DE10049951A1 - Faseroptischer Sensor zur Bestimmung eines Analyten mit hoch doppelbrechendem Lichtwellenleiter sowie Verwendung des faseroptischen Sensors - Google Patents
Faseroptischer Sensor zur Bestimmung eines Analyten mit hoch doppelbrechendem Lichtwellenleiter sowie Verwendung des faseroptischen SensorsInfo
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Abstract
Der faseroptische Sensor zur Bestimmung eines Analyten (50) enthält einen ummantelten Lichtwellenleiter (10) mit einem Interaktionsbereich (13), in dem der Lichtwellenleiter (10) mit einem Faser-Bragg-Gitter (20) versehen, der Mantel (12) des Lichtwellenleiters (10) zumindest teilweise entfernt und eine Metallschicht (30) auf dem Lichtwellenleiter (10) angeordnet ist. Der Lichtwellenleiter (10) weist im Interaktionsbereich (13) eine hohe Doppelbrechung mit einer Beat-Länge von höchstens 4 mm auf, so dass zwei orthogonale Ausbreitungsmoden (81, 82) nach Reflexion am Faser-Bragg-Gitter (20) spektral voneinander selektierbar sind.
Description
Die Erfindung betrifft einen faseroptischen Sensor zur Be
stimmung eines Analyten mit mindestens einem ummantelten
Lichtwellenleiter, der einen Interaktionsbereich zur Wechsel
wirkung mit dem Analyten aufweist, in welchem Interaktionsbe
reich der Lichtwellenleiter mit einem Faser-Bragg-Gitter ver
sehen ist, der Mantel des Lichtwellenleiters zumindest teil
weise entfernt ist, und eine Metallschicht im Bereich mit zu
mindest teilweise entferntem Mantel auf dem Lichtwellenleiter
angeordnet ist. Ein solcher faseroptischer Sensor ist bekannt
aus der DE 196 30 181 A1. Weiterhin betrifft die Erfindung
die Verwendung des faseroptischen Sensors in optischen Mess
einrichtungen zur Bestimmung eines Analyten.
In der Messtechnik wird derzeit gerade dann, wenn eine physi
kalische oder chemische Größe in einem rauen Umfeld bei
spielsweise in einer korrosiven Atmosphäre oder bei einer ho
hen Temperatur erfasst werden soll, zunehmend der Einsatz ei
ner optischen Erfassung erwogen. Ein optischer Sensor ist
nämlich unempfindlicher gegenüber den beschriebenen rauen Um
gebungsbedingungen als ein konventioneller Sensor, beispiels
weise ein elektrischer Sensor.
In der DE 196 30 181 A1 wird ein faseroptischer Sensor be
schrieben, der den optischen Brechungsindex einer chemischen
oder biochemischen Substanz (= Analyt) unter Verwendung eines
in einen Lichtwellenleiter eingebrachten Faser-Bragg-Gitters
(FBG) erfasst. Es wird ein Lichtsignal mit einer von der zu
erfassenden Substanz (= Analyt) abhängigen spektral codierten
Information gewonnen. In einem Interaktionsbereich, in dem
der Analyt mit dem Lichtwellenleiter in Wechselwirkung tritt,
ist der Lichtwellenleiter seitlich, bis nahe an den lichtfüh
renden Kern anpoliert. In diesem Interaktionsbereich ist auch
das Faser-Bragg-Gitter in den Lichtwellenleiter eingeschrie
ben. Die spektrale Beeinflussung eines in das Faser-Bragg-
Gitter eingespeisten Lichtsignals hängt außer von den Geomet
rieparametern des Faser-Bragg-Gitters auch von den optisch
relevanten Parametern im evaneszenten Feld des Lichtwellen
leiters ab. Das evaneszente Feld wird durch die zumindest
teilweise Abtragung des Mantels in verstärktem Maß einer äu
ßeren Beeinflussung zugänglich. Maßgeblich für diese Beein
flussung ist der optische Brechungsindex, der sich in dem In
teraktionsbereich bei Anwesenheit des Analyten einstellt. Bei
dem in der DE 196 30 181 A1 beschriebenen faseroptischen Sen
sor ist optional zur Erhöhung der Polarisationsabhängigkeit
eine dünne, optisch teildurchlässige Metallbeschichtung vor
gesehen.
In dem Fachaufsatz von B. Chadwick et al. in "Sensors and Ac
tuators B", Vol. 17, 1994, Seiten 215 bis 220, wird ein opti
scher Freistrahl-Sensor beschrieben, bei dem ebenfalls eine
Metallbeschichtung zur Detektion einer chemischen Substanz
verwendet wird. Im Gegensatz zu dem vorstehend beschriebenen
faseroptischen Sensor dient die Metallbeschichtung hier je
doch nicht einer Verstärkung der Polarisationsabhängigkeit,
sondern als Ausbreitungsmedium für eine sogenannte Oberflä
chen-Plasmonen-Welle (Surface Plasmon Wave). Die Oberflächen-
Plasmonen-Welle wird durch ein an der Metallbeschichtung re
flektiertes Lichtsignal erzeugt. Die Resonanzbedingung für
die Ausbildung einer Oberflächen-Plasmonen-Welle ist sehr
empfindlich gegenüber kleinsten Änderungen der (optischen)
Umgebungsparameter. Daher lässt sich dieser Effekt grundsätz
lich sehr gut für einen Sensoraufbau nutzen. Die Ausbildung
der Oberflächen-Plasmonen-Welle hängt also wiederum insbeson
dere vom Brechungsindex im evaneszenten Feld der Welle ab. Zu
einer Wasserstoffdetektion kommt als Metall Palladium oder
eine Palladium-Nickel-Legierung zum Einsatz. Ausgewertet wird
die je nach Anregung der Oberflächen-Plasmonen-Welle variie
rende Intensität des reflektierten Lichtsignals. Bei einer
optischen Freistrahl-Messeinrichtung ist eine Intensitätsaus
wertung aber anfällig für Messwertverfälschungen aufgrund von
Verschmutzung des Strahlengangs.
Dieser Störeffekt wird bei dem von J. Homola und R. Slavik in
"Electronics Letters", 29th February 1996, Vol. 32, No. 5,
Seiten 480 bis 482, beschriebenen Sensor durch Verwendung ei
nes faseroptischen Aufbaus vermieden. Bei diesem Sensor ist
eine Metallbeschichtung im Bereich eines seitlich abpolierten
Lichtwellenleiters vorgesehen. An der Grenzfläche zwischen
der Metallschicht und dem Analyten bildet sich eine Oberflä
chen-Plasmonen-Welle aus, die in Abhängigkeit vom Brechungs
index des Analyten durch das in der Lichtfaser geführte
Lichtsignal angeregt wird. Die Energieeinkopplung in die
Oberflächen-Plasmonen-Welle führt bei dem Lichtsignal im
Lichtwellenleiter zu einer auswertbaren Intensitätsänderung.
Auch bei einem faseroptischen Sensor kann eine Intensitäts
auswertung durch anderweitige Beeinflussung der optischen
Verluste auf der Übertragungsstrecke fehlerbehaftet sein.
Außerdem kann längs eines Lichtwellenleiters nur ein einziger
faseroptischer Sensor nach dem offenbarten Prinzip betrieben
werden. Der faseroptische Sensor ist nicht multiplexfähig,
d. h. nicht zum Aufbau eines Sensor-Netzwerks geeignet.
Der von R.C. Jorgenson und S.S.Yee in "Sensors and Actuators
B", Vol. 12, 1993, Seiten 213 bis 220, offenbarte faseropti
sche Sensor basiert ebenfalls auf der Wechselwirkung zwischen
dem Analyten und einer optisch angeregten Oberflächen-
Plasmonen-Welle. Bei diesem Sensorkonzept wird die Wellenlän
genverschiebung der Energieabsorption durch die Anregung der
Oberflächen-Plasmonen-Resonanz bei Anwesenheit des Analyten
detektiert. Da diese Absorption aber sehr breitbandig er
folgt, ist auch dieser offenbarte faseroptische Sensor nicht
multiplexfähig.
Dagegen weist der in dem Aufsatz von Y.T. Peng et al. in Pro
ceedings zur "OFS 13-13th International Conference on Opti
cal Fiber Sensors", 12.-16.04.1999, Seiten 171 bis 174, be
schriebene faseroptische Sensor die Eignung zum Aufbau eines
Sensornetzwerks auf. Bei diesem zur Wasserstoffdetektion be
stimmten faseroptischen Sensor ist ein galvanisch mit Palla
dium beschichtetes Faser-Bragg-Gitter vorgesehen. Da die de
tektierte Bragg-Wellenlänge außer vom Brechungsindex des Ana
lyten auch von anderen Bedingungen wie der Temperatur und dem
Dehnungszustand des Faser-Bragg-Gitters abhängt, ist eine ge
sonderte Kompensation erforderlich. Gemäß der
DE 196 30 181 A1 ist für eine solche Kompensation entweder ein
zusätzliches Referenz-Faser-Bragg-Gitter, das ausschließlich
zur Detektion der Umgebungseinflüsse dient, oder eine aufwen
dige Polarisationseinstellung des eingestrahlten Lichtsignals
notwendig. Jedes Referenz-Faser-Bragg-Gitter reduziert dann
jedoch die Anzahl möglicher Messstellen in dem Sensornetz
werk.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht deshalb darin,
einen faseroptischen Sensor der eingangs bezeichneten Art an
zugeben, der multiplexfähig ist und eine einfache Möglichkeit
zur Referenzbildung vorsieht.
Zur Lösung der Aufgabe wird ein faseroptischer Sensor ent
sprechend den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs 1
angegeben.
Der erfindungsgemäße faseroptische Sensor zur Bestimmung ei
nes Analyten umfasst mindestens einen ummantelten Lichtwel
lenleiter, der einen Interaktionsbereich zur Wechselwirkung
mit dem Analyten aufweist, in welchem Interaktionsbereich
- a) der Lichtwellenleiter mit einem Faser-Bragg-Gitter ver sehen ist,
- b) der Mantel des Lichtwellenleiters zumindest teilweise entfernt ist,
- c) eine Metallschicht im Bereich mit zumindest teilweise entferntem Mantel auf dem Lichtwellenleiter angeordnet ist, wobei
- d) der Lichtwellenleiter zumindest in dem Interaktionsbe reich eine hohe Doppelbrechung mit einer Beat-Länge von höchstens 4 mm aufweist.
Die Erfindung beruht dabei auf der Erkenntnis, dass bei Ver
wendung eines hoch doppelbrechenden Lichtwellenleiters mit
einer Beat-Länge (= Schwebungswellenlänge) von höchstens 4 mm
eine einfache spektrale Trennung von zwei zueinander orthogo
nalen Ausbreitungsmoden, die in das Faser-Bragg-Gitter einge
speist werden, möglich ist. Das Faser-Bragg-Gitter weist dann
nämlich für den sogenannten TM-Mode (transversales magneti
sches Feld) und für den sogenannten TE-Mode (transversales
elektrisches Feld) unterschiedliche Bragg-Wellenlängen auf,
deren mittlerer Abstand so groß ist, dass beide Bragg-
Wellenlängen problemlos in einer Sende-/Empfangseinheit von
einander getrennt werden können. Dies geschieht beispielswei
se spektrometrisch, insbesondere mit Hilfe eines Polychroma
tors. Bei einer verwendeten Beat-Länge von etwa 4 mm sind die
Bragg-Wellenlängen für den TM- und den TE-Mode typischerweise
um etwa 0,25 nm voneinander beabstandet.
Insbesondere vorteilhaft ist dabei, dass nur einer der beiden
Ausbreitungsmoden, nämlich der sogenannte TM-Mode eine Anre
gung einer Oberflächen-Plasmonen-Welle bewirkt. Folglich wird
auch nur der TM-Mode durch die Wechselwirkung zwischen dem zu
detektierenden Analyten und der Oberflächen-Plasmonen-Welle
beeinflusst. Der zweite Ausbreitungsmode, der sogenannte TE-
Mode wird dagegen durch die Metallschicht vom Analyten abge
schirmt. Der Reflexionsgrad des TE-Modes am Faser-Bragg-
Gitter wird damit ausschließlich durch die Umgebungsbedingun
gen bestimmt. Die spektrale Beeinflussung des TE-Modes kann
damit als Referenz bei der Auswertung des TM-Modes, der so
wohl durch die Umgebungsbedingungen als auch durch den zu de
tektierenden Analyten beeinflusst wird, herangezogen werden.
Die Differenz zwischen den Bragg-Wellenlängen beider Polari
sationsmoden ist ein von äußeren Störeinflüssen weitgehend
unabhängiges Maß für den Brechungsindex des Analyten.
Dem so ermittelten Brechungsindex kann über eine vorab ermit
telte Look-up-Tabelle, die in der Sende-/Empfangseinheit hin
terlegt ist, der zugehörige Analyt zugewiesen werden. Der
Analyt kann dabei als chemische oder biochemische Substanz
jeweils in flüssigem oder auch in gasförmigem Zustand vorlie
gen. Beispiele für einen detektierbaren Analyt sind eine
wässrige Lösung, Leicht- oder Schweröl, ein Kohlenwasserstoff
oder auch nur Wasserstoff.
Für die Kompensationsmethode ist kein zusätzliches Faser-
Bragg-Gitter erforderlich. Da die Erfassung des Messwerts und
des Referenzwerts am gleichen Ort erfolgt, wird ein genauerer
Messwert für den Brechungsindex ermittelt als bei Verwendung
eines Referenz-Faser-Bragg-Gitters. Dieses befindet sich näm
lich immer an einer vom für die Messwertermittlung eingesetz
ten Faser-Bragg-Gitter verschiedenen Stelle im Lichtwellen
leiter. Damit unterliegt es jedoch gegebenenfalls anderen Um
gebungseinflüssen als das für die Messwertermittlung einge
setzte Faser-Bragg-Gitter. Dies kann zu Messfehlern führen.
Weiterhin ist für den Betrieb des faseroptischen Sensors kei
ne aufwendige, gegebenenfalls sogar zeitlich variable Polari
sationseinstellung erforderlich. Die Einspeisung beider or
thogonaler Polarisationsmoden in den Lichtwellenleiter ist
mit vergleichsweise einfachen Mitteln möglich, beispielsweise
mit einem sogenannten 45°-Splice, bei dem ein polarisiertes
Licht führender Eingangs-Lichtwellenleiter unter einem Winkel
45° zu den beiden Hauptachsen des hoch doppelbrechenden
Lichtwellenleiters angeschlossen wird.
Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen faseropti
schen Sensors ergeben sich aus den vom Anspruch 1 abhängigen
Ansprüchen.
Vorteilhaft ist eine Ausführungsform, bei der der verwendete
Lichtwellenleiter zumindest im Interaktionsbereich eine Beat-
Länge von höchstens 2 mm hat. Die spektrale Trennung des am
Faser-Bragg-Gitter reflektierten TM- und TE-Modes ist dann
besonders einfach möglich. Bei einer Beat-Länge von etwa 2 mm
liegt ein typischer Abstand der Bragg-Wellenlängen für den
TM- und den TE-Mode in der Größenordnung von etwa 0,5 nm.
Dieser Abstand lässt sich sehr gut auflösen, da die Halb
wertsbreiten der Signale, die sich durch Reflexion der beiden
Moden am Faser-Bragg-Gitter ergeben, üblicherweise jeweils
zwischen 0,1 nm und 0,15 nm liegen.
Bei einer günstigen Variante ergibt sich die zumindest in dem
Interaktionsbereich vorliegende hohe Doppelbrechung des
Lichtwellenleiters durch eine Formanisotropie. Dazu hat der
Kern des Lichtwellenleiters beispielsweise einen asymmetri
schen, insbesondere elliptischen Querschnitt. Diese Variante
zeichnet sich dadurch aus, dass das teilweise Entfernen des
Mantelmaterials im Interaktionsbereich praktisch keinen nega
tiven Einfluss auf die hohe Doppelbrechung des Lichtwellen
leiters hat.
Bevorzugt ist eine Ausführungsform, bei der die Metallschicht
höchstens 1 im dick ist. Bis zu dieser Dicke kann eine Ober
flächen-Plasmonen-Welle gut angeregt und über ihre Wechsel
wirkung mit der Umgebung ein Analyt detektiert werden. Insbe
sondere für die Anregung einer Oberflächen-Plasmonen-
Resonanz, mittels der sich auch noch kleinste Veränderungen
im Brechungsindex des zu detektierenden Analyten erfassen
lassen, ist es günstig, wenn die Metallschicht höchstens
50 nm dick ist. Typischerweise wird dann eine Metallschicht
dicke in der Größenordnung zwischen 10 und 50 nm verwendet.
Die Güte der Oberflächen-Plasmonen-Resonanz und damit die
Sensorempfindlichkeit lassen sich durch eine Reduzierung der
Metallschichtdicke erhöhen. Insbesondere ist die Metall
schichtdicke dabei auch auf die Bragg-Wellenlänge des zugehö
rigen Faser-Bragg-Gitters abgestimmt.
Grundsätzlich eignet sich jedes Metall als material für die
Metallschicht. Entscheidend für die Ausbildung der Oberflä
chen-Plasmonen-Welle ist dabei die durch das freie Elektro
nengas bestimmte hohe elektrische Leitfähigkeit. Vorzugsweise
besteht die Metallschicht aus einem Material einer ersten Ma
terialgruppe, die Gold, Silber, Aluminium und Palladium um
fasst. Alternativ kann die Metallschicht auch nur ein Materi
al dieser ersten Materialgruppe enthalten, beispielsweise in
Form einer Legierung oder Verbindung mit mindestens einem
weiteren Metall. Insbesondere mit einer bis zu 50 nm dicken
Metallschicht aus Gold, Silber oder Aluminium lässt sich ein
hochempfindlicher Sensor auf Basis einer Oberflächen-
Plasmonen-Resonanz realisieren. Mit einer derartigen dünnen
Metallschicht kann beispielsweise eine Änderung im Brechungs
index einer wässrigen Lösung detektiert werden. Insbesondere
lässt sich eine konzentrationsabhängige Brechungsindexände
rung in einer Salzlösung ermitteln.
Dagegen erhält man einen auf Wasserstoff empfindlichen Sen
sor, wenn die Metallschicht insbesondere aus Palladium oder
einer Palladium-Legierung, vorzugsweise einer Palladium-
Nickel-Legierung, jeweils mit einer Dicke zwischen 100 nm und
300 nm besteht. Angeregt wird bei dieser Variante mit dicker
Metallschicht eine Oberflächen-Plasmonen-Welle, deren Schwer
punkt sich an der Grenzfläche zwischen Lichtwellenleiter und
Metallschicht ausbildet. Der Wasserstoff dringt in die palla
diumhaltige Metallschicht ein. Die in der Metallschicht auf
tretende Wasserstoff-Konzentration führt schließlich zu einer
detektierbaren Beeinflussung des Brechungsindex im evaneszen
ten Feld der Oberflächen-Plasmonen-Welle. Die relativ dicke
palladiumhaltige Metallschicht weist eine gute mechanische
Stabilität auf, die sich insbesondere bei einem hohen Wasser
stoffgehalt durch den Einsatz einer Palladium-Nickel-
Legierung weiter steigern lässt. Die palladiumhaltige Metall
schicht erfüllt bei dieser Variante eine doppelte Funktion.
Einerseits ermöglicht sie aufgrund ihrer metallischen Leitfä
higkeit die Ausbildung der Oberflächen-Plasmonen-Welle und
andererseits absorbiert sie den zu detektierenden Wasser
stoff. Eine weitere Variante zur Detektion einer sauerstoff
haltigen oder korrosiven Substanz (= Analyt) funktioniert nach
dem gleichen Prinzip. Die aus einem geeigneten Metall beste
hende und für die Ausbildung der Oberflächen-Plasmonen-Welle
erforderliche Metallschicht reagiert mit der zu detektieren
den Substanz, wodurch sich wiederum die Umgebungsbedingungen
der Oberflächen-Plasmonen-Welle verändern.
Günstig ist eine weitere Ausgestaltung, bei der auf der Me
tallschicht eine Hilfsschicht angeordnet ist. Bei dieser Aus
gestaltung reagiert nicht die Metallschicht mit dem Analyten,
sondern die speziell auf den zu detektierenden Analyten abge
stimmte Hilfsschicht. Das evaneszente Feld der Oberflächen-
Plasmonen-Welle hat nur eine sehr geringe Reichweite. Typi
scherweise liegt die Eindringtiefe in dem Analyt oder in der
Hilfsschicht zwischen etwa 1 µm und 2 µm. Damit lässt sich
mit hoher Empfindlichkeit eine Brechzahländerung in einer
dünnen Hilfsschicht erfassen. Bei einer Bragg-Wellenlänge von
800 nm kann die Hilfsschicht bis zu 5 µm dick sein. Die
Brechzahländerung erfolgt beispielsweise durch Absorption ei
nes gasförmigen oder flüssigen Analyten in Poren der Hilfs
schicht oder durch Adsorption infolge chemischer oder auch
biochemischer Reaktionen an der Oberfläche der Hilfsschicht.
Die spezifischen Reaktionen mit der nachzuweisenden Substanz
(Absorption in Poren, Adsorption durch chemische Oberflächen
reaktion, . . .) führen zu einer insbesondere konzentrationsab
hängigen Änderung des Brechungsindex im Bereich des evanes
zenten Felds der Oberflächen-Plasmonen-Welle. Bei der Hilfs
schicht kann es sich beispielsweise um eine biologisch aktive
Schicht zum Eiweißnachweis oder um eine Schicht aus porösem
Siliciumoxid zur Detektion von Luftfeuchtigkeit handeln.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung ist auf der Me
tallschicht eine erste Anpassschicht angeordnet. Diese erste
Anpassschicht befindet sich entweder zwischen der Metall
schicht und der Hilfsschicht oder grenzt unmittelbar, d. h.
ohne Hilfsschicht, an die zu detektierende Substanz an. Mit
tels dieser ersten Anpassschicht lässt sich der sensitive Be
reich für den Brechungsindex einstellen.
Insbesondere besteht diese erste Anpassschicht aus einem Ma
terial, dessen Brechungsindex größer ist als der Brechungsin
dex im Kern des verwendeten Lichtwellenleiters. Dadurch er
gibt sich ein Einfluss auf die Oberflächen-Plasmonen-
Resonanz, der den empfindlichen Messbereich für den Bre
chungsindex des zu detektierenden Analyten verschiebt.
Ein solches für die erste Anpassschicht besonders gut geeig
netes Material mit entsprechend hohem Brechungsindex gehört
insbesondere zu einer zweiten Materialgruppe, die Tantalpen
toxid, Siliciumtitanoxid, Siliciumoxynitrid und Polyvinylide
ne umfasst. Alternativ kann die erste Anpassschicht auch nur
ein Material dieser zweiten Materialgruppe enthalten. Während
ein erste Anpassschicht aus Tantalpentoxid, Siliciumtitanoxid
oder Siliciumoxynitrid durch Sputtern erzeugt wird, lässt
sich ein Polyvinyliden als organische Substanz besonders ein
fach aus einer Lösung abscheiden. Beispielsweise lässt sich
mittels einer etwa 100 nm dicken ersten Anpassschicht aus Si
liciumtitanoxid der durch die Oberflächen-Plasmonen-Resonanz
bestimmte Empfindlichkeitsbereich für den Brechungsindex um
etwa 0,1 verschieben.
Günstig ist eine andere Variante, bei der zwischen dem Licht
wellenleiter und der Metallschicht eine zweite Anpassschicht
vorgesehen ist. Eine solche zweite Anpassschicht dient ähn
lich wie die Reduzierung der Metallschichtdicke einer Verbes
serung der Güte der Oberflächen-Plasmonen-Resonanz und damit
auch einer Verbesserung der Sensorempfindlichkeit. Eine drit
te Möglichkeit zur Verbesserung der Güte besteht darin, im
Bereich der Entmantelung eine möglichst große Restschicht
dicke des Mantels vorzusehen.
Die zweite Anpassschicht besteht insbesondere aus einem Mate
rial, dessen Brechungsindex kleiner ist als der Brechungsin
dex im Kern des verwendeten Lichtwellenleiters. Dadurch wird
der effektiv für die Lichtausbreitung im Lichtwellenleiter
wirksame Brechungsindex reduziert und es stellt sich eine
vorteilhafte Erhöhung der Sensorempfindlichkeit ein.
Vorzugsweise ist die zweite Anpassschicht aus einem ver
gleichsweise niedrig doppelbrechenden Material einer dritten
Materialgruppe, die Magnesiumfluorid, Calciumfluorid, Li
thiumfluorid oder Kryolith umfasst, ausgebildet. Alternativ
kann die zweite Anpassschicht auch nur ein Material der drit
ten Materialgruppe enthalten. Ein Beispiel für eine günstige
zweite Anpassschicht ist eine typischerweise zwischen 100 nm
und 200 nm dicke Schicht aus Lithiumfluorid.
Sowohl die erste als auch die zweite Anpassschicht kommen mit
besonderem Vorteil zum Einsatz, wenn eine Oberflächen-
Plasmonen-Resonanz angeregt wird, d. h. die Metallschicht eine
Dicke von höchstens 50 nm aufweist.
Weiterhin ist es möglich, dass zwischen dem Lichtwellenleiter
und der Metallschicht eine Kontaktvermittlungsschicht ange
ordnet ist. Die Kontaktvermittlungsschicht unterscheidet sich
insofern von der zweiten Anpassschicht, als sie vorzugsweise
keine optisch relevanten Eigenschaften aufweist, also insbe
sondere keinen Einfluss auf die Lichtausbreitung im Lichtwel
lenleiter ausübt. Sie dient vielmehr einer Verbesserung der
Metallschichthaftung auf dem Lichtwellenleiter. Als Material
für diese Kontaktvermittlungsschicht kommt beispielsweise
Chrom in Betracht. Eine typische Dicke liegt bei etwa 2 nm.
Der faseroptische Sensor kann mit besonderem Vorteil in einer
optischen Messeinrichtung zur Bestimmung eines Analyten ein
gesetzt werden. Bei dieser optischen Messeinrichtung sind
Mittel zur Einspeisung zweier zueinander orthogonaler Aus
breitungsmoden in den Lichtwellenleiter vorgesehen. Bei Ver
wendung des hoch doppelbrechenden Lichtwellenleiters weisen
die für die beiden Moden an dem Faser-Bragg-Gitter jeweils
reflektierten Signale einen mittleren spektralen Abstand auf,
der größer ist als ihre jeweilige Halbwertsbreite. Dadurch
lassen sich die Signale beider Ausbreitungsmoden in einer
Sende-/Empfangseinheit problemlos voneinander selektieren. Da
nur die spektrale Beeinflussung des ersten Ausbreitungsmodes
von dem Analyten abhängt, kann die spektrale Beeinflussung
des zweiten Ausbreitungsmodes als Referenz zur Kompensation
von Umgebungseinflüssen verwendet werden. Dadurch erreicht
man eine Erhöhung der Messgenauigkeit.
Aufgrund ihrer spektralen Selektierbarkeit können die beiden
Ausbreitungsmoden bei einer günstigen Variante der optischen
Messeinrichtung insbesondere gleichzeitig eingespeist werden.
Die optische Messeinrichtung kann ein Sensornetzwerk mit meh
reren faseroptischen Sensoren, die jeweils einen Interakti
onsbereich zur Wechselwirkung mit einem Analyten aufweisen,
umfassen. Dabei können die verschiedenen faseroptischen Sen
soren auch zur Detektion von verschiedenen Analyten ausgelegt
sein. Durch die gleichzeitige Ermittlung eines Mess- und Re
ferenzwerts mittels der beiden Ausbreitungsmoden kann die op
tische Messeinrichtung für eine besonders hohe Anzahl einzel
ner faseroptischer Sensoren ausgelegt sein.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele werden nunmehr an Hand der
Zeichnung näher erläutert. Zur Verdeutlichung ist die Zeich
nung nicht maßstäblich ausgeführt, und gewisse Merkmale sind
schematisiert dargestellt. Im Einzelnen zeigen:
Fig. 1, 3 bis 5 Ausführungsformen eines faseroptischen
Sensors mit einem Faser-Bragg-Gitter in
einem anpolierten hoch doppelbrechenden
Lichtwellenleiter und mit einer Metallbe
schichtung,
Fig. 2 einen hoch doppelbrechenden Lichtwellen
leiter im Querschnitt sowie
Fig. 6 eine optische Messeinrichtung mit mehre
ren faseroptischen Sensoren gemäß den
Fig. 1, 3 bis 5.
Einander entsprechende Teile sind in den Fig. 1 bis 6 mit
denselben Bezugszeichen versehen.
In Fig. 1 ist ein faseroptischer Sensor 101 zur Erfassung
eines Analyten 50 dargestellt. Der faseroptische Sensor 101
umfasst einen Lichtwellenleiter 10 mit einem Kern 11 und ei
nem Mantel 12. Die Wechselwirkung mit dem Analyten 50 findet
in einem Interaktionsbereich 13 statt, in dem der Lichtwel
lenleiter 10 teilweise entmantelt ist.
Der Mantel 12 ist durch seitliches Abpolieren teilweise ent
fernt worden. Dazu ist der Lichtwellenleiter 10 in eine ge
krümmte Nut eines Quarzblocks 15 eingelegt und gemeinsam mit
diesem dem Poliervorgang unterzogen worden. Durch die Vorgabe
des Krümmungsradius kann die Ausdehnung der Entmantelung und
damit auch die des Interaktionsbereichs 13 festgelegt werden.
Der Mantel 12 wird auf diese Weise bis auf eine verbleibende
Restschichtdicke 14 abgetragen.
Im Beispiel von Fig. 1 wird als Lichtwellenleiter 10 eine
Faser aus Quarzglas mit einem Kerndurchmesser von 5 µm und
einer Manteldicke von 60 µm verwendet. Der für den Lichtwel
lenleiter 10 verwendete Krümmungsradius von 2 m führt nach
Abschluss des Poliervorgangs zu einem freigelegten Interakti
onsbereich 13 mit einer Länge von etwa 2 mm. Die Restschicht
dicke 14 beträgt etwa 0,2 µm.
Der Lichtwellenleiter 10 ist im Bereich der Entmantelung mit
einer Metallschicht 30 bedeckt. Sie besteht aus Gold und hat
eine Dicke von etwa 30 nm.
Weiterhin ist in den Lichtwellenleiter 10 im Interaktionsbe
reich 13 ein Faser-Bragg-Gitter 20 mit einer nominellen
Bragg-Wellenlänge λ von 830 nm eingeschrieben. Das Faser-
Bragg-Gitter 20 erstreckt sich im Beispiel von Fig. 1 über
den gesamten Interaktionsbereich 13. Obwohl das Faser-Bragg-
Gitter 20 grundsätzlich auch kürzer sein kann, ist die Aus
führungsform von Fig. 1 besonders günstig, da der gesamte
verfügbare Interaktionsbereich 13 zur Wechselwirkung mit dem
Analyten 50 beiträgt.
Ein in den Interaktionsbereich 13 eingespeistes breitbandiges
Eingangslichtsignal 60 wird an dem Faser-Bragg-Gitter 20 im
Bereich der Bragg-Wellenlänge λ reflektiert. Der reflektierte
Anteil läuft als Ausgangslichtsignal 80 zurück zu einer in
Fig. 1 nicht dargestellten Sende/Empfangseinheit, in der die
Auswertung vorgenommen wird. Alternativ könnte auch das durch
das Faser-Bragg-Gitter 20 transmittierte Lichtsignal, das
dann in seinem Intensitätsspektrum im Bereich der Bragg-
Wellenlänge λ eine Bandlücke aufweist, ausgewertet werden.
Das Eingangslichtsignal 60 umfasst zwei zueinander orthogona
le Ausbreitungsmoden 61 und 62. Der erste Ausbreitungsmode 61
wird wegen seines transversalen magnetischen Felds auch mit
TM-Mode, der zweite Ausbreitungsmode 62 wegen seines trans
versalen elektrischen Felds mit TE-Mode bezeichnet. Entspre
chend weist auch das durch Reflektion am Faser-Bragg-Gitter
20 aus dem Eingangslichtsignal 60 hervorgegangene Ausgangs
lichtsignal 80 zwei zueinander orthogonale Ausbreitungsmoden
81 (= TM-Mode) und 82 (= TE-Mode) auf.
Wenn als Lichtwellenleiter 10 eine hoch doppelbrechende Faser
verwendet wird, fallen die Wellenlängen, bei denen die beiden
Ausbreitungsmoden 61 und 62 am Faser-Bragg-Gitter 20 reflek
tiert werden, nicht mehr exakt zusammen. Bei dem im Beispiel
von Fig. 1 verwendeten hoch doppelbrechenden Lichtwellenlei
ter 10 mit einer Beat-Länge von 2 mm liegen die spektralen
Schwerpunkte der beiden Ausbreitungsmoden 81 und 82 im Aus
gangslichtsignal 80 um etwa 0,5 nm auseinander. Diese Diffe
renz Δλ der Bragg-Wellenlängen für beide Moden berechnet sich
nach der Vorschrift:
wobei λ für die nominelle mittlere Bragg-Wellenlänge, n für
den mittleren Brechungsindex des Faserkerns 11 des Lichtwel
lenleiters 10 und LB für die Beat-Länge des Lichtwellenlei
ters 10 bei der verwendeten nominellen mittleren Bragg-
Wellenlänge λ steht.
Unter Berücksichtigung der verwendeten nominellen mittleren
Bragg-Wellenlänge λ von 830 nm und des Brechungsindex im Kern
der verwendeten Quarzglasfaser von n=1,46 errechnet sich dann
mit der Beat-Länge von 2 mm der angegebene Wert von 0,5 nm
für die Differenz Δλ. Anhand dieser Differenz Δλ können der
TM-Mode 81 und der TE-Mode 82 ohne Probleme spektral vonein
ander selektiert und einzeln ausgewertet werden.
Aus Gleichung (1) lässt sich außerdem eine Dimensionierungs
vorschrift für die Beat-Länge LB in Abhängigkeit von der no
minellen mittleren Bragg-Wellenlänge λ, der Brechungsindex n
sowie der minimal zu detektierenden Differenz Δλmin der Bragg-
Wellenlängen beider Moden ermitteln:
Je nach Anwendung wird ein hoch doppelbrechender Lichtwellen
leiter 10 ausgewählt, dessen Beat-Länge bei der verwendeten
Bragg-Wellenlänge λ die Bedingung von Gleichung (2) erfüllt.
Vorzugsweise wird ein Lichtwellenleiter 10 verwendet, bei dem
die hohe Doppelbrechung mittels Formanisotropie, also bei
spielsweise durch einen Kern 11 mit elliptischer Quer
schnittsfläche, eingestellt wird. Ein solcher Lichtwellenlei
ter 10 ist in Fig. 2 dargestellt. Eine Beeinträchtigung der
hohen Doppelbrechung durch die teilweise Entmantelung des
Lichtwellenleiters 10 kann damit besonders wirkungsvoll umge
gangen werden. Andere hoch doppelbrechende Lichtwellenleiter
typen, beispielsweise solche mit Spannungsanisotropie, sind
jedoch grundsätzlich ebenfalls möglich.
Im Interaktionsbereich 13 generiert das Eingangslichtsignal
60 eine sogenannte Oberflächen-Plasmonen-Welle 70 an der
Grenzfläche zu dem Analyten 50. Ein evaneszentes Feld 71 der
Oberflächen-Plasmonen-Welle 70 erstreckt sich in den Analyten
50. Die Ausbildung der Oberflächen-Plasmonen-welle 70 wird
durch die optischen Parameter, insbesondere den Brechungsin
dex des Analyten 50, im Bereich des evaneszenten Felds 71 be
einflusst. Handelt es sich um einen Analyten 50 mit einem
Brechungsindex aus dem Empfindlichkeitsbereich des faseropti
schen Sensors 101, so resultiert eine für diesen Brechungsin
dex spezifische Verschiebung der Bragg-Wellenlänge λ. Diese
spektrale Verschiebung kann ausgewertet und zur Bestimmung
des Analyten 50 verwendet werden.
Da die Oberflächen-Plasmonen-Welle 70 stets ein transversal
polarisiertes magnetisches Feld aufweist, führt nur der TM-
Mode 61 des Eingangslichtsignals 60 zu einer Anregung der
Oberflächen-Plasmonen-Welle 70. Der TE-Mode 62 zeigt dagegen
keine Wechselwirkung mit der Oberflächen-Plasmonen-Welle 70.
Dementsprechend wird bei der Reflexion an dem Faser-Bragg-
Gitter 20 auch nur der TM-Mode 61 durch die Anwesenheit des
Analyten 50 beeinflusst. So verschiebt sich der spektrale
Schwerpunkt des TM-Modes 81 im Ausgangslichtsignal 80 bei Er
höhung des Brechungsindex in dem Analyten 50 von beispiels
weise n=1,41 auf n=1,42 um etwa 0,5 nm. Der TE-Mode 82 bleibt
dagegen davon praktisch unberührt. Er wird nur durch die Um
gebungsbedingungen, wie z. B. Temperatur und Druck, beein
flusst. Auch der TM-Mode 81 unterliegt diesen Umgebungsein
flüssen. Eine Temperaturänderung um 1°K verschiebt den spekt
ralen Schwerpunkt beider Moden 81 und 82 im Ausgangslichtsig
nal 80 etwa um jeweils 5 pm.
Damit kann ein kompensierter Messwert für den Brechungsindex
und damit den Analyten 50 ermittelt werden. So ist bereits
die einfache Differenz zwischen den spektralen Schwerpunkten
des TM- und des TE-Modes ein weitgehend von den Umgebungsein
flüssen bereinigter Messwert für den Brechungsindex. Sie gibt
dann die Temperaturabhängigkeit des Brechungsindex des Analy
ten 50 an.
Mit einem entsprechend hochauflösenden Detektor, beispiels
weise einem Polychromator mit einer Auflösung von 27 pm/Pixel
und einem Vergleich mit einer festen Referenzwellenlänge,
lassen sich die spektralen Schwerpunkte der beiden Moden 81
und 82 im Ausgangslichtsignal 80 mit einer Genauigkeit von
0,5 pm bestimmen.
Durch Messung bei verschiedenen bekannten Analyten 50 wird
die Charakteristik des faseroptischen Sensors 101 kalibriert.
Die Zuordnung zwischen ermittelten Brechungsindices und je
weils zugehörigem Analyten 50 wird in der Sende-
/Empfangseinheit beispielsweise als Look-up-Tabelle hinter
legt.
In einer besonderen Ausführungsform des Sensors 101 von Fig.
1 besteht die Metallschicht 30 aus einer Palladium-Nickel-
Legierung mit einer Dicke von etwa 200 nm. Dadurch erhält man
einen Sensor 101, der auf Wasserstoff als Analyt 50 empfind
lich ist.
In Fig. 3 ist ein faseroptischer Sensor 102 dargestellt, der
sich von dem faseroptischen Sensor 101 von Fig. 1 durch eine
zusätzlich auf die Metallschicht 30 aufgebrachte Hilfsschicht
40 unterscheidet. Der flüssige oder gasförmige Analyt 50 wird
entweder in Poren der Hilfsschicht 40 absorbiert oder lagert
sich nach einer entsprechenden chemischen Reaktion an der
Oberfläche der Hilfsschicht 40 an. Die Menge des Analyten 50,
die durch die Hilfsschicht 40 gebunden wird, bestimmt dann
den resultierenden Wert des Brechungsindex im Bereich des
evaneszenten Felds 71 der Oberflächen-Plasmonen-Welle 70.
Entsprechend verschiebt sich dann wiederum der spektrale
Schwerpunkt des TM-Modes 61. Die Hilfsschicht 40 besteht im
Beispiel von Fig. 3 aus aufgedampftem, porösem Siliciumoxid.
Damit kann Luftfeuchtigkeit detektiert werden.
Eine andere Ausgestaltung des optischen Sensors 102 von Fig.
3 ist in Fig. 4 dargestellt. Der mit dem Bezugszeichen 103
bezeichnete faseroptische Sensor enthält zusätzlich zwischen
der Metallschicht 30 und der Hilfsschicht 40 eine erste An
passschicht 35. Mittels einer solchen ersten Anpassschicht 35
kann der empfindliche Bereich für die Detektion des Bre
chungsindex des Analyten 50 verschoben werden. Im vorliegen
den Ausführungsbeispiel wird eine erste Anpassschicht 35 aus
Siliciumtitanoxid mit einer Dicke von 100 nm aufgebracht.
Während ohne derartige erste Anpassschicht 35 ein Kohlenwas
serstoff mit einem Brechungsindex in der Größenordnung von
n=1,43 detektierbar ist, ermöglicht die erste Anpassschicht
35 aus Siliciumtitanoxid die Detektion einer wässrigen Lösung
mit einem Brechungsindex in der Größenordnung von n=1,34. In
beiden Fällen sind verschiedene Ausprägungen des Analyten 50
in den jeweiligen Brechungsindexbereichen mit hoher Empfind
lichkeit voneinander unterscheidbar.
Ein weiteres Ausführungsbeispiel für einen faseroptischen
Sensor 104 ergibt sich aus Fig. 5. Bei diesem Beispiel ist
unter der Metallschicht 30 eine zweite Anpassschicht 25 vor
gesehen. Die zweite Anpassschicht 25 besteht aus Lithiumfluo
rid und hat eine Dicke von 100 nm bis 200 nm. Lithiumfluorid
hat mit 1,42 einen niedrigeren Brechungsindex als das für den
Kern 11 des Lichtwellenleiters 10 verwendete Quarzglas
(n=1,46). Durch eine derartige zweite Anpassschicht 25 kann
die Güte der Oberflächen-Plasmonen-Resonanz und damit die
Sensorempfindlichkeit gesteigert werden. Vorteilhaft wird
hierzu ein Material mit einer niedrig doppelbrechenden Eigen
schaft verwendet.
In Fig. 6 ist eine optische Messeinrichtung 200 gezeigt, die
ein Sensornetzwerk 270 mit mehreren faseroptischen Sensoren
111, 112 und 113 beinhaltet. Bei Bedarf können auch noch wei
tere faseroptische Sensoren vorgesehen sein. Die faseropti
schen Sensoren 111, 112 und 113 sind auf jeweils unterschied
liche Analyten 51, 52 bzw. 43 sensitiv und haben jeweils eine
voneinander verschiedene Bragg-Wellenlänge λ1, λ2 bzw. λ3.
Dadurch lassen sich die von den faseroptischen Sensoren 111,
112 und 113 jeweils generierten Ausgangssignale 801, 802 bzw.
803 anhand ihrer spektralen Lage voneinander trennen. Die Er
zeugung eines in das Sensornetzwerk 270 einzuspeisende Ein
gangslichtsignals 60 sowie die Auswertung der Ausgangssignale
801, 802 und 803 erfolgt in einer Sende-/Empfangseinheit 250.
Mittels einer als Superlumineszenzdiode (SLD-361 von Super
lum) ausgebildeten Lichtquelle 251 der Sende-/Empfangseinheit
250 wird ein breitbandiges Lichtsignal erzeugt, dessen spekt
rale Bandbreite von etwa 820 nm bis etwa 850 nm reicht und
insbesondere alle Bragg-Wellenlänge λ1, λ2 und λ3 umfasst.
Ein der Lichtquelle 251 optional nachgeschalteter Polarisator
252 erzeugt polarisiertes Licht 65, aus dem nach Durchlaufen
eines Faserkopplers 260 mittels eines Polarisationsstellers
265 das in das Sensornetzwerk 270 eingespeiste Eingangslicht
signal 60 generiert wird. Dazu ist der Polarisationssteller
265 als 45°-Fasersplice ausgebildet. Diese Faserverbindung
ist so ausgeführt, dass das polarisierte Lichtsignal 65 unter
45° zu den beiden Faser-Hauptachsen des Lichtwellenleiters 10
eingespeist wird. Dann enthält das Eingangslichtsignal 60 so
wohl den TM- als auch den TE-Mode.
Im Beispiel von Fig. 6 ist der hoch doppelbrechende Licht
wellenleiter 10 für den Aufbau des gesamten Sensornetzwerks
270 verwendet. Bei einer nicht gezeigten Ausführungsform kann
der hoch doppelbrechende Lichtwellenleiter 10 jedoch auch je
weils nur zum unmittelbaren Aufbau der Sensoren 111, 112 und
113 eingesetzt werden. Die Sensoren 111, 112 und 113 sind
dann untereinander mit einem anderen Lichtwellenleiter, der
kein spezielles doppelbrechendes Verhalten aufweist, verbun
den.
Der Faserkoppler 260 bewirkt, dass das polarisierte Lichtsig
nal 65 dem Sensornetzwerk 270 und die reflektierten Ausgangs
signale 801, 802 und 803 einem Detektor 253 der Sende-
/Empfangseinheit 250 zugeführt werden.
Die faseroptischen Sensoren 111, 112 und 113 haben eine der
in den vorherigen Fig. 1 und 3 bis 5 gezeigten prinzipiel
len Ausführungsformen. Damit steht für jeden der Sensoren
111, 112 und 113 nach einer entsprechenden spektralen Auswer
tung der Ausgangssignale 801, 802 und 803 in der Sende-
/Empfangseinheit 250 neben einem auf dem TM-Mode basierenden
Messsignal auch ein auf dem TE-Mode basierendes Referenzsig
nal zur Verfügung.
Der zur spektralen Selektion eingesetzte Detektor 253 hat ei
ne ausreichend hohe Auflösung. Im Ausführungsbeispiel handelt
es sich um einen Polychromator mit einer Auflösung von
27 pm/Pixel. Über einen zusätzlichen Vergleich mit einer fes
ten Referenzwellenlänge kann damit eine Wellenlängenauflösung
in der Größenordnung von 0,5 pm erreicht werden.
Aus den vom Detektor 253 mittels spektraler Selektion für die
Ausgangssignale 801, 802 und 803 jeweils erzeugten Mess- und
Referenzsignalen werden in einer Auswerteeinheit 254 die
Messergebnisse für die zu bestimmenden Analyten 51, 52 und 53
ermittelt.
Claims (16)
1. Faseroptischer Sensor zur Bestimmung eines Analyten (50)
mit mindestens einem ummantelten Lichtwellenleiter (10), der
einen Interaktionsbereich (13) zur Wechselwirkung mit dem
Analyten (50) aufweist, in welchem Interaktionsbereich (13)
- a) der Lichtwellenleiter (10) mit einem Faser-Bragg-Gitter (20) versehen ist,
- b) der Mantel (12) des Lichtwellenleiters (10) zumindest teilweise entfernt ist,
- c) eine Metallschicht (30) im Bereich mit zumindest teilweise entferntem Mantel (12) auf dem Lichtwellenleiter (10) an geordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass
- d) der Lichtwellenleiter (10) zumindest in dem Interaktions bereich (13) eine hohe Doppelbrechung mit einer Beat-Länge von höchstens 4 mm aufweist.
2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, dass der Lichtwellenleiter (10) zumindest
in dem Interaktionsbereich (13) eine Beat-Länge von höchstens
2 mm aufweist.
3. Sensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge
kennzeichnet, dass der Lichtwellenleiter (10)
zumindest in dem Interaktionsbereich (13) formanisotrop aus
gebildet ist.
4. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da
durch gekennzeichnet, dass die Metall
schicht (30) eine Dicke von höchstens 1 µm aufweist.
5. Sensor nach Anspruch 4, dadurch gekenn
zeichnet, dass die Metallschicht (30) eine Dicke
von höchstens 50 nm aufweist.
6. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da
durch gekennzeichnet, dass die Metall
schicht (30) aus einem Material einer ersten Materialgruppe
Gold, Silber, Aluminium und Palladium besteht oder zumindest
ein Material der ersten Materialgruppe enthält.
7. Sensor nach Anspruch 6, dadurch gekenn
zeichnet, dass die Metallschicht (30) aus einer
Palladium-Legierung, insbesondere einer Palladium-Nickel-
Legierung, besteht.
8. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da
durch gekennzeichnet, dass auf der Me
tallschicht (30) eine Hilfsschicht (40) angeordnet ist.
9. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da
durch gekennzeichnet, dass auf der Me
tallschicht (30) eine erste Anpassschicht (35) angeordnet
ist.
10. Sensor nach Anspruch 9, dadurch gekenn
zeichnet, dass die erste Anpassschicht (35) aus ei
nem Material besteht, dessen Brechungsindex größer ist als
der des Kerns (11) des Lichtwellenleiters (10).
11. Sensor nach Anspruch 10, dadurch gekenn
zeichnet, dass die erste Anpassschicht (35) aus ei
nem Material einer zweiten Materialgruppe aus Tantalpentoxid,
Siliciumtitanoxid, Siliciumoxynitrid und Polyvinylidenen be
steht oder zumindest ein Material der zweiten Materialgruppe
enthält.
12. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, da
durch gekennzeichnet, dass zwischen dem
Lichtwellenleiter (10) und der Metallschicht (30) eine zweite
Anpassschicht (25) angeordnet ist.
13. Sensor nach Anspruch 12, dadurch gekenn
zeichnet, dass die zweite Anpassschicht (25) aus
einem Material besteht, dessen Brechungsindex kleiner ist als
der des Kerns (11) des Lichtwellenleiters (10).
14. Sensor nach Anspruch 13, dadurch gekenn
zeichnet, dass die zweite Anpassschicht (25) aus
einem Material einer dritten Materialgruppe aus Magnesiumflu
orid, Calciumfluorid, Lithiumfluorid und Kryolith besteht
oder zumindest ein Material der dritten Materialgruppe ent
hält.
15. Verwendung mindestens eines faseroptischen Sensors nach
einem der vorhergehenden Ansprüche in einer optischen Mess
einrichtung (200) zur Bestimmung mindestens eines Analyten
(51, 52, 53), wobei zwei in den Lichtwellenleiter (10) einge
speiste zueinander orthogonale Ausbreitungsmoden (61, 62) in
dem Faser-Bragg-Gitter (20) eine in einer Sende-
/Empfangseinheit (250) voneinander selektierbare spektrale
Beeinflussung erfahren, nur die spektrale Beeinflussung des
ersten Ausbreitungsmodes (61) von dem Analyten (51, 52, 53)
abhängt, und die spektrale Beeinflussung des zweiten Ausbrei
tungsmodes (62) als Referenz verwendet wird.
16. Verwendung mindestens eines faseroptischen Sensors nach
einem der Ansprüche 1 bis 14 in einer optischen Messeinrich
tung (200) zur Bestimmung eines Analyten (51, 52, 53), wobei
zwei zueinander orthogonale Ausbreitungsmoden (61, 62)
gleichzeitig in den Lichtwellenleiter (10) eingespeist werden
und in dem Faser-Bragg-Gitter (20) eine voneinander selek
tierbare spektrale Beeinflussung erfahren.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10049951A DE10049951A1 (de) | 2000-10-06 | 2000-10-06 | Faseroptischer Sensor zur Bestimmung eines Analyten mit hoch doppelbrechendem Lichtwellenleiter sowie Verwendung des faseroptischen Sensors |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Family
ID=7659147
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DE10049951A Withdrawn DE10049951A1 (de) | 2000-10-06 | 2000-10-06 | Faseroptischer Sensor zur Bestimmung eines Analyten mit hoch doppelbrechendem Lichtwellenleiter sowie Verwendung des faseroptischen Sensors |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10049951A1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10335533A1 (de) * | 2003-07-31 | 2005-02-17 | "Stiftung Caesar" (Center Of Advanced European Studies And Research) | Berührungsloser Dehnungssensor |
DE102014103721A1 (de) * | 2013-12-20 | 2015-06-25 | Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG | Optischer Sensor, insbesondere zur Bestimmung von Stoffkonzentrationen in wässrigen Lösungen mittels einer Chemilumineszenz-, Absorptions- oder Fluoreszenzmessung |
CN110346333A (zh) * | 2019-08-07 | 2019-10-18 | 东北大学 | 一种lrspr高灵敏度光纤传感器 |
DE102021112489A1 (de) | 2021-05-12 | 2022-11-17 | Stöbich Life Safety GmbH | Faser-Bragg-Sensor zum Detektieren einer Ziel-Substanz und Verfahren zum Herstellen eines Faser-Bragg-Sensors zum Detektieren einer Ziel-Substanz |
DE102021131644A1 (de) | 2021-12-01 | 2023-06-01 | Carl Zeiss Ag | Diffraktiver PIC Sensor |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE6941059U (de) * | 1969-10-22 | 1976-06-16 | Ehrenreich & Cie A | Kugelgelenk, insbesondere fuer kraftfahrzeuge, mit deckelverschluss. |
DE19630181A1 (de) * | 1996-07-26 | 1998-01-29 | Inst Physikalische Hochtech Ev | Kompakter Lichtleitfasersensor zur Detektion chemischer oder biochemischer Substanzen |
DE19807891A1 (de) * | 1998-02-25 | 1999-08-26 | Abb Research Ltd | Faserlaser-Drucksensor |
-
2000
- 2000-10-06 DE DE10049951A patent/DE10049951A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE6941059U (de) * | 1969-10-22 | 1976-06-16 | Ehrenreich & Cie A | Kugelgelenk, insbesondere fuer kraftfahrzeuge, mit deckelverschluss. |
DE19630181A1 (de) * | 1996-07-26 | 1998-01-29 | Inst Physikalische Hochtech Ev | Kompakter Lichtleitfasersensor zur Detektion chemischer oder biochemischer Substanzen |
DE19807891A1 (de) * | 1998-02-25 | 1999-08-26 | Abb Research Ltd | Faserlaser-Drucksensor |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
Elektronics Letters (1996), Vol. 32, No. 5, S. 480-482 * |
Sonsors and Actuators B, 17 (1994), S. 215-220 * |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10335533A1 (de) * | 2003-07-31 | 2005-02-17 | "Stiftung Caesar" (Center Of Advanced European Studies And Research) | Berührungsloser Dehnungssensor |
DE102014103721A1 (de) * | 2013-12-20 | 2015-06-25 | Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG | Optischer Sensor, insbesondere zur Bestimmung von Stoffkonzentrationen in wässrigen Lösungen mittels einer Chemilumineszenz-, Absorptions- oder Fluoreszenzmessung |
CN110346333A (zh) * | 2019-08-07 | 2019-10-18 | 东北大学 | 一种lrspr高灵敏度光纤传感器 |
DE102021112489A1 (de) | 2021-05-12 | 2022-11-17 | Stöbich Life Safety GmbH | Faser-Bragg-Sensor zum Detektieren einer Ziel-Substanz und Verfahren zum Herstellen eines Faser-Bragg-Sensors zum Detektieren einer Ziel-Substanz |
WO2022238313A1 (de) | 2021-05-12 | 2022-11-17 | Stöbich Life Safety GmbH | Faser-bragg-sensor zum detektieren einer ziel-substanz und verfahren zum herstellen eines faser-bragg-sensors zum detektieren einer ziel-substanz |
DE102021131644A1 (de) | 2021-12-01 | 2023-06-01 | Carl Zeiss Ag | Diffraktiver PIC Sensor |
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