DE10124546C1 - Temperatursensor - Google Patents
TemperatursensorInfo
- Publication number
- DE10124546C1 DE10124546C1 DE2001124546 DE10124546A DE10124546C1 DE 10124546 C1 DE10124546 C1 DE 10124546C1 DE 2001124546 DE2001124546 DE 2001124546 DE 10124546 A DE10124546 A DE 10124546A DE 10124546 C1 DE10124546 C1 DE 10124546C1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- temperature
- temperature sensor
- resistors
- resistor
- membrane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K3/00—Thermometers giving results other than momentary value of temperature
- G01K3/08—Thermometers giving results other than momentary value of temperature giving differences of values; giving differentiated values
- G01K3/10—Thermometers giving results other than momentary value of temperature giving differences of values; giving differentiated values in respect of time, e.g. reacting only to a quick change of temperature
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
- G01K7/18—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer
- G01K7/186—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer using microstructures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
Es wird ein Temperatursensor vorgeschlagen, bei dem mehrere Widerstände, die zur Temperatursensierung verwendet werden, mit unterschiedlichen Zeitkonstanten in einer Schaltung miteinander verdrahtet sind. Es wird dabei vorzugsweise eine Wheatstone-Brücke verwendet, bei der aufgrund der unterschiedlichen Zeitkonstanten bei einem schnellen Temperaturanstieg es zu einer Verstimmung der Brücke kommt und somit ein schneller Temperaturanstieg insbesondere zur Seitenaufprallsensierung leicht aus den Meßsignalen herausgefiltert werden kann.
Description
Die Erfindung geht aus von einem Temperatursensor nach der
Gattung des unabhängigen Patentanspruchs.
Es ist bereits aus der
DE 100 57 258 C1 bekannt, einen Temperatursensor
zur Seitenaufprallsensierung zu verwenden. Dabei wird der
Temperatursensor in einem Seitenteil angeordnet, das als
Hohlkörper ausgebildet ist und das bei einem Seitenaufprall
eingedrückt wird, so daß ein kurzzeitiger adiabatischer
Temperaturanstieg in dem Hohlkörper auftritt. Dieser
adiabatische Temperaturanstieg wird mit dem Temperatursensor
gemessen und somit zur Seitenaufpralldetektion verwendet. Es
ist daher die Aufgabe der Erfindung, einen Temperatursensor
zu schaffen, der mit wenig Aufwand einen adiabatischen
Temperaturanstieg von langsamen Temperaturanstiegen trennt.
Aus JP 3-26929 (A) in: Patent Abstracts of Japan, Sect. P, Vol. 15 (1991), No. 156 (P-1192) ist ein Temperatursensor mit aus resistivem
Material gebildeten temperaturempfindlichen Elementen bekannt, wobei diese Elemente
wenigstens zwei unterschiedliche thermische Zeitkonstanten aufweisen. Aus
JP 3-28730 A in: Patent Abstracts of Japan, Sect. P. Vol. 15 (1991), No. 158 (P-1193) ist ein Temperatursensor mit temperaturempfindlichen
Elementen bekannt, die eine unterschiedliche Temperaturcharakteristik im Vergleich zu
einer Wärmesenke aufweisen.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine möglichst empfindliche Schaltung für
temperaturempfindliche Widerstände mit unterschiedlichen Zeitkonstanten zu schaffen.
Der erfindungsgemäße Temperatursensor mit den Merkmalen des
unabhängigen Patentanspruchs hat demgegenüber den Vorteil,
daß mehrere Widerstände in dem Temperatursensor als eine
Schaltung ausgebildet sind, um mittels ihrer
Hochpaßfilterung durchzuführen und somit einen schnellen Temperaturanstieg, wie er bei
einem Seitenaufprall auftritt, von einem langsamen Temperaturanstieg, wie er durch eine
Erwärmung auftritt, zu trennen. Dies spart eine aufwendige Auswerteeleketronik. Das
Signal der Schaltung reagiert dann nämlich letztlich nur auf schnelle
Temperaturänderungen, die von einem Seitenaufprall herrühren.
Besonders vorteilhaft ist, daß die Schaltung der Widerstände als Wheatstone-Brücke
ausgebildet ist, so daß das Differenzsignal der Brücke als Indikator für einen schnellen
Temperaturanstieg verwendet wird, denn nur wenn es zu einem schnellen
Temperaturanstieg kommt, wird die Wheatstone-Brücke in ein Ungleichgewicht
gebracht, da sich die Widerstände aufgrund der Temperatur kurzzeitig ändern und somit
die Brücke kurzzeitig verstimmt wird. Nach einer gewissen Zeit nehmen dann alle
Widerstände, bei einer Wheatstone-Brücke üblicherweise vier, die erhöhte Temperatur
an, wodurch die Brücke sich dann wieder ins Gleichgewicht versetzt. Die
Differenzspannung wird dann wieder auf null Volt zurückgehen. Damit ist es möglich,
eine zeitliche Filterung des Signals nur aufgrund der thermischen Eigenschaften der
Brückenwiderstände zu erreichen. Dies stellt eine besonders einfache Filterung des
Temperatursignals dar.
Durch die in den abhängigen Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen und Weiterbildungen
sind vorteilhafte Verbesserungen des im unabhängigen Patentanspruch angegebenen
Temperatursensors möglich.
Weiterhin ist es von Vorteil, daß ein Widerstand der Brücke auf einer Membran,
vorzugsweise einer dielektrischen Membran angeordnet ist, dessen thermische
Zeitkonstante durch die Größe der Membran, also ihre Fläche und Dicke, und die Größe
des Widerstands eingestellt werden kann. Ein weiterer
Größe der Membran, also ihre Fläche und Dicke, und die Größe
des Widerstands eingestellt werden kann. Ein weiterer
Parameter, um die thermische Zeitkonstante einzustellen, ist
durch eine Dicke einer Passivierungsschicht auf dem
Widerstand, also beispielsweise einer Silizium-Dioxid-
Deckschicht, gegeben. Das resistive Widerstandsmaterial ist
hier üblicherweise Platin. Der gegenüberliegende Widerstand
zu dem Widerstand auf der Membran in der Wheatstone-Brücke
kann dabei vorteilhafterweise auch dem Substrat, also
üblicherweise dem Halbleiter, hier Silizium, angeordnet
werden. Durch die größere Dicke des Substrats gegenüber der
Membran wird eine höhere thermische Zeitkonstante für diesen
zweiten Widerstand erreicht. Daher kann durch die Dicke der
Membran und des Substrats das Verhältnis der thermischen
Zeitkonstanten geändert werden. Auch auf diesem zweiten
Widerstand kann eine Deckschicht oder eine
Passivierungsschicht aufgebracht werden. Die beiden weiteren
Widerstände der Brücke können als externe Widerstände
realisiert werden, also als handelsübliche Kohleschicht-
oder Metallschichtwiderstände. Anstatt den zweiten
Widerstand auf dem Substrat anzuordnen, ist es auch möglich,
ihn als Dickschicht-Platinwiderstand auf einem gesonderten
Keramiksubstrat oder als Platindrahtwiderstand auszuführen.
Wichtig dabei ist, daß der Temperaturkoeffizient von diesem
zweiten Widerstand gleich dem ersten Widerstand auf der
Membran ist.
Es ist weiterhin von Vorteil, daß durch eine Kombination der
erfindungsgemäßen Schaltung des Temperatursensors mit einem
Filter eine höhere Filtersteilheit erreicht wird.
Ausführungsbeispiele sind in der Zeichnung dargestellt und
werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 ein Temperatur-Zeit-Diagramm für Widerstände mit
unterschiedlichen thermischen Zeitkonstanten,
Fig. 2 ein Blockschaltbild einer erfindungsgemäßen
Schaltung gemäß der Erfindung,
Fig. 3 die zeitliche Änderung der Differenzspannung der
Wheatstone-Brücke bei einem schnellen Temperaturanstieg,
Fig. 4 eine schematische Darstellung des
Temperatursensors gemäß der Erfindung und
Fig. 5 eine schematische Querschnittdarstellung eines
Widerstands mit Deckschicht.
Die Seitenaufprallsensierung wird zunehmend in
Kraftfahrzeugen eingesetzt, um einen Seitenairbag bei einem
Seitenaufprall zum Schutz der Fahrzeuginsassen entsprechend
anzusteuern. Verschiedene Sensierungskonzepte werden dabei
entwickelt, wobei eines davon die Auswertung des
adiabatischen Temperaturanstiegs in einem als Hohlkörper
ausgebildeten Seitenteil eines Fahrzeugs ist. Dabei muß ein
schneller Temperatursensor eingesetzt werden, um diesen
schnellen Temperaturanstieg auch erkennen zu können.
Weiterhin ist es notwendig zwischen sehr langsamen
Temperaturanstiegen und diesen schnellen
Temperaturanstiegen, die einen Seitenaufprall vermuten
lassen, zu unterscheiden. Um die Erkennung eines
Seitenaufpralls zu verifizieren, wird üblicherweise ein
Plausibilisierungssensor und dabei insbesondere ein
Beschleunigungssensor eingesetzt.
Es wird nun zur Unterscheidung zwischen
schnellen und langsamen Temperaturanstiegen eine Schaltung
verwendet, bei der einzelne Widerstände, die aus einem
temperatursensitiven Widerstandsmaterial bestehen, mit
unterschiedlichen thermischen Zeitkonstanten eingesetzt
werden. Dies führt dann bei einem schnellen
Temperaturanstieg zu einer kurzfristigen Verstimmung einer
Brücke, die hier als Schaltung eingesetzt wird und läßt
damit einen solchen Seitenaufprall erkennen. Die
unterschiedlichen thermischen Zeitkonstanten führen dazu,
dass sich die Widerstände bezüglich ihres Widerstandswerts
unterschiedlich schnell verändern.
Temperatursensoren werden üblicherweise mit Mitteln der
Mikromechanik hergestellt. Als Widerstandsmaterial wird
dabei üblicherweise Platin eingesetzt. Die Strukturen sind
dann meist Mäanderstrukturen, wobei sich sowohl die
Anordnung auf einer Membran als auch auf dem eigentlichen
Halbleitersubstrat, das die Membran umgibt, anbietet.
Darüber hinaus können externe Widerstände, das sind Draht-,
Kohleschicht-, Metallschicht- oder Dickschichtwiderstände
eingesetzt werden.
Die Temperatur TR eines elektrischen Widerstands der bei
einer Umgebungstemperatur TU einem Temperatursprung der
Höhe ΔT ausgesetzt wird, kann durch folgende Gleichung 1
dargestellt werden.
Hierbei bezeichnet τ die thermische Zeitkonstante des
Widerstands. Sie berechnet sich aus der folgenden Gleichung
2 aus der spezifischen Wärmekapazität CR des
Widerstandsmaterials, der Masse mR des Widerstands und dem
Wärmewiderstand Rth der Wärmeableitung vom Widerstand:
τ = RthcRmR (2)
Beim Aufbringen eines Platinwiderstandes auf der
dielektrischen Membran eines mikrostrukturierten
Siliziumchips lassen sich bei jeder Membrangröße thermische
Zeitkonstanten zwischen 3 ms und 30 ms erreichen. Wird ein
Platinwiderstand nicht auf der dielektrischen Membran,
sondern auf dem, die Membran umgebenden Silizium, also auf
dem Substrat aufgebracht, so hat dieser erheblich größere
Zeitkonstanten bis zu mehreren Sekunden. Wird ein
Platinwiderstand in Dickschicht oder Drahtbauform verwendet,
so können sogar Zeitkonstanten bis zu einigen Minuten
erreicht werden.
Fig. 1 zeigt als ein Temperatur-Zeit-Diagramm den
Temperaturanstieg für drei solche Widerstände mit jeweils
unterschiedlichen Zeitkonstanten. Der Widerstand dessen
Kennlinie durch die Quadrate gekennzeichnet ist, zeigt einen
sehr schnellen Temperaturanstieg und geht dann in die
Sättigung. Der Widerstand, dessen Kennlinie durch die Kreuze
gekennzeichnet ist, zeigt eine Kennlinie mit nur noch der
halben Steigung, die länger braucht, um einen Sättigungswert
zu erreichen. Die Kennlinie, die durch die Kreise
gekennzeichnet ist, zeigt einen Widerstand, dessen
Temperaturanstieg mehr oder weniger linear verläuft und der
während der dargestellten Zeit von 100 ms nicht in eine
Sättigung geht.
Platinwiderstände besitzen von der Temperatur abhängige
Werte. Daher ändert sich aufgrund von Gleichung 1 und 2 auch
der Widerstandswert eines solchen Widerstands bei einer
Temperatursprung mit der Zeit. Dies geht aus den folgenden
Gleichungen 3 und 4 hervor, wobei R0 den Widerstandswert bei
0°C und α den Temperaturkoeffizienten des
Widerstandsmaterials bezeichnet:
R(t) = R0(1 + αT(t)) (3)
Werden die beschriebenen Widerstände, wie in Fig. 2
dargestellt, in einer Wheatstone-Brücke verschaltet, so
ergibt sich für die Brückendifferenzspannung folgender Wert:
Bei langsamen Änderungen der Umgebungstemperatur bleiben
alle Widerstände vor allem aber R2 und R4 auf der gleichen
Temperatur. Ist die Brücke nach der folgenden Gleichung
abgeglichen, so bleibt die Differenzspannung auf 0 V.
Bei schnellen Temperaturänderungen z. B. die durch einen
Druckanstieg aufgrund eines Aufpralls folgt R4 der
Temperaturänderung langsamer als R2, wodurch sich die Brücke
kurzfristig verstimmt. R1 und R2 bleiben konstant, da ihre
thermischen Zeitkonstanten wesentlich höher als die von R2
und R4 sind. Durch die Verstimmung ändert sich die
Differenzspannung mit dem Temperaturanstieg. Dies wird in
Fig. 3 als ein Spannungs-Zeit-Diagramm dargestellt. Bereits
nach ca. 10 ms ist der Maximalwert des Temperaturanstiegs
durch die Differenzspannung erkennbar. Nach einer gewissen
Zeit nehmen alle Widerstände wieder die neue erhöhte
Temperatur an, wodurch sich die Brücke wieder ins
Gleichgewicht setzt. Die Differenzspannung sinkt dann wieder
auf 0 V. Damit ist es möglich, eine Filterung des Signals nur
aufgrund der thermischen Eigenschaften der Brückwiderstände
zu erreichen.
Fig. 2 zeigt also als Blockschaltbild eine
Schaltung gemäß der Erfindung. In einer Wheatstone-Brücke sind in einem Zweig
die Widerstände R1 und R2 geschaltet und in einem
Parallelzweig dazu die Widerstände R3 und R4. Die
Widerstände sind jeweils durch ihre Temperaturkonstanten τ1,
τ2, τ3 und τ4 gekennzeichnet. Dabei ist τ2 die kleinste
Temperaturkonstante, τ4 die nächstgrößere und τ1 und τ3 sind
mindestens so groß wie τ4, wenn nicht größer. Die
Temperaturkoeffizienten α sind so ausgelegt, daß α1 gleich
α3 und α2 gleich α4 sind. R2 und R4 sind dabei an Masse
geschaltet und R1 und R3 gemeinsam an die
Versorgungsspannung UB. Die Differenzspannung, die zwischen
den Punkten R1 und R2, sowie R3 und R4 abgegriffen wird,
wird von einem Meßverstärker 1 verstärkt, um dann von einem
Hochpaß 2 gefiltert zu werden. Am Ausgang 3 liegt dann die
Differenzspannung vor. Diese wird dann an ein Steuergerät
eines Rückhaltesystems übertragen, um dann im
Auslösealgorithmus, den das Steuergerät berechnet,
einzugehen. Alternativ ist es möglich, daß der
Temperatursensor als Plausibilitätsensor verwendet wird und
daß die Plausibilisierung bereits durch einen Prozessor, der
dem Temperatursensor direkt zugeordnet ist, durchgeführt
wird.
Fig. 4 zeigt eine schematische Darstellung der
Schaltung des Temperatursensors. Dabei
wurden die externen Widerstände R1 und R3 der Einfachheit
halber weggelassen. R2 ist hier auf einer Membran 5 als
Mäanderstruktur 7 aufgebracht, wobei Elektroden 6 dann zur
Verschaltung in die Brücke gemäß Fig. 2 verwendet werden.
Die Elektroden 6 liegen auf dem Substrat 4. Auf dem Substrat
4 ist weiterhin der Widerstand R4 angeordnet, auch mit einer
Mäanderstruktur 8 und Elektroden 9, die zur Verschaltung in
die Wheatstone-Brücke verwendet werden. Im Schnitt, also dem
oberen Bild von Fig. 4, ist das Profil dieser
Halbleiterstruktur dargestellt. Das Substrat 4 ist sehr viel
dicker als die eigentliche Membran 5, wodurch der Widerstand
R4 eine höhere thermische Zeitkonstante aufgrund der höheren
thermischen Kapazität erhält. Die Membran 5 ist hier als
eine dielektrische Membran realisiert, während das Substrat
4 aus Silizium besteht. Die Membran 5 wird dann durch
Abscheidung und Ätzprozeß strukturiert. Die Elektroden 6 und
9 können für die bessere Kontaktierung vergoldet werden. Die
externen Widerstände R1 und R3 können auch auf dem Substrat
4 angeordnet werden, ähnlich wie R4 oder als externe
Widerstände, wie es Kohleschicht- oder
Metallschichtwiderstände sind. Alternativ ist es möglich,
daß auch auf die Anordnung der Widerstände auf dem Substrat
verzichtet wird. Dann kann vorzugsweise der Widerstand R4
als externer Platinwiderstand realisiert werden und dabei
entweder als Dickschicht-Platinwiderstand auf einem
Keramiksubstrat oder als Platindrahtwiderstand. Dabei ist
insbesondere darauf zu achten, daß der Temperaturkoeffizient
von R4 gleich R2 bleibt. Mit einem externen Widerstand R4
lassen sich größere thermische Zeitkonstanten erreichen, als
es für einen Widerstand auf einem Substrat möglich ist. Eine
weitere Möglichkeit, die thermische Zeitkonstante eines
Widerstands zu verändern, ist das Aufbringen einer
Passivierungsschicht, also einer Deckschicht auf das
Widerstandsmaterial. Fig. 5 zeigt schematisch eine solche
Anordnung im Querschnitt. Auch dem Substrat 4 ist der
Platinwiderstand 7 angeordnet, auf dem sich eine Deckschicht
10 befindet. Diese Deckschicht 10 ist hier aus Silizium-
Dioxid ausgeführt. Es können jedoch auch andere Dielektrika
verwendet werden. Auch so eine dielektrische Schicht wirkt
als wärmespeichernd und verändert somit die thermische
Zeitkonstante des jeweiligen Widerstands.
Claims (8)
1. Temperatursensor, wobei der Temperatursensor ein resistives Material zur
Temperatursensierung aufweist, wobei eine Mehrzahl von aus dem
resistiven Material gebildeten Widerständen (R1, R2, R3, R4) in dem Temperatursensor angeordnet
sind, wobei die Widerstände (R1, R2, R3, R4) wenigstens zwei unterschiedliche
thermische Zeitkonstanten (τ1, τ2, τ3, τ4) aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass die
Widerstände (R1, R2, R3, R4) eine Wheatstone-Brücke als Schaltung bilden.
2. Temperatursensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens einer der Widerstände (R1, R2, R3, R4) als ein
erster Widerstand (R2) auf einer Membran (5) angeordnet ist, wobei bei dem
wenigstens ersten Widerstand (R2) seine thermische Zeitkonstante (τ2) durch die
Größe der Membran und/oder die Größe des wenigstens ersten Widerstandes (R2)
und/oder eine erste Deckschicht (10) des wenigstens ersten Widerstandes (R2)
bestimmbar ist.
3. Temperatursensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens einer der Widerstände (R1, R2, R3, R4) als ein
zweiter Widerstand (R4) auf einem die Membran (5) umgebenden Substrat (4) angeordnet
ist, wobei bei dem wenigstens zweiten Widerstand (R4) seine thermische
Zeitkonstante (τ4) durch die Dicke des Substrats (4) und/oder eine zweite
Deckschicht (10) für den wenigstens zweiten Widerstand (R4) veränderbar ist.
4. Temperatursensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (4)
dicker als die Membran (5) ausgebildet ist.
5. Temperatursensor nach Anspruch 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass weitere der
Widerstände (R3, R1) auf dem Substrat (4) und/oder als externe Widerstände in der
Schaltung vorhanden sind.
6. Temperatursensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die externen
Widerstände als Kohleschicht- und/oder Metallschicht- und/oder als Dickschicht-
und/oder als Drahtwiderstand ausgebildet sind.
7. Temperatursensor nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass
der wenigstens erste und der wenigstens zweite Widerstand (R2, R4) den gleichen
Temperaturkoeffizienten (α2, α4) aufweisen.
8. Temperatursensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, dass die Schaltung mit einem elektronischen Filter (2) verbindbar ist.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2001124546 DE10124546C1 (de) | 2001-05-19 | 2001-05-19 | Temperatursensor |
EP02740356A EP1397654A1 (de) | 2001-05-19 | 2002-05-16 | Temperatursensor |
PCT/DE2002/001756 WO2002095344A1 (de) | 2001-05-19 | 2002-05-16 | Temperatursensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2001124546 DE10124546C1 (de) | 2001-05-19 | 2001-05-19 | Temperatursensor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10124546C1 true DE10124546C1 (de) | 2002-12-12 |
Family
ID=7685467
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2001124546 Expired - Fee Related DE10124546C1 (de) | 2001-05-19 | 2001-05-19 | Temperatursensor |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1397654A1 (de) |
DE (1) | DE10124546C1 (de) |
WO (1) | WO2002095344A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003055725A1 (de) * | 2001-12-22 | 2003-07-10 | Robert Bosch Gmbh | Thermischer sensor für seitenaufpralldetektion |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10200558A1 (de) * | 2002-01-09 | 2003-07-24 | Bosch Gmbh Robert | Temperatursensor |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10057258C1 (de) * | 2000-11-18 | 2002-03-07 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung und Verfahren zur Seitenaufprallerkennung |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB835551A (en) * | 1956-04-26 | 1960-05-25 | English Electric Co Ltd | Improvements in and relating to temperature measuring devices |
JPS61116629A (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-04 | Toichi Chikuma | 熱電変換回路 |
GB2195449B (en) * | 1986-09-26 | 1991-02-13 | Thorn Emi Protech Limited | Heat detecting unit |
JPS63291480A (ja) * | 1987-05-25 | 1988-11-29 | Nippon Denso Co Ltd | 固体温度検出素子 |
-
2001
- 2001-05-19 DE DE2001124546 patent/DE10124546C1/de not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-05-16 EP EP02740356A patent/EP1397654A1/de not_active Withdrawn
- 2002-05-16 WO PCT/DE2002/001756 patent/WO2002095344A1/de not_active Application Discontinuation
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10057258C1 (de) * | 2000-11-18 | 2002-03-07 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung und Verfahren zur Seitenaufprallerkennung |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
JP 03-26929(A) in: Patent Abstracts of Japan, Sut.P, Vol.15(1991), No.156(P-1192) * |
JP 03-28730(A) in: Patent Abstracts of Japan, Sut.P, Vol.15(1991), No.158(P-1193) * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003055725A1 (de) * | 2001-12-22 | 2003-07-10 | Robert Bosch Gmbh | Thermischer sensor für seitenaufpralldetektion |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1397654A1 (de) | 2004-03-17 |
WO2002095344A1 (de) | 2002-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0515416B1 (de) | Integrierbarer, kapazitiver Drucksensor und Verfahren zum Herstellen desselben | |
DE3007142A1 (de) | Halbleiter-druckaufnehmervorrichtung mit nullpunkt-temperaturkompensation | |
WO2002040321A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur seitenaufprallerkennung | |
DE10146321A1 (de) | Sensorbaustein mit einem Sensorelement, das von einem Heizelement umgeben ist | |
DE19532764C2 (de) | Halbleiterbeschleunigungserfassungseinrichtung | |
DE10230198A1 (de) | Sensor mit einer Heizeinrichtung und Verfahren | |
DE10124546C1 (de) | Temperatursensor | |
DE4439222C2 (de) | Massenflußsensor mit Druckkompensation | |
DE19638407C2 (de) | Halbleitersensor und Verfahren zur Einstellung dessen Ausgangssignal | |
EP2554964B1 (de) | Druck- und Temperaturmessvorrichtung | |
DE10123627B4 (de) | Sensorvorrichtung zum Erfassen einer mechanischen Deformation eines Bauelementes im Kraftfahrzeugbereich | |
DE102004056133A1 (de) | Verfahren zur Erfassung einer Offsetdrift bei einer Wheatstone-Meßbrücke | |
DE19708053B4 (de) | Verfahren und Sensoranordnung zur Dedektion von Kondensationen an Oberflächen | |
DE19620459A1 (de) | Halbleiter-Beschleunigungsmesser und Verfahren zur Bewertung der Eigenschaften eines Halbleiter-Beschleunigungsmessers | |
DE19601077C2 (de) | Kraftsensor | |
DE102012025037C5 (de) | Verfahren zur kapazitiven Sitzbelegungserkennung für Fahrzeugsitze | |
EP1062520B1 (de) | Messvorrichtung mit mikrosensor und verfahren zu seiner herstellung | |
DE4334080C2 (de) | Piezoresistive Sensorstruktur | |
DE102008043797A1 (de) | Mikromechanischer Infrarotsender und Auswertekonzept | |
DE19647408C1 (de) | Druckaufnehmer | |
DE102015121866A1 (de) | Verfahren zur Bestimmung einer Flussrate bzw. Strömungsgeschwindigkeit eines Mediums | |
DE102020100675A1 (de) | Kapazitiver Drucksensor mit Temperaturerfassung | |
DE2755211A1 (de) | Anordnung zur direkten messung hydrostatischer druecke | |
EP1310775A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur transient-thermischen Massenflussmessung | |
DE4016032C2 (de) | Sensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8100 | Publication of the examined application without publication of unexamined application | ||
D1 | Grant (no unexamined application published) patent law 81 | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R084 | Declaration of willingness to licence | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |