DE1008490B

DE1008490B - Verfahren zum Entfernen von Ioeslichen Verunreinigungen aus einem schmelzbaren festen Stoff

Info

Publication number: DE1008490B
Application number: DET9374A
Authority: DE
Inventors: Sune Lambert Oeverby
Original assignee: Telefonaktiebolaget LM Ericsson AB
Current assignee: Telefonaktiebolaget LM Ericsson AB
Priority date: 1953-04-20
Filing date: 1954-04-20
Publication date: 1957-05-16
Also published as: GB740229A; US2801192A

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Entfernen von lös liehen Verunreinigungen mit einem Verteilungskoeffizientien k, der größer als 1,0 ist, aus einem schmelzbaren festen Stoff.

Auf mehreren technischen Gebieten werden sehr hohe Anforderunigen an die Reinheit gewisser kristallinischer Stoffe, wie Metalle, intermetallische oder chemische Verbindungen, gestallt. Im besonderen in der Technik der elektischen Halbleiter sind diese Anforderungen außerordentlich hoch, wobei Verunröimiigungisverhältnisse von mehr als 10⁶: 1 üblich sind. Dieser hohe Reinheitsgrad ist mit den gewöhnlichen chemischen Reinigungsverfahren nicht erreichbar, so daß man sich besonderer chemischer und physikalischer Verfahren bedienen muß. Ein physikaliehes Verfahren mit weitgehender Anwendung ist die sogenannte Zonenschmelzung, die sehr einfach ist und eine außerordentlich gute Reinigung ergibt.

Dieses Verfahren beruht auf der grundsätzlichen physikalischen Eigenschaft, daß lösliche Verunreinigungen in einer schmelzbaren Substanz in der flüssigen Phase zu bleiben suchen, wenn der Stoff teilweise geschmolzen ist, um einen direkten Kontakt zwischen fester und flüssiger Phase zu geben. Bei der Durchführung der Zonenschmelzung wird ein gerader Stab oder ein toroidförmiger Ring der Substanz örtlicher Erwärmung unterworfen, wobei eine kurze geschmolzene Querzone in dem festen Stoff entsteht. Die Zone wird längs des Stabes entweder durch Verschiebung der Wärmequelle oder mittels Bewegung des Stabes mit Bezug auf die Heizvorrichtung bewegt. Die Zonenschmelzung wird beispielsweise von W. G. P fan η in »Principles of Zone Melting (Grundsätze der Zonenschmelzung)«, Journal of Metals, 1952, Juli, S. 747 bis 753 (=BeM Laboratories Monograph Nr. 2000) und von demselben Verfasser in »Segregation of Two Solutes, with Particular Reference to Semi-Condiuotors (Abscheidung von zwei gelösten Stoffen mit besonderem Bezug auf Halbleiter)«, Journal of Metalls, 1952, August, S. 861 bis 865 (= BeKl Laboratories Monograph Nr. 2020) beschrieben.

Der physikalische Hintergrund für die Zonenschmelzung kann unter Bezugnahme auf das entsprechende Phasendiagramm der verschiedenen in dem Grundstoff enthaltenen Verunreinigungen beleuchtet werden. Im besonderen ist der Teil der Diagramme von Beideutung, der dicht an der lOO^o/orEcke der Grundsubstanz liegt. An diesem Punkt ist es zweckmäßig, auch auf den Verteihingskoeffizienten k hinzuweisen, der als das Verhältnis der Konzentration des Gelösten in dem festen Stoff zu der Konzentration in dem flüssigen Stoff definiert ist, wenn man von einem einfachen binären Zweiphasendiagramm spricht. Das

Verunreinigungen aus einem

schmelzbaren festen Stoff

Anmelder:

Telefonaktiebolaget LM Ericsson,
Stockholm

Vertreter:

Dr.-Ing. H. Ruschke, Berlin-Friedenau, Lauterstr. 37,

und Dipl.-Ing. K. Grentzenberg, München 13,

Patentanwälte

Beanspruchte Priorität:
Schweden vom 20. April ,1953

Sune Lambert överby, Stockholm,
ist als Erfinder genannt worden

Zonenschmelzverfahren arbeitet sehr gut für Ä-Werte von weniger als 1,0, was bei Metallen der am häufigsten zu berücksichtigende Fall ist.

Nach der Erfindung wird eine langgestreckte Schmelze des zu reinigenden Stoffes einer örtlichen Abkühlung ausgesetzt, wodurch ein begrenzter fester Kern gebildet wird, der an den geschmolzenem Substaiiizbereich angrenzt, wobei der Kern in der Schmelze verschoben wird. Das Verfahren wird durch Abkühlen der gesamten Schmelze beendet, wobei an dem zu dem festen Kern entgegengesetzten Ende angefangen wird.

Die Erfindung wird in Zusammenhang mit der Zeichnung genauer beischrieben, in der

Fig. 1 ein Phasemdiagramm,

Fig. 2 einen Aufbau zur Durchführung des Verfahrens nach der Erfindung und

Fig. 3 einen anderen Aufbau zur Durchführung des Verfahrens nach der Erfindung zeigt.

Fig. 1 veranschaulicht ein typisches Ptiasetidiagramm rings um die eine 100%-Ecke einer einfachen

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binären Legierung der Komponenten χ und y mit k kleiner als 1,0. Sie kann die Bedingungen beispielsweise mit Germanium als y-SioS und Antimon als ΛΓ-Stoff veranschaulichen, wenn χ die Fremdstoff" komponente ist. Wenn die Schmelze die Fremdstoffkonzentration k_Lo des Stoffes χ in Fig. 1 hat und längs der senkrechten Linde k_Lo abgekühlt wird, schreitet die Abkühlung fort, bis k_Lo die Liquidus-Linie trifft. Von da an folgt das Verfahren der waagerechten

- und solche mit einem ft-Wert über 1,0, kann eine Stufe der Zonenschmelzung und eine Stufe der Zonenabkühlung einschließen. Jeweils einer dieser beiden Arbeitsvorgänge kann zu einem Zeitpunkt beispielsweise auf

5 einem geraden Stab vorgenommen werden. Es wird in den meisten Fällen bevorzugt, zuerst eine Zonenschmelzung und dann eine Zonenabkühlung durchzuführen. Zwischen den zwei Stufen wird der eine Endteil des Stabes mit den konzentrierten Verunreinigun-

Linie zu dem Schnittpunkt mit der Solidus-Liniie und io gen abgeschnitten, und der Rest wird dann mit Zonenschließlieh längs der senkrechten Linie k_So. Dieses abkühlung behandelt, um die restlichen Verunreini-BiId zeigt den Zeitpunkt eines begrenztem Bereiches gungen zu entfernen.

der flüssig-festen Grenzfläche. Das Verhältnis der Das Zonenabkühlungsverfahren kann in mehreren

waagerechten Abstände, die von der 100%-y-Vertikal- Arten durchgeführt werden, wobei Fig. 2 ein typisches linie zu. dem Schnittpunkt der Salidus-Litnie und der 15 Beispiel gibt. Fig. 2 zeigt eine Draufsicht durch eine Liquidus-Linie gemessen werden, sind gleich dem waagerechte Schnittebene einer Einrichtung für die Verteilungkoefnzienten, wobei der Abstand y-Achse Zonenabkühlung. Diese besteht aus einem Graphitboot —Solidus-Linie im Zähler steht. Solange eine waage- oder langgestreckten Behälter 1, der mit der zu reinirechte Linie in dem Pbasendiagramm (Fig. 1) den genden Substanz 6, 7, 8 gefüllt ist, in einem Keramik-Schnittpunkt mit der Liquiduts-Linie auf der linken 20 oder Ouarzrohr 2 sitzt und durch eine das Rohr um-Seite des Schnittpunktes mit der Soflidus-Linie hat, gebende äußere Heizwicklung 4 erwärmt wird, wobei suchen die Verunreinigungen in der flüssigen Phase zu die Heizwicklung in zwei Teile aufgeteilt ist, die bleiben. Dies ist noch ein weiterer Weg, um festzu- durch eine kurze, ebenfalls auf das Rohr gewickelte stellen, daß k kleiner als 1,0 ist. Abkühlungswicklung getrennt sind. Die Heizwicklung

Das Zonenscbmelzverfahren kann benutzt werden, 25 ist an einem Generator 5 angeschlossen, der die Heizum beispielsweise Antimonspuren aus Germanium zu energie liefert. Die Abkühlungswicklung 3 hat nur entfernen. Jedoch erzielt dais Zonenscbmelzverfahren einige Windungen und leitet ein Kühlmittel, wie bei keine Reinigung von Verunneiinigunigsbestandteilen, spielsweise Wasser oder Luft, mit hoher Geschwinderen k größer als 1,0 ist. Ein bemerkenswertes Bei- digkeit. Bei genau eingestellter Eingangsleistung zu spiel dafür sind Siliziumspuren in Germanium. Das 30 den Heizkörpern und entsprechendem Gleichgewicht Phasendiagramm von Silizium/Germanium ist von zwischen der Leistung und der von der Abkühlungs-H. S tohr und W. Klemm in »Binäre Systeme mit Ge, wicklung abgeführten Wärme zeigt der in dem Boot GeAl, GeSn und GeSi«, Zeitschrift für anorganische befindliche Stoff unter stetigen Zustandsbedingungen Chemie, 1939, Bd. 241, S. 305, studiert worden. Wenn _ZWei flüssige Zonen 6 und 8, die durch ein kurzes k den Wert 1,0 überschreitet, ist das Ergebnis des 35 Stück fester Substanz 7 getrennt sind. Das Rohr kann Zonenschmelzverfahrens, daß der flüssige Teil von evakuiert sein oder Gas enthalten, je nach den erfor-Fremdstoffenweitgehend befreit wird, die statt dessen derlichen Bedingungen. Das Boot wird langsam in in der festen Phase konzentriert werden. Wenn eine der beiden Richtungen innerhalb des Rohres ge-Fremdstoffe beider Arten in einem Stab einer der zogen. Die Verbindung von dem Generator zu dem Zonenschmelzung unterworfenen Substanz enthalten 40 Heizkörper kann abgriffartig auf den äußeren Endsind, ist das Endergebnis einer geradlinig verlaufen- windungen der einen Hälfte der Heizkörperwicklung den, wiederholten Zonönschmalzung eine Trennung zur Einstellung der geometrischen Länge der Heizder beiden Grundarten von Verunreinigungen. Der wicklung . relativ zu der Länge der innerhalb geeine Teil mit einem fe-Wert von weniger als 1,0 wird schmolzenen" Substanz bewegt werden. Dies dient daan einem Ende des Stabes konzentriert, während der 45 zu, eine Verfestigung zu dem geeigneten Zeitpunkt andere Teil mit einem έ-Wert von mehr als 1,0 in beim Abschluß des Verfahrens, das von dem äußeren dem restlichen Teil dies Stabes dispergiert und keine Ende des nüsrsigen Abschnittes ausgeht, durch Verwirkliche Reinigung erzielt wird. minderung der Anzahl der Heizwicklungen in dem Erfindungsgegenstand ist die Entfernung von Ver- Stromkreis zu erzielen, während der Eingangsstrom unreinigungen, deren fe-Wert über 1,0 liegt, aus 50 durch äußere Mittel konstant gehalten wird. Jeder schmelzbaren Stoffen. Dies wird durch umgekehrte Heizabschnitt hat eine axiale Länge von ungefähr der Zonenschtnelzung bewirkt, d. h. ein Verfahren, das Länge des Bootes weniger der Länge der festen Bereich- oder Zonenabkühlung genannt wird. Zone 7.

In der obigen Beschreibung wird besonders betont, Der ZonenabkühhHigsvorgang wird durch Ein-

daß die normale Zonenschmelzung versagt, wenn Ver- 55 stellen der Lage des Bootes innerhalb des Heizungsunreinigungen mit einem /e-Wert von über 1,0 vor- abküblungssystems begonnen, bis die Bootenden handen sind. Jedoch kann diese Eigenschaft der be- symmetrisch zu der Abkühlungswicklung 3 angeordnet sonderen Verunreinigungen bei dem Verfahren der sind. Die Heizleistung und die Abkühlung werden Zonenabkühlung als Vorteil ausgenutzt werden. Dies eingestellt, um zwei flüssige Abschnitte 6, 8 und den wird in einer Anlage vorgenommen, die der für die 60 einen kurzen festen Abschnitt 7 zu erzeugen. Dann Zonenschmelzung benutzten Einrichtung ähnlich ist, . wird mit dem Ziehen begonnen, und das Boot wird aber in besonderer Weise betätigt wird. Während die erst stillgesetzt, wenn der feste Kern 7 das eine Ende Zonen-schmelzung eine sich bewegende Schmelzzone des Bootes erreicht. Hier wird die Zugrichtung umgemit festen Abschnitten der zu reinigenden Substanz kehrt und die Bewegung unterbrochen, wenn der feste an beiden an die Zone angrenzendenEnden verwendet, 05 Kern das entgegengesetzte Ende des Bootes erreicht, benutzt die Zonenabkühlung eine sich bewegende feste An diesem Punkt wird die Bewegung ausgesetzt und Zone mit an beiden Enden angrenzenden geschmolze- das Ziehen wieder umgekehrt, bis der Kern das entnen Abschnitten. gegengesetzte Ende des Bootes berührt. Bei jedem

Eine vollständige Entfernung der Verunreinigungen Arbeitsgang sammelt sich ein gewisser Bruchteil der Ijeider Arten, d. h. solche mit einem £-Wert unter 1,0 70 Verunreinigungen mit k über 1,0 in dem festen Kern,

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und somit verbessert sich der Reinheitsgrad bei jedem Der feste Germaniums tab hatte eine Länge von

Arbeitsgang, was auch der Fall für jeden Durchgang 220 mm und einen rechteckigen Querschnitt von

in dem Zonenischmelzverfahren ist. 10 X 15 mm. Das Gewicht betrug 200 g. Eine Analyse

Bin anderer Weg zur Durchführung der Zonenab- des Germaniummaterials dieses Stabes zeigte Verunkühlung (Fig. 3) besteht auch in der Verwendung 5 reinigungen von Antimon und Arsen und sehr kleinen eines Graphitbootes oder -behälter« 1 wie in Fig. 2, Mengen Silizium. Der spezifische Widerstand dieses das mit dem zu reinigenden Stoff 11,16 und 17 gefüllt Stabes variierte zwischen 0,2 und 10 Ohmzentimeter i9t, wobei das eine Ende 17 des Bootes abgekühlt und abhängig davon, wo der spezifische Widerstand auf der gesamte restliche Teil durch eine Wicklung 14 er- dem Stab gemessen wurde. Ein großer Wert des wärmt wird, die von dem Generator 15 gespeist wird. i° spezifischen Widerstandes zeigt ein 'reines Material an. Die Heizwicklung ist gerinfügig breiter als das Rohr Ein Graphitboot oder -gefäß (wie 1 in Fig. 2) 12 und ermöglicht es, daß eine kurze kühlmittel- wurde in einer Wasserstoffatmosphäre V» Stunde lang führende Hilfswicklung in den Heizkörper eingeführt bei 1600° C zur Entfernung der Verunreinigungen wird, wobei ein kurzer fester Kern 11 in der flüssigen erhitzt. Der Germaniumstab wurde in diesem Boot Phase 16 entsteht und durch Gleiten der Hilf swick- 15 untergebracht, das innen dieselben Abmessungen hatte lung bewegt wird. Das Boot hat einen langen flüssigen wie der Stab. Der Germaniumstab wurde dann duTch Abschnitt 16 zu Beginn des Verfahrens vor der Ein- ein bekanntes Zonenschmelzverfahren (vgl. z. B. Jourführung der HMfsabkühlung 18 sowie einen kurzen nal of Metals, Juli 1952) durch Schmelzen einer festen Abschnitt 17, der durch die feste Abkühlungs- 30 mm langen Zone quer zu dem Stab mit Hilfe von wicklung 13 abgekühlt ist. Der kurze, von der Abküh- 20 Hochfrequenzströmen gereinigt, die durch eine kurze lungswicklung 18 erzeugte Kern 11 wird längs des Spule induziert waren, die einen Teil des Stabes umBootes mitgenommen und dicht an den Endkern 17 gibt. Die geschmolzene Zone wurde sechsmal durch befördert. Wenn er diesen erreicht, wird die Hiifs- die Länge des Stabes vor- und zurückgezogen, und schlange schnell wieder an den Anfangspunkt zurück- die geschmolzene Zone; wurde dann durch Abschaltung gezogen, und das Boot wird schnell um ein Stück, das 25 der Hochfrequenzenergie verfestigt. DieZuggeschwingleich der Länge der festen Zone 17 ist, nach rechts digkeit betrug 4 mm/min. Der letzte verfestigte Teil bewegt, wobei eine vollständige Schmelzung dieser und die angrenzenden Teile des Stabes wurden abZone einsetzt, während die zweite Zone 11 durch die geschnitten, so daß die Länge des Stabes 150 mm be-Abkühlungswicklung 13 in festem Zustand gehalten trug. Der spezifische Widerstand dieses 150 mm wird. Wenn die Zone 17 vollständig geschmolzen ist, 30 langen Stabes wurde zu 20 Ohmzentimeter bei 20° C wird das Boot wieder langsam zurückgezogen, wobei gemessen.

die zweite Zone in die vorher von der Zone 17 ein- Dieser Stab wurde vollständig in einem Boot oder

genommene Endlage bewegt wird. Dieser letzte langgestreckten Gefäß geschmolzen, das in der oben

Schritt ist eine Ül>ertragung der während des Weges beschriebenen Weise vorbehandelt wurde, wobei das

des zweiten Kerns gesammelten Verunreinigungen 35 Boot in einer Anordnung gemäß Fig. 3 angebracht

in einem Kern an dem Ende des Bootes. Der Vor- war. Das Boot hatte dieselben Abmessungen wie vor-

gang kann in jeder gewünschten Anzahl von Arbeits- her, und somit bekam die Schmelze eine Länge von

gangen wiederholt werden, um den Grad der Reini- 220 mm und einen Querschnitt, der schmaler als der

gung zu verbessern. Querschnitt des ursprünglichen Stabes war.

Es ist eine maximale Zuggeschwindigkeit während 40 Der Kühlmittelfluß zu dar Abkühlungswicklung 13

jedes Arbeitsganges bei der Zonenabkühlung erfor- wurde mit der Wicklung in der rechten Endlage be-

derlich, die durch die Diffusion der Fremdstoffe von gönnen, so daß ein 30 mm langer fester Kern 17 auf

der flüssigen in die feste Phase bestimmt wird. Die Zug- der rechten Seite in dem Boot gebildet wurde. Die

geschwindigkeit muß niedrig genug sein, um eine fast kurze Abkühlungswicklung 18 wurde langsam längs

vollständige Diffusion von der Schmelze in das er- 45 des Bootes mit einer Geschwindigkeit von 4 mm/min

starrte Metall zu erlauben. Eine ähnliche Bedingung bewegt, und der feste Kern folgte der Wicklung zu

betrifft auch die Zonenischmelzung. Eine endgültige dem festen Kern am anderen Ende des Bootes. Der

obere Grenze für die Zuggeschwindigkeit bei der feste Kern wurde zweimal zurück- und vorbewegt

Zonenabkühlung kann nicht gesetzt werden, da sie von und wurde auf diese Weise an den festen Kern am

den Diffusionskoeffizienten der überwiegenden Fremd- 50 rechten Ende des Bootes gebracht. Das Boot wurde

stoffe bei der Temperatur der flüssigen Substanz dann so weit verschoben, daß der feste Abschnitt

abhängt. innerhalb der Abkühlungswicklung 13 angeordnet

Wenn die erforderliche Anzahl Durchgänge in der wurde, durch die ein Kühlmittel fließt. Die Kühil-

Abkühliungsstufe erfolgt ist, wird die Abkühlung in inittelwicklung 18 wurde dann schnell nach dem

einer Weise beendet, welche die Verunreinigungen 55 linken Ende des Bootes bewegt, und es wurde ein

nicht außerhalb des Bereiches dispergiert, der von den neuer fester Kern ausgebildet und längs der Schmelze

konzentrierten Fremdstoffen eingenommen wird. Dies zu dem ersten festen Kern 17 nach der rechten Seite

wird dadurch erreicht, daß eine Abkühlungsperiode an des Bootes mit einer Geschwindigkeit von 4 mm/min

dem freien flüssiigkeitsführenden Ende der Substanz verschoben. Beim Erreichen des ersten Kerns wurde

eingeleitet und allmählich längs des gesamten flüssig- 60 die Kühlwicklung wieder schnell zu der linken Seite

keitsführenden Bereiches bis zu dem festen Kern an des Bootes bewegt, und das Boot wurde schnell nach

dem entgegengesetzten Ende fortgesetzt wird, indem rechts um ein Stück bewegt, das deir Länge des zwei-

die Heizwindungen 14 von dem angezapften Ende der ten Kerns entspricht, wodurch die zweite feste Zone

Wicklung an abgeschaltet werden, während der Ein- in festem Zustand gehalten wird, während eine voll-

gangsstrom konstant gehalten wird. 65 ständige Schmelzung der ersten festen Zone beginnt.

Ein besonderes Beispiel eines Verfahrens nach der Drei zusätzliche Kerne wurden auf der linken Seite Erfindung wird nun beschrieben. Es soll jedoch be- des Bootes gebildet und in ähnlicher Weise in Konmerkt werden, daß das Verfahren nach der Erfindung takt mit dem vorhergehenden festen Kern bewegt, der nicht auf die besonderen Materialien oder Zustände in der Abkühlungswicklung 13 angeordnet iist. Die gebegrenzt ist, die in diesem Beispiel beschrieben sind. 70 samte Schmelze wurde dann mit dem linken Ende

beginnend mittels fortschreitender Abschaltung hintereinanderliegender Windungen der Spule 14 abgekühlt. Das rechte Ende des festen Stabes wurde abgeschnitten. Der spezifische Widerstand des Stabes variierte an verschiedenen Punkten zwischen 35 und 65 Ohmzentimeter. Der .spezifische Widerstand des Germaniums wurde somit durch das Zonenabkühlungsverfahren nach der Erfindung von 20 auf ungefähr 50 Ohmzentimter vergrößert, und die halbleitenden, aus diesem Material hergestellten Einrichtungen zeigten beträchtlich verbesserte Eigenschaften im Vergleich zu den Einrichtungen, die Germanium enthalten, das nur mittels des bekannten Zonenschmekverfahrens gereinigt ist.

Im folgenden wird noch ein weiteres Ausführungsbeispiel beschrieben, daß die Reinigung der intermetallischen Verbindung AlSb betrifft. Die stöchiometrisch zusammengesetzte intermetallische Verbindung Al Sb ist ein Halbleiter und kann durch geeignete Zusätze von Störsiubstanzen in einen Überschuß- ao oder Defekthalbleiter umgewandelt werden. AlSb kann in gewissen Halbleitervorrichtungen Germanium oder Silizium ersetzen.

Chemisch reines Al und Sb in stöchiometrischen Mengen wurde im Vakuum zusammengeschmolzen. Die erhaltene intermetallische Verbindung Al Sb wurde dann dreißigmal dem Zonenschmelz verfahren unterworfen. Der erstarrte stangenförmige Al Sb hatte nach dem Abschneiden von 30%> der Stangenlänge, wo die Verunreinigungen konzentriert waren, einen spezifischen Widerstand von 15 bis 45 Ohmzentimeter.

Ein derart gereinigter AlSb-Stab wurde dann sechsmal einem Reinigungsverfahren nach der Erfindung unterworfen, wonach ein spezifischer Widerstand zwischen 160 und 450 Ohmzentimeter über 75 °/o der Stablänge gemessen wurde.

Messungen vor der fünften und sechsten Zonenkühlungsreinigung zeigten, daß diese letzten Reinigungen jeweils nur eine Erhöhung um weniger als 4% ergaben, weshalb vier Zonenkuhlungsreiinigmigen ausreichend sind.

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Entfernen von löslichen Verunreinigungen . mit einem Verteilungskoeffizienten k, der größer als 1,0 ist, aus einem schmelzbaren festen Stoff, dadurch gekennzeichnet, daß eine langgestreckte Schmelze des Stoffes, die sich in einem Boot oder in einem anderen langgestreckten Behälter befindet, einer örtlichen Abkühlung unterworfen wird, so daß wenigstens ein begrenzter fester Kern angrenzend an die geschmolzenen Bereiche des Stoffes gebildet wird, wobei dieser Kern mit einer Geschwindigkeit verschoben wird, die derart gewählt ist, daß eine fast vollständige Diffusion der Verunreinigungen von der Schmelze in das erstarrte Metall erhalten wird, und daß das Verfahren durch Abkühlung der gesamten Schmelze beendet wird, wobei mit der Abkühlung an dem Ende begonnen wird, das dem festen Kern entgegengesetzt ist.

2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei ein erster fester Kern gebildet und durch die Schmelze einmal oder wiederholt zu einem Ende des Bootes verschoben wird, dadurch gekennzeichnet, daß ein zweiter fester Kern an dem freien Ende der Schmelze ausgebildet und langsam durch die Schmelze bewegt wird, so daß er mit dem ersten Kern in Berührung kommt, daß der erste Kern wieder geschmolzen wird und der zweite Kern langsam zu diesem einen Ende des Bootes bewegt wird, wobei das Verfahren durch Abkühlung der gesamten Schmelze beendet wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzliche Kerne gebildet und in derselben Weise wie der zweite Kern verschoben werden.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen