten horizon­ talen Ausrichtung ist eine exakte vertikale Positio­ nierung, also ein exakter Abstand von Maske zu Wafer, von wesentlicher Bedeutung.For example, to use such a lithographic ver drive an electrical structure onto a wafer bring a mask and a wafer on the genann arranged plates. Both must then be together be aligned. In addition to an exact horizon tal alignment is an exact vertical position nation, i.e. an exact distance from mask to wafer, from essential.

In der DE 37 40 855 A1 und in der US 5,655,871 werden Vorrichtungen zur Handhabung von Halbleiterscheiben beschrieben, deren bewegbarer Tisch über eine Gewindespindel verstellbar ist. Die DE 42 27 333 C1 beschreibt einen Rollenschuh mit drei Führungsrollen und einer Sicherungsrolle. Dies gilt auch für den Rollenschuh nach der DE 42 13 744 C1. Die Transportvorrichtung gemäß DE 199 51 200 A1 sind am äußeren Bereich eines vertikal verschiebbbaren Bauteils Lager in Form von Rollen angeordnet. DE 37 40 855 A1 and US Pat. No. 5,655,871 describe devices for handling Semiconductor wafers described, the movable table adjustable via a threaded spindle is. DE 42 27 333 C1 describes a roller shoe with three guide rollers and one Backup role. This also applies to the roller shoe according to DE 42 13 744 C1. The Transport device according to DE 199 51 200 A1 are vertical on the outer region Slidable component bearing arranged in the form of rollers.  

Die bekannten Systeme sind relativ kompliziert und ver­ schleißanfällig. Auch ist es nicht immer möglich, mit diesen Vorrichtungen den Abstand mit der gewünschten hohen Präzision, die bis in den µm-Bereich gehen kann, zu erreichen.The known systems are relatively complicated and ver schleißanfällig. Also, it is not always possible to use these devices the distance with the desired high precision, which can go into the µm range to reach.

Der Erfindung liegt insoweit die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art anzubieten, die mit einfachen Mitteln eine exakte Positionierung der gegenseitig auszurichtenden Bauteile ermöglicht. Eine ergänzende Teilaufgabe besteht darin, gleichzeitig eine möglichst exakte Parallelverschiebung des Bauteils ent­ lang der Säulen sicherzustellen.The invention is based on the object, a Offer device of the type mentioned, the with simple means an exact positioning of the components to be aligned with each other. A complementary subtask consists of simultaneously one ent as exact parallel displacement of the component ent long of the pillars.

Der Erfindung liegt zunächst folgende Erkenntnis zugrunde: Die genannten Säulen, entlang der die Bauteile vertikal verfahrbar sind, stellen zwar einfache und preiswerte Vorrichtungsteile dar. Um die gewünschte ver­ tikale Bewegung des Bauteils entlang der Säulen sicher­ zustellen, ist es aber notwendig, die Öffnungen (zum Bei­ spiel Bohrungen) im Bauteil, durch die die Säulen hindurchragen, mit geringfügig größerem Querschnitt (in der Regel Kreisquerschnitt) gegenüber den Säulen auszu­ bilden, also zwischen Säule und korrespondierender Öff­ nung jeweils ein gewisses Spiel bereitzustellen. Dies erschwert die exakte Parallelverschiebung des Bauteils entlang der Säulen, weil durch das Spiel das Bauteil "kippen" kann. The invention is based on the following knowledge based on: The columns mentioned, along which the components are vertically movable, simple and inexpensive device parts. To achieve the desired ver tical movement of the component along the columns safely but it is necessary to close the openings (for the play holes) in the component through which the columns protrude through, with a slightly larger cross section (in rule circular cross-section) opposite the columns form, that is between pillar and corresponding public to provide a certain game. This complicates the exact parallel displacement of the component along the columns, because of the play the component can "tilt".  

Mit den eingangs erwähnten Spindeln kann dieses Problem zwar reduziert werden; gleichzeitig entsteht jedoch das Problem, dass die Spindeln exakt synchronisiert gedreht werden müssen. Im Wesentlichen die gleichen Probleme ent­ stehen, wenn das Bauteil über pneumatisch betätigte Zylinder verfahren wird.This problem can be solved with the spindles mentioned at the beginning be reduced; at the same time, however, that arises Problem that the spindles turned exactly synchronized Need to become. Essentially the same problems arise stand when the component is pneumatically operated Cylinder is moved.

Insoweit geht der Erfindungsgedanke dahin, das erwähnte Spiel in Kauf zu nehmen, die dadurch vorhandenen "Toleranzen" jedoch durch Ausbildung von Lagern im Bereich der Bauteil-Öffnungen zu kompensieren. Die Lager haben dabei mindestens eine doppelte Funktion: zum einen können die Säulen entlang der Laufflächen der Lager leicht bewegt werden. Zum anderen positionieren die Lager, insbesondere wenn sie mit Abstand zueinander um eine Säule herum angeordnet sind, die Säule gegenüber dem Bauteil beziehungsweise das Bauteil gegenüber der Säule. Dies führt gleichzeitig auch zu einem Zentrierungseffekt.In this respect, the idea of the invention goes there, the mentioned To accept the game, the existing ones "Tolerances", however, through the formation of bearings in the Compensate the area of the component openings. Camps have at least two functions: one can the pillars along the tread of the camp to be moved easily. On the other hand position the Bearing, especially if they are around each other a column is arranged around, the column opposite the Component or the component opposite the column. This also leads to a centering effect.

Eine Wälzlager-Führung der Säulen verursacht geringste Reibungsverluste, wodurch eine präzise Führung des Bau­ teils zusätzlich begünstigt wird. Ebenso können auch Gleitlager eingesetzt werden.A rolling bearing guide of the columns causes the least Loss of friction, resulting in precise guidance of the construction is also partially favored. You can also Plain bearings are used.

Der Erfindung liegt weiter die Erkenntnis zugrunde, dass entsprechende Lagereinheiten mindestens im Bereich von zwei Säulen vorhanden sein müssen, um die gewünschte exakte Positionierung zu erreichen. The invention is further based on the finding that corresponding storage units at least in the range of two pillars must be present to get the one you want to achieve exact positioning.  

Demnach betrifft die Erfindung in ihrer allgemeinsten Ausführungsform eine Vorrichtung mit mindestens zwei ver­ tikal verlaufenden Säulen, entlang derer ein Bauteil ver­ tikal verfahrbar angeordnet ist, mit folgenden Merkmalen:
Accordingly, in its most general embodiment, the invention relates to a device with at least two vertically extending columns, along which a component is arranged to be vertically movable, with the following features:

  • - Im Bauteil sind Öffnungen angeordnet, die von den Säulen mit geringem Spiel durchgriffen werden,- Openings are arranged in the component, from the Columns are penetrated with little play,
  • - im Wandbereich von mindestens zwei Öffnungen sind je­ weils mindestens zwei Lager beabstandet zueinander angeordnet, die die jeweilige Säule führen.- There are at least two openings in the wall area because at least two bearings are spaced apart arranged that lead the respective column.

Die Lager können Gleit- und/oder Wälzlager sein. Wälzlager lassen sich so angeordnen, dass ihre Rotations­ achsen in einer horizontalen Ebene verlaufen und ihre Laufflächen gegen die korrespondierende Säule abrollen.The bearings can be plain and / or roller bearings. Rolling bearings can be arranged so that their rotation axes run in a horizontal plane and theirs Roll the treads against the corresponding column.

Wenngleich die Öffnungen und zugehörigen Säulen prin­ zipiell einen beliebigen Querschnitt aufweisen können, beispielsweise den Querschnitt eines gleichschenkligen Dreiecks, sieht eine Ausführungsform der Erfindung vor, Öffnungen und Säulen jeweils mit einem Kreisquerschnitt auszubilden.Although the openings and associated columns prin can have any cross-section, for example the cross section of an isosceles Triangular, provides an embodiment of the invention, Openings and pillars each with a circular cross section train.

Eine optimierte Führung des Bauteils entlang der Säulen wird erreicht, wenn eine Öffnung mit drei Lager aus­ gerüstet ist, die im Abstand von ca. 120° zueinander verlaufen, also zueinander einen im wesentlichen gleichen Abstand aufweisen. Diese Anordnung führt zu einer gleich­ mäßigen Beaufschlagung der Säule und damit zu einer ko­ axialen Positionierung der Säule in der korrespondieren­ den Öffnung.Optimized guidance of the component along the columns is achieved when an opening with three bearings out is equipped, which run at a distance of approx. 120 ° to each other,  so they are essentially the same to each other Distance. This arrangement leads to an equal moderate loading of the column and thus to a knockout axial positioning of the column in the correspond the opening.

Im Bereich der weiteren Öffnung, die mit den Lagern ausgerüstet ist, genügt es dann, zwei, beispielsweise um 180° zueinander versetzt angeordnete (Wälz)Lager anzuord­ nen. Selbstverständlich können auch im Bereich dieser weiteren Öffnung ebenfalls drei (Wälz)Lager, wie zuvor beschrieben, angeordnet werden. Ebenso ist es möglich, in mindestens einer der genannten Öffnungen auch mehr als die genannten drei Lager vorzusehen.In the area of the further opening that with the bearings is equipped, it is then enough, for example, to Arrange (roller) bearings 180 ° apart NEN. Of course you can also in this area further opening also three (rolling) bearings, as before described, can be arranged. It is also possible in at least one of the openings also more than to provide the three camps mentioned.

Der Begriff "Lager" ist erfindungsgemäß dahingehend zu verstehen, dass ein "Gleit- und/oder Rollelement" vorhanden ist, welches zum Beispiel aus einer sogenannten "Kugelrolle" bestehen kann. Eine solche Kugelrolle ist dadurch gekennzeichnet, dass in einem Grundkörper eine Kugel unverlierbar angeordnet ist, die den Grundkörper teilweise überragt und an ihrem gegenüberliegenden Ende (im Grundkörper) an korrespondierenden Lagerkugeln gelagert ist. Um die Unverlierbarkeit der Rollkugel zu erreichen, ist der Grundkörper an seinem die Rollkugel aufweisenden Ende vorzugsweise nach Art einer Manschette nach innen verjüngt ausgebildet.The term "bearing" is according to the invention to that effect understand that a "sliding and / or rolling element" is available, for example from a so-called "Ball roller" can exist. Such a ball roller is characterized in that in a base body Ball is captively arranged, the main body partially towered over and at its opposite end (in the base body) on corresponding bearing balls is stored. To the captivity of the trackball too reach, the base body on his is the trackball having end preferably in the manner of a cuff tapered towards the inside.

Eine weitere mögliche Ausführungsform eines Wälzlagers besteht aus Kugellagern. Another possible embodiment of a rolling bearing consists of ball bearings.  

Es ist möglich, die erwähnten Lager "federbelastet" anzuordnen, wobei die Wirkung der Feder in einer horizon­ talen Ebene erfolgt mit Druckrichtung auf die korrespon­ dierende Oberfläche der Säule. Auf diese Weise können weitere Toleranzen ausgeglichen werden. Nach einer Aus­ führungsform umfaßt die Vorrichtung vier Säulen, deren Mittenlängsachsen ein Rechteck, beispielsweise ein Quadrat, aufspannen sowie vier korrespondierende Öff­ nungen, wobei zwei diametral gegenüberliegende Öffnungen mit den genannten Lagereinheiten ausgerüstet sind.It is possible to "spring loaded" the bearings mentioned to arrange, the effect of the spring in a horizon Valley level takes place with the printing direction on the correspon surface of the column. That way you can further tolerances are compensated. After an out In the embodiment, the device comprises four columns, the A central rectangle, for example a Square, span and four corresponding openings openings, two diametrically opposite openings are equipped with the named storage units.

Da um die Öffnungen des Bauteils herum genügend Material zur Verfügung steht, können die Lagereinheiten problemlos dort eingebaut werden.Because there is enough material around the openings of the component is available, the storage units can easily be installed there.

Die Festlegung des Bauteils auf einer gewünschten vertikalen Position kann auf unterschiedliche Art und Weise erfolgen. Eine Möglichkeit besteht darin, das Bau­ teil über Elektromagneten an der gewünschten Position zu arretieren. Eine sehr einfache Möglichkeit sieht vor, das Bauteil an mindestens einem Seil (oder Band) aufzuhängen, über dessen Verkürzung oder Verlängerung das Bauteil ent­ lang der Säulen in die gewünschte Position gebracht werden kann. Ebenso ist es möglich, die vertikale Verfahrbarkeit des Bauteils über Stangen, Spindeln oder dergleichen vorzunehmen, wobei sich die entsprechende Einrichtung für ein oben liegendes Bauteil nach oben erstreckt und für ein unten liegendes Bauteil nach unten, um den Bereich zwischen den Bauteilen frei von Einbauten zu halten. Determining the component on a desired one vertical position can be in different ways and Way. One way is to build partly via electromagnets at the desired position lock. A very simple way is that Hang the component on at least one rope (or tape), by shortening or lengthening the component along the columns in the desired position can be. It is also possible to use the vertical Movability of the component via rods, spindles or to make the same, with the corresponding Setup for an overhead component upwards extends and down for a component below, around the area between the components free of internals to keep.  

Die erwähnten Seile (Bänder) können zum Beispiel vom Boden der Vorrichtung zunächst vertikal nach oben geführt werden, dort, zum Beispiel an einem Führungselement, nach unten umgelenkt werden, um mit ihrem anderen Ende an dem genannten Bauteil befestigt zu werden. Bei dieser Ausführungsform kann am bodenseitigen Ende ein motorischer Antrieb vorgesehen werden, der dazu dient, das Seil (Band) um den gewünschten Betrag zu verlängern oder zu verkürzen. Eine weitere Ausführungsform sieht vor, diese Antriebe zu synchronisieren, sofern mehrere Seile (Bänder) für ein Bauteil vorgesehen sind.The mentioned ropes (tapes) can, for example, from Bottom of the device first led vertically upwards are there, for example on a guide element to be redirected down to its other end at the mentioned component to be attached. At this Embodiment can be at the bottom end motor drive can be provided, which serves to extend the rope (band) by the desired amount or shorten it. Another embodiment sees before synchronizing these drives, if several Ropes (tapes) are provided for a component.

Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Merk­ malen der Unteransprüche sowie den sonstigen Anmeldungs­ unterlagen.Further features of the invention emerge from the note paint the subclaims and the other registration documents.

Dabei zeigen - jeweils in stark schematisierter Darstellung -Show - each in a highly schematic Presentation -

Fig. 1 eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Vor­ richtung Fig. 1 is a side view of a device according to the invention

Fig. 2 eine Teilaufsicht auf ein zugehöriges Bauteil im Bereich einer Öffnung, die von einer Säule durchragt wird. Fig. 2 is a partial view of an associated component in the region of an opening, which is penetrated by a column.

In den Figuren sind gleiche oder gleichwirkende Bauteile mit gleichen Bezugsziffern dargestellt. The figures show the same or equivalent components shown with the same reference numerals.  

Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung umfaßt vier Säulen, wobei die Mittenlängsachsen M der Säulen 10 untereinander ein Quadrat aufspannen. In Fig. 1 sind nur zwei der vier Säulen zu erkennen.The device shown in FIG. 1 comprises four columns, the central longitudinal axes M of the columns 10 spanning a square with one another. In Fig. 1 only two of the four columns can be seen.

Die Säulen 10 sind auf einem Tisch 12 befestigt und stehen vom Tisch 12 vertikal nach oben ab.The columns 10 are fixed on a table 12 and project vertically upwards from the table 12 .

Entlang der Säulen 10 sind zwei Platten, und zwar eine obere Platte 14 und eine untere Platte 16 angeordnet, die in Vertikalrichtung entlang der Säulen 10 höhenverstellbar sind. Beide Platten 14, 16 sind im wesentlichen baugleich, weshalb nachstehend lediglich die Platte 16 näher beschrieben wird.Along the columns 10, two plates, namely an upper plate 14 and a lower plate 16 are arranged which are adjustable in height in the vertical direction along the columns 10th Both plates 14 , 16 are essentially identical, which is why only the plate 16 is described in more detail below.

Die Platte 16 weist eckseitig jeweils eine Öffnung (Bohrung) 18 auf, deren Innendurchmesser etwas größer ist als der Außendurchmesser der zugehörigen Säule 10. In Fig. 2 ist ein Spalt S zwischen einer Innenwand 18i der Öffnung 18 und einer Umfangsfläche 10u der Säule 10 über­ trieben dargestellt.The plate 16 has an opening (bore) 18 on the corner side, the inside diameter of which is somewhat larger than the outside diameter of the associated column 10 . In Fig. 2, a gap S between an inner wall 18 i of the opening 18 and a peripheral surface 10 u of the column 10 is shown exaggerated.

Die in Fig. 2 dargestellte Öffnung 18 der Platte 16 ist in einem Eckbereich 16e der Platte 16 angeordnet, der in Fig. 1 links zu erkennen ist. Analog wie nachstehend beschrieben, ist ein Eckbereich diagonal gegenüber, also hinter dem rechts in Fig. 1 erkennbaren Abschnitt 16r ausgebildet.The opening 18 of the plate 16 shown in FIG. 2 is arranged in a corner region 16 e of the plate 16 , which can be seen on the left in FIG. 1. Analogously to that described below, a corner region is formed diagonally opposite, ie behind the section 16 r that can be seen on the right in FIG .

In dem der Öffnung 18 benachbarten Wandbereich der Platte 16 sind, jeweils um 120° zueinander versetzt, drei um jeweils eine horizontale Achse 20a drehbare Kugellager 20 angeordnet, deren Laufflächen 20L gegen die Umfangsfläche 10u der Säule 10 anliegen. (Nicht dargestellte) Wellen, auf denen die Kugellager 20 geführt sind, können druckbe­ lastet in Richtung auf die Säule 10 gelagert sein.In the wall area of the plate 16 adjacent to the opening 18 , three ball bearings 20 are arranged, each offset by 120 ° to one another, each having a horizontal axis 20 a, the bearing surfaces 20 L of which bear against the peripheral surface 10 u of the column 10 . Shafts (not shown) on which the ball bearings 20 are guided can be loaded in the direction of the column 10 .

Die Kugellager 20 überbrücken demnach das Spiel (den Spalt S) zwischen der Innenwand 18i der Öffnung 18 und der Umfangsfläche 10u der Säule 10 und positionieren die Säule 10 exakt koaxial zur Öffnung 18.The ball bearings 20 accordingly bridge the play (the gap S) between the inner wall 18 i of the opening 18 and the peripheral surface 10 u of the column 10 and position the column 10 exactly coaxially with the opening 18 .

An dem erwähnten diagonal gegenüberliegenden Eckbereich der Platte 16 genügt es, anstelle der in Fig. 2 skizzierten drei Wälzlager 20 lediglich zwei Wälzlager anzuordnen, dann vorzugsweise im Abstand von 180° zuein­ ander.At the mentioned diagonally opposite corner region of the plate 16 , it is sufficient to arrange only two roller bearings 20 instead of the three roller bearings 20 shown in FIG. 2, then preferably at a distance of 180 ° to one another.

Jeweils außenseitig neben jeder Säule 10 ist ein Antriebsmotor 21 dargestellt, der eine Spule enthält, von der ein Seil 22 abwickelbar ist, welches zunächst neben der jeweiligen Säule 10 vertikal nach oben verläuft, dann über eine am oberen Ende der Säule 10 angeordnete Umlenk­ rolle 24 innenseitig nach innen geführt wird und mit seinem freien Ende 22e an der Platte 16 befestigt ist.On the outside of each column 10 , a drive motor 21 is shown, which contains a coil from which a rope 22 can be unwound, which first runs vertically upward next to the respective column 10 , then over a deflection roller 24 arranged at the upper end of the column 10 is guided on the inside and is attached to the plate 16 with its free end 22 e.

Die Motoren 21 sind synchronisiert. Durch Verkürzung oder Verlängerung der Seillänge 22 wird die Platte 16 ange­ hoben beziehungsweise abgesenkt, wobei sie sich aufgrund der zuvor beschriebenen Lagerung der Säulen 10 in den Öffnungen 18 exakt parallel verschiebt. The motors 21 are synchronized. By shortening or extending the rope length 22 , the plate 16 is raised or lowered, whereby it shifts exactly parallel in the openings 18 due to the storage of the columns 10 described above.

In Fig. 1 ist auf der Platte 16 ein Wafer (eine Siliciumscheibe) 26 dargestellt.In Fig. 1 is a wafer (a silicon wafer) 26 shown on the plate 16.

Die obere Platte 14, die als Rahmen gestaltet ist, kann auf ihrer Unterseite beispielsweise eine zugehörige optische Maske 30 aufnehmen. Sie weist zusätzlich vier Bohrungen 28 auf, die dazu dienen, das Seil 22 hindurchzuführen.The upper plate 14 , which is designed as a frame, can accommodate, for example, an associated optical mask 30 on its underside. It also has four bores 28 which serve to lead the cable 22 through.

Die obere Platte 14 kann analog wie die Platte 16 an Seilen oder Bändern aufgehängt werden, die entsprechend neben den Seilen 22 geführt werden. Damit läßt sich auch die Platte 14 auf die zuvor beschriebene Art und Weise exakt vertikal parallel verschieben.The upper plate 14 can be hung in the same way as the plate 16 on ropes or tapes which are accordingly guided next to the ropes 22 . This also allows the plate 14 to be displaced exactly vertically parallel in the manner described above.

Claims (11)

1. Vorrichtung mit mindestens zwei vertikal verlaufenden Säulen (10), entlang derer mindestens ein Bauteil (14, 16) vertikal verfahrbar angeordnet ist, mit folgenden Merkmalen:
  • 1. 1.1 im Bauteil (16) sind Öffnungen (18) angeordnet, die von den Säulen (10) mit geringem Spiel (S) durch­ griffen werden,
  • 2. 1.2 im Wandbereich (18i) von mindestens zwei Öffnungen (18) sind jeweils mindestens zwei Lager (20) beabstandet zueinander angeordnet, die die jeweilige Säule (10) führen.
1. Device with at least two vertically extending columns ( 10 ), along which at least one component ( 14 , 16 ) is arranged to be vertically movable, with the following features:
  • 1. 1.1 in the component ( 16 ) openings ( 18 ) are arranged which are gripped by the columns ( 10 ) with little play (S),
  • 2. 1.2 in the wall area ( 18 i) of at least two openings ( 18 ), at least two bearings ( 20 ) are arranged at a distance from one another, which guide the respective column ( 10 ).
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Lager (20) Gleitlager sind.2. Device according to claim 1, wherein the bearings ( 20 ) are plain bearings. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Lager (20) Wälzlager sind. 3. Device according to claim 1, wherein the bearings ( 20 ) are roller bearings. 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, bei der die Wälzlager (20) so angeordnet sind, dass ihre Rotationsachsen (20a) in einer horizontalen Ebene verlaufen und ihre Laufflächen (201) gegen die korrespondierende Säule (10) abrollen.4. The device according to claim 3, wherein the roller bearings ( 20 ) are arranged so that their axes of rotation ( 20 a) extend in a horizontal plane and their running surfaces ( 201 ) roll against the corresponding column ( 10 ). 5. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Öffnungen (18) und Säulen (10) einen Kreisquerschnitt aufweisen.5. The device according to claim 1, wherein the openings ( 18 ) and columns ( 10 ) have a circular cross section. 6. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der mindestens eine Öffnung (18) mit drei Lagern (20) ausgerüstet ist, die im Abstand von 120° zueinander verlaufen.6. The device according to claim 1, wherein at least one opening ( 18 ) is equipped with three bearings ( 20 ) which are at a distance of 120 ° to each other. 7. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der mindestens eine Öffnung (18) mit zwei, 180° zueinander versetzt ange­ ordneten Lagern (20) ausgerüstet ist.7. The device according to claim 1, wherein the at least one opening ( 18 ) is equipped with two, 180 ° offset from each other arranged bearings ( 20 ). 8. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Lager (20) in Richtung auf die Säule (10) druckbelastet sind.8. The device according to claim 1, wherein the bearings ( 20 ) in the direction of the column ( 10 ) are pressure-loaded. 9. Vorrichtung nach Anspruch 1 mit vier Säulen (10), deren Mittenlängsachsen (M) ein Rechteck aufspannen, und vier korrespondierenden Öffnungen (18), wobei zwei diametral gegenüberliegende Öffnungen (18) mit Lagern (20) ausgerüstet sind.9. The device according to claim 1 with four columns ( 10 ) whose central longitudinal axes (M) span a rectangle, and four corresponding openings ( 18 ), two diametrically opposite openings ( 18 ) being equipped with bearings ( 20 ). 10. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der der Bauteil (14, 16) an mindestens einem Seil (22) hängt, über dessen Verkürzung oder Verlängerung der Bauteil (16) entlang der Säulen (10) vertikal verfahrbar ist.10. The device according to claim 1, wherein the component ( 14 , 16 ) hangs on at least one rope ( 22 ), the shortening or lengthening of the component ( 16 ) along the columns ( 10 ) is vertically movable. 11. Vorrichtung nach Anspruch 10, bei der die einem Bauteil (16) zugeordneten Seile (22) synchronisiert verstellbar sind.11. The device according to claim 10, wherein the ropes ( 22 ) assigned to a component ( 16 ) can be adjusted synchronously.
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