DE10105894A1 - Magnetisch sensitive Schichtanordnung - Google Patents
Magnetisch sensitive SchichtanordnungInfo
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Abstract
Es wird eine magnetisch sensitive Schichtanordnung (10, 20) mit verbesserter Temperatur- und Langzeitstabilität zum Einsatz in einem GMR-Sensorelement vorgeschlagen, die mindestens zwei übereinander liegende magnetische Schichten (14, 16, 18) aufweist, zwischen denen sich eine nichtmagnetische, kupferhaltige Zwischenschicht (15) befindet, die mindestens ein Edelmetall enthält. Insbesondere besteht die Zwischenschicht aus CuAgAu.
Description
Die Erfindung betrifft eine magnetisch sensitive Schicht
anordnung, insbesondere zur Verwendung in einem GMR-Sensor
element, nach der Gattung des Hauptanspruches.
Magnetsensoren finden breiten Einsatz in Kraftfahrzeugen,
beispielsweise als Drehzahlfühler am Rad, als Drehzahl- bzw.
Phasengeber für die Motorsteuerung oder als Lenkwinkelsensor
für Fahrdynamikregelsysteme. Dabei machen die steigenden An
forderungen nach größeren Arbeitsabständen, d. h. entspre
chend größeren Luftspalten, und größeren Messbereichen, d. h.
größeren abzudeckenden Winkel- bzw. Magnetfeldbereichen, im
mer robustere Sensoren erforderlich.
Die GMR-Technologie ("Giant Magneto Resistance") erlaubt
es, Sensorelemente herzustellen, die diesen Anforderungen
gerecht werden. So sind zum Einsatz in Kraftfahrzeugen sind
insbesondere gekoppelte Multilagen-Schichtsysteme und soge
nannte Spin-Valve-Schichtsysteme mit einem GMR-Effekt rele
vant.
Gekoppelte Multilagen-Schichtsysteme, wie sie beispielsweise
aus G. Binasch et al., Phys. Rev. B, 39 (1989), Seite 4828
ff., und M. N. Baibich et al., Phys. Rev. Letters, 61
(1988), Seite 2472 ff., bekannt sind, bestehen aus alternierenden,
ultradünnen magnetischen und unmagnetischen Schich
ten, beispielsweise alternierenden Kobalt-Schichten und Kup
fer-Schichten, wobei durch die Wahl der Dicke der Kupfer-
Schichten eine antiferromagnetische Kopplung zwischen den
benachbarten Kobalt-Schichten einstellbar ist. Auf diese
Weise richten sich die Magnetisierungsrichtungen dieser ma
gnetischen Kobalt-Schichten ohne ein äußeres Magnetfeld an
tiparallel zueinander aus, so dass der elektrische Wider
stand für einen in der Zwischenschicht geführten elektri
schen Strom durch eine Spin-abhängige Elektronenstreuung ma
ximal ist. Wird nun zusätzlich ein externes Magnetfeld ange
legt, so richten sich die Magnetisierungen in den magneti
schen Schichten weitgehend parallel zu diesem aus, wodurch
der elektrische Widerstand in der Zwischenschicht deutlich
sinkt. Insbesondere sind Effektgrößen von 20% bis 30% re
lativer Widerstandsänderung bei Raumtemperatur erreichbar.
Bei den darüber hinaus bekannten Spin-Valve-Schichtsystemen
wird eine magnetisch weiche Detektionsschicht durch eine
nichtmagnetische Zwischenschicht von einer magnetisch härte
ren Schicht getrennt. Die unmagnetische Schicht ist dabei so
dick ausgebildet, dass keine magnetische Kopplung zwischen
den beiden magnetischen Schichten über die nichtmagnetische
Zwischenschicht erfolgt. Weiter ist dort vorgesehen, dass
die Richtung der Magnetisierung der magnetisch harten
Schicht durch eine sogenannte "Pinning-Schicht" ausgerichtet
und festgehalten wird. Legt man nun ein äußeres Magnetfeld
an und dreht dessen Richtung, so folgt die Magnetisierung
der magnetisch weichen Schicht der Richtung dieses Magnet
feldes, während die Richtung der Magnetisierung der magne
tisch harten Schicht fest bleibt. Somit überträgt sich der
Winkel des externen Magnetfeldes auf den Winkel zwischen den
Magnetisierungsrichtungen dieser beiden magnetischen Schich
ten und es resultiert ein winkelabhängiger elektrischer Wi
derstand in der dazwischen befindlichen nichtmagnetischen
Zwischenschicht. Die "Pinning-Schicht" ist dabei üblicher
weise als Antiferromagnet oder als Kombination aus einem An
tiferromagneten und einem sogenannten künstlichen Antiferro
magneten ausgebildet. Einzelheiten zu derartigen Spin-Valve-
Schichtsystemen sind beispielsweise in DE 199 49 714.1 be
schrieben.
Nachteilig bei bekannten Multilagen-Schichtsystemen und
Spin-Valve-Schichtsystemen ist die Tatsache, dass deren Tem
peraturstabilität bei Temperaturen um und über 200°C sowie
ihre Langzeitstabilität, beispielsweise zum Einsatz in
Kraftfahrzeugen, vielfach nicht ausreichend ist. Zudem lie
gen übliche Halbleiter-Prozesstemperaturen, beispielsweise
zur Erzeugung von Passivierungsschichten aus Siliziumdi
oxid/Siliziumnitrid mit 300°C bis 350°C deutlich oberhalb
der Temperaturen, denen bekannte Schichtsysteme ohne Degra
dation aussetzbar sind.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung war daher die Bereitstel
lung von magnetisch sensitiven Schichtanordnungen, die ins
besondere in GMR-Elementen einsetzbar sind, und die gegen
über dem Stand der Technik eine verbesserte Temperaturbe
ständigkeit und Langzeitstabilität aufweisen.
Die erfindungsgemäße magnetisch sensitive Schichtanordnung
hat gegenüber dem Stand der Technik den Vorteil, dass durch
den Zusatz eines Edelmetalls zu der Zwischenschicht die In
terdiffusion der Materialien der Zwischenschicht bzw. der
benachbarten magnetischen Schichten vermindert wird, was
bisher im Temperaturbereich zwischen 200°C und 250°C zu ei
ner irreversiblen Schädigung der Schichtanordnung führte.
Dies gilt vor allem für Schichtanordnungen auf Basis einer
Kobalt-Eisen-Legierung (CoFe) als magnetische Schicht mit
einer Zwischenschicht aus Kupfer.
Insbesondere wird durch den Zusatz des Edelmetalls zu der
Zwischenschicht erreicht, dass die genannte Degradation erst
bei Temperaturen zwischen 270°C bis 280°C einsetzt, was für
den Einsatz solcher Schichtanordnungen in GMR-Sensorelemen
ten in Kraftfahrzeugen ausreichend ist. Daneben ist auch das
Langzeitverhalten solcher Schichtanordnungen bezüglich der
in Kraftfahrzeugen gestellten Anforderungen ausreichend.
Vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den in den Un
teransprüchen genannten Maßnahmen.
So ist besonders vorteilhaft, wenn die Zwischenschicht aus
einer Mischung oder Legierung von Kupfer, Silber und Gold
besteht, die bevorzugt die Zusammensetzung 85 Atom% Kupfer,
10 Atom% Silber und 5 Atom% Gold aufweist. Diese Zusammen
setzung ist besonders günstig hinsichtlich Langzeitverhalten
und Temperaturstabilität. Insbesondere wird durch das Zule
gieren von Silber und Gold zu der Zwischenschicht aus Kupfer
eine Korngrenzendiffusion durch die Kupferschicht gehemmt.
Weiter ist vorteilhaft, dass der Zusatz des Edelmetalls zu
der Zwischenschicht sowohl bei üblichen Multilagen-Schicht
systemen als auch bei Spin-Valve-Schichtsystemen einsetzbar
ist.
Zudem lässt sich eine Zwischenschicht auf Basis von Kupfer,
Gold und Silber zusammen mit einer Vielzahl von benachbarten
magnetischen, insbesondere weichmagnetischen und/oder hart
magnetischen Schichten einsetzen. Insbesondere lassen sich
bekannte Schichten auf Basis von CoFe-Legierungen oder NiFe-
Legierungen vorteilhaft mit der erfindungsgemäßen Zwischen
schicht kombinieren.
Die Erfindung wird anhand der Zeichnungen und in der nach
folgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt Fig. 1
schematisch ein Multilagen-Schichtsystem für ein GMR-
Sensorelement, Fig. 2 ein Spin-Valve-Schichtsystem für ein
GMR-Sensorelement und Fig. 3 die erreichte Verbesserung der
Temperaturstabilität eines erfindungsgemäßen Mulitlagen-
Schichtsystems gegenüber dem Stand der Technik.
Ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung geht von einem
prinzipiell bekannten Multilagen-Schichtsystem 10 aus, das
unter dem Einfluss eines äußeren Magnetfeldes einen GMR-
Effekt aufweist, und das daher zur Verwendung in einem GMR-
Sensorelement geeignet ist.
Im Einzelnen weist das Multilagen-Schichtsystem 10 ein Sub
strat 11 aus Siliziumdioxid auf, auf dem eine Bufferschicht
12 beispielsweise aus Eisen oder NiFe vorgesehen ist. Auf
der Bufferschicht 12 befindet sich zunächst eine dünne
weichmagnetische Schicht 18, die im erläuterten Beispiel aus
einer Legierung von Eisen und Kobalt mit einem Anteil von 80
Atom% bis 95 Atom% Kobalt und 20 Atom% bis 5 Atom% Eisen,
beispielsweise 90 Atom% Kobalt und 10 Atom% Eisen, besteht.
Die Dicke der weichmagnetischen Schicht 18 liegt im Bereich
einiger Nanometer. Auf der weichmagnetischen Schicht 18 be
findet sich dann eine nichtmagnetische Zwischenschicht 15,
die im erläuterten Beispiel neben Kupfer Silber und Gold
enthält.
Konkret besteht die Zwischenschicht 15 aus einer Mischung
oder Legierung von Kupfer, Silber und Gold mit 80 Atom% bis
90 Atom% Kupfer, 5 Atom% bis 15 Atom% Silber und 2 Atom% bis
8 Atom% Gold. Besonders bevorzugt besteht sie aus 85
Atom% Kupfer, 10 Atom% Silber und 5 Atom% Gold. Die Dicke
der nichtmagnetischen Zwischenschicht beträgt 1 nm bis 4 nm,
insbesondere 2 nm bis 2,5 nm.
Auf der nichtmagnetischen Zwischenschicht 15 befindet sich
dann erneut eine weichmagnetische Schicht 18. Weiter sind
bevorzugt gemäß Fig. 1 eine Mehrzahl von derartigen Schich
tabfolgen aus alternierenden Schichten 18, 15 vorgesehen.
Auf der Oberseite des Multilagen-Schichtsystems 10 ist dann
abschließend eine übliche Deckschicht 17 zum Schutz der dar
unter liegenden Schichten vorgesehen, die beispielsweise aus
Tantal besteht.
Die Fig. 2 erläutert als zweites Ausführungsbeispiel eine
magnetisch sensitive Schichtanordnung zur Verwendung in ei
nem GMR-Sensorelement auf Basis eines Spin-Valve-Schichtsys
tems 20. Dabei ist abweichend von Fig. 1 vorgesehen, dass
sich auf der Bufferschicht 12 eine antiferromagnetische
Schicht als Pinning-Schicht 13 befindet. Auf dieser ist dann
eine Referenzschicht 14 aus einem magnetisch harten Material
aufgebracht, wobei durch die Pinning-Schicht 13 in dem ma
gnetisch harten Material der Referenzschicht 14 eine vorge
gebene Richtung der Magnetisierung der Referenzschicht 14
eingeprägt wird, die möglichst unabhängig von der Richtung
eines äußeren Magnetfeldes ist.
Auf der Referenzschicht 14 befindet sich dann analog Fig. 1
eine Zwischenschicht 15, die hinsichtlich ihrer Zusammenset
zung analog dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 ausgebil
det ist, auf der wiederum eine magnetisch weiche Schicht als
Detektionsschicht 16 angeordnet ist, bei der sich die Rich
tung der Magnetisierung entsprechend der Richtung eines äu
ßeren Magnetfeldes ausrichtet. Auf der Detektionsschicht 16
befindet sich dann erneut eine Deckschicht 17 analog Fig.
1.
Im Einzelnen besteht die Bufferschicht 12 in Fig. 2 aus Fe
oder NiFe, die Pinning-Schicht 13 aus IrMn, PtMn oder NiMn,
die Referenzschicht 14 aus CoFe und die Detektionsschicht
aus CoFe und NiFe.
Die Dicke der Pinning-Schicht 13 liegt beispielsweise bei
8 nm bis 25 nm, die Dicke der Referenzschicht 14 bei 3 nm
bis 6 nm, die Dicke der nichtmagnetischen Zwischenschicht 15
bei 2 nm bis 3 nm und die Dicke der Detektionsschicht 16 bei
3 nm bis 10 nm.
Die Fig. 3 erläutert den bei einem Multilagen-Schichtsystem
10 auftretenden GMR-Effekt, d. h. die relative Änderung des
elektrischen Widerstandes in der nichtmagnetischen Zwischen
schicht 15 als Funktion der Temperatur, der das Multilagen-
Schichtsystem 10 über eine Auslagerungszeit ausgesetzt war.
Im Einzelnen ist in Fig. 3 zunächst dargestellt, wie sich
im Fall einer Zwischenschicht 15 aus Kupfer, die sich zwi
schen zwei weichmagnetischen Schichten 18 aus CoFe befindet,
der GMR-Effekt, d. h. die relative Widerstandsänderung, als
Funktion der Auslagerungstemperatur T ändert, wenn dieses
Multilagen-Schichtsystem der jeweiligen Auslagerungstempera
tur zuvor über eine Zeit von 15 Minuten ausgesetzt war. Ein
solches Multilagen-Schichtsystem, das aus dem Stand der
Technik ist und hier lediglich als Referenz gezeigt wird,
degradiert bereits bei Auslagerungstemperaturen von ca.
250°C.
Weiter sind in Fig. 3 auch zwei entsprechende Messreihen
für erfindungsgemäße Multilagen-Schichtsysteme 10 wiederge
geben, wobei in beiden Fällen die nichtmagnetische Zwischen
schicht 15 aus einer CuAgAu-Legierung mit einem jeweiligen
Anteil von 85 : 15 : 5 Atom% besteht, und zwischen weichmagneti
schen Schichten 18 aus CoFe angeordnet ist.
Obwohl in Fig. 3 diese beiden erfindungsgemäßen Multilagen-
Schichtsysteme 10 der jeweiligen Auslagerungstemperatur T
über eine Zeit von 30 Minuten bzw. 60 Minuten ausgesetzt wa
ren, setzt bei diesen eine Degradation des GMR-Effektes erst
bei Temperaturen zwischen 270°C bis 280°C ein.
Claims (6)
1. Magnetisch sensitive Schichtanordnung, insbesondere zur
Verwendung in einem GMR-Sensorelement, mit mindestens zwei
übereinander liegenden magnetischen Schichten (14, 16, 18)
zwischen denen sich eine nichtmagnetische, kupferhaltige
Zwischenschicht (15) befindet, dadurch gekennzeichnet, dass
die Zwischenschicht (15) mindestens ein Edelmetall enthält.
2. Magnetisch sensitive Schichtanordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenschicht (15) Silber
und Gold enthält.
3. Magnetisch sensitive Schichtanordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenschicht (15) aus
einer Mischung oder Legierung von Kupfer, Silber und Gold
besteht und 80 Atom% bis 90 Atom% Kupfer, 5 Atom% bis
15 Atom% Silber und 2 Atom% bis 8 Atom% Gold, insbesondere
85 Atom% Kupfer, 10 Atom% Silber und 5 Atom% Gold, enthält.
4. Magnetisch sensitive Schichtanordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der magneti
schen Schichten (14, 16, 18) Fe, Co oder Ni enthält.
5. Magnetisch sensitive Schichtanordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der magneti
schen Schichten (14, 16, 18) aus einer Mischung oder Legie
rung von Eisen und Kobalt, insbesondere mit einem Anteil von
80 Atom% bis 95 Atom% Kobalt und 20 Atom% bis 5 Atom% Eisen,
besteht.
6. Magnetisch sensitive Schichtanordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenschicht (15) eine
Dicke von 1 nm bis 4 nm, insbesondere 2 nm bis 2,5 nm bei
einem Multilagen-Schichtsystem (10) oder 2 nm bis 3 nm bei
Spin-Valve-Schichtsystem (20), aufweist.
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WO (1) | WO2002065489A2 (de) |
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