DE10125399B4 - Bestückautomat mit hoher Bestückgenauigkeit - Google Patents

Bestückautomat mit hoher Bestückgenauigkeit Download PDF

Info

Publication number
DE10125399B4
DE10125399B4 DE10125399A DE10125399A DE10125399B4 DE 10125399 B4 DE10125399 B4 DE 10125399B4 DE 10125399 A DE10125399 A DE 10125399A DE 10125399 A DE10125399 A DE 10125399A DE 10125399 B4 DE10125399 B4 DE 10125399B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
carrier
automatic placement
placement machine
face
friction surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE10125399A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10125399A1 (de
Inventor
Martin Dr. Pruefer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE10125399A priority Critical patent/DE10125399B4/de
Publication of DE10125399A1 publication Critical patent/DE10125399A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10125399B4 publication Critical patent/DE10125399B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0404Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
    • H05K13/0406Drive mechanisms for pick-and-place heads, e.g. details relating to power transmission, motors or vibration damping

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

Bestückautomat zum Bestücken von Platinen mit elektrischen Bauelementen, umfassend:
einen Bestückkopf (4); und
einen Träger (1) mit einem Trägerschaft (2), an dessen freiem Ende eine Stirnfläche (9) vorgesehen ist, die ständig an einer Reibfläche (10) anliegt und an dieser reibt, um die Bewegung des Trägerendes zu dämpfen, wobei
eine Einrichtung (11) vorgesehen ist, mittels der die Andruckkraft der Stirnfläche (9) gegen die Reibfläche (10) reduzierbar ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Bestückautomaten zum Bestücken von Platinen mit elektrischen Bauelementen gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
  • Mit zunehmender Strukturdichte von Leiterplatten steigen auch die Anforderungen an die Bestückgenauigkeit von Bestückautomaten, die die Platinen mit elektrischen Bauelementen, wie z.B. Transistoren, Widerständen oder Kondensatoren, bestücken.
  • Zum Bestücken der Bauelemente ist ein Bestückkopf vorgesehen, welcher entlang eines Trägers bewegbar geführt ist. Um sämtliche Positionen eines zu bestückenden Feldes mit dem Bestückkopf erreichen zu können wird beispielsweise der Bestückkopf relativ zu dem Träger bewegt, um eine erste Bewegungsrichtung des Bestückkopf es zu ermöglichen. Eine zweite, bevorzugt zu der ersten Bewegungsrichtung senkrechte, Bewegungsrichtung des Bestückkopfes wird durch Bewegen des Trägers erreicht.
  • Der Träger ist dabei häufig nur an einem Ende angetrieben und gelagert. Das andere Ende des Trägers ragt beispielsweise frei in den Raum, wodurch es zu starken Schwingungen an dem Träger, insbesondere an dem freien Ende des Trägers kommt.
  • Ein hochgenaues Bestücken kann jedoch nur erfolgen, wenn der Träger in einer definierten und wiederholbaren Position zum Stillstand gebracht werden kann. Außerdem ist es erforderlich, den Träger in ausreichend geringer Zeit an einer vorbestimmten Position zum Stillstand zu bringen, um ein schnelles Bestücken zu ermöglichen.
  • Aus JP-2000-317870 ist ein Bestückungsautomat bekannt, bei dem ein rotierender Trägerarm, auf dem der Bestückkopf sitzt, an den Aufnahme- und Bestückungspositionen durch Anpressen eines Reibungskissens angehalten wird.
  • Aus EP-0932331 ist bekannt, zur Dämpfung von Vibrationen in einem Bestückungsautomaten zwei Reibflächen mittels pneumatischen Antriebs in Kontakt zu bringen.
  • Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Bestückautomaten zum Bestücken von Platinen mit elektrischen Bauelementen zu schaffen, der eine wesentlich höhere Bestückgenauigkeit aufweist, und mit welchem hohe Bestückgeschwindigkeiten möglich sind.
  • Gelöst wird diese Aufgabe erfindungsgemäß durch die in den Patentansprüchen 1 und 8 angegebenen Merkmale. Weitere Ausführungsformen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.
  • Der wesentliche erfinderische Gedanke besteht darin, das freie Ende des Trägers, an welchem ein Reibklotz angebracht ist, der auf eine Reibfläche gedrückt wird, im Zustand der Gleitreibung zu halten, bis sich der Träger in die Normallage bewegt hat. Hierdurch wird erreicht, daß der Träger schnell in eine hysteresefreie Ruhelage gebracht werden kann.
  • Es wird ein Bestückautomat zum Bestücken von Platinen mit elektrischen Bauelementen vorgeschlagen, der einen Bestückkopf und einen Träger mit einem Trägerschaft umfaßt, an dessen freiem Ende eine Stirnfläche gebildet ist, die an einer Reibfläche anliegt, um die Bewegung des Trägerendes zu dämpfen. Der erfindungsgemäße Bestückautomat hat ferner eine Einrichtung, mit der die Andruckkraft der Stirnfläche gegen die Reibfläche variiert, und insbesondere verringert werden kann.
  • Wahlweise hat der erfindungsgemäße Bestückautomat eine Einrichtung, mit der hochfrequente Mikrobewegungen quer zur Andruckkraft erzeugt werden können.
  • Eine mögliche Realisierung der erstgenannten Einrichtung wäre z.B. ein einstellbares Druckelement, wie etwa eine einstellbare Feder, die vorzugsweise im Trägerschaft angeordnet ist.
  • Eine andere Möglichkeit zur Realisierung dieser Einrichtung wäre z.B. ein elektronischer, elektromechanischer oder pneumatischer Antrieb.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung sind ein oder mehrere Piezoelemente vorgesehen, die vorzugsweise im Trägerschaft angeordnet sind. Die Piezoelemente können z.B. stapelweise übereinander angeordnet sein.
  • Die Einrichtung zur Regelung der Andruckkraft wird vorzugsweise so gesteuert, dass die Andruckkraft reduziert wird, wenn sich der Träger nahe seiner Endposition befindet, so dass der Träger in eine entspannte Ruhelage kommen kann. Danach wird die Andruckkraft vorzugsweise wieder auf ein normales Maß erhöht.
  • Gemäß einer besonderen Ausgestaltung der Erfindung wird die Andruckkraft in mehreren aufeinanderfolgenden Pulsen kurzfristig verringert bzw. ausgesetzt.
  • Die Reduzierung der Andruckkraft erfolgt vorzugsweise in dem Moment, in dem der Träger aus einer Bewegung zum Stillstand kommt bzw. kurz davor.
  • Ferner wird ein Bestückautomat vorgeschlagen, der eine Einrichtung zur Erzeugung hochfrequenter Mikrobewegungen zwischen der Stirnfläche des Trägers und der Reibfläche aufweist.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung erfaßt die Einrichtung zur Erzeugung von Mikrobewegungen einen oder mehrere Piezoelemente, die vorzugsweise im Trägerschaft angeordnet sind.
  • Die genannte Einrichtung erzeugt vorzugsweise linear oder kreisförmig oszillierende Mikrobewegungen.
  • Die Mikrobewegungen werden vorzugsweise dann erzeugt, wenn sich der Träger nahe seiner Sollposition befindet, vorzugsweise noch bevor das Trägerende in einen Zustand der Haftreibung übergegangen ist.
  • Die am freien Ende des Trägers befindliche Stirnfläche bzw. der Reibklotz wird vorzugsweise ständig im Zustand der Gleitreibung gehalten.
  • Zur Verringerung des Abriebes der Stirnfläche und/oder der Reibfläche kann die Stirn- und/oder Reibfläche aus einem besonders abriebfesten Material bestehen oder mit einer abriebfesten Schicht beschichtet sein.
  • Selbstverständlich kann auch eine Einrichtung vorgesehen sein, die sowohl eine Reduzierung der Andruckkraft bewirkt als auch Mikrobewegungen quer zur Andruckkraft erzeugt.
  • Die Erfindung wird nachstehend anhand der beigefügten Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen:
  • 1a, b das freie Ende eines Trägers mit einer Einrichtung zur Reduzierung der Andruckkraft gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung; und den Verlauf der Andruckkraft bei dieser Einrichtung;
  • 2a, b das freie Ende eines Trägers; und eine graphische Darstellung von Mikrobewegungen in Richtung der Andruckkraft;
  • 3a, b das freie Ende eines Trägers; und eine graphische Darstellung von Mikrobewegungen quer zur Andruckkraft;
  • 4a, b Piezoelemente zur Reduzierung der Andruckkraft; und Piezoelemente zur Erzeugung hochfrequenter Mikrobewegungen quer zur Andruckkraft; und
  • 5a, b einen Positioniermechanismus eines Bestückautomaten; und den Bewegungsablauf des freien Trägerendes und der Trägerwurzel.
  • Der Positioniermechanismus eines Bestückautomaten, wie er mit der Erfindung verwendet wird, wird im Folgenden anhand von 5a erläutert. 5a zeigt eine Draufsicht auf einen bekannten Positioniermechanismus mit einem Träger 1 und einem Bestückkopf 4, wobei die mittlere Abbildung einen Träger in normaler Ruhelage, und die linke und rechte Abbildung einen schräg geneigten Träger darstellen.
  • Der Träger besteht aus einem Trägerschaft 2 und einer Trägerwurzel 3. Der Bestückkopf 4 umfaßt mehrere Pipetten 13 zum Ansaugen und Halten von Bauelementen und ist entlang des Trägerschafts 2 bewegbar (Pfeil A). Die Trägerwurzel 3 wird von einem Antrieb (nicht gezeigt) in Richtung des Pfeiles 8 angetrieben. Der Antrieb hat einen Encoder 8 zur Bestimmung der Trägerposition.
  • Der Trägerschaft 2 umfaßt ferner ein Federelement 7 und einen Reibklotz 5, dessen Stirnfläche 9 an einer Reibfläche 10 anliegt und mit einer Kraft F gegen die Reibfläche 10 gedrückt wird.
  • Der Träger 1 wird mit sehr hoher Geschwindigkeit angetrieben und unterliegt Beschleunigungen von mehreren g. Der am freien Ende des Trägers 1 angeordnete Reibklotz 5 hat die Funktion, die Bewegung und insbesondere die Schwingungen des freien Trägerendes zu dämpfen. Dabei ist das Schwingungsverhalten von der Position des Bestückkopfes 4 an dem Trägerschaft 2 abhängig.
  • 5b zeigt typische Bewegungsabläufe der Trägerwurzel 3 und des Bestückkopfes 4 am freien Ende des Trägerschafts 2 im Vergleich zu einer idealisierten Sollbewegung.
  • Die idealisierte Sollbewegung des Trägers ist in Kurve a dargestellt, die zum Zeitpunkt t1 eine nahezu sprungartige Positionsänderung zeigt. Dagegen bewegt sich die Trägerwurzel 3 ab dem Zeitpunkt t1 verzögert von einer Position x1 zu einer Position x2 und schwingt an der Position x2 mit abklingender Amplitude nach (Kurve b). Der Reibklotz 5 befindet sich anfangs noch in Gleitreibung und dämpft diese Schwingung.
  • Der Nachteil dieses Reibklotzes 5 liegt allerdings darin, dass der Reibklotz ab einem bestimmten Zeitpunkt in Haftreibung übergeht und an einem zufälligen Punkt x stehenbleibt, der nicht der Sollposition x2 entspricht. Dadurch tritt ein Positionsfehler auf, der bei modernen Bestückautomaten nicht mehr tolerierbar ist.
  • Die mittlere Abbildung von 5 zeigt einen Träger 1 in Normalposition. In der linken und rechten Abbildung von 1a ist ein Positionsfehler x, entsprechend dem Abstand der gekippten Trägerachse von der Trägerachse im Normalzustand, zu erkennen. Der Positionsfehler ist um so geringer, je näher sich der Bestückkopf 4 an der Trägerwurzel 3 befindet.
  • 1 zeigt das freie Ende eines Trägers 1 mit einem Trägerschaft 2. Der Trägerschaft 2 umfasst ein Federelement 7 und einen Reibklotz 5, der von der Druckfeder 7 gegen einen stationären Anschlag 6 gedrückt wird.
  • Der Reibklotz 5 hat eine Stirnfläche 9, die an einer Reibfläche 10 anliegt und an dieser Fläche reibt, wenn der Träger bewegt wird. Dadurch wird die Schwingneigung des Trägerendes bedämpft.
  • Die Druckkraft des Reibklotzes gegen die Reibfläche ist z.B. mittels eines elektromechanischen oder pneumatischen Antriebes (nicht gezeigt) einstellbar.
  • Die Andruckkraft F wird mittel des Antriebs, wie in 1b dargestellt ist, verringert, um zu verhindern, dass das Trägerende außerhalb seiner Sollposition stehen bleibt. Die Andruckkraft wird insbesondere kurz soweit reduziert, dass der Träger in die entspannte Ruhelage kommen kann. Anschließend wird, um eine ruhige, schwingungsfreie Lageregelung zu erhalten, die Andruckkraft wieder erhöht.
  • 2a zeigt die Kraftwirkung auf den Reibklotz 5 am Trägerende. Bei diesem Ausführungsbeispiel werden Mikrobewegungen in Richtung des Pfeils c, also wechselseitig in Richtung der Andruckkraft F, erzeugt.
  • 2b zeigt den Verlauf der Andruckkraft in einer Betriebsart, bei der hochfrequente Mikrobewegungen in Richtung der Andruckkraft F erzeugt werden. Dadurch wird der Reibklotz kurze Zeit entlastet und dabei ggf. von der Reibfläche abgehoben und wieder belastet bzw. auf die Reibfläche 10 aufgesetzt. Dieses Verfahren, ebenso wie das bezüglich 1 erläuterte Verfahren, wird vorzugsweise unmittelbar nach dem Trägerstillstand durchgeführt.
  • 3a zeigt die Bewegungsrichtung von Mikrobewegungen (Pfeil d) am Trägerende bei einem anderen Ausführungsbeispiel. Durch kleine hochfrequente Mikrobewegungen senkrecht zur Andruckkraft F, wie sie in 3b dargestellt sind, wird der Reibklotz im Zustand der Gleitreibung bzw. viskosen Reibung gehalten. Dieser Betriebszustand kann zu beliebigen Zeitpunkten ein- und ausgeschaltet werden.
  • 4a zeigt eine mögliche Realisierung einer Einrichtung zur Reduzierung der Andruckkraft F nach 2 mit mehreren Piezoelementen, die zwischen dem Reibklotz 5 und dem Trägerschaft 2 angeordnet sind. Mit dieser Anordnung kann z.B. der in 2b gezeigte Verlauf der Andruckkraft erzeugt werden.
  • 4b zeigt eine ebenfalls aus Piezoelementen 12 bestehende Einrichtung zur Erzeugung von Mikrobewegungen nach 3, wobei die Mikrobewegungen jedoch quer zur Andruckkraft erzeugt werden. Die Piezoelemente sind wie in 4a angeordnet, haben jedoch eine unterschiedliche Zellausrichtung. Mit dieser Ausrichtung lassen sich Mikrobewegungen quer zur Richtung der Andruckkraft erzeugen.
  • 1
    Träger
    2
    Trägerschaft
    3
    Trägerwurzel
    4
    Bestückkopf
    5
    Reibklotz
    6
    Stationärer Anschlag
    7
    Feder
    8
    Antrieb
    9
    Stirnfläche
    10
    Reibfläche
    11, 12
    Piezoelemente
    t
    Zeit
    c
    Bewegungsrichtung
    d
    Bewegungsrichtung
    A
    Bewegungsrichtung des Kopfes
    B
    Antriebsrichtung

Claims (14)

  1. Bestückautomat zum Bestücken von Platinen mit elektrischen Bauelementen, umfassend: einen Bestückkopf (4); und einen Träger (1) mit einem Trägerschaft (2), an dessen freiem Ende eine Stirnfläche (9) vorgesehen ist, die ständig an einer Reibfläche (10) anliegt und an dieser reibt, um die Bewegung des Trägerendes zu dämpfen, wobei eine Einrichtung (11) vorgesehen ist, mittels der die Andruckkraft der Stirnfläche (9) gegen die Reibfläche (10) reduzierbar ist.
  2. Bestückautomat nach Anspruch 1 wobei die Einrichtung zur Reduzierung der Andruckkraft ein einstellbares Druckelement, insbesondere eine einstellbare Feder (7) aufweist.
  3. Bestückautomat nach Anspruch 1 oder 2 wobei die Einrichtung zur Reduzierung der Andruckkraft einen elektromechanischen oder pneumatischen Antrieb aufweist.
  4. Bestückautomat nach einem der vorhergehenden Ansprüche wobei die Einrichtung zur Reduzierung der Andruckkraft ein oder mehrere Piezoelemente (11) aufweist.
  5. Bestückautomat nach einem der vorhergehenden Ansprüche wobei die Andruckkraft der Stirnfläche (9) gegen die Reibfläche (10) zumindest nahe einer Sollposition des Trägers (1) zum Erreichen einer entspannten Ruhelage des Trägers (1) sukzessiv verringerbar und erhöhbar ist. wird.
  6. Bestückautomat nach einem der Ansprüche 1 bis 4 wobei die Andruckkraft in mehreren aufeinanderfolgenden Pulsen variierbar ist.
  7. Bestückautomat nach einem der Ansprüche 5 oder 6, wobei die Reduzierung der Andruckkraft im wesentlichen in dem Moment erfolgt, wenn der Träger (1) zum Stillstand kommt.
  8. Bestückautomat zum Bestücken von Platinen mit elektrischen Bauelementen, umfassend: einen Bestückkopf (4); und einen Träger (1) mit einem Trägerschaft (2), an dessen freiem Ende eine Stirnfläche (9) vorgesehen ist, die an einer Reibfläche (10) anliegt und an dieser reibt, um die Bewegung des Trägerendes zu dämpfen, wobei eine Einrichtung (12) zur Erzeugung hochfrequenter, quer zur Andruckkraft gerichteter Mikrobewegungen zwischen der Stirnfläche (9) des Trägers (1) und der Reibfläche (10) vorgesehen ist.
  9. Bestückautomat nach Anspruch 8 wobei die Einrichtung ein oder mehrere Piezoelemente (12) aufweist.
  10. Bestückautomat nach Anspruch 8 oder 9 wobei linear oder kreisförmig oszillierende Mikrobewegungen erzeugbar sind.
  11. Bestückautomat nach einem der Ansprüche 8 bis 10 wobei die Mikrobewegungen nahe einer Sollposition des Trägers (1) erzeugbar sind, so dass der Träger (1) in eine entspannte Ruhelage bringbar ist.
  12. Bestückautomat nach einem der Ansprüche 8 bis 10 wobei die Einrichtung zur Erzeugung hochfrequenter Mikrobewegungen derart betreibbar ist, dass die Stirnfläche (9) gegenüber der Reibfläche (10) immer den Zustand der Gleitreibung aufweist.
  13. Bestückautomat nach einem der vorhergehenden Ansprüche wobei die Oberfläche der Stirnfläche (9) und/oder der Reibfläche (10) besonders abriebfest gebildet ist.
  14. Bestückautomat nach einem der vorhergehenden Ansprüche wobei die Stirnfläche (9) und/oder die Reibfläche (10) mit einer abriebfesten Schicht beschichtet sind.
DE10125399A 2001-05-23 2001-05-23 Bestückautomat mit hoher Bestückgenauigkeit Expired - Fee Related DE10125399B4 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10125399A DE10125399B4 (de) 2001-05-23 2001-05-23 Bestückautomat mit hoher Bestückgenauigkeit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10125399A DE10125399B4 (de) 2001-05-23 2001-05-23 Bestückautomat mit hoher Bestückgenauigkeit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10125399A1 DE10125399A1 (de) 2002-12-19
DE10125399B4 true DE10125399B4 (de) 2004-11-25

Family

ID=7686028

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10125399A Expired - Fee Related DE10125399B4 (de) 2001-05-23 2001-05-23 Bestückautomat mit hoher Bestückgenauigkeit

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE10125399B4 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006017032B3 (de) * 2006-04-11 2007-07-05 Siemens Ag Bestückautomat zum Bestücken von Substraten mit elektrischen Bauelementen

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0932331A1 (de) * 1998-01-27 1999-07-28 FUJI MACHINE Mfg. Co., Ltd. Bestückungsautomat, ausgerüstet mit einem Dämpfungsgerät
JP2000317870A (ja) * 1999-05-12 2000-11-21 Murata Mfg Co Ltd 部品搬送装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0932331A1 (de) * 1998-01-27 1999-07-28 FUJI MACHINE Mfg. Co., Ltd. Bestückungsautomat, ausgerüstet mit einem Dämpfungsgerät
JP2000317870A (ja) * 1999-05-12 2000-11-21 Murata Mfg Co Ltd 部品搬送装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006017032B3 (de) * 2006-04-11 2007-07-05 Siemens Ag Bestückautomat zum Bestücken von Substraten mit elektrischen Bauelementen

Also Published As

Publication number Publication date
DE10125399A1 (de) 2002-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2440088C3 (de) Tisch mit Feineinstellung
DE3400265C2 (de)
DE102004010083B4 (de) Tastkopf vom messenden Typ für ein Koordinatenmessgerät
DE3434897A1 (de) Vibrationsdaempfungseinrichtung
WO2006013170A1 (de) Vorrichtung zum entkoppeln eines anbauelements von einem bewegbaren maschinenelement
EP1175815A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum bestücken von substraten mit bauelementen
DE10125399B4 (de) Bestückautomat mit hoher Bestückgenauigkeit
DE69924098T2 (de) Bestückungsautomat für bauelemente
DE3438807C2 (de)
EP1527662B1 (de) Vorrichtung zum selektiven bewegen von haltevorrichtungen und best ckkopf zum transportieren von bauelementen
DE3025765C1 (de) Dämpfungsvorrichtung für eine Fadenbremse
DE102019135740A1 (de) Bauelement-Haltevorrichtung mit elastischem Federelement und pneumatischem Kanalsystem; Bestückkopf und Bestückautomat sowie Verfahren zum Bestücken von Bauelementeträgern
DE102007032088B4 (de) Vorschubeinrichtung für einen Mehrkoordinaten-Messtisch eines Koordinaten-Messgeräts
EP1785021A1 (de) Positioniervorrichtung
WO2002104091A1 (de) Aufsetzvorrichtung und verfahren zum aufsetzen von objekten auf substrate
DE19543745A1 (de) Magnetisches Lager
DE102018103398B4 (de) Pneumatisch aktuierbares Federelement zum Steuern der auf ein Bauelement wirkenden Bestückkraft
AT411855B (de) Einrichtung zum positionieren
DE102008038758A1 (de) Elektrischer Dreh-Hub-Antrieb und Bestückkopf
DE19811025B4 (de) Mechanischer Oszillator und Verfahren zum Erzeugen einer mechanischen Schwingung
EP1317998A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Positionierung von Füge- oder Bearbeitungseinheiten
DE10304970B4 (de) Positioniereinheit mit einem Kraftsensor
DE102007046282A1 (de) Stützstift und Bestückautomat
AT520516B1 (de) Handhabungseinrichtung für eine Formgebungsmaschine
DE10225424B4 (de) Bestückkopf mit einem Greifer für elektrische Bauelemente

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE

8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee