DE10102081A1

DE10102081A1 - Crystal pulling device comprises an evacuated boiler and a lifting unit having a gripper connected to an oven boiler component to lift it with a sluice chamber

Info

Publication number: DE10102081A1
Application number: DE10102081A
Authority: DE
Inventors: Burkhard Altekrueger; Johann Scholler
Original assignee: Crystal Growing Systems GmbH
Current assignee: Crystal Growing Systems GmbH
Priority date: 2001-01-18
Filing date: 2001-01-18
Publication date: 2002-07-25
Also published as: ITMI20020072A1; FI20020074A0; FI20020074A; FI120407B; ITMI20020072A0

Abstract

Crystal pulling device comprises an evacuated boiler (3) consisting of a drawing boiler (6), a base boiler (4) and an oven boiler component (5), and a lifting unit (20). A crucible (48) with the melt can be placed in the evacuated boiler. The lifting unit has a gripper (33) connected to the oven boiler component to lift it with a sluice chamber (9). Preferably the lifting unit has a column (21) vertically placed close to the boiler with a sliding sleeve (22) coupled to a drive. The drive consists of a screw (27) and a nuts (28, 29) with an inner thread fixed to the sleeve.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Kristallziehanlage gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Wie dieser wieder gibt, besteht eine Kristallziehanlage im Wesentlichen aus einem evakuierbaren Kessel und einer darüber angeordneten Schleusenkammer.The invention relates to a crystal pulling system according to the preamble of claim 1. Like this again there is essentially a crystal pulling system an evacuable boiler and one arranged above it Lock chamber.

Im Prozessraum des Kessels ist ein heizbarer Graphittie gel angeordnet, in dem Silizium unter einer Schutzgas hülle zum Schmelzen gebracht wird. Zum Ziehen eines Kris talles wird ein Impfling durch die Schleusenkammer und durch eine Öffnung im Ziehkessel des Kessels nach unten gefahren und in die Schmelze getaucht. Sobald sich ein genügend großer Anfangskristall gebildet hat, wird dieser langsam und unter Drehung in die Schleusenkammer zurück gezogen. Dabei lagern sich die Silizium-Atome nach und nach zu einem Kristall in Stangenform zusammen, wobei dieser entsprechend seines Wachstums in die Schleusenkam mer hingezogen wird.There is a heatable graphite in the process chamber of the boiler gel arranged in the silicon under a protective gas casing is melted. For pulling a kris talles becomes a vaccine through the lock chamber and down through an opening in the boiler's drawing pan driven and immersed in the melt. As soon as one has formed a sufficiently large initial crystal, it becomes slowly and with rotation back into the lock chamber drawn. The silicon atoms settle gradually to form a rod-shaped crystal, whereby this came into the locks according to its growth is always drawn.

Der Kessel befindet sich auf einem stabilen Untergestell, in dem eine Hebevorrichtung für den Tiegel und weitere Versorgungseinrichtungen angeordnet sind.The boiler is on a stable base, in which a lifting device for the crucible and others Utilities are arranged.

Ein Teil des Siliziums oxidiert zu Silizium-Oxid, das sich an den Innenwänden des Kessels ablagert und das nach zwei oder drei Ziehvorgängen entfernt werden muss, damit keine Verunreinigungen im Kristall entstehen. Nach jedem Ziehvorgang muss der gezogene Kristall entnommen und ggf. eine neue Charge Silizium in den Tiegel eingebracht wer den. Außerdem müssen Teile der Heizeinrichtung für den Tiegel unter Umständen ausgetauscht werden. Für alle diese Handlungen ist es notwendig, den Kessel zu öffnen und zu teilen. Der Kessel wird daher im Wesentlichen aus drei Komponenten zusammengesetzt, nämlich einem den Boden des Kessels bildenden Bodenkessel, einer auf dem Bo denkessel aufsitzenden Ofenkesselkomponente in Form eines Zwischenringes und einem einen Deckel bildenden Ziehkes sel.Part of the silicon oxidizes to silicon oxide, the is deposited on the inside walls of the boiler and that after two or three pulls must be removed so that no impurities arise in the crystal. After every Pulling process, the pulled crystal must be removed and if necessary a new batch of silicon is placed in the crucible the. In addition, parts of the heater for the Crucibles may be replaced. For all these actions it is necessary to open the kettle and share. The boiler is therefore essentially out three components put together, one the floor of the boiler forming the bottom boiler, one on the bo Oven boiler component in the form of a Intermediate ring and a Ziehkes forming a cover sel.

Je nach Größe des Kessels können auch mehrere Ofenkessel komponenten zwischen dem Bodenkessel und dem Ziehkessel vorgesehen werden.Depending on the size of the boiler, several oven boilers can also be used components between the bottom boiler and the drawing boiler be provided.

Neben dem Kessel befindet sich eine Hubeinrichtung, die mit der Schleusenkammer gekoppelt ist. Zum Öffnen des Kessels wird zunächst die Verbindung zwischen dem Zieh kessel und der Ofenkesselkomponente gelöst; sodann wird die Hubeinrichtung in Betrieb gesetzt, wodurch die Schleusenkammer unter Mitnahme des Ziehkessels nach oben gehoben wird und zur Seite geschwenkt werden kann. Nun kann der geöffnete Kessel gereinigt werden. Außerdem kann der gezogene Kristall durch die Öffnung im Ziehkessel nach unten abgelassen und der Ziehkessel von unten gereinigt werden. Auch die oben erwähnten weiteren Hand lungen können ausgeführt werden.A lifting device is located next to the boiler is coupled to the lock chamber. To open the Kessel first becomes the connection between the draw boiler and the furnace boiler component solved; then the lifting device is put into operation, whereby the Lock chamber with the drawing tank upwards is lifted and can be swung to the side. Now the opened boiler can be cleaned. Besides, can the pulled crystal through the opening in the drawing vessel drained down and the drawing boiler from below getting cleaned. Also the other hand mentioned above lungs can be performed.

Bei großen Kesseln ist es notwendig, diesen noch weiter zu zerlegen und insbesondere die Ofenkesselkomponente vom Bodenkessel zu entfernen, um die notwendigen Arbeiten ausführen zu können. Die Zerlegung des Kessels erfolgt entweder mit Hilfe zweier Monteure oder aber - bei sehr schweren Kesseln - mit Hilfe einer zusätzlichen Hubein richtung. Beide Vorgehensweisen sind sehr umständlich. Eine weitere Hubeinrichtung erschwert den Zugang zum Kes sel. With large boilers it is necessary to continue this to disassemble and in particular the boiler component from Remove floor cauldron to do the necessary work to be able to execute. The boiler is dismantled either with the help of two fitters or - if very heavy boilers - with the help of an additional lift direction. Both approaches are very cumbersome. Another lifting device makes access to the Kes difficult sel.

Die Erfindung beruht daher auf der Aufgabe, eine Kris tallziehanlage zu schaffen, bei der die Handhabung der Anlage beim Reinigen des Kessels, beim Entnehmen des ge zogenen Kristalls, beim Einbringen einer neuen Charge und letztlich auch beim Reinigen des Kessels wesentlich ver einfacht ist.The invention is therefore based on the task of a crisis to create a drawing machine in which the handling of the System when cleaning the boiler, when removing the ge pulled crystal, when introducing a new batch and ultimately ver also when cleaning the boiler is simple.

Es wird daher vorgeschlagen, dass die Hubeinrichtung min destens einen mit jeweils einer Ofenkesselkomponente kop pelbaren Greifer aufweist, um die Ofenkesselkomponente mit der Schleusenkammer anheben zu können.It is therefore proposed that the lifting device min at least one with one furnace boiler component each Has pelbaren gripper to the furnace boiler component to be able to lift with the lock chamber.

Mit der Anordnung von Greifern für den oder die Ofenkes selkomponenten an der Hubeinrichtung kann diese auch dazu genutzt werden, die Ofenkesselkomponente vom Bodenkessel zu entfernen, um somit den Kessel als solchen noch weiter zu zerlegen und in einen Zustand zu bringen, in dem die genannten Arbeiten leicht ausgeführt werden können. Es wird somit keine zweite separat aufgebaute Hubeinrichtung mit einem gesonderten Antrieb benötigt.With the arrangement of grippers for the stove or stove sel components on the lifting device can also do this be used, the furnace boiler component from the floor boiler to remove the boiler as such to disassemble and bring it into a state in which the mentioned work can be carried out easily. It does not become a second separately constructed lifting device needed with a separate drive.

Für die Hubeinrichtung hat sich der folgende Aufbau be währt. Neben dem Kessel befindet sich eine Säule mit ei ner darauf verschiebbaren Gleithülse, die mit einem An trieb gekoppelt ist. Auf der Gleithülse sind mindestens zwei Drehhülsen drehbar gelagert, wobei eine obere Dreh hülse mit der Schleusenkammer und eine oder mehrere un tere Drehhülsen mit dem bzw. den Ofenkesselkomponenten koppelbar sind.For the lifting device has the following structure endures. Next to the boiler is a column with an egg ner sliding sleeve, which can be moved with an drive is coupled. At least on the sliding sleeve two rotating sleeves rotatably, one upper rotating sleeve with the lock chamber and one or more un tere rotating sleeves with the or the boiler components can be coupled.

Die Drehhülsen sind in Bezug zur Gleithülse zwar drehbar aber nicht in axialer Richtung verschiebbar gelagert, so dass ein Anheben der Gleithülse gleichzeitig ein Anheben der Drehhülsen und der damit gekoppelten Teile bewirkt. Als Hubantrieb für die Gleithülse hat sich ein elektrome chanischer Antrieb bewährt, der aus einer Schnecke und mindestens einer fest mit der Gleithülse verbundenen Nuss mit Innengewinde besteht. Dieser Antrieb ist wartungsarm und außerdem so gestaltbar, dass er problemlos in Rein- und Reinsträumen benutzt werden kann, in denen Kristall ziehanlagen häufig eingesetzt werden.The rotating sleeves are rotatable in relation to the sliding sleeve but not slidably mounted in the axial direction, so that lifting the sliding sleeve is lifting at the same time the rotating sleeves and the parts coupled to them. An electrome has become the lifting drive for the sliding sleeve proven mechanical drive that consists of a snail and at least one nut firmly connected to the sliding sleeve with internal thread. This drive requires little maintenance and can also be designed so that it can be easily and clean rooms can be used in which crystal drawing systems are often used.

Die Drehbarkeit der Drehhülsen gewährleistet, dass die Schleusenkammer und die Ofenkesselkomponenten seitlich zu der einen oder anderen Seite verschwenkt werden können, sobald sie in axialer Richtung voneinander getrennt sind, und somit leichter für das Reinigungspersonal erreichbar sind.The rotatability of the sleeves ensures that the Lock chamber and the furnace boiler components to the side one or the other side can be pivoted, as soon as they are separated from each other in the axial direction, and therefore easier to reach for the cleaning staff are.

Damit nach dem Anheben die Schleusenkammer bzw. damit verbundene Kesselteile und die Ofenkesselkomponente ge geneinander verschwenkt werden können, müssen sie sich in axialer Richtung voneinander trennen. Dazu wird vor geschlagen, dass die Koppelung mit der Hubeinrichtung je weils über einen Leerweg erfolgt, wobei der Leerweg für die Schleusenkammer kleiner ist als der Leerweg für jede Ofenkesselkomponente. Dies bedeutet, dass beim Anheben der Gleithülse und der damit verbundenen Drehhülsen zu nächst eine Koppelung mit der Schleusenkammer erfolgt und diese angehoben wird. Danach koppeln sukzessive die Ofen kesselkomponenten, so dass jeweils ein axialer Abstand zwischen den angehobenen Teilen entsteht. Die Koppelung der Hubvorrichtung mit der Schleusenkammer kann zur Er reichung dieses Zweckes theoretisch auch den Leerweg mit dem Wert 0 aufweisen: Im Prinzip könnte es sich hierbei auch um eine starre Verbindung handeln. Ein von 0 ver schiedener Leerweg ist aber vorgesehen, um Dehnungen der Anlage beim Aufheizen kompensieren zu können.So after lifting the lock chamber or so connected boiler parts and the furnace boiler component ge can be pivoted towards each other, they must be in separate from each other in the axial direction. This will be done before struck that the coupling with the lifting device ever Weil takes place over an empty path, the empty path for the lock chamber is smaller than the free travel for everyone Furnace boiler component. This means that when lifting the sliding sleeve and the associated rotating sleeves the next step is a coupling with the lock chamber and this is raised. The ovens then couple successively boiler components so that each has an axial distance between the raised parts. The coupling the lifting device with the lock chamber can to Er Achieving this purpose theoretically also with the idle path have the value 0: In principle, this could be also act as a rigid connection. One of 0 ver divergent free travel is provided to stretch the To be able to compensate the system when heating up.

Entscheidend ist aber ein von 0 verschiedener Leerweg in der Koppelung zwischen den Greifern und der Ofenkessel komponente. Dies hat nämlich zur Folge, dass die Koppelung erst verwirklicht wird, wenn die Schleusenkammer zunächst ein Stück angehoben worden ist. Erst danach wird die Ofenkesselkomponente unter Bildung eines Abstandes nachgeführt. Wenn beide Teile genügend hochgefahren sind, können sie - wie oben schon erwähnt - seitlich verschwenkt werden.The decisive factor, however, is an empty path different from 0 in the coupling between the grippers and the furnace boiler component. This has the consequence that the coupling is only realized when the lock chamber has initially been raised a bit. Only after that will the furnace boiler component to form a distance tracked. When both parts have started up sufficiently, you can - as already mentioned above - from the side be pivoted.

Wenn mehrere Ofenkesselkomponenten vorhanden sind, muss der Leerweg nach unten stets größer werden, so dass sich eine sukzessive Koppelung ergibt und die Teile im angeho benen Zustand einen axialen Abstand voneinander aufwei sen.If there are several boiler components, must the free travel downwards always get bigger, so that a successive coupling results and the parts in the attached state an axial distance from each other sen.

Nicht immer ist es notwendig, dass die Ofenkesselkompo nente ebenfalls angehoben wird. Dies ist z. B. dann der Fall, wenn kein Reinigungsvorgang erfolgen, sondern le diglich der gezogene Kristall von unten aus der Schleu senkammer herausgenommen werden soll. In diesem Fall werden die Greifer seitlich weggeklappt, so dass beim Betätigen der Hubeinrichtung keine Koppelung zwischen den Greifern und der Ofenkesselkomponente bzw. den Ofen kesselkomponenten erfolgt.It is not always necessary for the boiler compo nente is also raised. This is e.g. B. then the Case when there is no cleaning process, but le only the pulled crystal from below from the sluice chamber should be removed. In this case the grippers are folded away to the side so that when Operating the lifting device no coupling between the Grippers and the furnace boiler component or the furnace boiler components.

Die Hubeinrichtung kann außerdem dazu benutzt werden, um den Tiegel aus dem Kessel und vom Bodenkessel zu entfer nen. Bei dieser Prozedur wird die Verbindung zwischen dem Ziehkessel und der Ofenkesselkomponente gelöst, während der Ziehkessel noch an der Schleusenkammer befestigt bleibt. Dazu wird zunächst die Schleusenkammer nach oben gefahren und sodann an den Rand des Ziehkessels ein Hebe geschirr angesetzt, das mit dem Tiegel verbunden wird. Durch ein weiteres Anheben der Schleusenkammer kann der Tiegel aus dem Kessel angehoben und seitlich abgesetzt werden. The lifting device can also be used to to remove the crucible from the boiler and from the bottom boiler NEN. In this procedure, the connection between the Draw boiler and the furnace component solved while the drawing boiler is still attached to the lock chamber remains. To do this, the lock chamber is first up driven and then a lift to the edge of the drawing tank set dishes that are connected to the crucible. By lifting the lock chamber further, the The crucible was lifted out of the kettle and placed on the side become.

Das Hebegeschirr besteht vorzugsweise aus mindestens zwei Haken, die am Rand des Ziehkessels lösbar befestigbar und um eine tangential zum Ziehkesselrand verlaufende Achse verschwenkbar sind. In diesem Fall können die Haken ra dial nach außen gerichtet in den Kessel eingefahren und sodann nach innen geschwenkt werden, so dass ihre Haken köpfe einen dazu am Tiegel vorgesehenen Rand untergrei fen.The lifting gear preferably consists of at least two Hooks that can be releasably attached to the edge of the drawing boiler around an axis tangential to the edge of the drawing boiler are pivotable. In this case, the hooks ra dial into the boiler facing outwards and then be pivoted inwards so that their hooks heads an edge provided on the crucible fen.

Die meisten Anlagen sind außerdem mit einem Schleusenven til zwischen der Schleusenkammer und dem Ziehkessel vor gesehen. Das Schleusenventil ermöglicht es, die Schleu senkammer komplett getrennt vom Kessel anzuheben und zur Seite zu schwenken, um den gezogenen Kristall zu entfer nen, ohne dass dabei der Kessel belüftet werden müsste. Vor dem Anheben der Schleusenkammer wird nämlich das am Kessel verbliebene Schleusenventil, das üblicherweise als Plattenventil ausgeführt ist, geschlossen.Most systems are also with a lock vein til between the lock chamber and the drawing boiler seen. The lock valve enables the lock to lift the chamber completely separate from the boiler and to Swivel side to remove the pulled crystal without having to ventilate the boiler. Before the lock chamber is lifted, that is on Boiler remaining lock valve, which is usually called Plate valve is executed, closed.

Im Folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungs beispiels näher erläutert. Dazu zeigenIn the following the invention is based on an embodiment example explained in more detail. Show this

Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine Kristallzieh anlage, Fig. 1 system is a longitudinal section through a crystal pulling,

Fig. 2 einen Längsschnitt durch ein Aufnahmege schirr, Fig. 2 is a longitudinal section through a Aufnahmege shirr,

Fig. 3 eine Draufsicht auf das Aufnahmegeschirr gemäß Fig. 2, Fig. 3 is a plan view of the recording harness of Fig. 2,

Fig. 4 eine perspektivische Darstellung einer Kristallziehanlage mit zwei Ofenkesselkom ponenten. Fig. 4 is a perspective view of a crystal pulling system with two Ofenkesselkom components.

Zunächst wird auf die Fig. 1 Bezug genommen. Die Kris tallziehanlage ist als Ganzes mit 1 bezeichnet. Sie be steht aus einem Grundgerüst 2, auf dem der Kessel 3 auf gesetzt ist. Dieser Kessel 3 besteht in diesem Ausfüh rungsbeispiel aus einem Bodenkessel 4, einer Ofenkessel komponente 5 und einem Ziehkessel 6. Andere hier nicht dargestellte Ausführungen können auch mehrere Ofenkessel komponenten aufweisen.First, reference is made to FIG. 1. The Kris tallziehanlage is designated as a whole with 1. It consists of a basic structure 2 on which the boiler 3 is placed on. In this example, this boiler 3 consists of a floor boiler 4 , a furnace boiler component 5 and a drawing boiler 6 . Other designs not shown here can also have multiple furnace boiler components.

Die Bestandteile des Kessels weisen an ihren untereinan der zugewandten Enden Flansche auf, mit denen sie luft dicht miteinander verbunden werden können.The components of the boiler face each other the facing ends flanges with which they run can be tightly connected.

Im Kessel 3 befindet sich ein in Fig. 4 dargestellter Tiegel 48, in den Silizium eingebracht und geschmolzen wird.In the boiler 3 there is a crucible 48 shown in FIG. 4, into which silicon is introduced and melted.

Der Ziehkessel 6 weist eine zentrale Öffnung 7 auf, auf der ein Plattenventil 8 befestigt ist. Daran schließt sich nach oben die sogenannte Schleusenkammer 9 an. Hier bei handelt es sich um ein rohrförmiges Gebilde in der Länge des zu ziehenden Kristalls 10, der hier strichpunk tiert angedeutet ist.The drawing boiler 6 has a central opening 7 , on which a plate valve 8 is attached. This is followed by the so-called lock chamber 9 . This is a tubular structure in the length of the crystal 10 to be drawn, which is indicated here by dash-dot lines.

Oberhalb der Schleusenkammer 9 befindet sich eine Seil zugeinrichtung 11, mit der der Kristall 10 entsprechend seines Wachstumes aus der Schmelze herausgezogen wird.Above the lock chamber 9 there is a cable pulling device 11 with which the crystal 10 is pulled out of the melt in accordance with its growth.

Der Schmelz- und Ziehvorgang findet in einer Argonatmo sphäre statt, d. h. ein Argonstrom wird als Spülstrom durch den Kessel 3 geschickt. Die entsprechenden Versor gungseinrichtungen sind im Grundgerüst 2 angeordnet. Dort befindet sich auch eine Hebevorrichtung für den Tiegel, mit dem dafür gesorgt wird, dass sich die Oberfläche der Schmelze beim Ziehvorgang stets auf einer gleichbleiben den Höhe befindet. The melting and drawing process takes place in an argon atmosphere, ie an argon stream is sent as a flushing stream through the boiler 3 . The corresponding supply devices are arranged in the basic structure 2 . There is also a lifting device for the crucible, which ensures that the surface of the melt is always at a constant height during the drawing process.

Einige Kristallziehanlagen sind außerdem mit einem Ring magneten versehen. Die Hebevorrichtung für diesen Hebe magneten ist ebenfalls im Grundgerüst 2 angeordnet.Some crystal pulling systems are also equipped with a ring magnet. The lifting device for this lifting magnet is also arranged in the basic structure 2 .

Die Hubeinrichtung für die Schleusenkammer 9 und den Kes sel 3 ist als Ganzes mit 20 bezeichnet. Sie besteht aus einer Säule 21, die neben dem Kessel 3 steht und im Grundgerüst 2 verankert ist. Im oberen Teil der Säule 21 ist eine Gleithülse 22 verschiebbar gelagert. An dieser Gleithülse 22 befinden sich übereinander angeordnet zwei Drehhülsen 23, 24. Diese können sich axial gegenüber der Gleithülse 22 nicht bewegen, aber auf ihr gedreht werden.The lifting device for the lock chamber 9 and the Kes sel 3 is designated as a whole by 20. It consists of a column 21 , which stands next to the boiler 3 and is anchored in the basic structure 2 . In the upper part of the column 21 , a sliding sleeve 22 is slidably mounted. On this sliding sleeve 22 , two rotating sleeves 23 , 24 are arranged one above the other. These can not move axially relative to the sliding sleeve 22 , but can be rotated on it.

An einem sich parallel zur Säule 21 erstreckenden Bügel 25 ist ein Elektromotor 26 befestigt, der eine sich eben falls parallel zur Säule 21 erstreckende Schnecke 27 an treibt. Auf dieser Schnecke 27 befindet sich eine obere und eine untere jeweils mit einem Innengewinde versehene Nuss 28, 29, die mit der Gleithülse 22 fest verbunden ist. Eine Drehung der Schnecke 27 bewirkt daher ein Auf- bzw. Abfahren der Gleithülse 22 auf der Säule 21. Die obere Drehhülse 23 ist mit einer sich nach oben erstre ckenden Traverse 30 verbunden, an deren Oberseite die schon erwähnte Seilzugeinrichtung 11 angeordnet ist. Auf halber Höhe der Traverse 30 befindet sich ein Doppelarm 31, der die Schleusenkammer 9 zu beiden Seiten umgreift und dessen Enden sich unterhalb von kleinen Absätzen 32 an der Schleusenkammer 9 befinden. Bei einer abgesenkten Schleusenkammer 9 existiert ein kleiner Leerweg zwischen den Armen 31 und Absätzen 32. Dieser ist notwendig, damit bei einem sich erwärmenden Kessel keine Verzwängungen auftreten.On a bracket 25 extending parallel to the column 21 , an electric motor 26 is fastened, which drives a screw 27, which also extends parallel to the column 21 . On this screw 27 there is an upper and a lower nut 28 , 29 , each provided with an internal thread, which is firmly connected to the sliding sleeve 22 . Rotation of the screw 27 therefore causes the sliding sleeve 22 to move up and down on the column 21 . The upper rotating sleeve 23 is connected to an upward-extending traverse 30 , on the top of which the aforementioned cable pulling device 11 is arranged. Halfway up the traverse 30 there is a double arm 31 which engages around the lock chamber 9 on both sides and the ends of which are located below the small steps 32 on the lock chamber 9 . When the lock chamber 9 is lowered, there is a small free path between the arms 31 and shoulders 32 . This is necessary so that no squeezing occurs when the boiler heats up.

An der unteren Drehhülse 24 befinden sich zwei seitlich wegschwenkbare Arme 33 als Greifer, von denen nur ein Arm dargestellt ist. Der andere befindet sich in dieser Dar stellung nicht sichtbar hinter dem Kessel 3. Die beiden Arme 33 umgreifen die Ofenkesselkomponente 5 zu beiden Seiten und liegen im abgesenkten Zustand des Kessels 3 unter Einhaltung eines Leerweges unterhalb des oberen Flansches der Ofenkesselkomponente 5.On the lower rotary sleeve 24 there are two arms 33 which can be swiveled away laterally as grippers, of which only one arm is shown. The other is not visible behind the boiler 3 in this position. The two arms 33 encompass the furnace boiler component 5 on both sides and lie in the lowered state of the boiler 3 while maintaining an empty path below the upper flange of the furnace boiler component 5 .

Die Darstellung der Figur zeigt die Hubeinrichtung 20 in ihrer obersten Anschlagstellung, wobei der Doppelarm 31 am Absatz 32 an der Schleusenkammer 9 und die beiden nach innen geschwenkten Arme 33 am Flansch der Ofenkesselkom ponente 5 anliegen. Da diese zuvor jeweils einen unter schiedlichen Leerweg durchlaufen haben, ist die Ofenkes selkomponente 5 versetzt zur Schleusenkammer 9 angehoben worden, so dass gemäß der Darstellung zwischen dem mit der Schleusenkammer 9 verbundenen Ziehkessel 6 und der Ofenkesselkomponente 5 ein Abstand vorhanden ist. Die Schleusenkammer 9 und die Ofenkesselkomponente 5 können aus der gezeigten Position nach außen geschwenkt werden, d. h. aus der Zeichnungsebene nach vorn und hinten heraus geschwenkt werden. In dieser Stellung besteht ein einfa cher Zugang zu beide Teilen, so dass sie leicht gereinigt werden können bzw. der Kristall 10 nach Öffnen des Plat tenventils 8 entnommen werden kann.The illustration of the figure shows the lifting device 20 in its uppermost stop position, the double arm 31 resting on the shoulder 32 on the lock chamber 9 and the two inwardly pivoted arms 33 on the flange of the furnace boiler component 5 . Since these have each previously passed under a different idle path, the Ofenkes sel component 5 has been offset to the lock chamber 9 , so that, as shown, a distance is present between the drawing chamber 6 connected to the lock chamber 9 and the furnace boiler component 5 . The lock chamber 9 and the furnace boiler component 5 can be pivoted outwards from the position shown, ie pivoted outwards and backwards from the plane of the drawing. In this position there is easy access to both parts, so that they can be easily cleaned or the crystal 10 can be removed after opening the plat tenventils 8 .

Die Arme 33 sind an der Drehhülse 24 schwenkbar gelagert, so dass sie nach außen geschwenkt werden können. In einem solchen Fall wird beim Hochfahren der Gleithülse 22 die Ofenkesselkomponente 5 nicht mitgenommen. Sie wird viel mehr auf dem Bodenkessel 4 aufsitzend zurückbleiben. Ei nen solchen Modus kann man dann wählen, wenn es ledig lich darauf ankommt, den Kristall 10 aus der Schleusen kammer 9 zu entfernen. Dazu kann zuvor die Verbindung zwischen dem Plattenventil 8 und der Schleusenkammer 9 getrennt werden. The arms 33 are pivotally mounted on the rotating sleeve 24 so that they can be pivoted outwards. In such a case, the furnace boiler component 5 is not taken along when the sliding sleeve 22 is started up. It will remain much more sitting on the floor pan 4 . Such a mode can be selected when it is only a matter of removing the crystal 10 from the lock chamber 9 . For this purpose, the connection between the plate valve 8 and the lock chamber 9 can be disconnected beforehand.

Zum Reinigen des Ventils, insbesondere zum Reinigen der Unterseite der Ventilplatte, kann lediglich die Verbin dung zwischen dem Plattenventil 8 und dem Ziehkessel 6 gelöst und die Arme 33 nach außen geschwenkt werden, so dass durch die Hubvorrichtung die Schleusenkammer 9 zu sammen mit dem Plattenventil 8 angehoben wird. Jetzt ist das Ventil von unten leicht zugänglich und kann gereinigt werden.To clean the valve, in particular for cleaning the underside of the valve plate, only the Verbin can connection between the disc valve 8 and dissolved the drawing boiler 6 and the arms are pivoted 33 outwards, so that by lifting the load lock chamber to gether 9 with the plate valve 8 is raised. The valve is now easily accessible from below and can be cleaned.

Ein weiterer Betätigungsmodus besteht darin, die Verbin dung zwischen dem Plattenventil 8 und der Schleusenkammer 9 zu lösen, so dass lediglich diese angehoben wird. Nun kann das Plattenventil 8 von oben gereinigt bzw. der Kristall 10 entnommen werden.Another operating mode is to solve the connec tion between the plate valve 8 and the lock chamber 9 , so that only this is raised. Now the plate valve 8 can be cleaned from above or the crystal 10 can be removed.

Die Hubeinrichtung 20 kann auch dazu genutzt werden, den Tiegel aus dem Kessel 3 zu entfernen. Dazu wird am Zieh kesselflansch 40 - wie dies die Fig. 2 zeigt - ein Hebe geschirr angebracht, das aus zwei oder mehreren Haken 41 besteht. Die Haken 41 sind schwenkbar an jeweils einer Klammer 42, die über eine Rasteinrichtung 43 am Ziehkes selflansch 40 befestigt ist, gehalten. An der Klammer 42 ist der Haken 41 um eine Achse 44 schwenkbar gelagert. Eine Feder 45 im Haken 41, die sich an der Klarer 42 ab stützt, sorgt dafür, dass der Haken 41 stets nach außen geschwenkt ist. Der so ausgerichtete Haken 41 kann in den Kessel 3 eingefahren werden, wobei sich der Hakenkopf 46 an einer Hinterschneidung an der Außenseite des Tiegels 48 vorbei bewegt. Jetzt kann der Hakenkopf 46 nach innen geschwenkt werden. Dazu wird eine Schraube 47, die im oberen Teil des Hakens 41 eingeschraubt ist, angezogen, wodurch sie sich an der Klammer 42 abstützt und den Haken 41 um die Achse 44 gegen die Kraft der Feder 45 ver schwenkt, so dass der Hakenkopf 46 nach innen schwenkt und die Hinterschneidung am Tiegel 48 untergreift. The lifting device 20 can also be used to remove the crucible from the boiler 3 . For this purpose, on the drawing boiler flange 40 - as shown in FIG. 2 - a lifting harness is attached, which consists of two or more hooks 41 . The hooks 41 are pivotally held on a bracket 42 , which is fastened to the Ziehkes selflansch 40 via a latching device 43 . On the bracket 42 , the hook 41 is pivotally mounted about an axis 44 . A spring 45 in the hook 41 , which is supported on the clarifier 42 , ensures that the hook 41 is always pivoted outwards. The hook 41 aligned in this way can be inserted into the boiler 3 , the hook head 46 moving past an undercut on the outside of the crucible 48 . Now the hook head 46 can be pivoted inwards. For this purpose, a screw 47 , which is screwed into the upper part of the hook 41 , is tightened, as a result of which it is supported on the bracket 42 and the hook 41 pivots ver about the axis 44 against the force of the spring 45 , so that the hook head 46 inwards pivots and engages undercut on the crucible 48 .

Durch Hochfahren der Gleithülse 22 wird nun der Tiegel 48 aus dem Kessel 3 herausgezogen und kann gegebenenfalls seitlich abgesetzt werden. In entsprechender Weise kann ein neuer Tiegel in den Kessel 3 eingesetzt werden.By moving the sliding sleeve 22 , the crucible 48 is now pulled out of the boiler 3 and can optionally be set down laterally. In a corresponding manner, a new crucible can be inserted into the boiler 3 .

Fig. 4 zeigt eine perspektivische Darstellung einer Kristallziehanlage mit zwei Ofenkesselkomponenten 5a, 5b. Man erkennt, dass an der Schleusenkammer 9 das Platten ventil 8 sowie der Ziehkessel 6 befestigt sind und die so gebildete Einheit zu einer Seite verschwenkt ist. Die obere Kesselkomponente 5a ist mittels der Arme 33a eben falls angehoben aber zu anderen Seite geschwenkt. Die un tere Kesselkomponente 5b ist mit einem weiteren Armenpaar 33b unter die Schleusenkammer 9 geschwenkt. Der Tiegel 48 liegt frei und kann leicht neu mit Silizium beschickt werden. Die anderen Komponenten des Kessels sind leicht zugänglich und können problemlos gereinigt werden. Fig. 4 shows a perspective view of a crystal pulling system with two furnace components 5 a, 5 b. It can be seen that the plate valve 8 and the drawing boiler 6 are attached to the lock chamber 9 and the unit thus formed is pivoted to one side. The upper boiler component 5 a is also raised by means of the arms 33 a but pivoted to the other side. The lower boiler component 5 b is pivoted with another pair of arms 33 b under the lock chamber 9 . The crucible 48 is exposed and can easily be reloaded with silicon. The other components of the boiler are easily accessible and can be cleaned easily.

LIST OF REFERENCE NUMBERS

11

Kristallziehanlage
Crystal puller

22

Grundgerüst
backbone

33

Kessel
boiler

44

Bodenkessel
floor boilers

55

Ofenkesselkomponente
Furnace boiler component

55

a Ofenkesselkomponente
a Furnace boiler component

55

b Ofenkesselkomponente
b Furnace boiler component

66

Ziehkessel
drawing boiler

77

Öffnung
opening

88th

Plattenventil
plate valve

99

Schleusenkammer
lock chamber

1010

Kristall
crystal

1111

Seilzugeinrichtung
cable equipment

2020

Hubeinrichtung
lifting device

2121

Säule
pillar

2222

Gleithülse
sliding sleeve

2323

Drehhülse
rotating sleeve

2424

Drehhülse
rotating sleeve

2525

Bügel
hanger

2626

Elektromotor
electric motor

2727

Schnecke
slug

2828

Nuss
nut

2929

Nuss
nut

3030

Traverse
traverse

3131

Doppelarm
double arm

3232

Absatz
paragraph

3333

Arm
poor

3333

a Arm
a arm

3333

b Arm
b arm

3434

Anschlag
attack

4040

Ziehkesselflansch
Ziehkesselflansch

4141

Haken
hook

4242

Klammer
clip

4343

Rasteinrichtung
locking device

4444

Achse
axis

4545

Feder
feather

4646

Hakenkopf
hook head

4747

Schraube
screw

4848

Tiegel
crucible

Claims

1.Crystal pulling system with an evacuable boiler, which consists of a drawing boiler with an opening, a boiler and at least one furnace boiler component and in which a crucible with a melt can be introduced, with a lock chamber that can be connected to the drawing boiler above the opening for receiving the drawn crystal and with a lifting device in order to be able to lift the lock chamber, characterized in that the lifting device ( 20 ) has at least one gripper ( 33 ) which can be coupled to a respective furnace boiler component ( 5 ), in order to connect it to the lock chamber ( 9 ) to be able to lift.

2. Crystal pulling system according to claim 1, characterized in that the lifting device ( 20 ) has a vertical ne ben the boiler ( 3 ) erected column ( 21 ) with a sliding sleeve up there displaceable ( 22 ) which is coupled to a drive.

3. crystal pulling system according to claim 2, characterized in that on the sliding sleeve ( 22 ) at least two rotating sleeves ( 23 , 24 ) are rotatably mounted, an upper rotating sleeve ( 23 ) with the lock chamber ( 9 ) and one or more lower rotating sleeves ( 24 ) can be coupled to the furnace boiler components ( 5 , 5 a, 5 b).

4. crystal pulling system according to claim 2 or 3, characterized in that the drive from a screw ( 27 ) and at least one with the sliding sleeve ( 22 ) verbun which nut ( 28 , 29 ) with internal thread.

5. crystal pulling system according to claim 3, characterized in that the coupling of the lifting device ( 20 ) with the lock chamber ( 9 ) and the one or the furnace components ( 5 , 5 a, 5 b) each take place over an idle path, the idle path for the lock chamber ( 9 ) is smaller than the free travel for each furnace boiler component ( 5 , 5 a, 5 b).

6. crystal pulling system according to claim 5, characterized in that at least two stacked boiler components ( 5 , 5 a, 5 b) are present, the free travel of each upper boiler component is smaller than the free travel of each furnace boiler component arranged below it.

7. crystal pulling system according to claim 5, characterized in that the one or more grippers ( 33 , 33 a, 33 b) of the furnace boiler component ( 5 ) are movable outwards.

8. crystal pulling system according to claim 5, characterized in that a plate valve ( 8 ) between the lock chamber ( 9 ) and the drawing boiler ( 6 ) is arranged and at least releasably connected to the lock chamber ( 9 ).

9. Crystal pulling system according to one of the preceding claims, characterized in that lifting gear ( 41 , 42 ) for receiving the crucible ( 48 ) can be fastened to the flange of the drawing vessel ( 6 ).

10. crystal pulling system according to claim 9, characterized in that the lifting gear ( 41 , 42 ) consists of at least two hooks ( 41 ) which are releasably attached to the edge of the drawing vessel ( 6 ) and around an axis tangential to the drawing edge ( 44 ) are pivotable.