DE10118456A1 - Antriebssystem - Google Patents
AntriebssystemInfo
- Publication number
- DE10118456A1 DE10118456A1 DE10118456A DE10118456A DE10118456A1 DE 10118456 A1 DE10118456 A1 DE 10118456A1 DE 10118456 A DE10118456 A DE 10118456A DE 10118456 A DE10118456 A DE 10118456A DE 10118456 A1 DE10118456 A1 DE 10118456A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- drive system
- guide element
- inch
- variable
- worm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 241000256247 Spodoptera exigua Species 0.000 title claims abstract description 28
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 4
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 229910000639 Spring steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 235000013882 gravy Nutrition 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 230000005923 long-lasting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 238000012634 optical imaging Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
- 210000003462 vein Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
- H02N2/023—Inchworm motors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
- F15B11/08—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor with only one servomotor
- F15B11/12—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor with only one servomotor providing distinct intermediate positions; with step-by-step action
- F15B11/127—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor with only one servomotor providing distinct intermediate positions; with step-by-step action with step-by-step action
- F15B11/128—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor with only one servomotor providing distinct intermediate positions; with step-by-step action with step-by-step action by means of actuators of the standard type with special circuit controlling means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
- F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
- F15B15/10—Characterised by the construction of the motor unit the motor being of diaphragm type
- F15B15/103—Characterised by the construction of the motor unit the motor being of diaphragm type using inflatable bodies that contract when fluid pressure is applied, e.g. pneumatic artificial muscles or McKibben-type actuators
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Ein Antriebssystem arbeitet nach dem Inchworm-Prinzip als Linearantrieb. Insbesondere dient es als Verstellmechanismus für optische Elemente in optischen Systemen. Es weist zwei relativ zu einem Führungselement (2) bewegbare Abschnitte (4) auf, welche über eine linear längenveränderliches Element (6) miteinander verbunden sind. Jeder der Abschnitte (4) weist jeweils wenigstens eine Klemmeinrichtung (5) auf. Die Klemmeinrichtungen (5) klemmen die Abschnitte (4) in unbetätigtem Zustand ortsfest zu dem Führungselement (2).
Description
Die Erfindung betrifft ein Antriebssystem, welches nach dem
Inchworm-Prinzip als Linearantrieb arbeitet, nach der im Ober
begriff von Anspruch 1 näher definierten Art.
Unter dem Inchworm-Prinzip versteht man ein Prinzip, welches
dem biologischen Vorbild einer Raupe abgeschaut wurde. Ein der
artiger Inchworm-Antrieb besteht dabei im allgemeinen aus zwei
Abschnitten, welche über ein längenveränderliches Element mit
einander verbunden sind. Jeder der beiden Abschnitte weist da
bei Einrichtungen auf, durch welche er in der Lage ist, sich
auf einem Führungselement, beispielsweise auf einer Schiene
oder in einem Rohr, festzuklemmen. Der Antrieb erfolgt nun da
durch, daß eine der Klemmeinrichtungen den einen Abschnitt
klemmt, während das längenveränderliche Element den anderen Ab
schnitt in linearer Richtung vorwärts bewegt. Dann wird der so
eben bewegte Abschnitt über seine Klemmeinrichtungen geklemmt,
während der bisher geklemmte Abschnitt gelöst wird. Durch ein
Zusammenziehen des linear längenveränderlichen Elements wird
dieser soeben gelöste Abschnitt nun in Richtung des jetzt klem
menden Abschnitts gezogen. Dieser Ablauf kann sich dann belie
big oft wiederholen. So entsteht eine Bewegung, welche an die
Fortbewegung einer Raupe erinnert. Ein derartiges Antriebssy
stem wird daher auch als Antriebsmechanismus des Gleit-
Kriechtyps bezeichnet.
Aus der DE 39 32 449 C2 ist ein derartiger Inchworm-Antrieb be
kannt, welcher sowohl als Klemmechanismus als auch als längen
veränderliches Element Piezoelemente bzw. Piezostacks einsetzt.
Aus der US 5,332,942 ist ein weiterer Inchworm-Antrieb bekannt,
welcher mittels Linearmotoren bzw. Piezoaktuatoren arbeitet.
Die US 5,337,732 zeigt außerdem, daß mehrere inchwormartige
Elemente zu einer Funktionskette zusammengesetzt werden können.
Diese kann dann als endoskopischer Operationsroboter beispiels
weise durch Adern oder dergleichen kriechen. Durch die Vielzahl
der Elemente ist dabei ein sicheres Klemmen gewährleistet, auch
wenn hier das Führungselement (die Ader) keine gleichmäßige,
lineare Ausbildung aufweist und dem Inchworm nicht in allen Be
reichen ein sauberes Klemmen erlaubt.
Derartige Antriebe, insbesondere solche, welche unter Verwen
dung eines Piezoelements arbeiten, ermöglichen dabei einen sehr
günstigen Linearantrieb, wenn an diesen sehr hohe Anforderungen
hinsichtlich seiner Stellgenauigkeit in jedem der Einzelhübe
und hinsichtlich der insgesamt zurücklegbaren Wegstrecke ge
stellt werden. Wenn einer der Abschnitte über seine Klemmein
richtung geklemmt ist, kann über den Hub des linear längenver
änderlichen Elements eine sehr exakte Positionierung innerhalb
dieses Hubs erreicht werden. Müssen größere Wegstrecken zurück
gelegt werden, so kann dies ebenfalls mit hoher Genauigkeit er
folgen, da sich viele dieser genauen Hübe in der oben beschrie
benen Art aneinanderreihen lassen.
Bei der Verwendung von Piezoaktuatoren ist dabei eine besonders
hohe Genauigkeit zu erzielen, diese weisen jedoch den gravie
renden Nachteil einer sehr eingeschränkten Lebensdauer auf.
Außerdem sind derartige Inchworm-Antriebe, wie sie aus dem
Stand der Technik bekannt sind, derzeit nicht in der Lage, ohne
eine Beaufschlagung mit Strom oder eine mechanische Einflußnah
me selbsttätig in ihrem Gehäuse oder an ihrem Führungselement
zu klemmen. Diese fehlende Selbsthemmung läßt sich beispiels
weise bei Piezoaktuatoren über eine dauerhafte Bestromung der
Piezoelemente kompensieren, dies wirkt sich jedoch wiederum
sehr nachteilig auf die Lebensdauer dieser Piezoelemente und
damit der Antriebseinrichtung an sich aus.
Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, einen einfachen, hoch
genau und sehr effektiv arbeitenden Inchworm-Antrieb zu schaf
fen, welcher in neutralem Betriebszustand über eine Selbsthem
mung verfügt.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch das im kennzeichnenden
Teil von Anspruch 1 beschriebene Antriebssystem gelöst.
Dadurch, daß die Klemmeinrichtungen der jeweiligen Abschnitte
in der Art betätigbar sind, daß sie in unbetätigtem Zustand
ortsfest zu dem Führungselement klemmen und sich erst bei einer
Betätigung, beispielsweise mittels eines über Druck betätigba
ren Kolbens, eines Piezoelements oder dergleichen, aus ihrem
klemmenden Zustand lösen, wird, immer wenn die Klemmeinrichtun
gen nicht betätigt sind, eine Selbsthemmung des Inchworm-
Antriebs erreicht. Damit kann beispielsweise beim Ausfall von
Strom, Spannung oder von entsprechenden Aggregaten erreicht
werden, daß der als Linearantrieb verwendete Inchworm und das
von ihm anzutreibende Bauelement ortsfest verharren, so daß
keine ungewollten Bewegungen auftreten können, welche zu einer
Schädigung benachbarter Komponenten oder dergleichen führen
könnten.
In einer sehr vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung sind
die Klemmeinrichtungen dabei durch Beaufschlagung mit Druck be
tätigbar und die Abschnitte klemmen in drucklosem Zustand orts
fest zu dem Führungselement.
Durch die Verwendung von Druck, in einer besonders günstigen
Ausgestaltung der Erfindung in Form eines Fluids, also bei
spielsweise mittels Druckluft oder unter Druck stehender Hy
draulikflüssigkeit, wird erreicht, daß der Inchworm in sehr
einfacher und hinsichtlich seiner Lebensdauer lange anhaltenden
Weise betrieben werden kann. Dabei erreicht der Inchworm Ver
hältnisse zwischen der zu erzielenden Auflösung und dem zu er
zielenden Hub in der Größenordnung von 1 : 10.000, da sich, wie
eingangs bereits beschrieben, viele der durch das längenverän
derliche Element sehr exakt realisierbaren Hübe aneinander an
reihen lassen.
In einer weiteren besonders günstigen Ausführungsform der Er
findung ist dabei auch das längenveränderliche Element mittels
Druck betätigbar, so daß lediglich ein Antriebsmedium, bei
spielsweise die Druckluft bei einem pneumatisch angetriebenen
Inchworm, zur Verwendung kommen muß.
Ein derartiger pneumatisch angetriebener Inchworm weist darüber
hinaus den Vorteil auf, daß die erforderlichen Faltenbälge und
Membrane, sofern diese aus einem entsprechenden Material wie
beispielsweise Federstahl oder entsprechenden Titanlegierungen,
wie Ti6V4, ausgeführt sind, sehr beständig gegenüber gegebenen
falls vorliegenden Strahlungen, Gasen oder dergleichen reali
siert werden kann.
Die bevorzugte Anwendung des erfindungsgemäßen Antriebssystems
ist dabei die Verwendung als Verstellmechanismus für optische
Elemente bzw. Manipulator in optischen Abbildungssystemen bzw.
Objektiven, insbesondere für die Halbleiter-Lithographie. Da
hier durch entsprechende Gasatmosphären und mit zum Teil sehr
aggressiven Strahlungen, wie beispielsweise Strahlung im Wel
lenlängenbereich des UV-Lichts, gearbeitet wird, ist eine der
artige Resistenz des als Linearmanipulator einsetzbaren In
chworms gegen Strahlung und dergleichen ein besonderer Vorteil.
Außerdem kann der entsprechende Linearantrieb selbstverständ
lich, bedingt durch seine kompakte Bauweise, auch über in der
Art einer sanft geschwungenen Kurvenbahn verlaufende Führungs
elemente geführt werden. Damit lassen sich beispielsweise
"lineare" Bewegungen auf Kreissegmentabschnitten mit einem ent
sprechend großen Durchmesser realisieren, so daß der Inchworm
durch die Kurvenlage nicht klemmt.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich
aus den Unteransprüchen und den anhand der Zeichnung nachfol
gend dargestellten Ausführungsbeispielen.
Es zeigt:
Fig. 1 ein pneumatisch betätigbarer Inchworm in einem Gehäu
se als Führungselement;
Fig. 2 einen pneumatisch klemmbaren Inchworm mit einem Pie
zostack als längenveränderliches Element; und
Fig. 3 einen in einer vergleichbaren Art zu Fig. 2 ausge
führten Inchworm mit einer Stange bzw. Schiene als
Führungselement.
Fig. 1 zeigt einen Inchworm 1, welcher in einem hier als rohr
artiges Gehäuse ausgebildeten Führungselement 2 linear beweg
lich angeordnet ist. Der Inchworm 1 dient dabei als lineares
Antriebssystem, welches seine Linearbewegung gemäß dem Pfeil A
über ein Befestigungselement 3 an ein hier nicht dargestelltes
Bauelement außerhalb des Führungselements 2 überträgt. Das Be
festigungselement 3 ist dabei an einem Abschnitt 4 des In
chworms 1 angeordnet, welcher außerdem über eine Klemmeinrich
tung 5 verfügt.
Ein zweiter vergleichbarer Abschnitt 4, welcher ebenfalls über
eine Klemmeinrichtung 5 verfügt, ist am anderen Ende des In
chworms 1 angeordnet und über ein linear längenveränderliches
Element 6 mit dem anderen Abschnitt 4 verbunden. Das linear
längenveränderliche Element 6 kann dabei, wie in Fig. 1 darge
stellt, mittels Druck betätigbar sein, es ist jedoch auch ein
andersartig betätigbares längenveränderliches Element 6 denk
bar. Das längenveränderliche Element 6 könnte beispielsweise,
wie in Fig. 2 und Fig. 3 dargestellt, als Piezoelement bzw.
Piezostack ausgebildet sein, es sind jedoch auch Spindelantrie
be oder andersartige linear wirksame Antriebseinrichtungen
denkbar.
Die Klemmeinrichtungen 5 in Fig. 1 bestehen dabei aus einer
Druckkammer 7 mit einer Membran 8. Wird nun beispielsweise die
Druckkammer 7, welche im Bereich des Abschnitts 4 mit dem Befe
stigungselement 3 angeordnet ist, über eine Leitung 9 mit Druck
p1 beaufschlagt, so wird sich die Membran 8 in linearer Rich
tung bewegen und die gestrichelt angedeutete Position 8' ein
nehmen. Die Druckkammer 7 wird dadurch in radialer Richtung in
ihrem Durchmesser verringert, so daß der genannte Abschnitt 4
nicht mehr in dem Führungselement 2 klemmt.
Wird nun über eine Leitung 10 ein Druck p3 auf das linear län
genveränderliche Element 6 in Fig. 1 aufgebracht, so wird sich
der Abschnitt 4 mit der verformten Membran 3' linear in Rich
tung des Pfeils B bewegen. Durch ein Ablassen des Drucks p1 aus
der Druckkammer 7 kann erreicht werden, daß der betroffene Ab
schnitt 4 des Inchworms 1 wieder klemmt.
Wird nun im Bereich der Druckkammer 7 des anderen Abschnitts 4
ein Druck p2 aufgebaut, wird sich dessen Membran 8 in der glei
chen, hier nicht dargestellten Art verformen. Der betroffene
Abschnitt 4 wird also durch seine Klemmeinrichtung 5 nicht mehr
in dem Führungselement 2 gehalten. Wird daraufhin der Druck p3
aus dem Bereich des linear längenveränderlichen Elements 6 ab
gelassen, bewegt sich auch der jetzt mit dem Druck p2 beauf
schlagte Abschnitt 4 in Richtung des Pfeils B. Durch ein Ablas
sen des Drucks p2 kann auch dieser Abschnitt wieder in dem Füh
rungselement 2 geklemmt werden und der Vorgang kann von vorn
beginnen. Damit läßt sich die eingangs bereits ausführlich be
schriebene Bewegung des Inchworms 1 realisieren.
Besonders günstig ist dabei, daß im Bereich eines Hubs, also
wenn eine der Druckkammern 7 drucklos ist und damit in dem Füh
rungselement 2 klemmt, eine sehr hohe Genauigkeit der Bewegung
des freien Abschnitts 4 des Inchworms 1 in beide mögliche Rich
tungen erzielen, welche lediglich durch die Ventile, welche den
Druck p3 für das linear längenveränderliche Element 6 bereit
stellen, eine Begrenzung findet.
Fig. 2 zeigt nun einen vergleichbaren Aufbau, wie in Fig. 1
beschrieben. Als einziger Unterschied ist das linear längenver
änderliche Element 6 bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 2
als Piezoelement bzw. Piezostack ausgebildet. Dementsprechend
wird es zu seiner Betätigung nicht mit Druck, sondern mit Span
nung U bzw. Strom I beaufschlagt. Zur Unterstützung der Klemm
wirkung der Klemmeinrichtung 5 in dem Ausführungsbeispiel gemäß
Fig. 2 ist dort jeweils ein Federelement, hier ein federnder
Ring 11, in die jeweilige Druckkammer 7 integriert. Dieser fe
dernde Ring 11 unterstützt das Anpressen der Seiten der Druck
kammern 7 an das Führungselement 2 in radialer Richtung. Bei
einer Beaufschlagung mit Druck der jeweiligen Druckkammern 7
wird der federnde Ring 11 durch die Wandungen der Druckkammer 7
zusammengepreßt und die Membran 8 kann die gestrichelt angedeu
tete Position 8' einnehmen. Der entsprechende Abschnitt 4 wird
durch eine Beaufschlagung seiner Druckkammer 7 mit Druck aus
seiner in dem Führungselement 2 klemmenden Position gelöst und
kann mittels des hier über einen Piezostack linear längenverän
derlichen Elements 6 bewegt werden.
Fig. 3 zeigt eine prinzipmäßig angedeutete Ausführungsform ei
nes Inchworms 1, welcher auf einem hier in der Art einer Stange
bzw. Schiene ausgebildeten Führungselement 2 gemäß dem Pfeil A
linear bewegbar ist.
Als längenveränderliches Element 6 wurde hier ein Piezostack
prinzipmäßig angedeutet, es ist jedoch auch hier die Verwendung
eines andersartig funktionierenden längenveränderlichen Ele
ments 6 denkbar. Ebenso ist der Aufbau gemäß Fig. 3 nur als
prinzipmäßige Andeutung zu verstehen, da sich selbstverständ
lich Genauigkeiten hinsichtlich der linearen Bewegung A durch
einen symmetrischen Aufbau von mehreren längenveränderlichen
Elementen 6 um das Führungselement 2 verbessern ließe.
Als Klemmeinrichtungen 5 sind hier pneumatische bzw. hydrauli
sche Zylinder vorgesehen, die durch den Druck p1 bzw. p2 je
weils gegen eine Feder 12 betätigbar sind, wenn die jeweilige
Druckkammer 7 mit Druck beaufschlagt wird. Auch hier ist der
Aufbau der Klemmeinrichtungen 5 in der Art ausgeführt, daß die
se, hier durch die Kraft der Feder 12, in drucklosem Zustand
den jeweiligen Abschnitt 4 auf dem Führungselement 2 klemmen.
Durch eine Beaufschlagung mit dem Druck p1 bzw. p2 wird diese
Klemmung entgegen der Kraft der jeweiligen Feder 12 aufgehoben,
so lange die durch den Druck in der Druckkammer 7 erzeugte
Kraft größer als die Kraft der jeweiligen Feder 12 ist. Ansonsten
orientiert sich das Funktionsprinzip an den obigen Ausfüh
rungen.
Claims (9)
1. Antriebssystem, welches nach dem Inchworm-Prinzip als Line
arantrieb arbeitet, insbesondere als Verstellmechanismus
für optische Elemente in optischen Systemen, mit relativ zu
einem Führungselement bewegbaren Abschnitten, welche über
ein linear längenveränderliches Element miteinander verbun
den sind, wobei jeder der Abschnitte jeweils wenigstens ei
ne Klemmeinrichtung aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß
die Klemmeinrichtungen (5) die Abschnitte (4) in unbetätig
tem Zustand ortsfest zu dem Führungselement (2) klemmen.
2. Antriebssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Klemmeinrichtungen (5) durch Beaufschlagung mit Druck
(p1, p2) betätigbar sind und die Abschnitte (4) in drucklosem
Zustand ortsfest zu dem Führungselement (2) klemmen.
3. Antriebssystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich
net, daß das längenveränderliche Element (6) als mittels
eines Piezoelements betätigbares längenveränderliches Ele
ment (6) ausgebildet ist.
4. Antriebssystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich
net, daß das längenveränderliche Element (6) als mittels
Druck betätigbares längenveränderliches Element (6) ausge
bildet ist.
5. Antriebssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß das Führungselement (2) als Stange,
Schiene oder dergleichen ausgebildet ist.
6. Antriebssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß das Führungselement (2) als ein die
beiden Abschnitte (4) und das längenveränderliche Element
(6) zumindest teilweise umgebendes Gehäuse ausgebildet ist.
7. Antriebssystem nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
die Klemmeinrichtungen (5) als Druckkammern (7) ausgebildet
sind, bei welchen sich bei Beaufschlagung mit Druck zumin
dest ein Teilbereich (Membran 8) in linearer Richtung aus
dehnt, wobei dadurch die Ausdehnung der Druckkammern (7) in
radialer Richtung abnimmt.
8. Antriebssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß die Beaufschlagung mit Druck durch ein
Fluid erfolgt.
9. Antriebssystem nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß im Bereich wenigstens einer der
Klemmeinrichtungen (5) ein Befestigungselement (3) zur
Übertragung der Bewegung (A) auf ein zu bewegendes Bauteil
angeordnet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10118456A DE10118456A1 (de) | 2001-04-12 | 2001-04-12 | Antriebssystem |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10118456A DE10118456A1 (de) | 2001-04-12 | 2001-04-12 | Antriebssystem |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10118456A1 true DE10118456A1 (de) | 2002-10-17 |
Family
ID=7681484
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10118456A Withdrawn DE10118456A1 (de) | 2001-04-12 | 2001-04-12 | Antriebssystem |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10118456A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012221891B3 (de) * | 2012-11-29 | 2014-02-13 | Picofine GmbH | Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen und/oder rotatorischen Positionierung |
CH708899A1 (de) * | 2013-11-29 | 2015-05-29 | Berner Fachhochschule Wissens Und Technologietransfer Wtt | Vorrichtung zur Fortbewegung in einem Innenbereich eines Rohrs. |
EP2995775A1 (de) | 2014-09-15 | 2016-03-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum Eintreiben einer Leitschaufel in eine Schaufelnut |
DE102020002199A1 (de) | 2020-04-07 | 2021-10-07 | Hochschule Furtwangen | Piezoelektrischer Inchworm Linearmotor |
-
2001
- 2001-04-12 DE DE10118456A patent/DE10118456A1/de not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012221891B3 (de) * | 2012-11-29 | 2014-02-13 | Picofine GmbH | Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen und/oder rotatorischen Positionierung |
CH708899A1 (de) * | 2013-11-29 | 2015-05-29 | Berner Fachhochschule Wissens Und Technologietransfer Wtt | Vorrichtung zur Fortbewegung in einem Innenbereich eines Rohrs. |
WO2015077899A1 (de) * | 2013-11-29 | 2015-06-04 | Berner Fachhochschule Wissens- Und Technologietransfer (Wtt) | Vorrichtung zur fortbewegung in einem innenbereich eines rohrs |
EP2995775A1 (de) | 2014-09-15 | 2016-03-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum Eintreiben einer Leitschaufel in eine Schaufelnut |
DE102020002199A1 (de) | 2020-04-07 | 2021-10-07 | Hochschule Furtwangen | Piezoelektrischer Inchworm Linearmotor |
DE102020002199B4 (de) | 2020-04-07 | 2022-11-24 | Hochschule Furtwangen | Piezoelektrischer Inchworm Linearmotor |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2008046566A1 (de) | Wurmförmiger mechanismus | |
DE69325669T2 (de) | Linearmotor für ein ventil | |
EP2812584B1 (de) | Aktorvorrichtung und verfahren zum einstellen einer position eines linear beweglichen elements | |
DE69124157T2 (de) | Mechanische Biegung zur Bewegungsvergrösserung und mit derselben ausgerüsteter Umformer | |
EP1014139A2 (de) | Optisches System, insbesondere Projektionsbelichtungsanlage der Mikrolithographie, mit einer optischen Halterung mit Aktuatoren | |
DE2830332A1 (de) | Elektro-hydraulische ventileinheit | |
EP2606568B1 (de) | Antriebsvorrichtung | |
DE202010005845U1 (de) | Mechatronisches wurmartiges Bewegungssystem für rohrartige Elemente | |
DE19960630B4 (de) | Kunststoffventil | |
DE102008014962A1 (de) | Positionssteuermechanismus für doppelt wirkende Pneumatikzylinder | |
EP1442329A2 (de) | Optisches element mit einer optischen achse | |
DE102020114071A1 (de) | Antriebssystem und Steuerverfahren für Spannvorrichtung | |
WO1996011342A1 (de) | Mikromechanischer aktor | |
DE112009003682B4 (de) | Antriebsmechanismus für die Bewegung eines Objekts entlang einer Bewegungsachse und Mikroventil | |
DE10118456A1 (de) | Antriebssystem | |
DE102013219759A1 (de) | Aktorvorrichtung und Verfahren zum Einstellen einer Position eines linear beweglichen Elements | |
EP3330568B1 (de) | Kolben-zylinder aggregat | |
EP3446014B1 (de) | Schnelles, piezoelektrisch angesteuertes hydraulikventil | |
DE3418372A1 (de) | Antrieb fuer eine allgemeine bahnbewegung und in diese integrierte antriebsvorrichtung | |
DE20107329U1 (de) | Positioniervorrichtung zur Positionierung eines Werkzeuges | |
DE2847380C2 (de) | Druckmittelbetriebener Regler mit Rückführung, insbesondere Stellungsregler | |
DE102008061666A1 (de) | Positionierungsvorrichtung | |
EP1396301A2 (de) | Vorrichtung zum Spannen von Werkstücken oder Werkzeugen | |
EP0355723B1 (de) | Einrichtung zur stetigen Beeinflussung eines Fluidstromes, insbesondere in einem Ventil | |
EP0298076A1 (de) | Elektrisch ansteuerbares kraftstoffeinspritzventil. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: CARL ZEISS SMT AG, 73447 OBERKOCHEN, DE |
|
8141 | Disposal/no request for examination |