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Die Erfindung betrifft eine Nadelkarte
zum Testen einer integrierten Schaltung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs
1 und die Verwendung einer solchen Nadelkarte in einem Testsystem.
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Eine derartige Vorrichtung ist bspw.
aus der
DE 1939676
A1 bekannt. Beim Herstellen von integrierten Schaltungen
wird ein erster Test der integrierten Schaltungen bereits auf der
unzersägten Substratscheibe
durchgeführt.
Dazu ist es notwendig, die Schaltung an dafür vorgesehenen Stellen mit Hilfe
einer geeigneten Einrichtung zu kontaktieren. Man verwendet dafür eine Nadelkarte,
die einerseits Anschlüsse
zum Verbinden der Karte mit einer externen Testvorrichtung aufweist
und andererseits federelastische Nadeln besitzt. Die Nadeln sind
so angeordnet, dass sie die Anschlussflächen der jeweiligen integrierten
Schaltung beim Aufsetzen der Nadelkarte an einer bestimmten Position
der Substratscheibe kontaktieren. Die Nadelkarte wird mit einer bestimmten
Kraft auf die Anschlussflächen
aufgesetzt.
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Beim Aufsetzen der Kontaktierungsnadeln auf
die Anschlussflächen
ist es unvermeidlich, dass die Kontaktierungsnadeln noch einen gewissen
Weg parallel über
die Anschlussfläche
rutschen. Da häufig die
Kontaktierungsnadeln mit einer Kontaktierungsspitze in ihrem Anschlussbereich
versehen ist, kratzt die Kontaktierungsspitze über die Anschlussfläche und
kann diese somit beschädigen.
Bisher nimmt man die Kratzer in der Anschlussfläche in Kauf. Dadurch wird jedoch
die Gesamt produktionsausbeute bei der Herstellung integrierter Schaltungen
verringert, weil das Kratzen der Kontaktierungsnadeln über die
jeweilige Anschlussfläche
gelegentlich die Anschlussfläche
zerstört,
was dazu führt,
dass die integrierte Schaltung unbrauchbar wird. Es kann weiterhin
vorkommen, dass die Kontaktierungsnadeln die Metallschicht der Anschlussfläche durchdringt,
so dass unter der Anschlussfläche
liegende Verbindungsleitungen zerstört werden.
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Es ist Aufgabe der Erfindung eine
verbesserte Nadelkarte und deren Verwendung, zum Testen einer integrierten
Schaltung zur Verfügung
zu stellen.
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Diese Aufgabe wird durch die Nadelkarte nach
Anspruch Testsystem nach Anspruch 6 gelöst. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen
der Erfindung sind in den abhängigen
Ansprüchen
angegeben.
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Erfindungsgemäß ist eine Nadelkarte zum Testen
einer integrierten Schaltung auf einer Substratscheibe vorgesehen,
die eine Kontaktierungseinrichtung aufweist. Die Kontaktierungseinrichtung
umfasst einen Kontaktierungsbereich, mit dem eine Anschlussfläche der
integrierten Schaltung kontaktierbar ist. Der Kontaktierungsbereich
weist eine Ausnehmung auf, die geeignet ist, durch eine Struktur
auf der Anschlussfläche
so gehalten zu werden, dass die Kontaktierungseinrichtung zumindest
in einer im Wesentlichen zur Anschlussfläche parallelen Richtung durch
die Struktur gehaltert ist.
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Weiterhin ist eine Anschlussfläche einer
integrierten Schaltung auf einer Substratscheibe vorgesehen, wobei
zum Kontaktieren der integrierten Schaltung einer Kontaktierungseinrichtung
auf die Anschlussfläche
aufgesetzt wird. Die Anschlussfläche
weist eine Struktur auf, die im Wesentlichen senkrecht zur Anschlussfläche ausgebildet
ist und die geeignet ist, die Kontaktierungseinrichtung zumindest
gegen ein Verschieben in einer im Wesentlichen zur Anschlussfläche parallelen
Richtung zu halten.
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Durch die Ausnehmung im Kontaktierungsbereich
der Nadelkarte erreicht man, dass die Kontaktierungseinrichtung
mit einer Struktur auf der Anschlussfläche zusammenwirkt, so dass
die Kontaktierungseinrichtung gegen ein seitliches Verschieben,
d.h, ein Verschieben in einer Richtung parallel zur Anschlussfläche, gehalten
wird. Auf diese Weise kann vermieden werden, dass nach einem Aufsetzen der
Kontaktierungseinrichtung durch ein Rutschen ein Kratzer auf der
Anschlussfläche
entsteht, der entweder die Anschlussfläche unbrauchbar macht oder die
Anschlussfläche
durchdringt und darunterliegende Verbindungsleitungen zerstört.
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Vorzugsweise kann vorgesehen sein,
dass die Struktur stegförmig,
kegelförmig,
zylinderförmig oder
pyramidenförmig
aus der Anschlussfläche
herausragt. Damit ist die Struktur geeignet, mit einer Kontaktierungseinrichtung
und einer entsprechenden Ausgestaltung des Kontaktierungsbereichs
zusammenzuwirken. Die Kontaktierungseinrichtung weist dabei vorzugsweise
eine Ausnehmung auf, die so gestaltet ist, dass die Struktur der
Anschlussfläche
in die Ausnehmung eingreift, so dass ein seitliches Verrutschen
oder Verschieben des Kontaktierungsbereiches über die Anschlussfläche verhindert
wird.
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Insbesondere bei einer kegelförmigen oder pyramidenförmigen Struktur
auf der Anschlussfläche kann
mit einem röhrenförmigen Kontaktierungsbereich
zusätzlich
erreicht werden, dass bei einem leicht gegenüber der Struktur versetzten
Aufsetzen der Kontaktierungseinrichtung eine Selbstjustierung stattfindet.
Die Selbstjustierung erfolgt, indem der Kontaktierungsbereich elastisch
durch Entlanggleiten einer durch die Ausnehmung gebildeten Kante seitlich
verschoben wird, so dass die Ausnehmung exakt auf der kegelförmigen oder
pyramidenförmigen Struktur
positioniert wird.
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Gemäß einer weiteren Ausführungsform kann
die Struktur auch eine stegförmige,
kegelförmige,
zylinderförmige
oder pyramidenförmige
Senke in der Anschlussfläche
sein. Eine solche Struktur ist geeignet, einen Kontaktierungsbereich
mit einer vorstehenden Struktur, z.B. einer Spitze, die eine entsprechende
Form aufweist, aufzunehmen. Auf diese Weise kann die Senken-Struktur
den hervorstehenden Kontaktierungsbereich gegen seitliches Verschieben halten.
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Bevorzugt kann vorgesehen sein, dass
die Struktur bezogen auf Mitte der Anschlussfläche versetzt angeordnet ist.
Damit erreicht man, dass ein späteres
Kontaktieren der Anschlussfläche
mit Anschlussleitungen, z. B. durch einen Bonding-Prozess, nicht
durch die vertikal zur Anschlussfläche verlaufende Strukturierung
beeinträchtigt
wird.
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Bevorzugt kann ebenfalls vorgesehen
sein, dass auf der Anschlussfläche
mehrere, vorzugsweise zwei Strukturen zur Kontaktierung mit mehreren, vorzugsweise
zwei Kontaktierungseinrichtungen vorgesehen sind. Auf diese Weise
kann eine Kontaktierung einer Anschlussfläche mittels bekannter Techniken,
wie die Fly-by-Technik bzw. die Dual-Transmission-Line-Technik durchgeführt werden,
bei der eine Anschlussfläche
mit zwei Kontaktierungseinrichtungen kontaktiert werden, um Verzögerungen
bei der Testgeschwindigkeit aufgrund von Signallaufzeiten z.B. über die
Kontaktierungseinrichtungen, Umschaltzeiten zwischen Signaltreibern
und Signalausleseverstärker
eines Schreib-/Lesekanals der Testeinrichtung oder ähnlichem
zu reduzieren.
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Weiterhin ist eine Kalibrierungsvorrichtung für eine Nadelkarte
mit einer Kontaktierungseinrichtung vorgesehen. Die Kontaktierungseinrichtung weist
einen Kontaktierungsbereich auf. Die Kalibrierungsvorrichtung weist
eine Anschlussstruktur auf, die so gestaltet ist, um mit dem Kontaktierbereich
der Kontaktierungseinrichtung zusammenzu wirken. Dadurch kann eine
Kalibrierungseinrichtung geschaffen werden, mit der eine Kontaktierungseinrichtung
einer Nadelkarte hinsichtlich Impedanz, d.h. Widerstand und Induktivität, vermessen
werden kann, um den Einfluss der Parameter bei späterer Verwendung
der Nadelkarte mit hochfrequenten Signalen zu berücksichtigen.
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Eine bevorzugte Ausführungsform
wird im folgenden anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Es
zeigen:
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1 einen
Ausschnitt aus einer Nadelkarte nach dem Stand der Technik mit einer
Kontaktierungsnadel, die eine Anschlussfläche auf einer Substratscheibe
kontaktiert;
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2a – c verschiedene Ausführungsformen von erfindungsgemäßen Kontaktierungseinrichtungen;
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3 eine
bevorzugte Ausführungsform
einer Anschlussfläche;
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4 eine
röhrenförmige Kontaktierungseinrichtung
mit scharfen Kanten;
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5 eine
Anschlussfläche
mit zwei nebeneinander angeordneten Strukturen, die durch zwei Kontaktierungseinrichtungen
kontaktiert werden; und
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6 eine
Kalibrierungseinrichtung für
eine Nadelkarte.
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1 zeigt
einen Querschnitt einer Nadelkarte 1, auf der sich eine
Kontaktierungsnadel 2 befindet. Die Kontaktierungsnadel 2 ist über Leitungsverbindungen
der Nadelkarte 1 mit einer (nicht gezeigten) externen Testereinrichtung
verbunden. Die Kontaktierungsnadel 2 ist mit einem Kontaktierungsbereich 3 versehen,
auf dem sich eine Kontaktierungsstruktur 4 befindet, die üblicherweise
pyramidenförmig
bzw. kegelförmig
von dem Kontaktierungsbereich 3 hervorsteht. Die Kontaktierungs nadel 2 ist elastisch
ausgeführt
und S-förmig
gebogen, so dass beim Aufsetzen der Nadelkarte 1 auf die
Anschlussflächen 5 einer
Substratscheibe 6 die Kontaktierungsstruktur 4 mit
einer gewissen Kraft auf die Anschlussfläche 5 gedrückt wird.
Die Kontaktierungsnadel 2 ist aus einem leitfähigen Material,
vorzugsweise aus einem Metall gebildet, das eine hohe Elastizität besitzt.
Der Durchmesser, die Länge
und das Material der Kontaktierungsnadel 2 sind so aufeinander
abgestimmt, dass die Kontaktierungsstruktur 4 mit einer in
etwa vorbestimmten Kraft auf der Anschlussfläche 5 aufliegt. Die
Kraft muss so bemessen sein, dass eine sichere Kontaktierung der
Anschlussfläche 5 durch
die Kontaktierungsstruktur 4 erreicht wird, ohne dass dabei
die Kontaktierungsstruktur 4 zu tief in die Anschlussfläche 5 eindringt,
wodurch die Anschlussfläche 5 oder
darunterliegende Leiterbahnen beschädigt werden können.
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Insbesondere durch die S-förmige Struktur der
Kontaktierungsnadel 2 wird eine elastische Bewegung der
Kontaktierungsstruktur 4 in senkrechter Richtung bezüglich der
Nadelkarte 1 ermöglicht.
Die gegeneinander versetzten Anlagepunkte der Kontaktierungsnadel 2 auf
der Nadelkarte 1 sowie der Kontaktierungsstruktur 4 auf
der Anschlussfläche 5 bewirken
jedoch beim Aufsetzen der Kontaktierungsnadel 2 auf die
Anschlussfläche 5 neben
einer vertikalen Bewegung der Kontaktierungsstruktur 4 gegenüber der
Nadelkarte 1 auch eine leichte seitliche Verschiebung der
Kontaktierungsstruktur 4 über die Anschlussfläche 5.
Dies führt
dazu, dass die Kontaktierungsstruktur 4 beim Aufsetzen über die
Anschlussfläche 5 kratzt
und sich in diese hineingräbt.
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Durch die seitliche Verschiebung
der Kontaktierungsstruktur 4 kann sie tiefer in die Anschlussfläche 5 eindringen,
als es bei einer ausschließlich senkrechten
Aufsetzbewegung der Fall wäre.
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Die 2a – 2c zeigen mögliche Ausführungsformen
von erfindungsgemäßen Nadelkarten mit
Kontaktierungseinrichtungen, sowie erfindungsgemäß ausgestalteten Anschlussflächen.
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2a zeigt
röhrenförmige Kontaktierungseinrichtungen 8,
die mit ihren oberen Enden auf einer Nadelkarte 1 angeordnet
sind. Die röhrenförmigen Kontaktierungseinrichtungen 8 weisen
jeweils an ihrem unteren Ende eine Ausnehmung 10 auf. Mit
der Ausnehmung 10 werden die Kontaktierungseinrichtungen 8 auf
Strukturen 7 aufgesetzt, die sich jeweils auf der Anschlussfläche 5 befinden.
Die Strukturen 7 ragen pyramiden- oder kegelförmig aus
der Anschlussfläche 5 heraus.
Der Rand 9 der röhrenförmigen Kontaktierungseinrichtung 8 liegt
dabei an einer Seitenwand der pyramidenförmigen bzw. kegelförmigen Struktur 7 an.
Dadurch wird die Anschlussfläche 5 nicht
beschädigt,
weil die Kontaktierungseinrichtung 8 nicht mit der Anschlussfläche in Kontakt kommt.
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Damit die röhrenförmigen Kontaktierungseinrichtungen 8 mit
einer ausreichenden Kraft an den Strukturen 7 anliegen,
sind die Kontaktierungseinrichtungen 8 elastisch ausgeführt. Dies
wird im gezeigten Ausführungsbeispiel
durch die röhrenförmige Ausgestaltung
erreicht. So ist in 2a eine
Kontaktierungseinrichtung 8 gezeigt, in der eine elastische Stauchung
der Kontaktierungseinrichtung 8 gepunktet angedeutet ist.
Die Kraft, mit der die röhrenförmige Kontaktierungseinrichtung 8 auf
der pyramiden- oder kegelförmigen
Struktur 7 aufsitzt, kann im Wesentlichen über die
Elastizität
der Kontaktierungseinrichtung 8 eingestellt werden. Deren
Elastizität
ist bestimmt durch die Wandstärke
der röhrenförmigen Kontaktierungseinrichtung 8,
sowie durch deren Länge
und deren Material. Es kann vorgesehen sein, dass die Kontaktierungseinrichtung 8 nur
abschnittsweise röhrenförmig ausgestaltet
sein kann, während der übrige Teil
der Kontaktierungseinrichtung 8 eine andere Ausformung
aufweist. In diesem Fall wird die Elastizität durch die einzelnen Abschnitte
der Kontaktierungseinrichtung 8 bestimmt.
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Da beim Testen mit Hilfe der Nadelkarten häufig Signale
mit sehr hoher Frequenz übertragen werden,
findet der Stromfluss durch die Kontaktierungseinrichtung 6 aufgrund
des Skin-Effekts
(Stromverdrängungseffekt)
im Wesentlichen auf der äußeren Oberfläche eines
Leiters statt. Somit hat die Wandstärke der Kontaktierungseinrichtung 8 einen relativ
geringen Einfluss auf die Impedanz der Kontaktierungseinrichtung 8,
so dass zur Einstellung der Elastizität die Wandstärke frei
gewählt
werden kann.
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Bei einer geringen seitlichen Verschiebung der
Kontaktierungseinrichtungen 8 auf der Nadelkarte 1 gegenüber den
Anschlussflächen 5 auf
der Substratscheibe 6 übernimmt
der Eingriff der kegelförmigen
Struktur 7 in die Ausnehmung 10 der Kontaktierungseinrichtung 8 eine
Feinjustierung. Beim Aufsetzen der Kontaktierungseinrichtung 8 auf
die Struktur 7 wird dann die Kontaktierungseinrichtung 8 elastisch zur
Seite gebogen, indem der Rand 9 der Kontaktierungseinrichtung 8 in
einem Bereich der pyramiden- bzw. kegelförmigen Struktur 7 entlanggleitet,
bis der gesamte Rand 9 auf der Struktur 7 aufsitzt
und die Struktur 7 somit kontaktiert. Beim Abheben der
Kontaktierungseinrichtung 8 nimmt diese wieder ihre ursprüngliche
Position ein.
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Zum Aufnehmen der Struktur 7 ist
es lediglich notwendig, dass die Kontaktierungseinrichtung 8 an
ihrem Ende die entsprechende Ausnehmung zur Aufnahme der Struktur 7 aufweist.
Bezüglich
ihrer übrigen
Erstreckung ist es, wie zuvor beschrieben, nicht notwendig, dass
die Kontaktierungseinrichtung 8 über ihre gesamte Länge röhrenförmig ausgeführt ist. Um
die zur Ausübung
des Kontaktdruckes notwendige Elastizität in vertikaler Richtung zu
erreichen, kann dann, wie in 2b beispielhaft
gezeigt, eine elastische Aufhängung
der Kontaktierungseinrichtung 8 z.B. an einem leitfähigen Federplättchen 11 vorgesehen
sein, die die notwendige Beweglichkeit in vertikaler Richtung zur
Verfügung
stellt. Die Länge der
Kontaktierungseinrichtung 8 und die Größe des Federplättchens 11 bestimmen,
in welchem Maße eine
Feinjustierung, d.h. eine seitliche Auslenkung der Kontaktierungseinrichtung 8 möglich ist,
wenn die Kontaktierungseinrichtung 8 nicht exakt auf die Struktur 7 aufgesetzt
wird.
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2c zeigt
eine weitere Ausführungsform, bei
der die Kontaktierungseinrichtung 8 röhrenförmig ausgeführt ist und auf ähnliche
Weise, wie bereits im Zusammenhang mit dem Stand der Technik gezeigt, S-förmig gebogen
ist. So erreicht man ebenfalls eine hohe Elastizität in vertikaler
Richtung. Da die Elastizität
vorwiegend durch die S-förmige
Ausgestaltung der Kontaktierungseinrichtung 8 bewirkt wird,
kann bei dieser Ausführungsform
die Ausnehmung 10 auf den unmittelbaren Kontaktbereich
mit der Struktur 7 beschränkt sein.
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3 zeigt
eine Ausführungsform
einer Anschlussfläche 5,
bei der die Anschlussfläche 5 durch eine
herkömmliche
Kontaktierungsnadel 2 kontaktiert wird. Eine Kontaktierungsnadel 2 weist
einen Kontaktierungsbereich 3 mit einer Kontaktierungsstruktur 4 auf.
Die Kontaktierungsstruktur 4 ist pyramidenförmig und
bildet zum Kontaktieren der Anschlussfläche 5 eine Spitze.
Die Anschlussfläche 5 weist
eine Senke 15 auf, die vorzugsweise ebenfalls pyramidenförmig oder
kegelförmig
in die Anschlussfläche 5 hineinreicht.
Auch andere Formen der Senke 15 sind denkbar. Die Kontaktierungsnadel 2 entspricht
im Wesentlichen der Form, die im Zusammenhang mit dem Stand der
Technik dargestellt wurde.
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Beim Kontaktieren der Anschlussfläche 5 wird
durch die pyramidenförmige
Senke 15 erreicht, dass die Spitze der pyramidenförmigen Kontaktierungsstruktur 4 nicht über die
Anschlussfläche
kratzen kann. Dabei greift die Kontaktierungsstruktur 4 in die
pyramidenförmige
Senke 15 in der Anschlussfläche 5 und hält dadurch
die Kontaktierungsstruktur 4 gegen ein seitliches Verrutschen
parallel zur Anschlussfläche 5 fest,
da die Kontaktierungsstruktur 4 mit einer Kraft in die
Senke 15 gedrückt
wird. Auf diese Weise lässt
sich eine Beschädigung
oder Zerstörung
der Anschlussfläche 5 durch
die Kontaktierung mit einer Kontaktierungsnadel 2 vermeiden
und eine zuverlässige
Kontaktierung ist gewährleistet.
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4 zeigt
eine mögliche
Ausführungsform für eine Kontaktierungseinrichtung 8,
die röhrenförmig ausgebildet
ist, wobei der Rand 9 der Ausnehmung 10, der auf
die Struktur 7 aufgesetzt wird, scharfkantig ausgeführt wird.
Die scharfkantige Form wird z.B. durch ein Anschrägen des
Randes 9 erreicht.
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Beim Aufsetzen der Kontaktierungseinrichtung 8 auf
die pyramiden- bzw. kegelförmige
Struktur 7 und Ausüben
einer senkrecht zur Anschlussfläche 5 gerichteten
Kraft kann dann die scharfe Kante des Randes 9 in das Material
der Struktur 7 eindringen und somit einen zuverlässigen Kontakt
bilden. Dazu ist vorzugsweise vorgesehen, dass das Material der Struktur 7 weicher
bzw. leichter verformbar ist als das Material der Kontaktierungseinrichtung 8.
Dies ist insbesondere auch deswegen sinnvoll, da die Kontaktierungseinrichtung 8 für ein wiederholtes
Kontaktieren von Anschlussflächen 5 bzw.
darauf befindlicher Strukturen 7 geeignet sein muss und
nicht durch die entsprechenden Strukturen 7 beschädigt werden darf.
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5 zeigt
eine Anschlussfläche 8,
auf der sich zwei nebeneinander angeordnete im Wesentlichen gleichartige
Strukturen 7 befinden. Die Strukturen 7 werden
durch ein Aufsetzen von zwei röhrenförmigen Kontaktierungseinrichtungen 8 kontaktiert,
so dass die Kontaktierungseinrichtungen 6 auf den gleichartigen
Strukturen 7 gehalten werden. Eine solche Doppelkontaktierung
wird vorgenommen, um den Testablauf zu beschleunigen, indem die
Signale beim Schreiben und Lesen über getrennte Kontaktierungsleitungen
zur Anschlussfläche 5 geführt werden.
Diese Technik nennt man Dual-Transmission-Line Technik. Sie betrifft
insbesondere bidirektionale Ein- /Ausgänge der
integrierten Schaltung, die über
die Anschlussfläche 5 kontaktiert
werden können.
Bei hohen Signaldatenraten ist die Signalverzögerung durch die Länge der
Zuführungsleitungen
auf der Nadelkarte 1, die Länge der Kontaktierungseinrichtung
und die Antwortzeit der integrierten Schaltungen nicht ausreichend,
um zwischen dem Schreiben und Auslesen eines Signals ein sicheres
Umschalten von dem jeweiligen im Tester befindlichen Schreibtreiber
zu dem an den Anschluss angeschlossenen Ausleseverstärker zu
gewährleisten.
Aus diesem Grunde ist vorgesehen, die Anschlussfläche 5 doppelt
zu kontaktieren, wobei durch die erste Kontaktierungseinrichtung
Daten nur geschrieben werden, während
mit der zweiten Kontaktierungseinrichtung nur Daten ausgelesen werden.
Auf diese Weise entfällt,
dass die Zeitdauer zum Umschalten zwischen Schreibtreiber und Ausleseverstärker berücksichtigt
werden muss, wodurch die Geschwindigkeit zum Testen erheblich verbessert
werden kann. Diese Technik ist auch als Fly-by-Technik bekannt.
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6 zeigt
schematisch eine Kalibrierungseinrichtung 12 für eine Nadelkarte 1.
Die Kalibrierungseinrichtung 12 weist röhrenförmige Strukturen 13 auf,
die über
elektrische Verbindungsleitungen mit einer elektronischen Kalibrierungseinheit
(nicht gezeigt) verbunden sind. Die Nadelkarte 1 weist
Kontaktierungsnadeln 2 auf und wird so auf die Kalibrierungseinrichtung 12 aufgesetzt,
dass die Kontaktierungsnadeln 2 der Nadelkarte 1 an
den Enden der röhrenförmigen Strukturen 13 in
den Ausnehmungen 10 aufgenommen werden. Die Länge der
durch die Strukturen 13 und von Durchleitungen der Kalibrierungseinrichtung 12 vorgegebenen
Verbindungsleitungen zur Kalibrierungseinheit haben vorzugsweise für jeden
Anschluss die gleiche Länge.
Die Kalibrierungseinheit wird mit einem Anschluss an die Kalibrierungseinrichtung 12 und
mit einem anderen Anschluss an die Nadelkarte 1 angeschlossen
und anschließend
für jede
Kontaktierung zwischen Kontaktierungsnadel 2 und röhrenförmiger Struktur 13 die Signallaufzeit
gemessen. Da die elektrischen Parameter der Kontaktierungs einheit
und, der Kontaktierungseinrichtung 12 vorab bestimmt sind,
kann man aus den gemessenen Signallaufzeiten und Dämpfungen
die Impedanz der Nadelkarte 1 ermitteln. Eine Kalibrierung
mit einer solchen Kalibrierungseinrichtung 12 ist insbesondere
deswegen vorteilhaft, da die Kontaktierungsnadeln 2 einer
herkömmlichen
Nadelkarte 1 mit den röhrenförmigen Strukturen 13 sehr präzise und
zuverlässig
kontaktiert werden können, wobei
man einen niederohmigen Kontakt erhält der die innere Impedanz
der Nadelkarte nicht beeinflusst.
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- 1
- Nadelkarte
- 2
- Kontaktierungsnadel
- 3
- Kontaktierungsbereich
- 4
- Kontaktierungsstruktur
- 5
- Anschlussfläche
- 6
- Substratscheibe
- 7
- Struktur
- 8
- röhrenförmige Kontaktierungseinrichtung
- 9
- Rand
der Kontaktierungseinrichtung
- 10
- Ausnehmung
- 11
- Federplättchen
- 12
- Kalibrierungseinrichtung
- 13
- Röhrenförmige Struktur
- 14
- Kontaktierungseinrichtung
- 15
- Senke