DE10110597A1 - Anordnung zur Strahlabschwächung - Google Patents
Anordnung zur StrahlabschwächungInfo
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Abstract
Zur Abschwächung eines Lichtstrahls, die in vielen optischen Anwendungen erforderlich ist, wird vorgeschlagen, eine Abschwächungseinrichtung so auszugestalten, dass zunächst eine Einrichtung zum Aufweiten eines von einer Lichtquelle kommenden Strahles vorgesehen wird. Nach dem Passieren dieser Aufweitungseinrichtung wird der aufgeweitete Lichtstrahl einer Abschwächungseinrichtung zugeführt, die ein Blendenlochraster aufweist. Das Blendenlochraster ist dabei so ausgeführt, dass der aufgeweitete Lichtstrahl wenigstens zwei Lochblenden des Blendenlochrasters überdeckt.
Description
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Strahlabschwächung gemäß dem
Oberbegriff des Anspruchs 1.
Bei der Untersuchung von Proben mit Hilfe von Mikroskopen und
insbesondere bei der Untersuchung von Proben mit Hilfe der konfokalen
Scan-Mikroskopie ist es ebenso wie bei vielen anderen optischen
Anordnungen erforderlich, die von einer Strahlungsquelle ausgehenden
Lichtbündel im Hinblick auf ihre Lichtleistung abzuschwächen. Besonders
wünschenswert ist es dabei, den Abschwächungsgrad variabel zu gestalten
und den jeweiligen Bedürfnissen entsprechend anzupassen. Zur
Abschwächung der von einer Lichtquelle ausgehenden Strahlung ist es zur
Anwendung in der konfokalen Scan-Miskroskopie beispielsweise aus der US 6,038,067
bekannt, den Strahl begrenzende Blenden einzusetzen, die auf
einer rotierenden Scheibe angeordnet sind. Darüber hinaus wird in diesem
Dokument vorgeschlagen, galvanometrisch getriebene Spiegel und akkusto-
optische Strahl-Steuereinheiten oder ein Mikrolinsenarray zu verwenden. Zwar
sind insbesondere die akkusto-optischen Strahl-Steuereinheiten sehr flexibel,
jedoch sind sie in ihrem Aufbau und in der elektronischen Ansteuerung
äußerst komplex und entsprechend auch in der Herstellung sehr teuer.
Darüber hinaus ist bei diesen Elementen die Lichtleistung des einfallenden
Lichtstrahls auf einen Bereich von etwa 100 mW bis zu wenigen Watt
begrenzt.
In der US 5,684,626 wird insbesondere zur Verbesserung des Kontrastes und
zur Erhöhung der Auflösung vorgeschlagen, vor der Kondensorlinse des
Linsensystems eine Blendenscheibe vorzusehen. In diese Blendenscheibe
sind Blenden unterschiedlicher Größe eingearbeitet, die wahlweise in den
Strahlengang eingebracht werden können um so den Strahl unterschiedlich
abzuschwächen, wobei die jeweils beste Blende empirisch ermittelt wird. Die
Verwendung einer derartigen Blendenscheibe hat allerdings den Nachteil,
dass eine Abschwächung des Strahles nur in definierten Schritten erreicht
werden kann, die letztendlich durch den Blendendurchmesser bzw. durch den
Unterschied zwischen zwei aufeinander folgenden Blendendurchmessern
gegeben ist.
In der US 6,128,077 wird zur Lichtschwächung ein programmierbarer
räumlicher Lichtmodulator vorgeschlagen, der auf der Basis von einzeln
ansteuerbaren, nebeneinander angeordneten Flüssigkristallelementen
arbeitet. Durch die unterschiedliche Ansteuerung der Flüssigkristallelemente
können diese in ihrem Transmissionsverhalten für die einfallende
Lichtstrahlung beeinflusst werden. Damit kann ein gewünschtes und
bestimmtes Beleuchtungsmuster erzeugt werden.
Aus der bislang noch unveröffentlichten Deutschen Patentanmeldung mit der
Nummer 100 16 361.0 ist darüber hinaus eine Einrichtung zum Ausblenden
und Abschwächen spektraler Lichtanteile einer polychromatischen Strahlung
bekannt. Hierzu wird vorgeschlagen, den polychromatischen Lichtstrahl
zunächst durch den Einsatz einer dispersiven Anordnung, wie etwa eines
Prismas, spektral räumlich in einzelne Lichtbündel aufzufächern. Die
aufgefächerten einzelnen Lichtbündel werden anschließend einem
Abschwächungsmittel zugeführt. Als Abschwächungsmittel können dabei
beispielsweise eine oder mehrere Blenden verwendet werden, die in eine
Blendenscheibe eingebracht sind. Die Blenden für ein definiertes Lichtbündel
liegen dabei auf konzentrischen Kreisen um den Mittelpunkt der
Blendenscheibe und können unterschiedliche Formen aufweisen. Sofern die
Blenden in dieser Anordnung auf den konzentrischen Kreisen so ausgeführt
sind, dass sie sich in wenigstens einer Richtung verjüngen, besteht hierbei die
Möglichkeit, den Strahl im Rahmen einer sich verjüngenden Schlitzblende
durch Drehung der Blendenscheibe relativ variabel einzustellen.
Ausgehend von diesen bekannten Anordnungen zur Strahlabschwächung
besteht die Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, eine alternative
Anordnung zur Strahlabschwächung vorzuschlagen, die zum einen einfach
und kostengünstig herstellbar ist und zum anderen einen variablen
Abschwächungsgrad zulässt.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Anordnung zur
Strahlabschwächung gemäß den Merkmalen der Ansprüche 1 und 13, sowie
verfahrenstechnisch durch die Merkmale gemäß Anspruch 12 gelöst.
Bei der erfindungsgemäßen Anordnung zur Strahlabschwächung wird der
Strahl, der bevorzugt monochromatisch ist, zunächst einer Einrichtung zum
geometrischen Aufweiten des Strahles zugeführt. Erst anschließend wird der
aufgeweitete Strahl auf eine Abschwächungseinrichtung gerichtet, mit deren
Hilfe der Strahl auf das gewünschte Maß abgeschwächt werden kann.
Erfindungsgemäß zeichnet sich diese Abschwächungseinrichtung nun
dadurch aus, dass sie eine Mehrzahl von Blenden aufweist, die so ausgeführt
und in der Abschwächungseinrichtung angeordnet sind, dass der nun
aufgeweitete, bevorzugt monochromatische Strahl, wenigstens zwei der
Blenden zumindest teilweise überdeckt. Diese Maßnahmen zur
Strahlabschwächung sind konstruktiv besonders einfach zu lösen und
erlauben auch eine kostengünstige Herstellung einer Anordnung zur
Strahlabschwächung, wobei gleichzeitig auf eine komplizierte elektronische
Steuerung zur Strahlabschwächung verzichtet werden kann. Damit kann auch
die Fehleranfälligkeit eines derartigen Systems weiter reduziert und die
Zuverlässigkeit des gesamten optischen Systems gesteigert werden.
In einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die
Mehrzahl von Blenden auf einer Blendenscheibe angeordnet, wobei die
Blendenscheibe um eine Achse, beispielsweise eine im Mittelpunkt der
Blendenscheibe angeordnete Achse drehbar ist. Im Hinblick auf Form und
Größe sind die in der Blendenscheibe eingebrachten Blenden dabei so
ausgeführt, dass in eine fest vorgegebene Drehrichtung der Blendenscheibe,
beispielsweise in Drehrichtung entgegen dem Uhrzeigersinn, die Menge des
aufgeweiteten Strahles, der durch die Blenden fällt, zunimmt, wenn die
Blendenscheibe in dieser Richtung gedreht wird. Zum einen lässt sich dies
dadurch erreichen, dass die Anzahl der Blenden pro Flächeneinheit auf der
Blendenscheibe in Drehrichtung erhöht wird. Zum anderen ist es aber auch
möglich, statt der Anzahl der Blenden lediglich die Durchmesser der Blenden
zu erhöhen, wobei allerdings darauf zu achten ist, dass der einfallende,
aufgeweitete Lichtstrahl, wenigstens zwei der Blenden wenigstens teilweise
überdeckt. Damit ist gewährleistet, dass durch einfaches Drehen der
Blendenscheibe eine nahezu kontinuierliche Erhöhung der durch die
Blendenscheibe fallenden Lichtstrahlung erreicht werden kann. Im
Umkehrschluss ist es ebenso möglich, die durch die Blendenscheibe fallende
Lichtstrahlung dadurch zu reduzieren, dass die Blendenscheibe in die
entgegengesetzte Richtung gedreht wird.
Mit dieser Ausgestaltung der Erfindung steht also eine Anordnung zur
Strahlabschwächung zur Verfügung, deren Grad der Strahlabschwächung
durch einfaches Drehen der Blendenscheibe eingestellt werden kann, wobei
gleichzeitig eine im Wesentlichen kontinuierliche Erhöhung bzw. Erniedrigung
der Strahlabschwächung erreicht werden kann.
Selbstverständlich ist es in dieser Anordnung auch möglich, durch
Beeinflussung des Grades der geometrischen Strahlaufweitung die
gewünschten Effekte zu erzielen, da bei einer größeren Strahlaufweitung
mehr Lichtstrahlen durch die auf der Blendenscheibe befindlichen Blenden
hindurchtreten können.
Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind
Gegenstand der nachfolgenden Figuren sowie deren Beschreibungsteile, bei
deren Darstellung zugunsten der Anschaulichkeit auf eine maßstabsgetreue
Wiedergabe verzichtet wurde.
Es zeigen im Einzelnen:
Fig. 1 eine schematische Prinzipdarstellung des Strahlengangs in
einer erfindungsgemäßen Abschwächungseinrichtung in
Aufsicht
Fig. 2 ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Blendenscheibe
Fig. 3 ein weiteres Beispiel einer erfindungsgemäßen Blendenscheibe
Fig. 4 ein weiteres Beispiel einer erfindungsgemäßen Blendenscheibe
Wie in Fig. 1 dargestellt, fällt ein von einer Lichtquelle kommender Strahl 10
auf eine Strahlaufweitungsoptik 12. Als Lichtstrahl wird insbesondere ein im
Wesentlichen monochromatischer Lichtstrahl verwendet, wie er beispielsweise
durch heute übliche Laser erzeugt werden kann. Entsprechend führt die
Aufweitungsoptik 12 dazu, dass dieser im Wesentlichen monochromatische
Lichtstrahl zwischen der Aufweitungsoptik 12 und einer im Strahlengang ihr
folgend angeordneten Strahlvereinigungsoptik 14 als geometrisch
aufgeweiteter Lichtstrahl 16 vorliegt. Im Bereich zwischen der
Aufweitungsoptik 12 und der Strahlvereinigungsoptik 14 ist eine
Strahlabschwächungseinrichtung 18 vorgesehen, mit deren Hilfe der
aufgeweitete monochromatische Lichtstrahl 16 abgeschwächt werden kann.
Die Abschwächungseinrichtung 18 weist dabei bevorzugt eine
Blendenscheibe 20 auf, die an einer Drehwelle 22 drehbar gelagert ist.
Vorteilhafterweise ist die Drehwelle 22 mit einem Antrieb 24 verbunden, mit
dessen Hilfe die Blendenscheibe 20 über die Drehwelle 22 angetrieben
werden kann. Durch die Drehbarkeit der Blendenscheibe 20 ist es also
möglich, eine definierte Position auf der Blendenscheibe 20 in den
aufgeweiteten Lichtstrahl 16 einzudrehen. Die Blendenscheibe ist dabei so
ausgeführt, dass der aufgeweitete Lichtstrahl 16 eine Mehrzahl von Blenden
21 (Fig. 2) überdeckt. Damit können lediglich die Teile des aufgeweiteten
Lichtstrahles 16 die Blendenscheibe 20 durchdringen, die durch die Mehrzahl
der Blenden 21 fallen. Entsprechend wird durch diese Anordnung hinter der
Blendenscheibe 20 ein aufgeweiteter, jedoch abgeschwächter Lichtstrahl 26
erzeugt. Der aufgeweitete, abgeschwächte Lichtstrahl 26 wird anschließend
der Strahlvereinigungsoptik 14 zugeführt und somit zu einem abgeschwächten
Lichtstrahl 28 zusammengeführt.
Die möglicherweise an den Blendenrändern auftretenden Beugungseffekte
spielen bei der Verwendung des abgeschwächten Lichtes 28 im Wesentlichen
keine Rolle, da für die meisten Anwendungen nur die nullte Beugungsordnung
weiterverwendet wird. Unter bestimmten Voraussetzungen, die im Folgenden
noch näher erläutert werden, kann es jedoch günstig sein, den
wiedervereinigten abgeschwächten Lichtstrahl 28 mit Hilfe einer
Einkoppeloptik 30 in eine Lichtleitfaser 32, insbesondere in eine Monomode-
Glasfaser 32 einzukoppeln. Für die Zwecke der Mikroskopie wird dieses Licht
erst dann weiterverwendet, wenn es die Glasfaser 32 an ihrem Ende wieder
verlassen hat bzw. dort, ggf. mit einer weiteren Optik, wieder ausgekoppelt
wird.
In Fig. 2 ist schematisch eine Blendenscheibe 20 gezeigt, die um eine
Drehwelle 22, die sich in ihrem Mittelpunkt befindet, drehbar gelagert ist. In die
Blendenscheibe 20 sind eine Vielzahl von Blenden 21 von im Wesentlichen
gleicher Größe eingebracht. Die Blenden 21 und die Blendenscheibe 20 sind
dabei so ausgeführt, dass ein einfallender Lichtstrahl 16 durch die Blenden 21
gelangen kann, während die Ausbreitung eines Lichtstrahles in den Bereichen
außerhalb der Blenden 21 jedoch auf dem Blendenrand 20 an der Ausbreitung
gehindert ist. Schematisch wiedergegeben ist der aufgeweitete Lichtstrahl 16,
der auf die Blendenscheibe 20 fällt und im Inneren seines Durchmessers eine
Mehrzahl von Blenden 21a zumindest teilweise überdeckt. Der aufgeweitete
Lichtstrahl 16 wird also in den Bereichen außerhalb der Blenden 21a an einer
weiteren Ausbreitung gehindert, während er sich durch die Blenden 21a
ungehindert ausbreiten kann. Entsprechend wird die ursprüngliche Intensität
des aufgeweiteten Lichtstrahles 16 reduziert, so dass in dem Bereich hinter
der Blendenscheibe 20 ein abgeschwächter Lichtstrahl 26 (Fig. 1) zur
Verfügung gestellt wird. Die Blenden 21 sind auf der Blendenscheibe dabei so
angeordnet, dass ihre Anzahl je Flächeneinheit in Drehrichtung D zunimmt.
Besonders deutlich wird dies an den beiden exemplarisch eingezeichneten
Kreissegmenten 34 und 36, in welchen jeweils eine unterschiedliche Anzahl
Blenden 21 je Flächeneinheit vorhanden ist. Durch einfaches Drehen der
Blendenscheibe 20 ist es nun möglich, in den aufgeweiteten Strahl 16 einen
zunehmenden transmittierenden Flächenbereich der Blendenscheibe 20
einzudrehen. Bei der in Fig. 2 vorgeschlagenen Anordnung der Blenden auf
der Blendenscheibe wird in den aufgeweiteten Strahlengang 16 eine größere
Anzahl von Blenden 21 mit einem im Wesentlichen gleichen Durchmesser
eingedreht.
Diese Eigenschaft der Blendenscheibe 20 kann allerdings auch dadurch
erreicht werden, dass zwar die Anzahl der in die Blendenscheibe 20
eingebrachten Blenden 21 je Flächeneinheit konstant ist, dass sich aber die
Blendendurchmesser, wie in Fig. 3 gezeigt, in Drehrichtung D verändern.
Bevorzugt werden die Blenden auf der Blendenscheibe so ausgeführt, dass
mit einer Drehung in Drehrichtung D die Durchmesser der Blenden zunehmen,
bis die Blenden mit dem größten Durchmesser 21b auf Blenden mit dem
kleinsten Durchmesser 21c stoßen. Damit lässt sich eine im Wesentlichen
kontinuierliche Zunahme des durch die Blendenscheibe transmittierten Lichtes
erreichen. Gleichwertig sind dabei die Möglichkeiten, entweder die Blenden,
unregelmäßig auf der Blendenscheibe anzuordnen oder die Blenden
regelmäßig zueinander auf der Blendenscheibe vorzusehen. In jedem Falle ist
es mit diesen Anordnungen möglich, die Intensität des aufgeweiteten,
einfallenden Lichtstrahles 16 in dem Bereich zwischen dem Sektor 36 und
dem Sektor 34 (Fig. 2) zu variieren. Die Variationsmöglichkeiten, d. h. also die
Intensität der durchgelassenen Strahlung kann dabei zum einen über die
Anzahl und den Durchmesser der Blenden 21 sowie zum anderen über die
Strahlaufweitung 16 gesteuert werden.
In einer weiteren, in Fig. 4 gezeigten Ausführung, wird dem Bedürfnis
Rechnung getragen, dass die Intensität der einfallenden aufgeweiteten
Strahlung 16 in noch größeren Bereichen variiert werden kann. Hierbei wird
eine Möglichkeit vorgesehen, ganze Bereiche der einfallenden Strahlung 16
durch die Blendenscheibe 20 passieren zu lassen, indem in die
Blendenscheibe 20 eine konzentrische Aussparung 25 insbesondere in Form
eines Kreissektors eingebracht wird. Sobald nun die Blendenscheibe 20 so
gedreht wird, dass zumindest ein Teil der Aussparung 25 in den Bereich 16a
der aufgeweiteten Strahlung fällt, kann dieser Bereich der Blendenscheibe
ohne Abschwächung passieren. Damit ist es also möglich, eine aufgeweitete,
einfallende Lichtstrahlung 16 auch ohne jegliche Abschwächung durch die
Blendenscheibe zu führen. Eine derartig ausgestaltete Blendenscheibe kann
auch dazu verwendet werden, dass der aufgeweitete Lichtstrahl 16a seitlich
angeschnitten wird. Diese Vorgehensweise ist durch die strichliert
angedeutete zweite Position des Lichtstrahles 16a wiedergegeben. Mit dem
seitlichen Anschneiden des aufgeweiteten Lichtstrahles 16a besteht somit
also eine zusätzliche Möglichkeit, die Intensität des einfallenden,
aufgeweiteten Lichtstrahles 16a in weiten Bereichen zu variieren. Zwar kann
das transversale Anschneiden des Lichtstrahles 16a zu einer Verformung des
transversalen Strahlquerschnittes führen. Dies lässt sich allerdings dadurch
heilen, dass das Licht, wie bereits erwähnt, nach dem Passieren der
Abschwächungseinrichtung 18 in eine Monomode-Glasfaser eingekoppelt wird
und erst nach dem Austritt aus dieser Glasfaser für mikroskopische Zwecke
weiterverwendet wird.
Die Blendenscheibe lässt sich aus massivem, lichtundurchlässigem Material
fertigen, wobei bevorzugt Stahl, Keramik, Blech oder andere
lichtundurchlässige Materialien verwendet werden. Diese haben den großen
Vorteil, dass die Verwendbarkeit der Abschwächungsanordnung 18 im
Hinblick auf die Intensität des einfallenden Lichtes kaum Grenzen gesetzt
sind. Dieser Effekt lässt sich weiterhin dadurch verbessern, dass die
Blendenscheibe auf der Lichteinfallsseite spiegelnd beschichtet oder das
Material selbst als spiegelnde Fläche ausgeführt ist.
Im Rahmen der Erfindung ist es selbstverständlich auch möglich, an Stelle der
beschriebenen Blendenscheiben auch Blendenschieber einzusetzen, die so
ausgeführt und in den Strahlengang eingebracht werden, dass sie die gleiche
Wirkung wie die Blenden 21 auf der Blendenscheibe haben. Dies bedeutet
allerdings, dass die Blendenschieber so angeordnet sein müssen, dass der
aufgeweitete Lichtstrahl 16 an einer Mehrzahl von Stellen durch die
Blendenschieber in seiner Ausbreitung gehindert wird.
10
einfallender Lichtstrahl
12
Strahlaufweitungsoptik
14
Strahlvereinigungsoptik
16
aufgeweiteter Lichtstrahl
16
a aufgeweiteter Lichtstrahl
18
Strahlabschwächungseinrichtung
20
Blendenscheibe
21
Blenden
21
a Blenden
21
b Blenden
21
c Blenden
22
Drehwelle
24
Antrieb
25
Aussparung
26
aufgeweiteter abgeschwächter Lichtstrahl
28
wiedervereinigter abgeschwächter Lichtstrahl
30
Einkoppeloptik
32
Lichtleitfaser
34
Sektor
36
Sektor
D Drehrichtung
D Drehrichtung
Claims (14)
1. Anordnung zur Strahlabschwächung eines von einer Lichtquelle
ausgehenden Strahles (10) mit einer Einrichtung zum Aufweiten (12) des
Strahles und einer Abschwächungseinrichtung (18) zum Abschwächen des
aufgeweiteten Strahles (16) dadurch gekennzeichnet, dass die
Abschwächungseinrichtung (18) eine Mehrzahl von Blenden (21) aufweist, die
so auf der Abschwächungseinrichtung (18) ausgeführt und angeordnet sind,
dass der aufgeweitete Laserstrahl (16) wenigstens zwei der Blenden (21)
zumindest teilweise überdeckt.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die
Blenden (21) in eine drehbar gelagerte Scheibe (20) eingebracht sind.
3. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 oder 2 dadurch
gekennzeichnet, dass die Anzahl der Blenden (21) je Flächeneinheit der
Oberfläche der Abschwächungseinrichtung (18) variiert.
4. Anordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 3 dadurch
gekennzeichnet, dass der Durchmesser der Blenden (21) in einer
Drehrichtung der Scheibe (20) variiert.
5. Anordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 4 dadurch
gekennzeichnet, dass die Blenden (21) so auf der Scheibe (20) angeordnet
sind, dass durch Drehen der Scheibe (20) die transmittierte Lichtleistung
variiert, insbesondere kontinuierlich variiert werden kann.
6. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5 dadurch
gekennzeichnet, dass die Abschwächungsanordnung (18) so ausgeführt ist,
dass nur die nullte Beugungsanordnung des transmittierten Lichtes verwendet
wird.
7. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6 dadurch
gekennzeichnet, dass hinter der Abschwächungsanordnung (18) ein
Monomode-Glasfaserleiter so vorgesehen ist, dass das durch die
Abschwächungseinrichtung transmittierte Licht den Monomode-Glasfaserleiter
(32) so passiert, dass eine Beugungsbegrenzung erzeugt wird.
8. Anordnung nach Anspruch 2 dadurch gekennzeichnet, dass die
drehbar gelagerte Scheibe (20) aus massivem, temperaturunempfindlichem
Material gefertigt ist.
9. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 8 dadurch
gekennzeichnet, dass der aufgeweitete Laserstrahl (16) ein im Wesentlichen
monochromatischer Laserstrahl ist.
10. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 dadurch
gekennzeichnet, dass die Blendenscheibe (20) eine konzentrisch sich
verengende Ausnehmung (25) aufweist.
11. Mikroskop, insbesondere Raster-Scan-Mikroskop dadurch
gekennzeichnet, das das Mikroskop eine Anordnung zur Strahlabschwächung
(18) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 10 aufweist.
12. Verfahren zur Strahlabschwächung eines von einer Lichtquelle
ausgehenden Strahles (10) insbesondere in einem Raster-Scan-Mikroskop,
wobei der Strahl (10) räumlich aufgeweitet und dann einer
Abschwächungseinrichtung zur Strahlabschwächung (18) des Strahles
zugeführt wird dadurch gekennzeichnet, dass die Abschwächungseinrichtung
(18) eine Mehrzahl von Blenden (21) aufweist und der aufgeweitete Strahl (16)
so auf die Abschwächungseinrichtung (18) gerichtet wird, dass er wenigstens
zwei Blenden (21) zumindest teilweise überdeckt.
13. Anordnung zur Strahlabschwächung eines von einer Lichtquelle
ausgehenden Strahles (10) mit einer Einrichtung zum Aufweiten (12) des
Strahles und einer Abschwächungseinrichtung (18) zum Abschwächen des
aufgeweiteten Strahles (16) dadurch gekennzeichnet, dass die
Abschwächungseinrichtung (18) eine Blendenscheibe (20) aufweist, in
welcher wenigstens eine konzentrisch verlaufende Ausnehmung (25)
vorgesehen ist.
14. Anordnung nach Anspruch 13 dadurch gekennzeichnet, dass die
Ausnehmung (25) als Kreissektor ausgebildet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2001110597 DE10110597A1 (de) | 2001-03-06 | 2001-03-06 | Anordnung zur Strahlabschwächung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2001110597 DE10110597A1 (de) | 2001-03-06 | 2001-03-06 | Anordnung zur Strahlabschwächung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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ID=7676390
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2001110597 Ceased DE10110597A1 (de) | 2001-03-06 | 2001-03-06 | Anordnung zur Strahlabschwächung |
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Country | Link |
---|---|
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