DE10045472C1 - Verfahren und Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Dichtheitsprüfung eines Prüfteils, bei dem zwischen den Prüfzyklen eine Prüfung eines Drucksensors (11) erfolgt, wobei ein Testvolumen (13) über ein Testventil (12) wenigstens einem dem Drucksensor (11) zugeordneten Volumen (5) zuschaltbar ist. Eine weitgehend automatisierte Überprüfung eines Drucksensors unabhängig von dem Meßbereich wird bei dem Verfahren erfindungsgemäß dadurch ermöglicht, daß dem Testvolumen (13) ein Zuschaltvolumen (15) über ein Zuschaltventil (14) zuschaltbar ist, und daß das Testventil (12) und das Zuschaltventil (14) abwechselnd so oft geöffnet und wieder geschlossen werden, bis die Differenz zwischen dem Druck in dem wenigstens einen dem Drucksensor (11) zugeordneten Volumen (5) vor und nach der letzten Betätigung des Testventils (12) kleiner als ein vorbestimmter Wert wird. Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung eines Prüfteils, umfassend einen Drucksensor (11), ein mit dem Drucksensor (11) in Verbindung stehendes Volumen (5), wobei dem Volumen (5) ein über ein Ventil (12) zuschaltbares Testvolumen (13) zugeordnet ist. Eine weitgehend automatisierte Überprüfung eines Drucksensors unabhängig von dem Meßbereich wird bei dem Verfahren erfindungsgemäß dadurch ermöglicht, daß dem Testvolumen (13) über ein Zuschaltventil (14) ein Zuschaltvolumen (15) zuschaltbar ist.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 10.

Aus der Praxis sind Verfahren und Vorrichtungen zur Dichtheitsprüfung bekannt, bei denen Differenzdrucksensoren einen Druckverlust in einem Prüfteil, beispielsweise aufgrund eines Lecks, durch Vergleich mit dem Druck in einem dichten Referenzvolumen erfassen, wobei als Prüfmedium Druckluft eingesetzt wird. Diese bekannte Technologie ist fehleranfällig, beispielsweise bei Zerstörung der Differenzdruckzelle oder pneumatischem Kurzschluß, mit der Folge, daß an sich nicht dichte Prüfteile als dicht bewertet werden. Zur Vermeidung derartiger Fehler ist es bekannt, Dichtheitsprüfvorrichtungen mit Testlecks zu überprüfen, die zur Überprüfung eine zu detektierende Druck­ verlustrate erzeugen. Nachteilig bei diesen Anordnungen ist jedoch die aufwendige Verfahrensweise, die einen Dauerbetrieb wegen der Ver­ schmutzung und der Wertänderung des Testlecks nicht zuläßt und im übrigen in der Regel eine manuelle Bedienung erfordert.

Es ist ferner aus der Praxis bekannt, Verfahren und Vorrichtungen zur Dichtheitsprüfung vorzusehen, bei denen in jedem Prüfzyklus vor der eigentlichen Prüfung ein auf Atmosphärendruck befindliches Testvolumen über ein Ventil dem Prüfvolumen zugeschaltet wird, wodurch ein definierter Druck­ verlust erzeugt wird, der von dem Drucksensor zu erfassen ist. Insbesondere bei Einsatz eines Differenzdrucksensors versagt diese Methode, da der Druck­ verlust oft wesentlich größer ist als der Meßbereich einer typischen Differenz­ druckmeßzelle.

DE 22 38 392 A1 beschreibt eine Einrichtung zum Prüfen der Dichtheit eines Prüfteils, bei der einem als Differenzdrucksensor ausgebildeten Drucksensor einerseits ein Referenzvolumen und andererseits ein Prüfvolumen zugeordnet ist, die über ein Füllventil und einen Druckregler auf einen Ausgangsdruck gebracht werden können. In dem Referenzvolumen wird ein Gut-Teil eingelegt, in dem Volumen ein Prüf-Teil. Dem Volumen ist über ein Testventil ein Testvolumen zugeordnet; und entsprechend ist dem Referenzvolumen über ein Ventil ein anderes Testvolumen zugeordnet. Dem Testvolumen ist jeweils ein Zuschaltventil bzw. zugeordnet, die jedoch lediglich dazu dienen, die an beiden Seiten der Testvolumen angeordneten Ventile unter gleichem Druck zu halten.

Es ist die Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. eine Vorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 10 zu schaffen, die eine weitgehend automatisierte Überprüfung eines Drucksensors unabhängig von dessen Meßbereich ermöglichen.

Diese Aufgabe wird bei dem eingangs genannten Verfahren erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.

Diese Aufgabe wird bei der eingangs genannten Vorrichtung erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 10 gelöst.

Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht es, einen Test-Druckverlust zu schaffen, welcher in reproduzierbarer Weise und mit einfachen, leicht zu automatisierenden Schritten wesentlich näher als bisher an einen voreingestellten Prüfdruck herangebracht werden kann, wobei insbesondere die Druckdifferenz derart einstellbar ist, daß sie nicht über die Meßspanne eines Drucksensors bzw. eines Differenzdrucksensors hinausgeht. Hierdurch ist es vorteilhaft möglich, ausgehend von beliebigen Prüfteil- und Testvolumina wünschenswert kleine Druckdifferenzen einzustellen, die eine Meßspanne weder nennenswert über- noch unterschreiten.

Desweiteren ist es möglich, die Prüfung aufgrund der vorgegebenen Über­ drücke bzw. verschiedenen Volumina voreinzustellen und gegebenenfalls sogar zu variieren. Die eingestellten Schaltzahlen lassen sich somit nach der gewünschten Druckdifferenz einstellen, die für die jeweilige konkrete Anwendung bekannt ist.

Eine besonders einfache Einstellung der Druckdifferenz ist dann gegeben, wenn die beiden Volumina für Test- und Zuschaltvolumen, die hierzu vorgesehen werden, gleich groß sind, so daß die sich dort einstellende Druckdifferenz mit jedem durchgeführten Schaltschritt halbiert wird. Diese Anordnung ermöglicht insbesondere auch vorteilhaft das Approximieren eines eingestellten Differenzdrucks.

Durch das erfindungsgemäße Verfahren ist es möglich, eine gleichbleibende Standardausrüstung der Prüfgeräte mit demselben Ventilsatz vorzusehen, bei dem die Schaltzahl in Abhängigkeit von dem gewünschten Anwendungsfall und der damit einher gehenden Druckdifferenz justierbar sind, was bei einer automatisierten Prüfprozedur durch eine vergleichsweise geringe Änderung der Steuerungssoftware realisierbar ist.

Ferner werden bisher nicht beherrschbare Anwendungen, beispielsweise bei hohen Drücken und kleinen Prüfteilvolumen, durch eine entsprechend häufige Kaskadierung des eingestellten Differenzdrucks beherrschbar.

Das erfindungsgemäße Verfahren ist gleichermaßen für Differenz­ drucksensoren, Absolut-Drucksensoren und Überdrucksensoren einsetzbar.

Besonders vorteilhaft kann der Druck in einem Prüfteilvolumen oder in einem Referenzvolumen nach Schließen des Testventils wieder auf den dort herrschenden Ausgangsdruck erhöht werden.

Die zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens vorgesehene Vorrichtung ist vorzugsweise durch zwei Testvolumina charakterisiert, die einerseits gegen das Prüfvolumen und andererseits gegenseitig über je ein elektromagnetisch ansteuerbares Ventil abgedichtet werden können, wodurch auch andere Prozeduren bei der Überprüfung der Dichtheit in Betracht kommen.

Es ist vorteilhaft möglich, in einer Apparatur zur Messung der Dichtheit eines Prüfteils die erfindungsgemäße Vorrichtung einzubauen und zu betreiben, wobei in jedem Zyklus eine Prüfung des Drucksensors sowie eine Überprüfung der Verlustrate erfolgen.

Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung sowie aus den Unteransprüchen.

Die Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels näher erläutert.

Fig. 1 zeigt ein Schaltbild eines bevorzugten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Vorrichtung.

Fig. 2 zeigt ein vereinfachtes Schaltbild eines Dichtheitsprüfgeräts mit der Schaltung gemäß Fig. 1.

Fig. 3 zeigt schematisch den zeitlichen Verlauf der Ventilsteuerung und des Drucks bei mehrfacher Betätigung der Anordnung aus Fig. 1.

Bezug nehmend auf Fig. 2 erkennt man den prinzipiellen Schaltungsaufbau einer Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung eines Prüfteils, die vorliegend einen Differenzdrucksensor einsetzt. Es versteht sich, daß ebenso ein absoluter Drucksensor oder ein Überdrucksensor in Betracht kommt.

Die insgesamt mit Bezugszeichen 1 bezeichnete Vorrichtung umfaßt eine Druckluftquelle 2, die über einen Druckregler 3 an eine Schaltungsanordnung 4 anschließbar ist, um ein Prüfteilvolumen 5 und ein Referenzvolumen 6 sowie ggf. einen Testleckanschluß 7 mit einem voreinstellbaren Druck zu beaufschlagen. Das Prüfteilvolumen 5 und das Referenzvolumen 6 stehen beiderseits mit einem Differenzdruckmeßsensor 11 in Verbindung, der die Druckdifferenz zwischen den beiden Volumina 6, 5 angeben kann, wenn ein Zwei-Wege-Ventil 10 auf Sperren geschaltet ist. Das Prüfteilvolumen 5 und das Referenzvolumen 6 werden von der Druckluftquelle 2 bei Betätigung eines magnetisch oder pneumatisch ansteuerbaren Füllventils 8 beaufschlagt, wobei diesen ferner ein Entlüftventil 9 zugeordnet ist, das ebenfalls magnetisch oder pneumatisch ansteuerbar ist, welches eine Entlüftung der Schaltungs­ anordnung ermöglicht. Das Zwei-Wegeventil 10 ist zwischen dem Füllventil 8 und dem Entlüftventil 9 einerseits und den Prüfteilvolumen 5 und Referenz­ volumen 6 andererseits angeordnet, wobei in der einen Ventilstellung die beiden Volumina 5, 6 kurzgeschlossen sind und sich hierdurch - spätestens nach einer Einklingzeit - keine Druckdifferenz an dem Sensor 11 einstellt, und in der anderen, gesperrten Stellung des Zwei-Wegeventiles 10 die den Prüfteil­ volumina 5, 6 zugeordneten Leitungen voneinander getrennt sind, so daß zwei unterschiedliche Drucke auf den Differenzdrucksensor 11 einwirken können. Der Schaltungsanordnung 4 ist ferner ein Druckaufnehmer 12a zugeordnet, sowie weitere, hier nicht im einzelnen dargestellte Teile.

Man erkennt, daß im Unterschied zu dem Referenzvolumen 6 der Testleckanschluß 7 einseitig mit dem Prüfteilvolumen 5 in Verbindung steht, wenn das Zwei-Wegeventil 10 geschlossen ist und die Verbindung zwischen dem Prüfteilvolumen 5 und Referenzvolumen 6 trennt. Es ist möglich, einen Testleckanschluß so anzuordnen, daß er mit dem Referenzvolumen verbunden ist, oder die beiden Möglichkeiten zu kombinieren.

Bezug nehmend auf Fig. 1 ist die Schaltungsanordnung zur Testvolumen­ kaskadierung, die in Fig. 2 mit Bezugszeichen 7 bezeichnet ist, genauer dargestellt.

Die Schaltungsanordnung umfaßt eine erstes Testventil 12, ein Testvolumen 13, ein Zuschaltventil 14 und ein Zuschaltvolumen 15. Die beiden Ventile 12, 14 sind vorzugsweise elektromagnetisch oder pneumatisch ansteuerbar und mit einer (nicht dargestellten) Steuerung verbunden, die die Ventile 12, 14 abwechselnd betätigt, wie weiter unten noch näher erläutert wird. Die Volumina des Testvolumens 13 und des Zuschaltvolumens 15 sind identisch, wodurch in besonders einfacher Weise die Berechung eines sich durch das nachstehend skizzierte Verfahren einstellenden Differenzdrucks, der durch den Differenz­ drucksensor 11 zu erfassen ist, ergibt. Es ist möglich, die Volumina verschieden zu wählen oder noch ein weiteres Zuschaltvolumen mit einzubeziehen.

Fig. 3 zeigt als Zustands-Zeitdiagramm die Betätigungsfolge des Ventils 12 bzw. des Ventils 14 und den sich im Testvolumen 13 einstellenden Druck. Die in dem oberen Betätigungs-Zeitdiagramm (a) dargestellten Auslenkungen stellen die Zeiträume dar, während derer das Testventil 12 geöffnet wird, die in dem mittleren Diagramm (b) dargestellten Auslenkungen stellen die Zeiträume dar, während derer das Zuschaltventil 14 betätigt wird, und in dem unteren Diagramm (c) ist der absolute Druck in dem Testvolumen 13 abgebildet. Man erkennt, daß bei Verbindung des Testvolumens 13 mit dem Zuschaltvolumen 15 der Druck im Testvolumen 13 jeweils abfällt, und bei Verbindung des Test­ volumens 13 mit dem Prüfteilvolumen 5 der Druck im Testvolumen 13 zunimmt.

Die Erfindung funktioniert nun wie folgt:
Zunächst wird die Schaltungsanordnung 4 auf einen Ausgangsdruck von beispielsweise 2 bar Überdruck aufgeladen, wodurch die an der Differenzdruckmeßzelle 11 anliegende Druckdifferenz gleich Null ist.

Die Tabellen 1 und 2 veranschaulichen die sich ergebenden Werte.

Bei der Berechnung der Werte in der Tabelle 1 bzw. in der Tabelle 2 ist ausgegangen worden von einem Prüfvolumen V₅ von 50 ml, einem Referenzvolumen V₆ von 10 ml, einem Testvolumen V₁₃ von 0,2 ml, einem Zuschaltvolumen V₁₅ von 0,2 ml, einem inneren Reservoirvolumen V_para1, das durch die Leitungen und dgl. entsteht, von 44,5 ml sowie ein weiteres parasitäres Differenzdruckkreisvolumen V_para2 von 3,1 ml. Die sich jeweils einstellenden Drücke ergeben sich aus den nachstehenden Gleichungen:

• A) Überdruck p_mix-I nach Schritt X_a (X-tes Laden des Testvolumens 13 mittels V₅)
  p₅.(V₅ + V_para1 + V₆) + p₁₃.V₁₃ = p_mix-I.(V₅ + V_para1 + V₆ + V₁₃)
• B) Überdruck p_mix-II nach Schritt X_b (X-tes Verknüpfen des Zuschaltvolumens 15 mit Testvolumen 13)
  p₁₃.V₁₃ + p₁₅.V₁₅ = p_mix-II.(V₁₃ + V₁₅)
• C) Überdruck p_mix-III nach Trennen von V₆ und V₅ und Verknüpfen von V₅ mit Testvolumen V₁₃ (eigentliche Sensorprüfung)
  p₅.(V₅ + V_para2) + p₁₃.V₁₃ = p_mix-III.(V₅ + V_para2 + V₁₃)

In den Gleichungen I-III bedeuten:
V₅ = Prüfteilvolumen
V₆ = Referenzvolumen
V₁₃ = Testvolumen 13
V₁₅ = Zuschaltvolumen 15
V_para1, V_para2 = parasitäre, durch entsprechende Schaltzustände der Hauptventile definierte Volumen, welche sich durch Ventileigenvolumina, Schlauchverbindungen und pneumatische Zusatzschaltkreise in der zugrundegelegten Ablaufphase (Füllphase bzw. Meßphase eines normalen Prüfzyklus) ergeben.
p₁₃ = Überdruck im Testvolumen 13
p₁₅ = Überdruck im Zuschaltvolumen 15
p₅ = Überdruck im Prüfteilvolumen 5
p₆ = Überdruck im Referenzvolumen 6
p_mix-I = thermisch eingeschwungener Überdruck nach Verbinden von (V₅ + V₆ + V_para2) mit V₁₃
p_mix-II = thermisch eingeschwungener Überdruck nach Verbinden von V₁₃ mit V₁₅
p_mix-III = thermisch eingeschwungener Überdruck nach Verbinden von (V₅ + V₆ + V_para2) mit V₁₃.

Durch die Betätigung der Ventile 12, 14 in der vorstehend skizzierten Weise wird bei der Variante gemäß Tabelle 1 nach dem Laden der Prüfteilvolumen V₅ und Referenzvolumen V₆ zunächst das Ventil 12 betätigt, und es stellt sich nach einer kurzen Einklingzeit ein Druckgleichgewicht zwischen dem Testvolumen 13 einerseits und dem Prüfteilvolumen 5, dem Referenzvolumen 6 und dem parasitären Volumen V_para1 andererseits ein. Sodann wird das Ventil 12 geschlossen und das Zuschaltventil 14 geöffnet, wodurch sich nach einer kurzen Einklingzeit ein Druckgleichgewicht zwischen dem Testvolumen 13 und dem Zuschaltvolumen 15 ergibt. Die beiden vorgenannten Schritte sind in Fig. 3 mit 1a und 1b bezeichnet. Wiederholt man nun diese Schritte, wie in Fig. 3 mit 2a, 2b; 3a, 3b bezeichnet, erhöht sich jeweils der Druck in dem Testvolumen 13, der sich dann bei Zuschalten des Zuschaltvolumen 15 wieder verringert. Auf diese Weise wird der Druck in dem Testvolumen 13 schrittweise allmählich erhöht, und die Druckdifferenz, die bei Zuschalten des unter erhöhtem Druck stehenden Testvolumens 13 im Prüfteilvolumen 5 eintritt, wird in kleinen Schritten allmählich derart kleiner, daß der Meßbereich der Differenzdruckzelle 11 erreicht wird.

Bei einer alternativen Variante wird nach jedem Schritt Xa das Prüfteilvolumen 5, das Referenzvolumen 6 und das parasitäre Volumen V_para1 wieder auf den Ausgangsdruck von hier z. B. 2 bar aufgeladen. Die Zahlenwerte für diese Variante sind in Tabelle 2 dargestellt. Bei beiden Varianten ist es erst vor dem letzten Betätigen der zu Testvolumen und Zuschaltvolumen gehörenden Ventile 12, 14 erforderlich, das Zwei-Wegeventils 10 zu schließen. Im Falle des Wiederaufladens kann - z. B. durch eine andere Ausgestaltung des Zwei- Wegeventils 10 - das Referenzvolumen 6 (das dann auf dem Ausgangsdruck von 2 bar verbleibt) und das Prüfteilvolumen 5 entkoppelt werden, so daß dann das Volumen V₆ in der vorstehenden Formel (I) außer Betracht bleibt. Ebenso ist eine alternative Ausgestaltung möglich, bei der nicht nur das Prüfteilvolumen 5 auf den Ausgangsdruck aufgeladen wird, sondern auch das Testvolumen 13. In diesem Fall nähert sich die durch mehrfaches Zuschalten des Zuschaltvolumens einstellende Druckdifferenz schneller Null an.

Die für eine zweckmäßige Überprüfung des Differerenzdrucksensors 11 erforderliche Anzahl von Schaltvorgängen der Ventile 12, 14 derart, daß die einzustellende Druckdifferenz in dessen Meßbereich liegt, läßt sich rechnerisch und im konkreten Einzelfall ermitteln.

Anhand der beigefügten Tabellen 1 und 2 ergeben sich die Druckdifferenzen nach n Schaltungsvorgängen der Ventile 12, 14. So ergibt sich beispielsweise bei dem Aufbau gemäß Tabelle 1 nach vier Schaltungsvorgängen eine Druckdifferenz von 46,5 Pascal, die es ermöglicht, einen Differenzdrucksensor 11 mit einem Meßbereich von bis zu 200 Pascal zuverlässig zu überprüfen. Bei der Anordnung gemäß Tabelle 2 ergibt sich nach 6 Schaltschritten eine Druckdifferenz 11,9 Pascal, die es ermöglicht, einen besonders empfindlichen Differenzdrucksensor mit einem Meßbereich von bis zu 200 bzw. 50 Pascal zu überprüfen.

Es ist somit möglich, ein Prüfteilvolumen 5 zu überprüfen, das deutlich größer ist als das zur Verfügung stehende Testvolumen 13. Insbesondere ist es möglich, flexibel einen Arbeitspunkt bzw. eine Druckdifferenz einzustellen, die in etwa in der Mitte des Meßbereichs des Sensors 11 liegt.

Die Erfindung ist vorstehend anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert worden, bei dem Testvolumen 13 und Zuschaltvolumen 15 dem Prüfteilvolumen 5 zugeschaltet waren. Ebensogut können diese beiden Test­ volumen 13 und Zuschaltvolumen 15 dem Referenzvolumen 6 zugeschaltet werden. Schließlich ist es auch möglich, jeweils eines der Testvolumen 13 und Zuschaltvolumen 15 jeweils einem der Prüfteilvolumen 5 und Referenzvolumen 6 zuzuordnen (mittels dann zweier Ventile 12), und die beiden Testvolumen 13 und Zuschaltvolumen 15 nach Bedarf über das Ventil 14 druckmäßig auszugleichen - oder auch nicht. Denn wenn Prüfteilvolumen 5 und Referenz­ volumen 6 sich nur geringfügig unterscheiden, und Testvolumen 13 und Zuschaltvolumen 15 jeweils eine bestimmte Proportion bzw. Abweichung einer Proportion zueinander aufweisen, dann kann vergleichsweise einfach eine Druckdifferenz zwischen Prüfteilvolumen 5 und Referenzvolumen 6 erzeugt werden.

Claims (21)

1. Verfahren zur Dichtheitsprüfung eines Prüfteils, bei dem zwischen den Prüfzyklen eine Prüfung eines Drucksensors (11) erfolgt, wobei ein Testvolumen (13) über ein Testventil (12) wenigstens einem dem Drucksensor (11) zugeordneten Volumen (5; 6) zuschaltbar ist, dadurch gekennzeichnet,
daß dem Testvolumen (13) ein Zuschaltvolumen (15) über ein Zuschaltventil (14) zuschaltbar ist, und
daß das Testventil (12) und das Zuschaltventil (14) abwechselnd so oft geöffnet und wieder geschlossen werden, bis die Differenz zwischen dem Druck in dem wenigstens einen dem Drucksensor (11) zugeordneten Volumen (5; 6) vor und nach der letzten Betätigung des Testventils (12) kleiner als ein vorbestimmter Wert wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nach jeder Betätigung eines der beiden Ventile (12, 14) jeweils eine Wartezeit eingestellt wird, die zumindest so lange bemessen ist, daß ein ausreichend isothermer Zustand eingestellt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Wartezeit mehr als 100 Millisekunden beträgt.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Testvolumen (13) und das Zuschaltvolumen (14) gleich groß sind.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das das wenigstens eine dem Drucksensor (11) zugeordnete Volumen (5; 6) im Anschluß an den Druckausgleich mit dem Testvolumen (13) und nach Verschließen des Testventils (12) wieder auf einen erhöhten Druck, vorzugsweise den Ausgangsdruck, aufgeladen wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Drucksensor (11) ein Differenzdrucksensor ist.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Drucksensor (11) ein Absolutdrucksensor ist.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das wenigstens eine dem Drucksensor zugeordnete Volumen ein Prüfteilvolumen (5) einer Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung ist.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das wenigstens eine dem Drucksensor zugeordnete Volumen ein Referenzvolumen (6) einer Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung ist.

10. Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung eines Prüfteils, umfassend
einen Drucksensor (11),
ein mit dem Drucksensor (11) in Verbindung stehendes Volumen (5),
ein dem Volumen (5) zugeordnetes, über ein Ventil (12) zuschaltbares Testvolumen (13), das bei geschlossenem Ventil (12) von dem Drucksensor (11) abgetrennt ist, und
ein Zuschaltventil (14),
dadurch gekennzeichnet,
daß ein Zuschaltvolumen (15) vorgesehen, das dem Testvolumen (13) durch das Zuschaltventil (14) zuschaltbar ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Ventile (12, 14) über eine Steuerung alternierend ansteuerbar sind.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß in der Steuerung eine Zahl voreinstellbar ist, die der Häufigkeit der Bedienung der Ventile (12, 14) zu Prüfzwecken entspricht.

13. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerung Mittel umfaßt zum Aufladen des Prüfteilvolumens (5) auf einen erhöhten Druck, vorzugsweise den Ausgangsdruck, im Anschluß an den Druckausgleich mit dem Testvolumen (13) und nach Verschließen des Testventils (12) wieder aufgeladen wird.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 13, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Volumen des Testvolumens (13) und das Volumen des Zuschaltvolumens (15) übereinstimmen.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekenn­ zeichnet, daß eine Druckluftquelle (2) zum Aufladen eines Prüfteil­ volumens (5) und eines Referenzvolumens (6) vorgesehen ist, wobei wenigstens eines von Prüfteilvolumen (5) und Referenzvolumens (6) das mit dem Drucksensor (11) in Verbindung stehende Volumen (5) ist.

16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckluftquelle (2) über einen Druckregler (3) ansteuerbar ist.

17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß ein separates Füllventil (8) den Druckregler (3) von den Volumina und dem Drucksensor trennt.

18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 17, dadurch gekenn­ zeichnet, daß ein Entlüftungsventil (9) vorgesehen ist.

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 18, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Drucksensor (11) ein Differenzdrucksensor ist.

20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 18, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Drucksensor (11) ein Absolutdrucksensor ist.

21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß der Drucksensor (11) ein Überdrucksensor ist.