DE10049296A1 - Optische Anordnung und Verfahren zur Ablenkung von Lichtstrahlen - Google Patents

Optische Anordnung und Verfahren zur Ablenkung von Lichtstrahlen

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Abstract

Eine optische Anordnung mit einer Lichtquelle, vorzugsweise einem Laser, zur Erzeugung eines Lichtstrahls (1), mindestens einer akusto-optischen Ablenkeinrichtung (3) für den Lichtstrahl (1) und einer Korrektureinrichtung zur Korrektur von durch die Ablenkeinrichtung (3) erzeugten Strahlfehlern ist im Hinblick auf eine flexible und sichere Korrektur von durch die Ablenkung auftretenden Fehlern derart ausgebildet, dass die Korrektureinrichtung eine adaptive Optik (2) aufweist. Des Weiteren ist ein Verfahren zur Ablenkung von Lichtstrahlen (1) mit einer Lichtquelle, vorzugsweise einem Laser, zur Erzeugung eines Lichtstrahls (1), mindestens einer akusto-optischen Ablenkeinrichtung (3) für den Lichtstrahl (1) und einer Korrektureinrichtung zur Korrektur von durch die Ablenkeinrichtung (3) erzeugten Strahlfehlern angegeben, bei der als Korrektureinrichtung eine adaptive Optik (2) verwendet wird.

Description

Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung mit einer Lichtquelle, vorzugsweise einem Laser, zur Erzeugung eines Lichtstrahls, mindestens einer akusto-optischen Ablenkein­ richtung für den Lichtstrahl und einer Korrektureinrichtung zur Korrektur von durch die Ablenkeinrichtung erzeugten Strahlfehlern.
Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Ablenkung von Lichtstrahlen mit einer Lichtquelle, vorzugsweise einem Laser, zur Erzeugung eines Lichtstrahls, minde­ stens einer akusto-optischen Ablenkeinrichtung für den Lichtstrahl und einer Korrektur­ einrichtung zur Korrektur von durch die Ablenkeinrichtung erzeugten Strahlfehlern.
Optische Anordnungen sowie Verfahren zur Ablenkung von Lichtstrahlen der eingangs genannten Arten sind aus der Praxis bekannt und existieren in den unterschiedlichsten Ausführungsformen. Steuerbare Ablenkeinrichtungen werden in vielen Bereichen vom Kopierer bis zum Rastermikroskop verwendet. Oft wird eine Strahlablenkung mit Spie­ geln bewerkstelligt, die mit Hilfe von Galvanometern verkippt werden. Die bekannten Korrektureinrichtungen arbeiten dabei simultan zu dem Betrieb der optischen Anord­ nung.
Beispielsweise in der Scan-Mikroskopie wird eine Probe mit einem Lichtstrahl beleuch­ tet, um das von der Probe emittierte Reflexions- und/oder Fluoreszenzlicht zu beobach­ ten. Der Fokus des Lichtstrahls wird im Allgemeinen durch Verkippen zweier Spiegel in einer Probenebene bewegt, wobei die Ablenkachsen meist senkrecht aufeinander ste­ hen, so dass ein Spiegel in X- und der andere in Y-Richtung ablenkt. Die Verkippung der Spiegel wird sowohl mit Hilfe von resonanten als auch mit nicht resonanten Galvano­ meter-Stellelementen bewerkstelligt. Die Leistung des von der Probe kommenden Lichts wird in Abhängigkeit von der Position des Abtaststrahls bzw. Lichtstrahls gemessen.
Anstelle von Galvanometern werden auch akusto-optische Deflektoren in der Scan-Mi­ kroskopie eingesetzt, wie dies beispielsweise aus der US 4,893,008, "Scanning optical microscope", bekannt ist. Die Ablenkung beruht dabei auf der Wechselwirkung des Lichts mit einer mechanischen stehenden oder laufenden Welle, die meist in einem durchsichtigen Kristall mit Hilfe von Ultraschallsendern erzeugt wird.
Speziell in der konfokalen Scan-Mikroskopie wird eine Probe mit dem Fokus eines Licht­ strahls in drei Dimensionen abgetastet. Ein konfokales Rastermikroskop umfasst im All­ gemeinen eine Lichtquelle, eine Fokussieroptik, mit der das Licht der Lichtquelle auf eine Lochblende - die sogenannte Anregungsblende - fokussiert wird, einen Strahlteiler, eine Ablenkeinrichtung zur Strahlsteuerung, eine Mikroskopoptik, eine Detektionsblende und die Detektoren zum Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichts. Das Be­ leuchtungslicht bzw. der durch die Lichtquelle erzeugte Lichtstrahl wird meist über einen Hauptstrahlteiler in den Strahlengang eingekoppelt. Das von der Probe kommende Fluo­ reszenz- oder Reflexionslicht gelangt über dieselbe Ablenkeinrichtung oder dieselben Scanspiegel zurück zum Hauptstrahlteiler und passiert diesen, um anschließend auf die Detektionsblende fokussiert zu werden, hinter der sich die Detektoren, meist Fotomulti­ plier, befinden. Detektionslicht, das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt ei­ nen anderen Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so dass man eine Punk­ tinformation erhält, die durch sequentielles Abtasten der Probe zu einem dreidimensio­ nalen Bild führt. Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddaten­ nahme erzielt.
Ganz besonders in der konfokalen Scan-Mikroskopie muss zur Erzielung von optimalen Ergebnissen hinsichtlich der Auflösung die Form und die Intensitätsverteilung - pointspreat function, PSF - des abtastenden Lichtstrahlfokus weitgehend der theoretisch er­ reichbaren, optimalen Form bzw. PSF entsprechen.
Konfokale Rastermikroskope mit akusto-optischen Deflektoren sind beispielsweise aus der US 4,893,008 der Firma Olympus und des Erfinders Horikawa bekannt und werden von NORAN-Instruments verkauft.
Bei der derzeit meist verwendeten Galvanometer-Technologie zur Ablenkung des Licht­ strahls sind die maximal erzielbaren Scanraten auf Grund der Massenträgheit der be­ wegten mechanischen Komponenten auf einige hundert Hz für nicht resonante Galva­ nometer und einige kHz für resonante Galvanometer beschränkt.
Akusto-optische Deflektoren und Ablenkeinrichtungen sind sehr viel schneller als bei­ spielsweise auf Galvanometerablenkung basierende Scanner. Sie haben aber den Nachteil, dass sich die Strahlqualität beim Durchgang durch diese Elemente ver­ schlechtert. Die Zusammenhänge sind beispielsweise in "Laser beam profile deformation effect during Bragg acousto-optic interaction: a non paraxial approximation", Huang et al., Optical Engineering, July 1999, Vol. 38, No. 7, ISSN 0091-3286, beschrieben.
Auch in der DE 42 00 374 A1, Sandström, wird die Korrektur von Fehlern behandelt, die bei der Ablenkung von Lichtbündeln mit akusto-optischen Elementen hervorgerufen werden. Dabei wird ein passives Element zur Fehlerkorrektur verwendet, das nicht flexi­ bel ist.
Eine Hauptfehlerquelle ist im endlichen Strahldurchmesser zu finden. Um eine kontinu­ ierliche Ablenkung zu erzielen, muß die Ultraschallfrequenz kontinuierlich erhöht bzw. gesenkt werden. Bei einer durch den Kristall laufenden akustischen Welle mit sich konti­ nuierlich verändernder Wellenlänge wirken zu einem betrachteten Zeitpunkt auf die transversalen Lichtstrahlränder andere Wellenlängen als auf die Teile des Lichtstrahls nahe der optischen Achse.
Bei den bekannten optischen Anordnungen und Verfahren zur Ablenkung von Licht­ strahlen ist die Fehlerkorrektur nicht flexibel und in vielen Fällen hinsichtlich ihrer Quali­ tät nicht zufriedenstellend.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine optische Anordnung sowie ein Verfahren zur Ablenkung von Lichtstrahlen der eingangs genannten Arten an­ zugeben, wonach eine flexible und sichere Korrektur von durch die Ablenkung auftre­ tenden Fehlern erreicht ist.
Erfindungsgemäß ist die voranstehende Aufgabe hinsichtlich einer optischen Anordnung durch eine optische Anordnung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Da­ nach ist die optische Anordnung der eingangs genannten Art derart ausgestaltet und weitergebildet, dass die Korrektureinrichtung eine adaptive Optik aufweist.
In erfindungsgemäßer Weise ist erkannt worden, dass die obige Aufgabe durch das Vor­ sehen einer adaptiven Optik im Rahmen der Korrektureinrichtung auf überraschend einfache Weise gelöst ist. Mit einer adaptiven Optik ist eine flexible und sichere Korrek­ tur von durch die Ablenkung auftretenden Fehlern erreicht.
Im Hinblick auf eine sichere Korrektur von Strahlfehlern könnte die adaptive Optik im Strahlengang des Lichtstrahls angeordnet sein. Dabei könnte die adaptive Optik sogar im Strahlengang des abzulenkenden Lichtstrahls angeordnet sein, wobei die adaptive Optik bereits vor der Ablenkung des Lichtstrahls korrigierend auf den Lichtstrahl einwirkt.
Im Konkreten könnte die adaptive Optik ein aktives optisches Element, insbesondere zur Korrektur von Phasenfrontfehlern, aufweisen. Als besonders wirksam und flexibel hat sich ein aktives optisches Element mit einem Spiegel herausgestellt, der mit vorzugsweise elektrostatischen Aktoren deformierbar ist. Spiegel dieser Art sind bekannt und kommerziell erhältlich.
Alternativ oder zusätzlich hierzu könnte die adaptive Optik ein Element aufweisen, mit dem gezielt einzelnen Teilen des Beleuchtungs- und/oder des Detektionslichtstrahls Phasenverzögerungen aufgeprägt werden können. Im Konkreten könnte ein derartiges Element ein LCD-Raster-Element sein.
Ein wie oben beschriebenes Element könnte in besonders wirksamer Weise in einer zur Ablenkebene konjugierten Fourier-Ebene im Strahlengang angeordnet sein.
Im Hinblick auf eine gleichmäßige bzw. optimale transversale Feldverteilung der Licht­ strahlen könnte das Element aktiv steuer- und/oder regelbar sein. Hierzu könnte eine Einrichtung zur Erfassung der aktuellen transversalen Feldverteilung vorgesehen sein. Mit der Einrichtung könnte eine Verarbeitungslogik für Signale der Einrichtung zusam­ menwirken, durch welche ein geeignetes Regelsignal erzeugbar ist. Das Regelsignal dient zur Steuerung der adaptiven Optik.
Zur Vermessung der Phasenfront könnte ein Hartmann-Shack-Sensor dienen. Dieser besteht üblicherweise aus einem Mikrolinsenarray, dass das zu untersuchende, aufge­ weitete und kollimierte Lichtbündel auf einem CCD-Array oder einem Fotodiodenfeld fokussiert. Bei einer fehlerfreien Phasenfront des einfallenden Lichtstrahls liegen alle durch das Mikrolinsenarray erzeugten Fokusse äquidistant auf der Detektoroberfläche. Bei deformierter Phasenfront des einfallenden Lichts ist dies nicht der Fall. Die laterale Verschiebung der Fokusse gibt Aufschluss über die Aberrationen. Zur Beschreibung werden üblicherweise Zernike-Polynome verwendet, die aus den Detektorsignalen er­ rechnet werden. Gemäß der Erfindung ist vorgesehen, dass die Detektorsignale in ei­ nem Rechner ausgewertet werden, der das aktive optische Element zur Korrektur steu­ ert. Alternativ könnte auch ein Twyman-Green-Interferometer zur Vermessung der Pha­ senfront dienen.
Im Hinblick auf eine einfachere Ausgestaltung der optischen Anordnung, bei der keine simultane Fehlerkorrektur stattfindet, könnten die bei der Ablenkung auftretenden Feh­ ler, beispielsweise in Abhängigkeit vom Ablenkwinkel, einmalig zur Kalibrierung der Steuerung der adaptiven Optik gemessen werden. Die erforderlichen Korrektursignale könnten dann errechnet und in einem Speicher abgelegt werden. Beim eigentlichen Scanvorgang könnten die Korrekturdaten ausgelesen und zur Steuerung der adaptiven Optik verwendet werden. Hierzu könnte die optische Anordnung ein Messgerät zur min­ destens einmaligen Messung der bei der Ablenkung auftretenden Fehler, vorzugsweise in Abhängigkeit vom Ablenkwinkel, aufweisen. Das Messgerät könnte im Konkreten die zur Korrektur geeigneten Steuersignale errechnen. Zum Abspeichern der Daten könnte dem Messgerät ein Speicher zugeordnet sein.
Im Hinblick auf ein Verfahren zur Ablenkung von Lichtstrahlen ist die voranstehende Aufgabe durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 17 gelöst. Da­ nach ist das eingangs genannte Verfahren derart ausgestaltet, dass als Korrekturein­ richtung eine adaptive Optik verwendet wird.
Im Konkreten könnte die adaptive Optik im Strahlengang des abzulenkenden Licht­ strahls angeordnet werden. Im Rahmen der adaptiven Optik könnte ein aktives optisches Element, insbesondere zur Korrektur von Phasenfrontfehlern, verwendet werden.
Im Rahmen des aktiven optischen Elements könnte ein mit vorzugsweise elektrostati­ schen Aktoren deformierbarer Spiegel verwendet werden.
In besonders wirkungsvoller Weise könnte im Rahmen der adaptiven Optik ein Element verwendet werden, mit dem gezielt einzelnen Teilen des Beleuchtungs- und/oder des Detektionslichtstrahls Phasenverzögerungen aufgeprägt werden können. Als Element könnte ein LCD-Raster-Element verwendet werden. Grundsätzlich könnte das Element in einer zur Ablenkebene konjugierten Fourier-Ebene im Strahlengang angeordnet wer­ den.
Im Hinblick auf eine gleichmäßige transversale bzw. optimale Feldverteilung der Licht­ strahlen könnte das Element aktiv gesteuert und/oder geregelt werden.
Zur Fehlererkennung könnte eine Einrichtung zur Erfassung der aktuellen transversalen Feldverteilung verwendet werden. Dabei könnte eine mit der Einrichtung zusammenwir­ kende Verarbeitungslogik für Signale der Einrichtung verwendet werden, durch welche ein geeignetes Regel- bzw. Steuersignal zur Steuerung der adaptiven Optik erzeugbar ist.
Im Rahmen der Einrichtung könnte ein Hartmann-Shack-Sensor oder ein Twyman-Green-Interferometer verwendet werden.
Bei einem vereinfachten Verfahren könnte ein Messgerät zur mindestens einmaligen Messung der bei der Ablenkung auftretenden Fehler, vorzugsweise in Abhängigkeit vom Ablenkwinkel, verwendet werden. Beispielsweise mit dem Messgerät könnten die zur Korrektur geeigneten Steuersignale errechnet und vorzugsweise in einem Speicher ab­ gespeichert werden. Beim Ablenkvorgang könnten die Steuersignale aus dem Speicher ausgelesen und zur Steuerung der adaptiven Optik verwendet werden.
Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteil­ hafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die den Patent­ ansprüchen 1 und 17 nachgeordneten Ansprüche, andererseits auf die nachfolgende Erläuterung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeich­ nung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung des bevorzugten Ausführungs­ beispiels der Erfindung anhand der Zeichnung werden auch im Allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigt die einzige
Figur in einer schematischen Darstellung, teilweise, das Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen optischen Anordnung.
Die einzige Figur zeigt in einer teilweisen und schematischen Darstellung das Ausfüh­ rungsbeispiel einer erfindungsgemäßen optischen Anordnung. Die optische Anordnung umfasst eine nicht gezeigte Lichtquelle, vorzugsweise ein Laser, zur Erzeugung eines einfallenden Lichtstrahls 1. Die optische Anordnung weist des Weiteren eine akusto-op­ tische Ablenkeinrichtung 3 für den Lichtstrahl 1 und eine Korrektureinrichtung zur Kor­ rektur von durch die Ablenkeinrichtung 3 erzeugten Strahlfehlern auf. Im Hinblick auf eine flexible und sichere Korrektur von durch die Ablenkung auftretenden Fehlern weist die Korrektureinrichtung eine adaptive Optik 2 auf.
Die adaptive Optik 2 ist im Strahlengang des abzulenkenden Lichtstrahls 1 noch vor der Ablenkeinrichtung 3 angeordnet. Die adaptive Optik 2 ist durch einen sogenannten Pie­ zospiegel gebildet. Als adaptive Optik 2 können jedoch auch andere Elemente als der in der Figur gezeigte verformbare Piezospiegel verwendet werden.
In der einzigen Figur ist des Weiteren ein nicht abgelenkter Lichtstrahlengang 4 sowie ein abgelenkter Lichtstrahlengang 5 dargestellt.
Hinsichtlich weiterer vorteilhafter Ausgestaltungen und Weiterbildungen der erfindungs­ gemäßen Lehre wird einerseits auf den allgemeinen Teil der Beschreibung und anderer­ seits auf die beigefügten Patentansprüche verwiesen.
Abschließend sei ganz besonders hervorgehoben, dass das zuvor rein willkürlich ge­ wählte Ausführungsbeispiel lediglich zur Erörterung der erfindungsgemäßen Lehre dient, diese jedoch nicht auf dieses Ausführungsbeispiel einschränkt.
Bezugszeichenliste
1
einfallender Lichtstrahl
2
adaptive Optik
3
akusto-optische Ablenkeinrichtung
4
nicht abgelenkter Lichtstrahlengang
5
abgelenkter Lichtstrahlengang

Claims (30)

1. Optische Anordnung mit einer Lichtquelle, vorzugsweise einem Laser, zur Er­ zeugung eines Lichtstrahls (1), mindestens einer akusto-optischen Ablenkeinrichtung (3) für den Lichtstrahl (1) und einer Korrektureinrichtung zur Korrektur von durch die Ablen­ keinrichtung (3) erzeugten Strahlfehlern, dadurch gekennzeichnet, dass die Korrektureinrichtung eine adaptive Optik (2) aufweist.
2. Optische Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die adap­ tive Optik (2) im Strahlengang des Lichtstrahls (1) angeordnet ist.
3. Optische Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die adaptive Optik (2) im Strahlengang des abzulenkenden Lichtstrahls (1) angeordnet ist.
4. Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeich­ net, dass die adaptive Optik (2) ein aktives optisches Element, insbesondere zur Kor­ rektur von Phasenfrontfehlern, aufweist.
5. Optische Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das aktive optische Element einen mit vorzugsweise elektrostatischen Aktoren deformierbaren Spiegel aufweist.
6. Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeich­ net, dass die adaptive Optik (2) ein Element aufweist, mit dem gezielt einzelnen Teilen des Beleuchtungs- und/oder des Detektionslichtstrahls Phasenverzögerungen aufge­ prägt werden können.
7. Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeich­ net, dass das Element ein LCD-Raster-Element ist.
8. Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeich­ net, dass das Element in einer zur Ablenkebene konjugierten Fourier-Ebene im Strah­ lengang angeordnet ist.
9. Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeich­ net, dass das Element im Hinblick auf eine gleichmäßige transversale Feldverteilung der Lichtstrahlen (1) aktiv steuer- und/oder regelbar ist.
10. Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeich­ net, dass eine Einrichtung zur Erfassung der aktuellen transversalen Feldverteilung vor­ gesehen ist.
11. Optische Anordnung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass eine mit der Einrichtung zusammenwirkende Verarbeitungslogik für Signale der Einrichtung vor­ gesehen ist, durch welche ein geeignetes Regelsignal erzeugbar ist.
12. Optische Anordnung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung einen Hartmann-Shack-Sensor aufweist.
13. Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Einrichtung ein Twyman-Green-Interferometer aufweist.
14. Optische Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeich­ net, dass ein Messgerät zur mindestens einmaligen Messung der bei der Ablenkung auftretenden Fehler, vorzugsweise in Abhängigkeit vom Ablenkwinkel, vorgesehen ist.
15. Optische Anordnung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Messgerät die zur Korrektur geeigneten Steuersignale errechnet.
16. Optische Anordnung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass dem Messgerät ein Speicher für die Steuersignale zugeordnet ist.
17. Verfahren zur Ablenkung von Lichtstrahlen (1), insbesondere zur Verwendung mit einer optischen Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, mit einer Licht­ quelle, vorzugsweise einem Laser, zur Erzeugung eines Lichtstrahls (1), mindestens einer akusto-optischen Ablenkeinrichtung (3) für den Lichtstrahl (1) und einer Korrektur­ einrichtung zur Korrektur von durch die Ablenkeinrichtung (3) erzeugten Strahlfehlern, dadurch gekennzeichnet, dass als Korrektureinrichtung eine adaptive Optik (2) verwendet wird.
18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die adaptive Optik (2) im Strahlengang des abzulenkenden Lichtstrahls angeordnet wird.
19. Verfahren nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, dass im Rahmen der adaptiven Optik (2) ein aktives optisches Element, insbesondere zur Korrektur von Phasenfrontfehlern, verwendet wird.
20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass im Rahmen des aktiven optischen Elements ein mit vorzugsweise elektrostatischen Aktoren deformierba­ rer Spiegel verwendet wird.
21. Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass im Rahmen der adaptiven Optik (2) ein Element verwendet wird, mit dem gezielt einzel­ nen Teilen des Beleuchtungs- und/oder des Detektionslichtstrahls Phasenverzögerun­ gen aufgeprägt werden können.
22. Verfahren nach einem der Ansprüche 19 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass als Element ein LCD-Raster-Element verwendet wird.
23. Verfahren nach einem der Ansprüche 19 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass das Element in einer zur Ablenkebene konjugierten Fourier-Ebene im Strahlengang an­ geordnet wird.
24. Verfahren nach einem der Ansprüche 19 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass das Element im Hinblick auf eine gleichmäßige transversale Feldverteilung der Licht­ strahlen (1) aktiv gesteuert und/oder geregelt wird.
25. Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass eine Einrichtung zur Erfassung der aktuellen transversalen Feldverteilung verwendet wird.
26. Verfahren nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass eine mit der Ein­ richtung zusammenwirkende Verarbeitungslogik für Signale der Einrichtung verwendet wird, durch welche ein geeignetes Regelsignal erzeugbar ist.
27. Verfahren nach Anspruch 25 oder 26, dadurch gekennzeichnet, dass im Rahmen der Einrichtung ein Hartmann-Shack-Sensor oder ein Twyman-Green-Interferometer verwendet wird.
28. Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 27, dadurch gekennzeichnet, dass ein Messgerät zur mindestens einmaligen Messung der bei der Ablenkung auftretenden Fehler, vorzugsweise in Abhängigkeit vom Ablenkwinkel, verwendet wird.
29. Verfahren nach einem der Ansprüche 17 bis 28, dadurch gekennzeichnet, dass die zur Korrektur geeigneten Steuersignale errechnet und vorzugsweise in einem Spei­ cher abgespeichert werden.
30. Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass beim Ablenkvor­ gang die Steuersignale aus dem Speicher ausgelesen und zur Steuerung der adaptiven Optik verwendet werden.
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