DE10043727A1 - Ablenkeinheit zur Lenkung eines Laserstrahls und Laserscanner - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Ablenkeinheit zur Lenkung eines Laserstrahls auf ein Medium mit wenigstens einem verstellbaren Ablenkspiegel, wobei der Ablenkspiegel als ein Strahlteiler ausgebildet ist, der eine Meßkomponente von dem Laserstrahl abtrennt und einer Meßeinrichtung zuführt. Die Erfindung sieht auch einen Laserscanner mit einer derartigen Ablenkeinheit vor, der zusätzlich eine Steuereinrichtung aufweist, welche den Laserstrahl abhängig von einem Ausgangssignal der Meßeinrichtung einstellt.

Description

Die Erfindung betrifft eine Ablenkeinheit zur Lenkung eines Laserstrahls auf ein Medium mit wenigstens einem verstellbaren Spiegel und einen Laserscanner, der eine solche Ablenkein­ heit enthält.

Ein Laserscanner zum Beschriften, Markieren, Schneiden oder anderweitigem Bearbeiten der Oberfläche eines Werkstücks weist häufig eine XY-Ablenkeinheit auf, die zwei entlang ihrer Längsachse drehbaren Spiegel umfaßt, welche von Servomotoren, oder sogenannten Galva­ nometerscannern, angetrieben werden. Die Spiegel werden als X- und Y-Spiegel bezeichnet, weil sie einen Laserstrahl in Richtung einer X- bzw. einer Y-Achse ablenken können. Ein Laserstrahl, der in die Ablenkeinheit eintritt, wird zunächst auf den verstellbaren X-Spiegel gerichtet, der den Laserstrahl auf den ebenfalls verstellbaren Y-Spiegel ablenkt, der seiner­ seits den Laserstrahl in Richtung der Zieloberfläche lenkt. Durch Drehen des X- und des Y- Spiegels kann der Laserstrahl über die Werkstückoberfläche gescannt werden.

Eine solche XY-Ablenkeinheit des Standes der Technik ist in Fig. 1 gezeigt, in der ein La­ serstrahl mit dem Bezugszeichen 10 bezeichnet ist. Die Ablenkeinheit umfaßt zwei drehbare Spiegel 12 und 14, die von Servomotoren 11, 13 genau positioniert werden können und deren Drehachsen zueinander im rechten Winkel stehen. Durch die Drehung der Spiegel 12, 14 kann der austretende Laserstrahl 10 in zwei Richtungen abgelenkt werden, die in der Fig. 1 mit X und Y bezeichnet sind.

Fig. 2 zeigt in einer schematischen Blockdarstellung einen Laserscanner des Standes der Technik, der eine Ablenkeinheit, wie die in Fig. 1 gezeigte, enthält. Der Laserscanner er­ zeugt einen Laserstrahl aus einer Laserquelle 1, wobei der Laserstrahl über optische Strahl­ formungskomponenten 2 in die Ablenkeinheit 3 geführt wird, die den Laserstrahl über einen Oberflächenbereich des Werkstücks 4 scannt. Dem Fachmann sind aus dem Stand der Tech­ nik Ablenkeinheiten zum Ablenken eines gebündelten Laserstrahls mit Hilfe von bewegten Spiegeln grundsätzlich bekannt.

Zusätzlich zu der räumlichen Ablenkung des Laserstrahls muß dieser für die Bearbeitung ei­ ner Oberfläche in der Regel auch zeitlich sowie hinsichtlich verschiedener Laserstrahlpara­ meter gesteuert werden. Solche steuerbaren Laserparameter sind z. B. die Impulsleistung, die Laserleistung, die Leistungsdichte, die Polarität, die Wellenlänge, die Richtung, die Diver­ genz oder die Polarisation. Für die Steuerung der Laserstrahlparameter ist es notwendig, die Eigenschaften des Laserstrahls, die im Laufe der Zeit variieren können, womöglich kontinu­ ierlich zu überwachen. Sensoren, die sich für die Messung solcher variabler Laserstrahlpara­ meter eignen, müssen in der Regel von dem Laserstrahl oder einem Teil davon beaufschlagt werden. Um eine kontinuierliche Überwachung oder Messung der Laserstrahlparameter zu ermöglichen, sollte die optische Meßsensorik möglichst so gestaltet werden, daß die Messung der Laserstrahlparameter zu jeder Zeit während eines Bearbeitungsprozesses, ohne Rückwir­ kung auf den Prozeß, erfolgen kann.

Typische Sensoren für Laserstrahlparameter basieren auf dem photoelekrischen Effekt, gemäß dem Lichtenergie in elektrische Energie umgewandelt wird.

In Fig. 3 ist in einer schematischen Blockdarstellung gezeigt, wie der Laserscanner der Fig. 2 modifiziert werden kann, um Laserstrahlparameter zu messen. In Fig. 3 wird der von der Laserquelle 1 erzeugte Laserstrahl am Ausgang der Laserquelle durch einen Strahlteiler 5 in eine Laserstrahl-Meßkomponente 8 und eine Laserstrahl-Nutzkomponente 10 aufgeteilt. Die Laserstrahl-Nutzkomponente wird, wie zuvor in Fig. 2, über die optischen Komponenten 2 und die Ablenkeinheit 3 auf die Oberfläche des Werkstücks 4 gerichtet. Die Meßkomponente 8 des Laserstrahls wird auf eine Meßsensorik gerichtet, die einen Sensor 7, z. B. eine Photo­ diode, und optional eine vorgeschaltete optische Strahlformungsoptik 6 umfaßt. Das Aus­ gangssignal des Sensors 7 liefert eine Anzeige eines Laserstrahlparameters der Nutzkompo­ nente 8, wobei durch den Aufbau der Meßsensorik 6, 7 bestimmt wird, welcher Laserstrahlpa­ rameter gemessen wird.

Die US-A-4 775 220 zeigt ein ähnliches optisches Lasersystem, in dem ein Laserstrahl über mehrere einstellbare Spiegel auf ein Target gerichtet wird. Das optische Lasersystem umfaßt eine Rückkopplungsregelung der Impulsenergie eines gedämpften Laserimpulses, wobei zwi­ schen der Laserquelle und dem Target von dem Laserstrahl zweimal, jeweils mittels eines Brewster-Fensters, eine Meßkomponente abgetrennt und auf eine Photodiode gelenkt wird. Die beiden Photodioden erzeugen abhängig von der auf sie auftreffenden Meßkomponente ein Synchronisierungssignal sowie ein weiteres elektrisches Signal, wobei beide Meßsignale einer Rückkopplungselektronik zugeführt werden, welche die Dämpfung des Laserstrahls regelt.

Die Lösungen des Standes der Technik haben den Nachteil, daß wenigstens ein zusätzliches optisches Element in Form eines Strahlteilers in den Weg des Laserstrahls eingefügt werden muß, um die Meßkomponente abzutrennen und zu dem Sensor zu führen. Für viele Laser­ scanner ist es jedoch entscheidend, daß die Strahlführung und insbesondere der Scannerkopf so kompakt wie möglich und insbesondere mit möglichst wenigen optischen Komponenten ausgeführt ist. Der zusätzliche Strahlteiler zur Abtrennung der Meßkomponente des Laser­ strahl widerspricht dem Wunsch nach einem kompakten und kostengünstigen Aufbau von Laserscannern mit geringem Gewicht. Ein weiterer Nachteil des zusätzlichen optischen Ele­ mentes ist, daß jede Strahlteilung einen zusätzlichen Leistungsverlust und unter Umständen auch eine zusätzliche Schwachstelle des gesamten optischen Systems mit sich bringt. Selbst wenn ein in der Laserstrahlführung bereits vorhandener Umlenkspiegel zusätzlich als Strahl­ teiler verwendet wird, macht Fig. 3 das verbleibende Problem deutlich, daß sich die Meßsen­ sorik nicht ohne weiteres in die Strahlführung integrieren läßt.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die oben erläuterten Nachteile der Laser­ scanner des Standes der Technik zu überwinden und eine Erfassung von Laserstrahlparame­ tern in einem kompakten Laserscanner mit einem Minimum an zusätzlichen optischen Kom­ ponenten zu ermöglichen.

Diese Aufgabe wird durch eine Ablenkeinheit zur Lenkung eines Laserstrahls mit den Merk­ malen von Anspruch 1 sowie durch einen Laserscanner mit den Merkmalen von Anspruch 13 gelöst.

Die Erfindung basiert auf der Überlegung, die Abtrennung der Meßkomponente des Laser­ strahls in der Ablenkeinheit des Laserscanners, unter Ausnutzung der darin vorhandenen Ab­ lenkelemente, vorzunehmen. Dies hat den doppelten Vorteil, daß keine zusätzlichen Bauteile zur Teilung des Laserstrahls in Meß- und Nutzkomponenten notwendig sind und daß die Messung der Laserstrahlparameter in einem Bereich der Laserstrahlführung vorgenommen wird, der sehr nahe bei der zu bearbeitenden Werkstückoberfläche und liegt und somit pro­ zeßnah ist.

Die Erfindung sieht hierfür eine Ablenkeinheit zur Lenkung eines Laserstrahls auf ein Medi­ um mit wenigstens einem verstellbaren Spiegel vor, bei welcher der verstellbare Spiegel als ein Strahlteiler ausgebildet ist, der eine Meßkomponente von dem Laserstrahl abtrennt und einer Meßeinrichtung zuführt.

Erfindungsgemäß wird somit ein in der Strahlführung bereits vorhandener Umlenkspiegel als Strahlteiler eingesetzt, so daß zur Abtrennung der Meßkomponente des Laserstrahls kein zu­ sätzliches optisches Element benötigt wird. Hierzu wird der verstellbare Ablenkspiegel teil­ weise transparent ausgebildet, wobei der Spiegel eine Lichtdurchlässigkeit von 0,01% bis 5% und insbesondere von 0,1% bis 1% aufweist, um einen bekannten Anteil des Laser­ strahls als Meßkomponente abzutrennen und der Meßeinrichtung zuzuführen, die in der Aus­ breitungsrichtung des Laserstrahls hinter dem teildurchlässigen Ablenkspiegel angeordnet ist.

Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Meßeinrichtung, und insbesondere der Meßsensor, in die Ablenkeinheit integriert, so daß keine aufwendige Strahl­ führung der Meßkomponente zur Meßeinrichtung notwendig ist. Dadurch wird ein besonders kompakter Aufbau der Ablenkeinheit mit der integrierten Meßsensorik erreicht, wobei die optischen und mechanischen Schnittstellen der Ablenkeinheit unverändert bleiben und wie im Stand der Technik üblich ausgebildet sein können.

Die erfindungsgemäße Anordnung der Meßsensorik in oder in der Nähe der Ablenkeinheit hat den weiteren Vorteil, daß es wegen der relativ großen Nähe zu dem Bearbeitungsprozeß, un­ mittelbar bevor der Laserstrahl auf die zu bearbeitende Oberfläche gerichtet wird, weniger leicht zu Verfälschungen der Meßdaten, beispielsweise durch einen Leistungsverlust im opti­ schen System, kommt. Durch die Verwendung eines bereits in der Strahlführung vorhandenen Spiegels wird kein zusätzliches optisches Element als Strahlteiler benötigt.

Wenn die Meßeinrichtung in die Ablenkeinheit integriert ist, wird nicht nur eine besonders kompakte Bauweise erreicht, sondern es werden auch weitere konstruktive Aufgaben, wie Schutz der optischen Bauteile vor Staub, Schutz der Umgebung vor austretendem Laserlicht, mechanische Stabilität und Schutz vor Temperaturschwankungen in der Umgebung, in dem Maße gelöst, wie sie im Rahmen der bereits vorhanden Ablenkeinheit bereits adäquate Lö­ sungen erfahren haben. Ein weiterer, bei der Anwendung der Laserscanner zur Bearbeitung von Oberflächen sehr wichtiger Vorteil der Erfindung besteht darin, daß die Ablenkeinheit in ihren äußeren Abmessungen und insbesondere an ihren mechanischen und optischen Schnitt­ stellen zur Laserquelle und zum Prozeß identisch mit den heute bereits bekannten und ver­ wendeten Ablenkeinheiten sein kann.

Die Erfindung ist im folgenden anhand bevorzugter Ausführungsform mit Bezug auf die Zeichnungen näher erläutert. In den Figuren zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer XY-Ablenkeinheit gemäß dem Stand der Technik;

Fig. 2 eine schematische Blockdarstellung eines Laserscanners gemäß dem Stand der Technik;

Fig. 3 eine schematische Blockdarstellung eines Laserscanners mit Meßsensorik gemäß dem Stand der Technik;

Fig. 4 eine schematische Darstellung einer ersten Ausführungsform einer XY- Ablenkeinheit gemäß der Erfindung, die in dem Laserscanner der Fig. 2 verwen­ det werden kann; und

Fig. 5 eine schematische Darstellung einer zweiten Ausführungsform einer XY- Ablenkeinheit gemäß der Erfindung, die in dem Laserscanner der Fig. 2 verwen­ det werden kann.

Fig. 4 zeigt eine erste Ausführungsform der erfindungsgemäßen Ablenkeinheit, welche an Stelle der Ablenkeinheit 3 der Fig. 1 in dem Laserscanner der Fig. 2 eingesetzt werden kann.

Die Ablenkeinheit der Fig. 4 umfaßt zwei drehbare Spiegel 12, 14, die von Servomotoren, 11, 13, die auch als Galvanometerscanner bezeichnet werden, hochpräzise positioniert werden können und deren Drehachsen zueinander im rechten Winkel stehen. Durch die Drehung der Spiegel 12, 14 kann ein Laserstrahl 15 in zwei Richtungen, die in Fig. 1 als X und Y be­ zeichnet sind, abgelenkt werden, um über die Oberfläche eines Werkstücks zu scannen.

Bei der in Fig. 4 gezeigten Ausführungsform ist der erste Spiegel 12 aus einem geeigneten Material hergestellt, z. B. aus Quarzglas, so daß er für die Wellenlänge des Laserstrahls, z. B. eines Neodym YAG-Lasers (mit einer Wellenlänge von 1064 mm) eine genau definierte Transparenz von beispielsweise 0,1% hat. Wichtig ist dabei, daß die Transparenz des Spie­ gels für eine bestimmte Winkelstellung des Spiegels zur Ausbreitungsrichtung des Laser­ strahls und für eine bestimmte Laserstrahlwellenlänge bekannt ist. Für unterschiedliche Laser, die Strahlen in anderen Wellenlängenbereichen emittieren, werden entsprechend andere ge­ eignete Materialien für den Spiegel gewählt. Die gewünschte Transparenz des Spiegels kann auch durch eine geeignete Beschichtung, z. B. aus dielektrischen Schichtsystemen, erhalten werden.

Die Transparenz des Spiegels sollte üblicherweise in einem Bereich von 0,005% bis 5% und vorzugsweise in einem Bereich von 0,1% bis 1% liegen und, wie bereits erwähnt, be­ kannt sein, um immer einen gleichen, genau definierten Anteil des Laserstrahls als Meßkom­ ponente abzutrennen. Die übrigen, im Stand der Technik üblichen Qualitätsmerkmale eines geeigneten Laserspiegels, wie gute Planarität, geringes Gewicht, hohe Zerstörungsschwell­ temperatur, gelten selbstverständlich auch für die Spiegel 12 und 14 der erfindungsgemäßen Ablenkeinheit.

In Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls 15 hinter dem ersten (X) Ablenkspiegel 12 ist eine strahlformende Einheit 21 angeordnet, die beispielsweise eine Linse und gegebenenfalls wei­ tere optische Bauteile enthält, um die Meßkomponente 20 des Laserstrahls auf einen Sensor 22, beispielsweise einen elektronischen Positionsdetektor, zu fokussieren. Wenn sich während des Betriebs die Richtung des einfallenden Laserstrahls 15 verändert, folgt hieraus eine Ver­ schiebung des Fokuspunktes der Meßkomponente, was von dem Positionsdetektor 22 erfaßt werden kann. Dadurch kann ein Rückkopplungssignal in bezug auf die Position des einfallen­ den Laserstrahls 15 an eine Steuereinrichtung (nicht gezeigt) übermittelt werden, welche den Laserstrahl 15 gegebenenfalls entsprechend korrigiert wird. Eine Drehung des planparallelen (X) Spiegels 12 verursacht dagegen bei geeigneter Materialwahl keine Fokusverschiebung.

Die in Fig. 5 gezeigte Ausführungsform der Ablenkeinheit unterscheidet sich von der Fig. 4 darin, daß nicht der erste (X) Spiegel 12 sondern der zweite (Y) Spiegel 14 teil-transparent ausgebildet ist. Ähnlich wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel wird durch eine geeignete Wahl des Materials oder eine Beschichtung eine gewünschte, genau definierte Transparenz des zweiten drehbaren Spiegels 14 eingestellt. In Ausbreitungsrichtung des Laserstrahls hinter dem Spiegel 14 ist bei dem zweiten Ausführungsbeispiel eine integrierende optische Einheit 24 angeordnet, welche im wesentlichen die gesamte Leistung der Meßkomponente 23 des Laserstrahls auffängt, integriert und homogenisiert, und zwar unabhängig von der Stellung des ersten Spiegels 12 und des zweiten Spiegels 14. Als integrierende optische Einheit 24 kann beispielsweise eine Ulbricht'sche Kugel (integrating sphere) vorgesehen werden, die gegebenenfalls durch weitere optische Komponenten ergänzt ist, mit denen die lichtempfind­ liche Oberfläche eines Senors 25 mit guter Gleichmäßigkeit homogen beleuchtet wird. Der Sensor kann z. B. ein Photodiodendetektor sein, der ein der Intensität des einfallenden Laser­ strahls entsprechendes elektrisches Signal abgibt. Wenn sich während des Betriebs die Lei­ stung des einfallenden Laserstrahls 15 ändert, wird diese Leistungsänderung von dem Lei­ stungssensor 25 erfaßt.

Die Erfindung sieht somit eine Ablenkeinheit mit in die Ablenkeinheit integrierter Meßein­ richtung vor, in der ein in der Ablenkeinheit befindlicher Umlenkspiegel zusätzlich als Strahlteiler genutzt wird. Wenn, wie bei den dargestellten Ausführungsformen, einer der ver­ stellbaren Ablenkspiegel, welche den Laserstrahl auf die Oberfläche des zu bearbeitenden Werkstücks richten, als Strahlteiler verwendet wird, hat dies den zusätzlichen Vorteil, daß die Meßkomponente im wesentlichen dem auf das Werkstück auftreffenden Laserstrahl ent­ spricht, so daß es nicht zu Verfälschungen der Meßdaten, beispielsweise durch einen Lei­ stungsverlust im optischen System, kommt. Vorzugsweise ist die Meßsensorik 22, 25 in die Ablenkeinheit integriert, wobei sie einen Sensor zur Erfassung der Leistung, Wellenlänge, Richtung, Divergenz, Polarisation und anderer Parameter des Laserstrahls aufweisen kann. Ebenfalls bevorzugt ist der Meßsensorik 22, 25 eine optische Einheit 21, 24 vorgeschaltet, die aus einer Vielzahl von abbildenden, integrierenden, beugenden, brechenden, filternden oder anderen strahlformenden Optiken ausgewählt sein kann.

Die Leistung der Meßkomponente 20, 23 des Laserstrahls 15 ist üblicherweise kleiner als ein zehntel vorzugsweise kleiner als ein hundertstel der Leistung des einfallenden Laserstrahls. Somit können die Anforderungen an die Materialeigenschaften der Meßeinrichtungen 22, 25 und der vorgeschalteten optischen Einheiten 21, 24 geringer sein als bei einem Strahlteiler oder Laserspiegel, auf den der Laserstrahl 15 auftrifft. Dies betrifft beispielsweise die Zerstö­ rungsschwelle oder die Lichtabsorption der Meßeinrichtung und der optischen Einheiten. Es ist z. B. möglich, durch die Verwendung von Kunststoff-Optiken auch komplexe Einheiten kompakt und kostengünstig herzustellen. Es ist auch möglich, die Meßkomponente 20, 23 des Laserstrahls über einen Lichtwellenleiter oder ein anderes optisches System (nicht gezeigt) an einen weiter entfernten Sensor zu führen. In diesem Fall müßte die Meßeinrichtung nicht notwendig in die Ablenkeinheit integriert sein.

Wenn jedoch die Meßeinrichtung in die Ablenkeinheit integriert ist, wie bei den gezeigten bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung, ergeben sich besondere konstruktive Verein­ fachungen. Beispielsweise wird der Notwendigkeit, die optische Meßsensorik licht- und staubdicht abzuschließen, die sich aus Gründen der Lasersicherheit und der Unterdrückung von störendem Fremdlicht bei den Messungen ergibt, innerhalb einer abgeschlossenen Ablen­ keinheit relativ einfach Rechnung getragen. Ähnlich besteht die Möglichkeit, für die elektri­ sche Versorgung der Meßsensorik und die Führung der Meßsignale auf vorhandene elektroni­ sche Bauteile in der Ablenkeinheit zurückzugreifen.

Wie eingangs erläutert, sollte ein Laserstrahl für die Bearbeitung einer Oberfläche, beispiels­ weise durch Beschriften, Markieren, Schneiden etc., zeitlich gesteuert sowie hinsichtlich ver­ schiedener Laserstrahlparameter geregelt werden. Solche regelbaren Laserparameter sind z. B. die Impulsleistung, die Laserleistung, die Leistungsdichte, die Polarität, die Wellenlänge, die Richtung, die Divergenz oder die Polarisation. Für die Regelung dieser Laserstrahlparameter wird die oben erläuterte Messung der Eigenschaften des Laserstrahls mittels der erfindungs­ gemäßen, in die Ablenkeinheit integrierten Meßsensorik verwendet. Abhängig von den Me­ ßergebnissen können die Laserstrahlparameter auf verschiedene Weise beeinflußt werden.

Es kann z. B. eine steuerbare Laserstrahlquelle vorgesehen werden, die Laserstrahlen mit un­ terschiedlicher Impulsleistung, Leistungsdichte, Polarität oder Wellenlänge erzeugt und aus­ gibt. Es können zusätzlich oder alternativ steuerbare optische Elemente vorgesehen werden, welche die Leistung, Polarität, Richtung, Divergenz, Polarisation oder andere Eigenschaften des Laserstrahls beeinflussen können. Zur Einstellung der Laserleistung eignet sich z. B. eine Polarisationssteuereinrichtung aus zwei drehbaren Brewster-Fenstern, die von 0 bis 90 Grad um die Achse des Laserstrahls gedreht werden, wie sie in der GB 0 006 632.0 beschrieben ist.

Die in der vorstehenden Beschreibung, den Figuren und den Ansprüchen offenbarten Merk­ male können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausführungsformen von Bedeutung sein.

Claims (15)

1. Ablenkeinheit zur Lenkung eines Laserstrahls (15) auf ein Medium (4) mit wenigstens einem verstellbaren Ablenkspiegel (12; 14), wobei der Ablenkspiegel (12; 14) als ein Strahlteiler ausgebildet ist, der eine Meßkomponente (20; 23) von dem Laserstrahl (15) abtrennt und einer Meßeinrichtung (22; 25) zuführt.

2. Ablenkeinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Ablenkspiegel (12; 14) teilweise transparent und für die Meßkomponente (20; 23) des Laserstrahls (15) durchlässig ist, wobei die Meßkomponente (20; 23) nach dem Durchtritt durch den Spie­ gel (12; 14) auf die Meßeinrichtung (22; 25) auftrifft.

3. Ablenkeinheit nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Ablenkspiegel (12; 14) eine Lichtdurchlässigkeit von 0,01% bis 5%, insbesondere 0,1% bis 1% aufweist, um einen bekannten Anteil des Laserstrahls (15) als Meßkomponente (20; 23) abzutren­ nen.

4. Ablenkeinheit nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung (22; 25) in die Ablenkeinheit integriert ist.

5. Ablenkeinheit nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Meßeinrichtung (22; 25) einen photoelektrischen Sensor aufweist.

6. Ablenkeinheit nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung (22; 25) einen Sensor zur Erfassung der Leistung, Wellenlänge, Richtung, Divergenz und/oder Polarisation der Meßkomponente (20; 23) des Laserstrahls (15) aufweist.

7. Ablenkeinheit nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßein­ richtung eine optische Einheit (21; 24) aufweist, die zwischen das Ablenkelement (12; 14) und den Sensor (22; 25) eingefügt ist.

8. Ablenkeinheit nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Einheit (21; 24) ein integrierendes, strahlformendes, abbildendes, beugendes, brechendes und/oder filterndes optisches Element aufweist.

9. Ablenkeinheit nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Einheit (21; 24) einen Lichtwellenleiter aufweist.

10. Ablenkeinheit nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ein Gehäuse, das die Ablenkeinheit und die Meßeinrichtung umgibt.

11. Ablenkeinheit nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch wenigstens einen zweiten verstellbaren Ablenkspiegel (12, 14), wobei der erste und der zweite Ablenkspiegel (12, 14) eine XY-Ablenkeinheit bilden.

12. Ablenkeinheit nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch wenigstens zwei Servo­ motoren oder Glavanometerscanner (11, 13) zur Ansteuerung jeweils der verstellbaren Ablenkspiegel (12, 14).

13. Laserscanner mit einer Ablenkeinheit nach einem der Vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Steuereinrichtung, welche den Laserstrahl (15) abhän­ gig von einem Ausgangssignal der Meßeinrichtung einstellt.

14. Laserscanner nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch eine steuerbare Laser­ strahlquelle (1).

15. Laserscanner nach Anspruch 13 oder 14, gekennzeichnet durch ein steuerbares optische Element, das die Laserimpulsleistung und/oder die Leistungsdichte des Laser­ strahl (15)s einstellt.