DE10052148A1 - Vermessungsinstrument mit einem magnetischen Inkremental-Drehcodierer - Google Patents

Vermessungsinstrument mit einem magnetischen Inkremental-Drehcodierer

Info

Publication number
DE10052148A1
DE10052148A1 DE10052148A DE10052148A DE10052148A1 DE 10052148 A1 DE10052148 A1 DE 10052148A1 DE 10052148 A DE10052148 A DE 10052148A DE 10052148 A DE10052148 A DE 10052148A DE 10052148 A1 DE10052148 A1 DE 10052148A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
magnetic
angle
magnetic field
resistance elements
sensors
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE10052148A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10052148B4 (de
Inventor
Masami Shirai
Katsuhiko Kenjo
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hoya Corp
Original Assignee
Asahi Seimitsu KK
Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Seimitsu KK, Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd filed Critical Asahi Seimitsu KK
Publication of DE10052148A1 publication Critical patent/DE10052148A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10052148B4 publication Critical patent/DE10052148B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C1/00—Measuring angles
    • G01C1/02—Theodolites
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/249—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using pulse code

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

Ein Vermessungsinstrument (11) mit einem magnetischen Inkremental-Drehcodierer (51) enthält eine magnetische Drehtrommel (53), an deren Außenumfangsfläche eine magnetisierte Multipolschicht (53a) mit mehreren gleichmäßig unterteilten, magnetisierten Teilbereichen ausgebildet ist, und mindestens zwei magnetische Sensoren (54, 55), die jeweils ein von der Multipolschicht (53a) erzeugtes Magnetfeld erfassen. Die magnetischen Sensoren (54, 55) erfassen jeweils eine durch die Drehung der magnetischen Drehtrommel (53) verursachte Änderung des Magnetfeldes, um so einen Drehwinkel der magnetischen Drehtrommel (53) zu messen. Die beiden magnetischen Sensoren (54, 55) sind so zueinander versetzt angeordnet, daß zwischen ihnen ein Phasenwinkel vorhanden ist, der gleich einem ungeradzahligen Teilungswinkel ist.

Description

Die Erfindung betrifft ein Vermessungsinstrument mit einem magnetischen Inkre­ mental-Drehcodierer, der für Vermessungsinstrumente wie Gesamtstationen, Theodolite u. dgl. geeignet ist.
Einige herkömmliche Vermessungsinstrumente wie Gesamtstationen, Theodolite u. dgl. haben einen Inkremental-Drehcodierer als Winkelmeßvorrichtung. Es wird häufig ein optischer Inkremental-Drehcodierer eingesetzt, da dieser ein hohes Maß an Stabilität und Genauigkeit hat.
Neben einem optischen Inkremental-Drehcodierer ist auch ein magnetischer In­ kremental-Drehcodierer als Winkelmeßvorrichtung bekannt. Ein magnetischer In­ kremental-Drehcodierer hat im allgemeinen eine magnetische Trommel (Scheibe mit Gradeinteilung) und einen magnetischen Sensor. Der magnetische Inkremen­ tal-Drehcodierer hat an der Außenumfangsfläche seiner magnetischen Trommel eine magnetisierte Multipolschicht mit mehreren magnetisierten Teilbereichen, die durch eine Anzahl p von Unterteilungen gleichmäßig unterteilt sind, wobei p eine positive ganze Zahl angibt. Der magnetische Sensor ist so angeordnet, daß er der magnetisierten Multipolschicht gegenüberliegt. An dem magnetischen Sensor sind z. B. vier magnetfeldabhängige Widerstandselemente vorgesehen, die beispiels­ weise in zwei Gruppen unterteilt sind: Nämlich eine A-Phase und eine B-Phase, die so angeordnet sind, daß zwischen ihnen ein Phasenwinkel von 1/4 oder 3/8 des Teilungswinkels vorhanden ist. Die magnetfeldabhängigen Widerstandsele­ mente sind in vorbestimmten Abständen voneinander angeordnet, deren Teilung kleiner ist als die der magnetisierten Teilbereiche der Multipolschicht, um so eine Änderung der Widerstandswerte der vier magnetfeldabhängigen Widerstandsele­ mente zu erfassen. Die Widerstandswerte variieren dabei entsprechend der Derehung der magnetischen Trommel. Es werden so die Null-Kreuzungspunkte der Ausgangssignale der A-Phase und der B-Phase und der Drehwinkel der ma­ gnetischen Trommel gemäß einer Interpolationsberechnung "tan-1(Aout/Bout)" be­ stimmt, wobei Aout das Ausgangssignal der A-Phase und Bout das Ausgangs­ signal der B-Phase angibt.
Bei diesem Typ von magnetfeldabhängige Widerstandselemente einsetzendem magnetischem Inkremental-Drehcodierer ist die Kurve, welche die Änderung der magnetischen Reluktanz der magnetfeldabhängigen Widerstandselemente angibt, idealerweise etwa symmetrisch um den Nullpunkt des Magnetfeldes. In Realität ist jedoch die Variationskurve wegen der in der Nähe des Nullpunktes des Magnet­ feldes auftretenden Hysterese asymmetrisch um den Nullpunkt des Magnetfeldes. Dies liegt daran, daß die Position, an der eine magnetische Domäne von der ma­ gnetisierten Multipolschicht der magnetischen Trommel erzeugt wird, entspre­ chend der Richtung des Magnetfeldes variiert, das die Multipolschicht der magne­ tischen Trommel erzeugt. Ist die Variationskurve in dieser Weise asymmetrisch um den Nullpunkt des Magnetfeldes, so tritt ein großer Fehler auf, wenn die ma­ gnetische Trommel nur geringfügig um einen kleinen Drehwinkel gedreht wird.
Darüber hinaus variiert in einem magnetischen Inkremental-Drehcodierer der Wi­ derstand des jeweiligen magnetfeldabhängigen Widerstandselementes, wenn der Codierer einem externen Magnetfeld ausgesetzt ist. Dies verursacht einen Meß­ wertfehler. Ein Vermessungsinstrument, das einen magnetischen Inkremental- Drehcodierer mit magnetfeldabhängigen Widerstandselementen enthält, muß deshalb so ausgebildet sein, daß es von externen Magnetfeldern unbeeinflußt ist.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Vermessungsinstrument mit einem magneti­ schen Inkremental-Drehcodierer anzugeben, das von Hysterese und externen Magnetfeldern unbeeinflußt ist.
Die Erfindung löst diese Aufgabe durch die Gegenstände der unabhängigen An­ sprüche. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Die Erfindung wird im folgenden unter Bezugnahme auf die Figuren näher erläu­ tert. Darin zeigen:
Fig. 1 die Rückansicht einer Gesamtstation mit zwei erfindungsgemäßen ma­ gnetischen Inkremental-Drehcodierern, wobei die Grundelemente jedes Inkremental-Drehcodierers im Querschnitt dargestellt sind,
Fig. 2 die Seitenansicht der Gesamtstation nach Fig. 1 mit den im Querschnitt dargestellten Grundelementen jedes Inkremental-Drehcodierers,
Fig. 3 die Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel des in den Fig. 1 und 2 ge­ zeigten magnetischen Inkremental-Drehcodierers,
Fig. 4 die Darstellung eines Teils einer magnetischen Trommel und eines ent­ sprechenden magnetischen Sensors des Inkremental-Drehcodierers nach Fig. 3 mit der gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel vorgesehe­ nen Anordnung von magnetfeldabhängigen Widerstandselementen des magnetischen Sensors,
Fig. 5 das Schaltbild der elektrischen Verbindung einer elektrischen Schal­ tung mit den magnetfeldabhängigen Widerstandselementen nach Fig. 4,
Fig. 6 die Darstellung eines Teils einer magnetischen Trommel und eines ent­ sprechenden magnetischen Sensors des Inkremental-Drehcodierers nach Fig. 3 mit der gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel vorgese­ henen Anordnung von magnetfeldabhängigen Widerstandselementen des magnetischen Sensors, und
Fig. 7 die Draufsicht auf ein zweites Ausführungsbeispiel des in den Fig. 1 und 2 dargestellten Inkremental-Drehcodierers.
Die Fig. 1 und 2 zeigen ein Ausführungsbeispiel einer Gesamtstation, die zwei magnetische Inkremental-Drehcodierer nach der Erfindung enthält.
Eine Gesamtstation 11 hat eine Grundplatte 13, ein Nivellierelement 17 (Nivellier­ platte), einen Sockel (Körper/stationäres Element) 21 und ein Kollimationsfernrohr 25. Die Grundplatte 13 ist mit einem nicht dargestellten Dreibein verbunden, wenn die Gesamtstation 11 darauf montiert ist. An der Grundplatte 13 sind drei Nivel­ lierschrauben 15 vorgesehen, auf die die Nivellierplatte 17 montiert ist. Der Sockel 21 ist so über eine vertikale Welle 19 auf der Nivellierplatte 17 montiert, daß er um die vertikale Welle 19 drehbar ist. Der Sockel 21 hat im wesentlichen U-förmigen Querschnitt. Er hat ein Paar Halterungen 21a, von denen eine in Fig. 1 links und die andere rechts angeordnet ist. Das Kollimationsfernrohr 25 ist zwischen den beiden Halterungen 21a so gehalten, daß es um die Achse zweier koaxialer, hori­ zontaler Wellen drehbar ist, die in Fig. 1 an der rechten bzw. der linken Seite des Kollimationsfernrohrs 25 befestigt sind. Die beiden koaxialen, horizontalen Wellen 23 sind durch die beiden Halterungen 21a jeweils so gehalten, daß sie um ihre Achse drehbar sind. In Fig. 1 ist nur eine der beiden koaxialen, horizontalen Wel­ len im Querschnitt gezeigt, nämlich die linke Welle 23.
Die vertikale Welle 19 ist drehbar in ein vertikales Lager 27 eingepaßt und dort gehalten. Das Lager 27 ist an der Nivellierplatte 17 befestigt. Die Basis des Soc­ kels 21, welche die beiden Halterungen 21a miteinander verbindet, ist an dem oberen Ende der vertikalen Welle 19 befestigt. Jede horizontale Welle 23 ist an einem entsprechenden horizontalen Lager 29 drehbar gehalten, das an der ent­ sprechenden Halterung 21a befestigt ist. Das Kollimationsfernrohr 25 ist so über die beiden horizontalen Wellen 23 und die beiden horizontalen Lager 29 an dem Sockel 21 gehalten und um die vertikale Welle 19 und die beiden horizontalen Wellen 23 drehbar, wobei die vertikale Welle 19 und die beiden horizontalen Wellen 23 senkrecht zueinander verlaufen.
Die Gesamtstation 11 hat an ihrer vertikalen Welle 19 einen ersten magnetischen Inkremental-Drehcodierer (erster Drehcodierer/Horizontalwinkel-Meßvorrichtung) 41, der zum Messen des Drehwinkels (Horizontalwinkel) der vertikalen Welle 19 (Sockel 21 und Kollimationsfernrohr 25) bezüglich der Nivellierplatte 17 bestimmt ist. Die Gesamtstation 11 hat weiterhin an ihrer horizontalen Welle 23 einen zweiten magnetischen Inkremental-Drehcodierer (zweiter Drehcodierer/Vertikal­ winkel-Meßvorrichtung) 51, der zum Messen des Drehwinkels (Vertikalwinkel) der horizontalen Welle 23 (Kollimationsfernrohr 25) bezüglich des Sockels 21 be­ stimmt ist. Der erste Drehcodierer 41 hat eine an der vertikalen Welle 19 befe­ stigte magnetische Trommel 43 (Scheibe mit Gradeinteilung). Die magnetische Trommel 43 hat an ihrer Außenumfangsfläche eine nicht gezeigte magnetisierte Multipolschicht. Der erste Drehcodierer 41 ist mit zwei magnetischen Sensoren 44 und 45 versehen, die so angeordnet sind, daß sie der magnetisierten Multipol­ schicht zugewandt sind, wobei zwischen jedem magnetischen Sensor und der Multipolschicht bezüglich der vertikale Welle 19 auf entgegengesetzten Seiten der magnetischen Trommel (in Fig. 1 rechts und links der magnetischen Trommel 43) eine kleine Lücke ausgebildet ist. Die beiden magnetischen Sensoren 44 und 45 sind um die vertikale Welle 19 um etwa 180° zueinander versetzt. Entsprechend ist der zweite Drehcodierer 51 mit einer magnetischen Trommel (Scheibe mit Gradeinteilung/magnetische Drehtrommel) 53 versehen, die an der horizontalen Welle 23 befestigt ist. Die magnetische Trommel 53 hat an ihrer Außenumfangs­ fläche eine magnetisierte Multipolschicht 53a (vgl. Fig. 3), die mit der Multipol­ schicht der magnetischen Trommel 43 identisch ist. Der zweite Drehcodierer 51 ist weiterhin mit zwei magnetischen Sensoren 54 und 55 versehen, die so angeord­ net sind, daß sie der Multipolschicht 53a zugewandt sind, wobei zwischen jedem magnetischen Sensor und der Multipolschicht 53a bezüglich der horizontalen Welle 23 auf entgegengesetzten Seiten der magnetischen Trommel 53 (in Fig. 1 ober- und unterhalb der magnetischen Trommel 53) eine kleine Lücke ausgebildet ist. Die beiden magnetischen Sensoren 54 und 55 sind um die horizontale Welle 23 um etwa 180° zueinander versetzt.
Die Gesamtstation 11 hat in der Basis des Sockels 21 eine elektronische Schal­ tung 61 (vgl. Fig. 5), die eine Funktionsvorrichtung enthält, mit der der Drehwinkel des ersten und des zweiten Drehcodierers 41 und 51, d. h. der Horizontal- und der Vertikalwinkel, bestimmt werden können, indem die Ausgangsspannung jedes der magnetischen Sensoren 44, 45, 54 und 55 erfaßt wird. Die Gesamtstation 11 hat an der Vorder- bzw. Rückfläche des Sockels 21 ein Bedienfeld 31 bzw. 32 (vgl. Fig. 2). An jedem Bedienfeld 31 und 32 ist eine Tastatur ausgebildet, die ein Be­ nutzer von Hand betätigen kann, um die Gesamtstation 11 zu bedienen und zu steuern. Weiterhin sind an den Bedienfeldern 31 und 32 jeweils eine Anzeige, z. B. ein LCD-Feld vorgesehen, um die mit der Tastatur eingegebenen Daten, die ge­ messenen Winkel etc. anzuzeigen.
Wie in den Fig. 1 und 2 gezeigt, hat die Gesamtstation 11 weiterhin einen Griff 33 zum Tragen der Gesamtstation 11 und eine Schutzabdeckung 34, die an dem Sockel 21 angebracht wird, um diesen abzudecken und damit den ersten Drehco­ dierer 41 und eine nicht gezeigte Batterie vor Staub zu schützen. Das Kollimati­ onsfernrohr 25 hat eine Objektivlinse 36 (vgl. Fig. 2) und ein Okular 35.
Der Aufbau des ersten Drehcodierers 41 und des zweiten Drehcodierers 51 wird im folgenden im Detail unter Bezugnahme auf die Fig. 3, 4 und 5 erläutert. Der Grundaufbau des ersten Drehcodierers 41 ist mit dem des zweiten Drehcodierers 51 identisch, so daß nur der Aufbau des zweiten Drehcodierers 51 im folgenden im Detail erläutert wird. Fig. 3 ist eine vergrößerte Draufsicht des in den Fig. 1 und 2 gezeigten zweiten Drehcodierers 51. Fig. 4 ist ein vergrößerter Querschnitt des zweiten Drehcodierers 51 und seiner in Fig. 1 gezeigten Peripheriekomponenten. Fig. 5 ist eine Darstellung des magnetischen Sensors 54 und seiner in Fig. 3 ge­ zeigten Peripheriekomponenten zur Erläuterung des Zusammenhangs zwischen der magnetisierten Multipolschicht 53a und dem magnetischen Sensor 54. Der er­ ste magnetische Sensor 54 ist an einem Winkelstück 56 und der zweite magneti­ sche Sensor 55 an einem Winkelstück 57 befestigt. Der erste magnetische Sen­ sor 54 ist über das Winkelstück 56 an dem Sockel 21 befestigt, während der zweite magnetische Sensor 55 über das Winkelstück 57 an der Grundplatte 58 befestigt ist. Der erste und der zweite magnetische Sensor 54, 55 sind auf entge­ gengesetzten Seiten der magnetischen Trommel 53 so angeordnet, daß sie um etwa 180° um die Achse der magnetischen Trommel 53 zueinander versetzt sind. Da der Aufbau des zweiten magnetischen Sensors 55 identisch mit dem Aufbau des ersten magnetischen Sensors 54 ist, wird im folgenden nur der Aufbau des ersten magnetischen Sensors 54 im Detail erläutert.
Der zweite Drehcodierer 51 hat an der Außenumfangsfläche seiner magnetischen Trommel 53 die magnetisierte Multipolschicht 53a mit mehreren magnetisierten Teilbereichen, die durch p Unterteilungen gleichmäßig unterteilt sind, wobei p eine positive ganze Zahl angibt. Die Teilung (Teilungswinkel) der magnetisierten Teil­ bereiche (d. h. der Abstand zweier benachbarter Grenzen der magnetischen Pole) der Multipolschicht 53a soll im folgenden λ betragen. Der erste magnetische Sen­ sor 54 ist so angeordnet, daß er der Multipolschicht 53a zugewandt ist, wobei zwi­ schen dem ersten magnetischen Sensor 54 und der Multipolschicht 53a eine klei­ ne Lücke vorhanden ist. Der erste magnetische Sensor 54 ist mit einem ebenen Element 54a (Platte) und sechzehn magnetfeldabhängigen Widerstandselemen­ ten 4a11, 4a12, 4a21, 4a22, 4a31, 4a32, 4a41, 4a42, 4b11, 4b12, 4b21, 4b22, 4b31, 4b32, 4b41 und 4b42 versehen. Insbesondere hat der erste magnetische Sensor 54 acht Paare magnetfeldabhängiger Widerstandselemente, die in zwei Gruppen unterteilt sind, nämlich in eine erste Gruppe und in eine zweite Gruppe. Die erste Gruppe enthält ein erstes Paar Widerstandselemente 4a11 und 4a12, ein zweites Paar Wi­ derstandselemente 4a21 und 4a22, ein dritten Paar Widerstandselemente 4a31 und 4a32 sowie ein viertes Paar Widerstandselemente 4a41 und 4a42. Die zweite Gruppe enthält ein erstes Paar Widerstandselemente 4b11, und 4b12, ein zweites Paar Widerstandselemente 4b21 und 4b22, ein drittes Paar Widerstandselemente 4b31 und 4b32 sowie ein viertes Paar Widerstandselemente 4b41 und 4b42. Sowohl in der ersten als auch in der zweiten Gruppe sind die Widerstandselemente je­ weils eines Paares so zueinander versetzt, daß zwischen ihnen ein Phasenwinkel von 1λ vorhanden ist, während jeweils zwei benachbarte Paare so zueinander versetzt sind, daß zwischen ihnen ein Phasenwinkel von λ/2 vorhanden. Weiterhin sind die erste und die zweite Gruppe so angeordnet, daß zwischen ihnen ein Pha­ senwinkel von 3λ/4 gegeben ist. Auf jedes Paar Widerstandselemente wirken ver­ schiedene magnetische Pole der Multipolschicht 53a ein, so daß die jeweiligen beiden Widerstandselemente infolge der Stärke der magnetischen Kraft der in der Multipolschicht 53a vorhandenen verschiedenen magnetischen Pole wechselseitig die zwischen ihnen vorhandene Differenz in der Variation der Widerstandswerte kompensieren. Werden also die Widerstandswerte des jeweiligen Paars Wider­ standselemente, welche die zwischen ihnen vorhandene Differenz in der Variation der Widerstandswerte kompensieren, erfaßt, so erhält man Widerstandswerte, die von Hysterese und/oder externen Magnetfeldern unbeeinflußt sind.
Sind in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die sechzehn magnetfeldabhängi­ gen Widerstandselemente in zwei Gruppen unterteilt, nämlich in eine A-Phase (erste Gruppe), die aus den acht Widerstandselementen 4a11, 4a12, 4a21, 4a22, 4a31, 4a32, 4a41 und 4a42 besteht, und in eine B-Phase (zweite Gruppe), die aus den übrigen acht Widerstandselementen 4b11, 4b12, 4b21, 4b22, 4b31, 4b32, 4b41 und 4b42 besteht, so sind die acht Widerstandselemente der A-Phase in einer Brückenschaltung und auch die acht Widerstandselemente der B-Phase in einer Brückenschaltung miteinander verbunden, wie in Fig. 5 gezeigt ist.
Eine elektrische Schaltung 61 legt eine konstante Spannung +V zwischen den Anschlüssen der jeweiligen Brückenschaltung an. Die elektrische Schaltung 61 erfaßt eine Änderung des Magnetfeldes, d. h. eine Änderung des Drehwinkels der magnetischen Trommel 53 in Abhängigkeit der über den Anschlüssen e0 und e1 der A-Phase und der über den Anschlüssen e0' und e1' der B-Phase anliegenden Spannung. Dreht sich die magnetische Trommel 53, so erfaßt der zweite Drehco­ dierer 51 Spannungen der Erfassungssignale, die über den Anschlüssen e0 und e1 und den Anschlüssen e0' und e1' vorhanden sind, über die elektrische Schal­ tung 61 infolge der Änderung der Widerstandswerte der acht Widerstandsele­ mente 4a11, 4a12, 4a21, 4a22, 4a31, 4a32, 4a41 und 4a42 der A-Phase bzw. der acht Widerstandselemente Widerstandselementen 4b11, 4b12, 4b21, 4b22, 4b31, 4b32, 4b41 und 4b42 der B-Phase, die entsprechend der Änderung des von der magneti­ sierten Multipolschicht 53a erzeugten Magnetfeldes 3 variieren, um so den Dreh­ winkel der magnetischen Trommel 53 in einem λ/4-Abstand, d. h. einer λ/4-Teilung zu ermitteln. Ein Winkel, der kleiner als die Teilung (λ/4) ist, wird in einer Interpo­ lationsberechnung ermittelt.
In dem erläuterten Ausführungsbeispiel ändern sich die jeweiligen Widerstands­ werte a11, a12, a21, a22, a31, a32, a41 und a42 der magnetfeldabhängigen Wi­ derstandselemente 4a11, 4a12, 4a21, 4a22, 4a31, 4a32, 4a41 und 4a42 der A-Phase in Abhängigkeit der Variation des durch die Drehung der magnetischen Trommel 53 erzeugten Magnetfeldes 3 gemäß den folgenden Gleichungen:
a11 = R0 + Rsin(pω)
a12 = R0 + Rsin(pω + 2π) = R0 + Rsin(pω)
a21 = R0 + Rsin(pω + 3π) = R0 - Rsin(pω)
a22 = R0 + Rsin(pω + 5π) = R0 - Rsin(pω)
a31 = R0 + Rsin(pω + 6π) = R0 + Rsin(pω)
a32 = R0 + Rsin(pω + 8π) = R0 + Rsin(pω)
a41 = R0 + Rsin(pω + 9π) = R0 - Rsin(pω)
a42 = R0 + Rsin(pω + 11π) = R0 - Rsin(pω)
worin ω den Drehwinkel der magnetischen Trommel 53, R0 den Widerstandswert ohne Magnetfeld, R das Widerstandsverhältnis (Koeffizient) und p die Anzahl der magnetisierten Teilbereiche der magnetisierten Multipolschicht 53a angibt.
Wird die Differenz im Ausgangssignal zwischen den Anschlüssen e0 und e1 ver­ stärkt, so kann das Ausgangssignal der A-Phase durch folgende Gleichung dar­ gestellt werden:
Aout = α × 4 × R × V/R0 × sin(pω)
worin Aout das Ausgangssignal der A-Phase und α den Verstärkungsfaktor an­ gibt.
Die magnetfeldabhängigen Widerstandselemente 4b11, 4b12, 4b21, 4b22, 4b31, 4b32, 4b41 und 4b42 der B-Phase sind gegenüber den magnetfeldabhängigen Wider­ standselementen 4a11, 4a12, 4a21, 4a22, 4a31, 4a32, 4a41 und 4a42 der A-Phase um 3π/4 versetzt, so daß das Ausgangssignal der B-Phase durch folgende Gleichung angegeben werden kann:
Bout = α × 4 × R × V/R0 × cos(pω)
worin Bout das Ausgangssignal der B-Phase angibt.
Der Drehwinkel der magnetischen Trommel 53 kann in einem regelmäßigen Ab­ stand, d. h. einer Teilung von p/4 erfaßt werden, indem die Null-Kreuzungspunkte der Ausgangssignale der A-Phase und der B-Phase erfaßt werden. Der Erfas­ sungsabstand ist also viermal kleiner als die Anzahl p der Unterteilungen, d. h. ein Viertel dieser Anzahl, um so eine hohe Auflösung zu realisieren und damit die Er­ fassungsgenauigkeit auf einen hohen Wert zu bringen. In Vermessungsinstru­ menten wird manchmal ein Erfassungsabstand benötigt, der kleiner als ein Viertel der Anzahl p der Unterteilungen ist. Um dieser Anforderung gerecht zu werden, wird in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel die Anzahl der Unterteilungen (Er­ fassungsabstand) erhöht, und zwar unter Verwendung der folgenden, auf der A- Phase und der B-Phase basierenden Berechnung.
tan-1(Aout/Bout)
Bei dem erläuterten Ausführungsbeispiel des in einem Vermessungsinstrument enthaltenen, magnetfeldabhängige Widerstandselemente verwendenden magne­ tischen Inkremental-Drehcodierers sind die magnetfeldabhängigen Widerstand­ selemente so angeordnet, daß Hysterese und/oder externe Magnetfelder kom­ pensiert sind. Der Fehler, der durch die Hysterese verursacht wird, wird dadurch beseitigt, während der Horizontal- oder der Vertikalwinkel selbst an Orten gemes­ sen werden kann, an denen der Codierer von externen Magnetfeldern nicht abge­ schirmt werden kann.
In dem in Fig. 4 gezeigten Ausführungsbeispiel sind zwei Paare benachbarter, in Reihe verbundener Widerstandselemente (z. B. die beiden Paare mit den Wider­ standselementen 4a11, 4a12 und 4a21, 4a22) so angeordnet, daß sie Phasenwinkel λ, λ/2 und λ haben, und zwar in dieser Reihenfolge. Die magnetfeldabhängigen Widerstandselemente können jedoch auch in gleichen Abständen λ/2 voneinan­ der angeordnet werden, wobei die Reihenfolge der Widerstandselemente durch 4a11, 4a21, 4a12 und 4a22 gegeben ist, wie in Fig. 6 gezeigt ist, während sowohl die A-Phase als auch die B-Phase in Form einer Brückenschaltung nach Fig. 5 zu­ sammengeschaltet sein können. Obgleich in diesem Fall die Widerstandsele­ mente eines jeden Paars so zueinander versetzt sind, daß zwischen ihnen ein Phasenwinkel von λ/2 vorhanden ist, ist ein ähnlicher Effekt wie in dem Ausfüh­ rungsbeispiel nach Fig. 4 zu erwarten, da zum ersten die beiden Widerstandsele­ mente 4a11 und 4a12 so zueinander versetzt sind, daß zwischen ihnen ein Pha­ senwinkel von λ vorhanden ist, zum zweiten die Widerstandselemente 4a21 und 4a22 so zueinander versetzt sind, daß zwischen ihnen ein Phasenwinkel von λ vorhanden ist, und zum dritten das Paar Widerstandselemente 4a11 und 4a12 ge­ genüber dem Paar Widerstandselemente 4a21 und 4a22 so versetzt ist, daß zwi­ schen diesen beiden Paaren ein Phasenwinkel von λ/2 vorhanden ist.
In dem erläuterten Ausführungsbeispiel sind die magnetischen Sensoren 54 und 55 jeweils als Kombination mehrerer Paare magnetfeldabhängiger Widerstand­ selemente ausgebildet, wobei die Widerstandselemente eines Paars jeweils so zueinander versetzt sind, daß zwischen ihnen ein Phasenwinkel von 1λ vorhan­ den ist. Die Erfindung ist jedoch auf dieses Ausführungsbeispiel nicht beschränkt. Für den Fall, daß zwei magnetische Sensoren verwendet werden, die jeweils nicht als eine solche Kombination von mehreren Paaren magnetfeldabhängiger Wider­ standselemente ausgebildet sind, können die beiden magnetischen Sensoren auf entgegengesetzten Seiten der magnetischen Trommel 53 so angeordnet sein, daß sie um etwa 180° um die Achse der Trommel zueinander versetzt sind, wobei die beiden Sensoren so zueinander versetzt sind, daß zwischen ihnen ein unge­ radzahliger Phasenwinkel λ, z. B. 1λ, 3λ oder 5λ, vorhanden ist, während die Aus­ gangsspannung des einen Sensors in Phase mit der des anderen Sensors ist.
In diesem Fall kann ein ähnlicher Effekt wie in dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 4 erwartet werden, indem ein Mittelwert der Erfassungssignale der beiden Senso­ ren oder der Drehwinkel der magnetischen Trommel genommen wird, wobei die eben genannten Größen über die beiden Sensoren in einer Interpolationsberech­ nung bestimmt werden.
Ein zusätzlicher magnetischer Sensor, der identisch mit jedem der Sensoren 54' und 55' ist, kann entweder nahe dem Sensor 54 oder dem Sensor 55 so angeord­ net sein, daß zwischen den beiden entsprechenden Sensoren ein ungeradzahliger Phasenwinkel λ ((2n + 1)λ) vorhanden ist, wobei sich die Ausgangsspannung des zusätzlichen magnetischen Sensors in Phase mit dem des Sensors 54' bzw. 55' befindet (vgl. Fig. 7). In diesem Fall ist ein ähnlicher Effekt wie in dem Ausfüh­ rungsbeispiel nach Fig. 4 zu erwarten, indem ein Mittelwert der Erfassungssignale der drei Sensoren oder der Drehwinkel der magnetischen Trommel genommen wird, wobei, die eben genannten Größen über die drei Sensoren in einer Interpola­ tionsberechnung bestimmt werden.
Die vorliegende Erfindung ist nicht nur auf eine Gesamtstation anwendbar, wie dies für die oben erläuterten Ausführungsbeispiele dargestellt wurde. Sie ist auch auf andere Vermessungsinstrumente, z. B. Nivellierer, Theodolite, Theodolite mit durchschlagbarem Fernrohr, Tachymetertheodolite u. dgl. anwendbar.
Da bei dem erfindungsgemäßen Vermessungsinstrument die magnetfeldabhängi­ gen Widerstandselemente des in dem Instrument enthaltenen magnetischen In­ kremental-Drehcodierers so angeordnet sind, daß Hysterese und/oder externe Magnetfelder kompensiert sind, wird der durch die Hysterese verursachte Fehler beseitigt, so daß der Drehwinkel der magnetischen Trommel mit einem hohen Maß an Genauigkeit erfaßt werden kann. Dies gilt auch dann, wenn das Vermes­ sungsinstrument an einem Ort eingesetzt wird, an dem ein externes Magnetfeld vorhanden ist, da die magnetischen Sensoren von externen Magnetfeldern unbe­ einflußt bleiben.

Claims (9)

1. Vermessungsinstrument (11) mit einem magnetischen Inkremental-Dreh­ codierer (51), mit
einer magnetischen Drehtrommel (53), die an ihrer Außenfläche eine ma­ gnetisierte Multipolschicht (53a) mit mehreren gleichmäßig unterteilten, ma­ gnetisierten Teilbereichen hat, und
mindestens zwei magnetischen Sensoren (54, 55), die jeweils ein von der magnetisierten Multipolschicht (53a) erzeugtes Magnetfeld erfassen, wobei die magnetischen Sensoren (54, 55) jeweils eine durch die Drehung der ma­ gnetischen Drehtrommel (53) verursachte Änderung des Magnetfeldes er­ fassen, um einen Drehwinkel der magnetischen Drehtrommel (53) zu erfas­ sen, und
die magnetischen Sensoren (54, 55) so angeordnet sind, daß zwei von ihnen so zueinander versetzt sind, daß zwischen diesen Sensoren ein Phasenwin­ kel vorhanden ist, der gleich einem ungeradzahligen Teilungswinkel ist.
2. Vermessungsinstrument (11) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß von den magnetischen Sensoren (54, 55) zwei Sensoren in enger räum­ licher Nähe zueinander angeordnet sind.
3. Vermessungsinstrument (11) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß von den magnetischen Sensoren (54, 55) zwei Sensoren so auf entge­ gengesetzten Seiten der magnetischen Drehtrommel (53) angeordnet sind, daß sie um etwa 180° um die Trommelachse versetzt zueinander angeord­ net sind.
4. Vermessungsinstrument (11) mit einem magnetischen Inkremental-Dreh­ codierer (51), mit
einer magnetischen Drehtrommel (53), die an ihrer Außenfläche eine ma­ gnetisierte Multipolschicht (53a) mit mehreren gleichmäßig unterteilten, ma­ gnetisierten Teilbereichen hat, und
einem magnetischen Sensor (54), der ein von der magnetisierten Multipol­ schicht (53a) erzeugtes Magnetfeld erfaßt und mehrere Paare magnetfeld­ abhängiger Widerstandselemente enthält, wobei
der magnetische Sensor (54) eine durch die Drehung der magnetischen Drehtrommel (53) verursachte Änderung des Magnetfeldes erfaßt, um einen Drehwinkel der magnetischen Drehtrommel (53) zu messen, und
jedes Paar magnetfeldabhängiger Widerstandselemente so angeordnet ist, daß die Widerstandselemente dieses Paars so zueinander versetzt sind, daß zwischen ihnen ein Phasenwinkel vorhanden ist, der gleich einem ungerad­ zahligen Teilungswinkel ist.
5. Vermessungsinstrument (11) nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch ei­ nen weiteren magnetischen Sensor (55), der so an der magnetischen Dreh­ trommel (53) angeordnet ist, daß er gegenüber dem anderen magnetischen Sensor (54) um die Trommelachse versetzt ist.
6. Vermessungsinstrument (11) nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der magnetische Sensor (54) vier Paare magnetfeldabhängi­ ger Widerstandselemente enthält, die so angeordnet sind, daß jeweils zwei benachbarte Paare so zueinander versetzt sind, daß zwischen ihnen ein Phasenwinkel vorhanden ist, der 1/2 des Teilungswinkels beträgt.
7. Vermessungsinstrument (11) nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der magnetische Sensor (54) versehen ist mit
einer ersten Gruppe von vier Paaren magnetfeldabhängiger Widerstand­ selemente, die so angeordnet sind, daß jeweils zwei benachbarte Paare so zueinander versetzt sind, daß zwischen ihnen ein Phasenwinkel vorhanden ist, der 1/2 des Teilungswinkels beträgt, und
einer zweiten Gruppe von vier Paaren magnetfeldabhängiger Widerstand­ selemente, die so angeordnet sind, daß jeweils zwei benachbarte Paare so zueinander versetzt sind, daß zwischen ihnen ein Phasenwinkel vorhanden ist, der 1/2 des Teilungswinkels beträgt,
wobei die erste und die zweite Gruppe so angeordnet sind, daß zwischen ih­ nen ein Phasenwinkel vorhanden ist, der 3/4 des Teilungswinkels beträgt.
8. Vermessungsinstrument (11) mit
einer Nivellierplatte (17),
einem Sockel (21), der so an die Nivellierplatte (17) gekoppelt ist, daß er re­ lativ zu dieser um eine vertikale Achse drehbar ist,
einem Kollimationsfernrohr (25), das so an den Sockel (21) gekoppelt ist, daß es relativ zu diesem um eine horizontale Achse drehbar ist,
einer Horizontalwinkel-Meßvorrichtung zum Messen des Drehwinkels des Sockels (21) relativ zu der Nivellierplatte (17), und
einer Vertikalwinkel-Meßvorrichtung zum Messen des Drehwinkels des Kol­ limationsfernrohrs (25) relativ zu dem Sockel (21), wobei
von der Horizontalwinkel-Meßvorrichtung und der Vertikalwinkel-Meßvor­ richtung mindestens eine Meßvorrichtung einen magnetischen Inkremental- Drehcodierer (51) enthält,
der magnetische Inkremental-Drehcodierer (51) versehen ist mit einer ma­ gnetischen Drehtrommel (53), an deren Außenumfangsfläche eine magneti­ sierte Multipolschicht (53a) mit mehreren gleichmäßig unterteilten, magneti­ sierten Teilbereichen ausgebildet ist, einem ersten magnetischen Sensor (54) und einem zweiten magnetischen Sensor (55),
der erste und der zweite magnetische Sensor (54, 55) jeweils mehrere Paare magnetfeldabhängiger Widerstandselemente enthalten und so auf entge­ gengesetzten Seiten der magnetischen Drehtrommel (53) angeordnet sind, daß sie jeweils der magnetisierten Multipolschicht (53a) zugewandt sind,
der erste und der zweite magnetische Sensor (54, 55) jeweils ein von der magnetisierten Multipolschicht (53a) erzeugtes Magnetfeld erfassen,
der erste und der zweite magnetische Sensor (54, 55) jeweils eine durch ei­ ne Drehung der magnetischen Drehtrommel (53) verursachte Änderung des Magnetfeldes erfassen, um einen Drehwinkel der magnetischen Drehtrom­ mel (53) zu messen, und
jedes Paar magnetfeldabhängiger Widerstandselemente so angeordnet ist, daß die Widerstandselemente dieses Paars so zueinander versetzt sind, daß zwischen ihnen ein Phasenwinkel vorhanden ist, der gleich einem ungerad­ zahligen Teilungswinkel ist.
9. Vermessungsinstrument (11) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es eine Gesamtstation ist.
DE10052148A 1999-10-22 2000-10-20 Vermessungsinstrument mit einem magnetischen Inkremental-Drehcodierer Expired - Fee Related DE10052148B4 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30111799A JP2001124554A (ja) 1999-10-22 1999-10-22 磁気式エンコーダを備えた測量機
JP11-301117 1999-10-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10052148A1 true DE10052148A1 (de) 2001-04-26
DE10052148B4 DE10052148B4 (de) 2006-05-18

Family

ID=17893047

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10052148A Expired - Fee Related DE10052148B4 (de) 1999-10-22 2000-10-20 Vermessungsinstrument mit einem magnetischen Inkremental-Drehcodierer

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6550150B1 (de)
JP (1) JP2001124554A (de)
DE (1) DE10052148B4 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10128619B4 (de) * 2000-06-14 2005-09-01 Pentax Corp. Magnetischer Inkrementalcodierer und Vermessungsinstrument mit einem magnetischen Inkrementalcodierer

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001124589A (ja) * 1999-10-22 2001-05-11 Asahi Optical Co Ltd 磁気式エンコーダを搭載した測量機
DE10129819C2 (de) * 2001-06-13 2003-11-27 Smw Autoblok Spannsysteme Gmbh Messgerät
JP4123761B2 (ja) * 2001-11-15 2008-07-23 松下電器産業株式会社 回転角度検出装置
CN100485309C (zh) * 2002-11-08 2009-05-06 北京航天峰光电子技术有限责任公司 磁性位移测量装置
JP2005003625A (ja) * 2003-06-16 2005-01-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 回転角度検出装置
JP4232808B2 (ja) 2006-09-19 2009-03-04 日立金属株式会社 磁気エンコーダ装置
TWI393867B (zh) * 2007-04-20 2013-04-21 Mitsubishi Electric Corp 磁性式旋轉角檢測器
DE202010007285U1 (de) * 2010-05-21 2011-09-23 Balluff Gmbh Maßkörpervorrichtung für ein Positions-/Wegmesssystem, Positions-/Wegmesssystem und Anwendung, an welcher ein Positions-/Wegmesssystem montiert ist
US9696183B2 (en) * 2014-03-07 2017-07-04 Skf Magnetics Bearings Angular position detector including a variable reluctance resolver-encoder
JP7285691B2 (ja) * 2019-05-16 2023-06-02 ニデックインスツルメンツ株式会社 磁気センサ装置
US11604058B2 (en) * 2020-02-25 2023-03-14 Allegro Microsystems, Llc Reducing stray magnetic field effect on an angle sensor
CN113008201B (zh) * 2021-03-30 2022-07-12 北京金房兴业测绘有限公司 一种基坑沉降监测方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59217106A (ja) 1983-05-26 1984-12-07 Tokyo Optical Co Ltd ホール素子を用いた測量機
US4786891A (en) * 1986-04-08 1988-11-22 Yokogawa Electric Corporation Absolute encoder for linear or angular position measurements
DE4203073C2 (de) * 1992-02-04 1994-12-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
DE4211614C2 (de) * 1992-04-07 1994-04-21 Bosch Gmbh Robert Meßeinrichtung zur Bestimmung eines Drehwinkels
DE4316221C2 (de) * 1993-05-14 1995-11-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
US5545985A (en) * 1994-03-16 1996-08-13 Campbell; Peter Magnetoresistive position sensor including an encoder wherein the magnetization extends greater than 0.5 times the pole pitch below the surface
US6246233B1 (en) * 1994-12-30 2001-06-12 Northstar Technologies Inc. Magnetoresistive sensor with reduced output signal jitter and temperature compensation
JP3516505B2 (ja) * 1995-02-03 2004-04-05 株式会社ソキア 測量機の目盛盤回転装置
US5746005A (en) * 1996-10-22 1998-05-05 Powerhorse Corporation Angular position sensor
DE19652562C2 (de) * 1996-12-17 1999-07-22 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
US5949548A (en) * 1997-01-22 1999-09-07 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Height sensing measurement device
DE19722016A1 (de) * 1997-05-27 1998-12-03 Bosch Gmbh Robert Anordnung zur berührungslosen Drehwinkelerfassung
US6354010B1 (en) * 1998-04-23 2002-03-12 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Surveying instrument
US6119355A (en) * 1998-06-02 2000-09-19 Trimble Navigation Limited Audible tilt sensor calibration
DE19906937A1 (de) * 1999-02-19 2000-09-14 Mannesmann Vdo Ag Drehzahlgeber
JP2000314638A (ja) * 1999-04-28 2000-11-14 Asahi Optical Co Ltd エンコーダ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10128619B4 (de) * 2000-06-14 2005-09-01 Pentax Corp. Magnetischer Inkrementalcodierer und Vermessungsinstrument mit einem magnetischen Inkrementalcodierer

Also Published As

Publication number Publication date
JP2001124554A (ja) 2001-05-11
DE10052148B4 (de) 2006-05-18
US6550150B1 (en) 2003-04-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102017106322B4 (de) Magnetfelddetektor
DE102011080679B4 (de) Drehfeldsensor
DE19510579C2 (de) Drehwinkel- oder Drehzahlgeber
EP0258725B1 (de) Kapazitiver Drehgeber zum Steuern und Positionieren von bewegten Gegenständen
DE3132549C2 (de)
DE3844579C2 (de)
AT398245B (de) Kapazitiver drehwinkelsensor
DE69719668T3 (de) Magnetische Kodiereinrichtung
DE10128619B4 (de) Magnetischer Inkrementalcodierer und Vermessungsinstrument mit einem magnetischen Inkrementalcodierer
DE10020978A1 (de) Drehcodierer insbesondere für ein Vermessungsinstrument
DE19521617C1 (de) Sensorchip zur Bestimmung eines Sinus- und eines Cosinuswertes sowie seine Verwendung zum Messen eines Winkels und einer Position
DE10052148B4 (de) Vermessungsinstrument mit einem magnetischen Inkremental-Drehcodierer
EP0893668A1 (de) Winkelsensor
DE19716985A1 (de) Vorrichtung zur Ermittlung der Position und/oder Torsion rotierender Wellen
DE3526338C2 (de)
DE102021108750A1 (de) Magnetsensor, magnetischer wertgeber und linsenpositionsdetektionsbauelement
DE10020980B4 (de) Schritt-Drehcodierer und Vermessungsinstrument mit einem Schritt-Drehcodierer
DE10204641A1 (de) Magnetischer Codierer und Verfahren zum Verringern einer harmonischen Codiererverzerrung
DE4411808A1 (de) Magnetisches Meßsystem
DE102014113374B4 (de) Magnetpositionssensor und Erfassungsverfahren
DE4233331C2 (de) Anordnung zur Bestimmung von Positionen
DE10052150A1 (de) Vermessungsinstrument mit einem magnetischen Inkremental-Drehcodierer
DE112012005322B4 (de) Drehwinkel-Detektiervorrichtung
DE19953190C2 (de) Sensoranordnung zur Erfassung eines Drehwinkels
DE4118773C2 (de) Positionsdetektor

Legal Events

Date Code Title Description
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: PENTAX CORP., TOKIO/TOKYO, JP

Owner name: ASAHI SEIMITSU K.K., TOKIO/TOKYO, JP

8110 Request for examination paragraph 44
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: PENTAX PRECISION CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP

Owner name: PENTAX CORP., TOKIO/TOKYO, JP

8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: PENTAX CORP., TOKIO/TOKYO, JP

8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: HOYA CORP., TOKIO/TOKYO, JP

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20110502