DE10051833A1

DE10051833A1 - Planares Gassensorelement

Info

Publication number: DE10051833A1
Application number: DE2000151833
Authority: DE
Inventors: Roland Stahl; Frank Stanglmeier; Lothar Diehl
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2000-10-19
Filing date: 2000-10-19
Publication date: 2002-05-08
Anticipated expiration: 2020-10-20
Also published as: DE10051833C2

Abstract

Es wird ein planares Gassensorelement zur Bestimmung von Gaskomponenten, insbesondere eine Lambda-Sonde zur Analyse von Verbrennungsabgasen von Verbrennungsmotoren, mit einer elektrochemischen Zelle, insbesondere einer Messzelle oder Konzentrationszelle, einer flächig ausgebildeten Referenzelektrode (14', 14'') und einer flächig ausgebildeten Außenelektrode (10', 10'') vorgeschlagen. Dabei ist die Referenzelektrode (14', 14'') in Form mehrerer, elektrisch leitend miteinander verbundener Teilflächen (23, 24) ausgebildet. Weiter wird ein planares Gassensorelement vorgeschlagen, bei dem mindestens ein Heizelement vorgesehen ist, mit dem ein erster heißer Bereich (20) und ein zweiter heißer Bereich (21) erzeugbar ist, wobei sich die Referenzelektrode (14'') zumindest weitgehend im Bereich des ersten heißen Bereiches (20) und sich die Außenelektrode (10'') zumindest weitgehend im Bereich des zweiten heißen Bereiches (21) befindet. Bevorzugt ist weiter jeweils die Fläche der Außenelektrode (10', 10'') größer als die Fläche der Referenzelektrode (14', 14''). Die Merkmale der verschiedenen vorgeschlagenen Gassensorelemente sind im Übrigen untereinander kombinierbar.

Description

Die Erfindung betrifft ein planares Gassensorelement zur Be stimmung von Gaskomponenten, insbesondere eine Lambda-Sonde zur Analyse von Verbrennungsabgassen von Verbrennungsmoto ren, nach der Gattung der unabhängigen Ansprüche.

Stand der Technik

Ein planares Gassensorelement, wie es beispielsweise als Lambda-Sonde bzw. Nernst-Sensor zur Analyse von Verbren nungsabgassen von Verbrennungsmotoren eingesetzt wird, ist in DE 197 46 516 A1 beschrieben. Dieses Sensorelement weist eine elektrochemische Messzelle mit einer flächig ausgebil deten Referenzelektrode auf, die über einen Referenzgaskanal mit einem Referenzgas, beispielsweise Luft, in Verbindung steht. Weiter ist dort eine flächig ausgebildete Außenelek trode bzw. Messelektrode als Gegenelektrode zu der Referen zelektrode vorgesehen, wobei die Referenzelektrode und die Außenelektrode über einen sauerstoffionenleitenden Festelek trolyten voneinander getrennt sind. Schließlich ist daraus bekannt, die Fläche der Außenelektrode größer als die Fläche der Referenzelektrode zu gestalten.

Eine alternative Ausführungsform eines derartigen planaren Sensorelements ist in DE 199 06 908 A1 beschrieben. Das dort vorgeschlagene Sensorelement weist neben einer Referenzelektrode und einer Messelektrode zusätzlich eine Pumpzelle mit einer Außenelektrode und einer Innenpumpelektrode auf.

Bei beiden vorgenannten planaren Gassensorelementen ist je weils weiter vorgesehen, dass die Elektroden von einem inte grierten Heizelement auf einer möglichst gleichmäßigen Tem peratur gehalten werden.

Nachteilig bei solchen Gassensorelemente ist, dass die auf tretenden Nernstspannungen von der Temperatur des jeweiligen Abgases, der Abgasströmung und der Heizleistung des Heizele mentes abhängig sind. Weiter tritt bei planaren Gassensoren mit einer Pumpzelle gemäß DE 199 06 908 A1 teilweise das Problem unerwünschter Signalverzerrungen durch eine Polari sation der Elektroden der Pumpzelle auf. Diese Signalverzer rungen bzw. unerwünschten Elektrodenpolarisationen sind be sonders bei gealterten Sonden im Bereich der Außenelektrode verstärkt zu beobachten.

Aufgabe der vorliegenden Erfindungen war die Bereitstellung eines planaren Gassensorelementes bei dem die Abhängigkeit der Nernstspannung von der Abgastemperatur, der Abgasströ mung und der Heizleistung des Heizelementes vermindert ist, so dass sich ein gleichmäßigeres Ausgangssignal einstellt. Zudem soll eine unerwünschte Elektrodenpolarisation vermin dert oder unterdrückt werden.

Vorteile der Erfindung

Das erfindungsgemäße planare Gassensorelement hat gegenüber dem Stand der Technik den Vorteil, dass sich die großflächi ge Referenzelektrode durch Aufteilung in mehrere Teilflächen nicht überall gleichmäßig erwärmt, so dass stets heiße und kalte Stellen über der Oberfläche der Referenzelektrode vor liegen, was den Einfluss der Abgastemperatur, der Abgasströmung und der Heizleistung des Heizelementes auf die auftre tende Nernstspannung deutlich reduziert.

Weiterhin ist vorteilhaft, dass eine unerwünschte Elektro denpolarisation durch nunmehr auftretende Ausgleichsströme von Elektronen und Ionen innerhalb bzw. an der Grenzfläche der Elektroden reduziert wird. Derartige Ausgleichsströme stellen sich aufgrund unterschiedlicher Nernstpotentiale an heißen und kalten Stellen der Elektroden ein.

In dem Fall, dass ein Heizelement vorgesehen ist, das einen ersten heißen Bereich und einen zweiten heißen Bereich er zeugt, wobei sich die Referenzelektrode im Bereich des er sten heißen Bereiches und die Außenelektrode im Bereich des zweiten heißen Bereiches befindet, wird weiter vorteilhaft eine Erhöhung des Innenwiderstandes der elektrochemischen Zelle erreicht. Insbesondere ist dabei vorteilhaft, wenn der Weg zwischen Referenzelektrode und Außenelektrode durch den sauerstoffionenleitenden Festelektrolyten möglichst lang und gleichzeitig kalt gestaltet wird. Zudem wird damit vorteil haft erreicht, dass die hinsichtlich einer unerwünschten Elektrodenpolarisation kritischen großflächigen Elektroden weniger polarisationsempfindlich sind.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den in den Unteransprüchen genannten Maßnahmen.

So ist vorteilhaft, wenn sich die Elektrodenflächen von Au ßenelektrode und Referenzelektrode deutlich unterscheiden, wobei bevorzugt die Außenelektrode die größere Elektrode ist, da dort, insbesondere beim Betrieb als Außenpumpelek trode in einer Pumpzelle, eine höhere Elektrodenpolarisation als an der Referenzelektrode zu erwarten ist.

Weiter ist vorteilhaft, wenn die verschiedenen Teilflächen der Referenzelektrode derart angeordnet sind, dass sich min destens eine der Teilflächen im Bereich eines heißen Berei ches eines in einer Umgebung der Referenzelektrode, insbe sondere darunter oder darüber, angeordneten Heizelementes befindet, und dass sich weiter mindestens eine der Teilflä chen zumindest weitgehend außerhalb dieses heißen Bereiches, d. h. in einem kalten Bereich, befindet.

Auf diese Weise wird die Temperaturabhängigkeit der auftre tenden Nernstspannung weiter gesenkt, da in einer solchen großflächigen und gleichzeitig geteilten Referenzelektrode stets kalte und heiße Stellen vorliegen.

Dadurch, dass die Fläche der Referenzelektrode gegenüber der Fläche der Außenelektrode deutlich kleiner ist, wird zudem erreicht, dass die von Außenelektrode, Referenzelektrode und sauerstoffionenleitendem Festelektrolyten gebildete Nernst zelle einen hohen Innenwiderstand aufweist, was eine Tempe raturregelung des planaren Gassensorelementes über den In nenwiderstand erleichtert.

Daneben ist vorteilhaft, wenn die Aufteilung der Referenze lektrode in mehrere, elektrisch leitend miteinander verbun dene Teilflächen derart erfolgt, dass diejenigen Teilflächen der Referenzelektrode, die sich zumindest weitgehend in dem heißen Bereich befinden, einen zumindest näherungsweise gleichen Innenwiderstand aufweisen wie diejenigen Teilflä chen, die sich zumindest weitgehend außerhalb des heißen Be reiches befinden. Zudem ist die Referenzelektrode in ihrer Fläche bevorzugt möglichst klein gehalten, so dass der In nenwiderstand der Nernstzelle insgesamt steigt.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dass die Zuleitung zu der Außenelektrode und/oder die Zuleitung zu der Referenzelektrode gegenüber dem Stand der Technik verbreitert ausgeführt ist, so dass der elektrische Widerstand der Zuleitungen möglichst gering ist.

Im Übrigen sei betont, dass die vorgeschlagene Modifikation der Referenzelektrode, d. h. die Aufteilung in mehrere Teilflächen, sowie die Anordnung der Referenzelektrode in einem ersten heißen Bereich und die Anordnung der Außenelek trode in einem zweiten heißen Bereich sowohl bei einem plan aren Sensorelement gemäß DE 197 46 516 A1 als auch bei einem Sensorelement gemäß DE 199 06 908 A1, d. h. einem Sensorele ment mit Pumpzelle, anwendbar ist.

Der erste heiße Bereich und der zweite heiße Bereich sind zudem bevorzugt benachbart nebeneinander angeordnet, und können sich gegebenenfalls zum Teil auch überlappen.

Schließlich ist es hinsichtlich des Ziels eines möglichst großen Weges zwischen Referenzelektrode und Außenelektrode vorteilhaft, wenn deren Abstand möglichst groß ist, was sich in einfacher Weise durch eine geeignete Anordnung der Elek troden und/oder durch eine Vergrößerung der Dicke des dazwi schen befindlichen sauerstoffionenleitenden Festelektroden realisieren lässt.

Zeichnungen

Die Erfindung wird anhand der Zeichnungen und in der nach folgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt Fig. 1 ein aus der Technik bekanntes planares Gassensorelement in Draufsicht, wobei eine mit der Außenelektrode versehene Schicht und eine mit der Referenzelektrode versehene Schicht des Sensorelements dargestellt ist, Fig. 2 ein erstes Aus führungsbeispiel mit gegenüber Fig. 1 vergrößerter Außene lektrode und in mehrere Teilflächen aufgeteilter Referenzelektrode und Fig. 3 ein zweites Ausführungsbeispiel mit ei ner Referenzelektrode in einem ersten heißen Bereich und ei ner Außenelektrode in einem zweiten heißen Bereich.

Ausführungsbeispiele

Die Erfindung geht zunächst aus von einem planaren Senso relement, wie es aus DE 197 46 516 A1 bekannt ist. Insofern soll auf eine ausführliche Darstellung an sich bekannter Einzelheiten eines derartigen Sensorelementes verzichtet werden. Alternativ kann jedoch ebenso von einem planaren Sensorelement gemäß DE 199 06 908 A1 ausgegangen werden.

Aus DE 197 46 516 A1 ist, wie mit Hilfe der Fig. 1 erläu tert wird, bekannt, eine elektrochemische Zelle als Messzel le zu realisieren, bei der auf einer zweiten Folie 15 eine Referenzelektrode 14 aufgebracht ist, die über eine Referen zelektrodenzuleitung 17 mit einer Anschlusskontaktierung 16 verbunden ist. Weiter ist vorgesehen, dass die Referenzelek trode 14 über einen Referenzgaskanal 18, der beispielsweise als gedruckter poröser Referenzgaskanal ausgeführt ist, mit einem Referenzgas wie Luft in Verbindung steht. Auf der zweiten Folie 15 und der darauf aufgedruckten Referenzelek trode 14 ist weiter dann eine erste Folie 13 aufgedruckt, die im erläuterten Beispiel aus einem sauerstoffionenleiten den Festelektrolyten, insbesondere aus yttriumstabilisiertem Zirkoniumdioxid, besteht. Auf der ersten Folie 13 ist schließlich eine Außenelektrode 10 aufgedruckt, die über ei ne Außenelektrodenzuleitung 11 mit einer Kontaktfläche 12 in Verbindung steht.

Insgesamt wird durch das Stapeln der erläuterten Schichten ein planares Gassensorelement erhalten, wobei sich unterhalb der zweiten Folie 15 weitere, an sich bekannte Schichten be finden, in die auch ein Heizelement zur Beheizung der darüber befindlichen Bereiche bzw. Elektroden integriert ist. Weiter können auch auf der ersten Folie 13 bzw. auf der Au ßenelektrode 10 weitere Schichten, beispielsweise Schutz schichten oder Diffusionsbarrieren, vorgesehen sein.

Das Gassensorelement weist somit im grünen Zustand einen langgestreckten, plättchenförmigen Aufbau auf, der aus meh reren übereinander liegenden Lagen eines Schichtaufbaus be steht. Die Referenzelektrode 14, die Außenelektrode 10, die Elektrodenzuleitungen 11, 17 und die Anschlussflächen 12, 16 sind im Übrigen bevorzugt aus einem Platin-Cermet ausge führt.

Es sei betont, dass der beschriebene Aufbau des planaren Gassensorelementes nicht auf den sogenannten Nernst-Typ ge mäß Fig. 1 beschränkt ist, sondern auch bei einem sogenann ten Breitbandsensor, beispielsweise gemäß DE 199 06 908 A1, zur Verwendung kommt, bei dem als elektrochemische Zelle an stelle einer Messzelle eine Pumpzelle und eine Konzentrati onszelle (Nernstzelle) vorgesehen ist.

Die Fig. 2 erläutert, ausgehend von Fig. 1, die erfin dungsgemäß vorgenommene Modifikation der Außenelektrode bzw. der Referenzelektrode. Dort ist zunächst dargestellt, dass die Außenelektrode in Form einer vergrößerten Außenelektrode 10' mit deutlich vergrößerter Fläche ausgebildet ist. Insbe sondere ist die Fläche der Außenelektrode 10' soweit erhöht, wie dies die Fläche der ersten Folie 13 und eine zusätzlich erforderliche, nicht dargestellte Abdeckung in Form einer auf der ersten Folie 13 und auf der vergrößerten Außenelek trode 10' aufgebrachten Schutzschicht zulässt. Weiter ist vorgesehen, dass die vergrößerte Außenelektrode 10' mit ei ner verbreiterten Außenelektrodenzuleitung 11' mit der Kon taktfläche 12 verbunden ist. Dies führt zu einer Verminde rung des Widerstandes der Außenelektrodenzuleitung.

In Fig. 2 ist weiter dargestellt, dass die Referenzelektro de in Form einer geteilten Referenzelektrode 14' mit mehre ren, elektrisch leitend miteinander verbundenen Teilflächen 23, 24 ausgebildet ist. Dabei befindet sich eine zweite Teilfläche 24 etwa mittig im Bereich des Referenzgaskanals 18, während zwei erste Teilflächen 23 seitlich davon ange bracht sind. Da sich unterhalb der zweiten Folie 15 im Be reich der geteilten Referenzelektrode 14 in an sich bekann ter Weise ein nicht dargestelltes Heizelement zur Beheizung der geteilten Referenzelektrode 14' befindet, das einen so genannten "hot spot" im Bereich der zweiten Teilfläche 24 erzeugt, während sich die beiden ersten Teilflächen 23 etwas außerhalb dieses "hot spots" befinden, sind die Teilflächen 23, 24 der geteilten Referenzelektronen 14' unterschiedli chen Temperaturen ausgesetzt.

Im Übrigen ist vorteilhaft, wenn die Gesamtfläche der ge teilten Referenzelektrode 14', die aus den Teilflächen 23, 24 gebildet ist, gegenüber der Referenzelektrode 14 gemäß Fig. 1 verkleinert ist, so dass der Innenwiderstand der ge teilten Referenzelektrode 14' gegenüber der Referenzelektro de 14 erhöht ist. Weiter ist die Fläche der zweiten Teilflä che 24 und deren Anordnung bevorzugt so gewählt, dass sie einen zumindest näherungsweise gleichen Innenwiderstand auf weist wie die beiden ersten Teilflächen 23 zusammen. Schließlich zeigt Fig. 2, dass die Referenzelektrodenzulei tung gegenüber Fig. 1 zu einer verbreiterten Referenzelek trodenzuleitung 17' verbreitert ist, so dass deren elektri scher Widerstand sinkt.

Die Fig. 3 erläutert ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen planaren Gassensorelementes, das zunächst erneut von Fig. 1 ausgeht. In diesem Ausführungsbeispiel ist vorgesehen, dass das unterhalb der ersten Folie 13 vorgesehene, an sich bekannte Heizelement derart ausgestaltet ist, dass zwei benachbarte nebeneinander liegende heiße Be reiche auftreten, d. h. ein erster heißer Bereich 20 und ein zweiter heißer Bereich 21. Diese beiden heißen Bereiche 20, 21 weisen in Draufsicht im erläuterten Beispiel eine Kreis form oder Ellipsenform auf.

Weiter ist in Fig. 3 dargestellt, dass die Außenelektrode als modifizierte Außenelektrode 10" ausgeführt ist, die im Bereich des zweiten heißen Bereiches 21, d. h. des dort be findlichen zweiten "hot spots" des Heizelementes, angeordnet ist. Entsprechend ist gemäß Fig. 3 auch die Referenzelek trode als modifizierte Referenzelektrode 14" im Bereich des ersten heißen Bereiches 20, d. h. des dort befindlichen er sten "hot spots" des Heizelementes, angeordnet.

Beim Stapeln und nachfolgenden Sintern der einzelnen, mit Elektrodenschichten versehenen Schichten des Gassensorele mentes gemäß Fig. 3 ist schließlich die modifizierte Au ßenelektrode 10" von der modifizierten Referenzelektrode 14" durch die erste Folie 13 getrennt, die erneut als sau erstoffionenleitender Festelektrolyt ausgebildet ist. Auf diese Weise ist einerseits gewährleistet, dass der Abstand der modifizierten Referenzelektrode 14" von der modifizier ten Außenelektrode 10" gegenüber Fig. 1 zunächst deutlich vergrößert und damit möglichst lang ist, und dass anderer seits der Weg von der modifizierten Außenelektrode 10" zu der modifizierten Referenzelektrode 14" gleichzeitig durch einen gegenüber Fig. 1 kälteren Bereich verläuft.

Im Übrigen sei betont, dass das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 ohne weiteres auf ein planares Gassensorelement ge mäß DE 199 06 908 A1 mit einer Konzentrationszelle und einer Pumpzelle übertragen werden kann. Zudem sind die Ausfüh rungsbeispiele gemäß Fig. 2 und Fig. 3 auch kombinierbar.

Claims

1. Planares Gassensorelement zur Bestimmung von Gaskompo nenten, insbesondere Lambda-Sonde zur Analyse von Verbren nungsabgasen von Verbrennungsmotoren, mit einer elektroche mischen Zelle, einer flächig ausgebildeten Referenzelektrode und einer flächig ausgebildeten Außenelektrode, dadurch ge kennzeichnet, dass die Referenzelektrode (14') in Form meh rerer, elektrisch leitend miteinander verbundener Teilflä chen (23, 24) ausgebildet ist.

2. Planares Gassensorelement nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeichnet, dass die Teilflächen (23, 24) derart angeord net sind, dass sich mindestens eine der Teilflächen (24) zu mindest weitgehend im Bereich eines heißen Bereiches eines in einer Umgebung der Referenzelektrode (14'), insbesondere darunter ober darüber, angeordneten Heizelementes befindet, und dass sich weiter mindestens eine der Teilflächen (23) zumindest weitgehend außerhalb dieses heißen Bereiches be findet.

3. Planares Gassensorelement nach Anspruch 1 oder 2, da durch gekennzeichnet, dass die Größe der Fläche der Außene lektrode (10') verschieden von der Größe der Fläche der Re ferenzelektrode (14'), insbesondere deutlich größer, ist.

4. Planares Gassensorelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilflächen (23, 24) derart dimensioniert und/oder angeordnet sind, dass die jenigen Teilflächen (24) der Referenzelektrode (14'), die sich zumindest weitgehend in dem heißen Bereich befinden, einen zumindest näherungsweise gleichen Innenwiderstand auf weisen wie diejenigen Teilflächen (23), die sich zumindest weitgehend außerhalb des heißen Bereiches befinden.

5. Planares Gassensorelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Außenelektrode (10') und die Referenzelektrode (14') jeweils elektrisch leitend über eine zugeordnete Elektrodenzuleitung (11', 17') mit einer Anschlußkontaktierung (12, 16) verbunden sind, wo bei die Außenelektrodenzuleitung (11') und/oder die Referen zelektrodenzuleitung (17') einen möglichst geringen elektri schen Widerstand aufweist.

6. Planares Gassensorelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine elektrochemi sche Pumpzelle vorgesehen ist, wobei die Außenelektrode (10') eine Elektrode dieser Pumpzelle ist.

7. Planares Gassensorelement zur Bestimmung von Gaskompo nenten, insbesondere Lambda-Sonde zur Analyse von Verbren nungsabgasen von Verbrennungsmotoren, mit einer elektroche mischen Zelle, einer flächig ausgebildeten Referenzelektrode und einer flächig ausgebildeten Außenelektrode, wobei die Referenzelektrode und die Außenelektrode durch mindestens einen flächig ausgebildeten, sauerstoffionenleitenden Feste lektrolyten voneinander getrennt sind, dadurch gekennzeich net, dass mindestens ein Heizelement vorgesehen ist, mit dem ein erster heißer Bereich (20) und ein zweiter heißer Be reich (21) erzeugbar ist, wobei sich die Referenzelektrode (14") zumindest weitgehend im Bereich des ersten heißen Be reiches (20) befindet, und wobei sich die Außenelektrode (10") zumindest weitgehend im Bereich des zweiten heißen Bereiches (21) befindet.

8. Planares Gassensorelement nach Anspruch 7, dadurch ge kennzeichnet, dass der erste heiße Bereich (20) und der zweite heiße Bereich (21) benachbart nebeneinander liegen.

9. Planares Gassensorelement nach Anspruch 7 oder 8, da durch gekennzeichnet, dass die Referenzelektrode (14") und die Außenelektrode (10") derart angeordnet sind, dass deren Abstand voneinander möglichst groß ist.

10. Planares Gassensorelement nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine elektrochemische Pumpzelle vorgesehen ist, wobei die Außenelektrode (10') ei ne Elektrode dieser Pumpzelle ist.

11. Planares Gassensorelement nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Größe der Fläche der Außenelektrode (10') verschieden von der Größe der Flä che der Referenzelektrode (14'), insbesondere deutlich grö ßer, ist.

12. Planares Gassensorelement nach einem der Ansprüche 7 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzelektrode (14') in Form mehrerer, elektrisch leitend miteinander ver bundener Teilflächen (23, 24) ausgebildet ist.

13. Planares Gassensorelement nach einem der Ansprüche 7 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilflächen (23, 24) derart angeordnet sind, dass sich mindestens eine der Teilflächen (24) zumindest weitgehend im Bereich des ersten heißen Bereiches (20) befindet, und dass sich weiter mindestens eine der Teilflächen (23) zumindest weitgehend außer halb dieses ersten heißen Bereiches (20) befindet.

14. Planares Gassensorelement nach einem der Ansprüche 7 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilflächen (23, 24) derart dimensioniert und/oder angeordnet sind, dass die jenigen Teilflächen (24) der Referenzelektrode (14'), die sich zumindest weitgehend in dem heißen Bereich befinden, einen zumindest näherungsweise gleichen Innenwiderstand auf weisen wie diejenigen Teilflächen (23), die sich zumindest weitgehend außerhalb des heißen Bereiches befinden.

15. Planares Gassensorelement nach einem der Ansprüche 7 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Außenelektrode (10') und die Referenzelektrode (14') jeweils elektrisch leitend über eine zugeordnete Elektrodenzuleitung (11', 17') mit einer Anschlußkontaktierung (12, 16) verbunden sind, wo bei die Außenelektrodenzuleitung (11') und/oder die Referen zelektrodenzuleitung (17') einen möglichst geringen elektri schen Widerstand aufweist.