DE10035688B4 - Optische Anordnung - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 22
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims abstract description 44
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 37
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 19
- 230000032258 transport Effects 0.000 abstract 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 11
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000004621 scanning probe microscopy Methods 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/082—Condensers for incident illumination only
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
Optische Anordnung zum Scannen eines Objektes, mit einer Beleuchtungslichtquelle (1) und einer zwischen der Beleuchtungslichtquelle (1) und dem Objekt angeordneten Glasfaser (3), die das Beleuchtungslicht (14) entlang einer vorgebbaren Strecke zu einer Scanspiegelanordnung (9) transportiert, dadurch gekennzeichnet, dass zur Konstanthaltung der Intensität des von der Scanspiegelanordnung (9) abgehenden Scanstrahls die Scanspiegelanordnung (9) mit einer vorgegebenen Polarisation des Beleuchtungslichtes (14) beaufschlagbar ist, wobei diese Polarisation unabhängig von der Polarisation des in die Glasfaser (3) eingespeisten Beleuchtungslichtes (14) durch die Glasfaser (3) festgelegt ist und diese somit als polarisierende Glasfaser (3) ausgebildet ist.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Anordnung zum Scannen eines Objektes, mit einer Beleuchtungslichtquelle und einer zwischen der Beleuchtungslichtquelle und dem Objekt angeordneten Glasfaser, die das Beleuchtungslicht entlang einer vorgebbaren Strecke zu einer Scanspiegelanordnung transportiert.
- Optische Anordnungen der eingangs genannten Art sind aus der Praxis bekannt und existieren insbesondere in Form von Mikroskopen. Derartige Mikroskope können durch konfokale Scanmikroskope gebildet sein. In der Scanmikroskopie wird eine Probe oder ein Objekt mit einem Beleuchtungslichtstrahl abgerastert. Hierzu werden häufig Laser als Lichtquelle eingesetzt. Das Beleuchtungslicht der Laser wird oft mit Glasfasern zur Mikroskopoptik transportiert. Das vom Laser erzeugte Beleuchtungslicht ist fast immer linear polarisiert, da meistens mindestens ein Brewsterfenster im Laserresonator angeordnet ist. Bei Halbleiterlasern findet der Elektronenübergang nur senkrecht zur p-n-Grenzschicht statt, so dass auch hier linear polarisiertes Licht resultiert.
- Speziell in der konfokalen Scanmikroskopie wird eine Probe oder ein Objekt mit dem Fokus des Beleuchtungslichtstrahls in drei Dimensionen abgetastet. Ein konfokales Rastermikroskop umfasst im Allgemeinen eine Lichtquelle, eine Fokussieroptik, mit der das Licht der Lichtquelle auf eine Lochblende – die sogenannte Anregungsblende – fokussiert wird, einen Strahlteiler, eine Scaneinrichtung zur Strahlsteuerung, eine Mikroskopoptik, eine Detektionsblende und die Detektoren zum Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichts. Das Beleuchtungslicht wird meist über einen Hauptstrahlteiler eingekoppelt. Das von der Probe oder dem Objekt kommende Fluoreszenz- oder Reflexionslicht gelangt über dieselbe Scaneinrichtung bzw. dieselben Scanspiegel zurück zum Strahlteiler bzw. Hauptstrahlteiler und passiert diesen, um anschließend auf die Detektionsblende fokussiert zu werden, hinter der sich die Detektoren, meist Photomultiplier, befinden. Detektionslicht, das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so dass man eine Punktinformation erhält, die durch sequentielles Abtasten der Probe oder des Objekts zu einem dreidimensionalen Bild führt. Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddatennahme erzielt.
- Aus der
US 5 161 053 ist ein konfokales Mikroskop bekannt, bei dem Licht einer externen Lichtquelle mit Hilfe einer Glasfaser zum Strahlengang des Mikroskops transportiert wird und das Ende der Glasfaser als Punktlichtquelle dient, so dass eine mechanische Blende überflüssig ist. - Die Reflexivität bzw. Transmissivität von Strahlteilern und die Reflexivität von Scanspiegeln ist im Allgemeinen polarisationsabhängig. Auch hochwertige Strahlteiler können hinsichtlich einer Polarisationsunabhänigkeit nicht vollständig optimiert werden, so dass immer Unterschiede des Reflexions- und Transmissionsverhaltens bezüglich s- und p-Polarisation auftreten. Wenn die Richtung der Linearpolarisation des Beleuchtungslichtstrahls schwankt, was insbesondere bei der Einkopplung des Lichts mit einer Glasfaser häufig auftritt, so kommt es zu störenden Beleuchtungslichtschwankungen an der Probe oder dem Objekt und folglich auch zu Detektionslichtschwankungen. Die Schwankung oder Drehungen der Linearpolarisation in einer Monomode-Glasfaser sind auf mechanische Bewegungen der Faser zurückzuführen, die eine Spannungsdoppelbrechung hervorrufen.
- Mit Hilfe von polarisationserhaltenden Fasern lässt sich dieses Problem beseitigen, wobei sich eine neue Problematik dahingehend ergibt, dass die Linearpolarisation des Laserlichts bei der Einkopplung in die Faser die richtige Orientierung zur Faservorzugsachse haben muss. Relativbewegungen zwischen Laser und Faser führen folglich auch zu Änderungen der Transmission durch die Faser, was unter anderem die optische Justierung erschwert.
- Aus der
DE 198 29 981 A1 ist eine gattungsbildende optische Anordnung bekannt. Von einer Beaufschlagung des Scanspiegels mit polarisiertem Licht unter Beibehaltung der Polarisationsebene ist dort jedoch nicht die Rede. - Die
DE 297 12 145 U1 zeigt für sich eine polarisierende Glasfaser zur spektralen Verbreiterung von Laserpulsen. - Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine optische Anordnung der eingangs genannten Art anzugeben, bei der Schwankungen der Beleuchtungslichtleistung ohne eine Erschwernis bei der optischen Justierung der Anordnung auf einfache Weise weitestgehend vermieden sind.
- Erfindungsgemäß ist die voranstehende Aufgabe durch eine optische Anordnung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Danach ist die optische Anordnung der eingangs genannten Art derart ausgestaltet und weitergebildet, dass zur Konstanthaltung der Intensität des von der Scanspiegelanordnung abgehenden Scanstrahls die Scanspiegelanordnung mit einer vorgegebenen Polarisation des Beleuchtungslichtes beaufschlagbar ist, wobei diese Polarisation unabhängig von der Polarisation des in die Glasfaser eingespeisten Beleuchtungslichtes durch die Glasfaser festgelegt ist und diese somit als polarisierende Glasfaser ausgebildet ist.
- In erfindungsgemäßer Weise ist erkannt worden, dass die Verwendung einer polarisierenden Glasfaser als Glasfaser die obige Aufgabe auf überraschend einfache Weise löst. Mit einer derartigen polarisierenden Glasfaser ist die Polarisation des aus der Glasfaser austretenden Lichts nur durch die Orientierung der Faservorzugsachse bestimmt und weitgehend unabhängig von der Polarisation und der Po- larisationsrichtung des Lichts der Lichtquelle. Mit anderen Worten ist durch die Orientierung der Faservorzugsachse eine Einstellung der Polarisation des Lichts nach der Glasfaser und vor dem Objekt möglich. Schwankungen der Beleuchtungslichtleistung aufgrund von Polarisationsschwankungen sind dadurch weitestgehend vermieden. Des Weiteren ist eine Erschwernis der optischen Justierung der optischen Anordnung, wie sie bei der Verwendung von polarisationserhaltenden Fasern auftritt, ebenfalls vermieden.
- Folglich ist mit der erfindungsgemäßen optischen Anordnung eine optische Anordnung bereitgestellt, bei der Schwankungen der Beleuchtungslichtleistung ohne eine Erschwernis bei der optischen Justierung der Anordnung auf einfache Weise weitestgehend vermieden sind.
- Bei der optischen Anordnung kann unter dem Objekt einerseits eine zu untersuchende Probe und andererseits ein zu beleuchtender Gegenstand oder ein zu beleuchtendes System wie beispielsweise die Optik eines Mikroskops verstanden werden.
- Bei einer konkreten optischen Anordnung könnten mehrere Lichtquellen zur Beleuchtung des Objekts vorgesehen sein, wobei sich das Licht der einzelnen Licht quellen spektral unterscheiden könnte. Hierdurch lässt sich eine große Vielseitigkeit beispielsweise eines Mikroskops erreichen.
- Bei Vorhandensein mehrerer Lichtquellen könnten auch mehrere polarisierende Glasfasern zwischen den Lichtquellen und dem Objekt vorgesehen sein. Dabei könnte jeder Lichtquelle eine polarisierende Glasfaser zugeordnet sein. Hierdurch ist ein sicherer Transport des Beleuchtungslichts von den Lichtquellen zu dem Objekt ohne Schwankungen der Beleuchtungslichtleistung ermöglicht.
- Zur Einstellung der Polarisationsrichtung des Lichts könnte in Beleuchtungsstrahlrichtung nach der Glasfaser oder den Glasfasern eine Polarisationsdreheinrichtung angeordnet sein. Hierdurch ist eine sichere Anpassung der Polarisationsrichtung des aus der Glasfaser oder den Glasfasern austretenden Lichts an das Objekt ermöglicht.
- In konstruktiv besonders einfacher Weise könnte die Polarisationsdreheinrichtung eine λ/2-Platte sein. Dabei könnte die λ/2-Platte im Hinblick auf eine sichere Einstellung der Polarisationsrichtung des Lichts in einer drehbaren Fassung angeordnet sein. Irrt Konkreten könnte durch die drehbare Fassung eine Drehung der λ/2-Platte um die Glasfaserachse ermöglicht sein.
- Alternativ oder zusätzlich hierzu könnte die Polarisationsdreheinrichtung Mittel zum Drehen des Glasfaserendes oder der Glasfaserenden aufweisen. Zur Anpassung der Polarisationsrichtung des Lichts an das Objekt könnte hierdurch die Glasfaser bzw. das Glasfaserende selbst mechanisch gedreht werden.
- In besonders komfortabler Weise könnten die Mittel eine Drehfassung aufweisen, so dass eine sichere Drehung des Glasfaserendes oder der Glasfaserenden ermöglicht ist.
- Dabei könnte durch die Drehfassung im Konkreten eine Drehung um die Glasfaserachse ermöglicht sein.
- Mit Hilfe der Polarisationsdreheinrichtung könnte beispielsweise die Polarisationsrichtung des Beleuchtungslichts vor der Einkopplung in eine Mikroskopoptik einge stellt werden. Insbesondere hierbei könnte die Glasfaser oder könnten die Glasfasern zwischen der Lichtquelle oder den Lichtquellen und einem Strahlteiler angeordnet sein, der zur Einkopplung des Beleuchtungslichtstrahls dienen könnte.
- Als Lichtquelle oder Lichtquellen bieten sich insbesondere Laser an.
- Die Stabilität der erfindungsgemäßen optischen Anordnung hinsichtlich Schwankungen der Beleuchtungs- bzw. Detektionslichtleistungen ist im Vergleich zu bekannten Anordnungen stark erhöht. Ferner ist der Justieraufwand reduziert.
- Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die dem Patentanspruch 1 nachgeordneten Ansprüche, andererseits auf die nachfolgende Erläuterung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeichnung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung des bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeichnung werden auch im Allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigt die einzige
-
- Die
1 dient zur Beleuchtung eines Objekts in Form einer Probe13 . Zwischen der Beleuchtungslichtquelle1 und dem Objekt ist eine Glasfaser3 zum Lichttransport zwischen der Beleuchtungslichtquelle1 und dem Objekt angeordnet. Im Hinblick auf die Vermeidung von Schwankungen der Beleuchtungslichtleistung ohne eine Erschwernis bei der optischen Justierung der Anordnung ist die Glasfaser3 als polarisierende Glasfaser3 ausgebildet. Zwischen der Beleuchtungslichtquelle1 und der Glasfaser3 ist eine Einkoppeloptik2 für das primäre Anregungs- oder Laserlicht17 angeordnet. Hierdurch erfolgt eine sichere Einkopplung des Laserlichts17 in die polarisierende Glasfaser3 . - Nach der Glasfaser
3 ist eine Auskoppeloptik4 im Strahlengang angeordnet. An die Auskoppeloptik4 schließt sich eine λ/2-Platte18 zur Polarisationsdrehung an. - Das Licht durchläuft anschließend eine Linse
5 sowie eine Beleuchtungsblende6 . Als kohärenzfreier Beleuchtungslichtstrahl14 gelangt das Licht dann zu einem Strahlteiler7 , durch den der Beleuchtungslichtstrahl14 zu einer Linse8 hin reflektiert wird. - An die Linse
8 schließt sich ein bewegbarer Scanspiegel9 an, mit dem der Beleuchtungslichtstrahl14 über die Probe13 gescannt werden kann. An den Scanspiegel9 schließen sich Linsen10 und11 an. Schließlich gelangt der Beleuchtungslichtstrahl14 durch ein Objektiv12 auf die Probe13 . - Zum Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichts ist eine Detektionsblende
15 mit einem sich an die Detektionsblende15 anschließenden Detektor16 vorgesehen. - Die Polarisation des am Strahlteiler
7 ankommenden Beleuchtungslichtstrahls14 ist nur noch durch die Orientierung der Faservorzugsachse bestimmt und weitgehend unabhängig von der Polarisation und der Polarisationsrichtung des Lichts der Beleuchtungslichtquelle1 . - Hinsichtlich weiterer vorteilhafter Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen optischen Anordnung wird zur Vermeidung von Wiederholungen auf den allgemeinen Teil der Beschreibung sowie auf die beigefügten Patentansprüche verwiesen.
- Schließlich sei ausdrücklich darauf hingewiesen, dass das voranstehend beschriebene Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen optischen Anordnung lediglich zur Erörterung der beanspruchten Lehre dient, diese jedoch nicht auf das Ausführungsbeispiel einschränkt.
Claims (13)
- Optische Anordnung zum Scannen eines Objektes, mit einer Beleuchtungslichtquelle (
1 ) und einer zwischen der Beleuchtungslichtquelle (1 ) und dem Objekt angeordneten Glasfaser (3 ), die das Beleuchtungslicht (14 ) entlang einer vorgebbaren Strecke zu einer Scanspiegelanordnung (9 ) transportiert, dadurch gekennzeichnet, dass zur Konstanthaltung der Intensität des von der Scanspiegelanordnung (9 ) abgehenden Scanstrahls die Scanspiegelanordnung (9 ) mit einer vorgegebenen Polarisation des Beleuchtungslichtes (14 ) beaufschlagbar ist, wobei diese Polarisation unabhängig von der Polarisation des in die Glasfaser (3 ) eingespeisten Beleuchtungslichtes (14 ) durch die Glasfaser (3 ) festgelegt ist und diese somit als polarisierende Glasfaser (3 ) ausgebildet ist. - Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Beleuchtungslichtquellen (
1 ) zur Beleuchtung des Objekts vorgesehen sind. - Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass sich das Licht der Beleuchtungslichtquellen (
1 ) spektral unterscheidet. - Anordnung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere polarisierende Glasfasern (
3 ) zwischen den Beleuchtungslichtquellen (1 ) und dem Objekt vorgesehen sind. - Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass in Beleuchtungsstrahlrichtung nach der Glasfaser (
3 ) oder den Glasfasern (3 ) eine Polarisationsdreheinrichtung angeordnet ist. - Anordnung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Polarisationsdreheinrichtung eine λ/2-Platte (
18 ) ist. - Anordnung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die λ/2-Platte (
18 ) in einer drehbaren Fassung angeordnet ist. - Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass durch die drehbare Fassung eine Drehung der λ/2-Platte (18) um die Glasfaserachse ermöglicht ist.
- Anordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Polarisationsdreheinrichtung Mittel zum Drehen des Glasfaserendes oder der Glasfaserenden aufweist.
- Anordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel eine Drehfassung aufweisen.
- Anordnung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass durch die Drehfassung eine Drehung um die Glasfaserachse ermöglicht ist.
- Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasfaser (
3 ) oder die Glasfasern (3 ) zwischen der Beleuchtungslichtquelle (1 ) oder den Beleuchtungslichtquellen (1 ) und einem Strahlteiler (7 ) angeordnet sind. - Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungslichtquelle (
1 ) oder die Beleuchtungslichtquellen (1 ) durch Lasergebildet sind.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10035688A DE10035688B4 (de) | 2000-07-20 | 2000-07-20 | Optische Anordnung |
GB0117156A GB2366115B (en) | 2000-07-20 | 2001-07-13 | Laser light transmission in a microscope |
US09/906,435 US6900935B2 (en) | 2000-07-20 | 2001-07-16 | Optical arrangement and microscope |
JP2001216067A JP2002107636A (ja) | 2000-07-20 | 2001-07-17 | 光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10035688A DE10035688B4 (de) | 2000-07-20 | 2000-07-20 | Optische Anordnung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10035688A1 DE10035688A1 (de) | 2002-02-07 |
DE10035688B4 true DE10035688B4 (de) | 2004-07-22 |
Family
ID=7649821
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10035688A Expired - Lifetime DE10035688B4 (de) | 2000-07-20 | 2000-07-20 | Optische Anordnung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6900935B2 (de) |
JP (1) | JP2002107636A (de) |
DE (1) | DE10035688B4 (de) |
GB (1) | GB2366115B (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7038848B2 (en) * | 2002-12-27 | 2006-05-02 | Olympus Corporation | Confocal microscope |
JP5158552B1 (ja) * | 2012-01-19 | 2013-03-06 | レーザーテック株式会社 | 顕微鏡及び検査装置 |
EP3538941A4 (de) | 2016-11-10 | 2020-06-17 | The Trustees of Columbia University in the City of New York | Schnelles hochauflösendes bildgebungsverfahren für grosse proben |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5161053A (en) * | 1988-08-01 | 1992-11-03 | Commonwealth Scientific & Industrial Research | Confocal microscope |
DE29712145U1 (de) * | 1997-07-10 | 1997-11-06 | Hauenstein, Henning Martin, Dipl.-Phys., 95494 Gesees | Vorrichtung zur spektralen Verbreiterung von Laserimpulsen |
DE19829981A1 (de) * | 1998-07-04 | 2000-01-05 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Verfahren und Anordnung zur konfokalen Mikroskopie |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2663194B2 (ja) * | 1990-05-16 | 1997-10-15 | 富士写真フイルム株式会社 | 共焦点走査型顕微鏡 |
US5168157A (en) * | 1990-11-20 | 1992-12-01 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Scanning microscope with means for detecting a first and second polarized light beams along first and second optical receiving paths |
US5136599A (en) * | 1991-03-05 | 1992-08-04 | The United States Of America As Represented By The Department Of Energy | Apparatus and method for increasing the bandwidth of a laser beam |
US5212753A (en) * | 1992-02-25 | 1993-05-18 | Hughes Aircraft Company | Polarization preserving fiber optic terminus |
JP3174985B2 (ja) * | 1993-06-28 | 2001-06-11 | 登 中谷 | 光ファイバ・アレイを用いた差動型へテロダイン干渉計 |
US6084396A (en) * | 1994-03-31 | 2000-07-04 | Intel Corporation | Method for performing quantitative measurement of DC and AC current flow in integrated circuit interconnects by the measurement of magnetic fields with a magneto optic laser probe |
WO1996006377A1 (de) * | 1994-08-25 | 1996-02-29 | Leica Lasertechnik Gmbh | Vorrichtung zum einkoppeln des lichtstrahls eines uv-lasers in ein laser-scanmikroskop |
JP3557261B2 (ja) * | 1994-12-15 | 2004-08-25 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡 |
US5835262A (en) * | 1994-12-28 | 1998-11-10 | Research Development Corporation Of Japan | Multi-wavelength optical microscope |
US6081499A (en) * | 1997-05-05 | 2000-06-27 | Seagate Technology, Inc. | Magneto-optical data storage system having an optical-processing flying head |
US5887009A (en) * | 1997-05-22 | 1999-03-23 | Optical Biopsy Technologies, Inc. | Confocal optical scanning system employing a fiber laser |
US5966391A (en) * | 1997-06-27 | 1999-10-12 | Mcdonnell Douglas Corporation | Long cavity laser system including frequency doubling long cavity fiber optic laser system |
AUPO998997A0 (en) * | 1997-10-24 | 1997-11-20 | University Of Sydney, The | Brillouin/erbium fibre laser current monitor using elliptically polarizing fibre |
US6441934B1 (en) * | 1998-02-13 | 2002-08-27 | Apa Optics, Inc. | Multiplexer and demultiplexer for single mode optical fiber communication links |
US6151127A (en) * | 1998-05-28 | 2000-11-21 | The General Hospital Corporation | Confocal microscopy |
JP2000249646A (ja) * | 1999-03-01 | 2000-09-14 | Canon Inc | 近視野光学顕微鏡装置 |
US6236779B1 (en) * | 1999-05-24 | 2001-05-22 | Spectra Physics Lasers, Inc. | Photonic crystal fiber system for sub-picosecond pulses |
-
2000
- 2000-07-20 DE DE10035688A patent/DE10035688B4/de not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-07-13 GB GB0117156A patent/GB2366115B/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-07-16 US US09/906,435 patent/US6900935B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-07-17 JP JP2001216067A patent/JP2002107636A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5161053A (en) * | 1988-08-01 | 1992-11-03 | Commonwealth Scientific & Industrial Research | Confocal microscope |
DE29712145U1 (de) * | 1997-07-10 | 1997-11-06 | Hauenstein, Henning Martin, Dipl.-Phys., 95494 Gesees | Vorrichtung zur spektralen Verbreiterung von Laserimpulsen |
DE19829981A1 (de) * | 1998-07-04 | 2000-01-05 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Verfahren und Anordnung zur konfokalen Mikroskopie |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10035688A1 (de) | 2002-02-07 |
GB0117156D0 (en) | 2001-09-05 |
GB2366115A (en) | 2002-02-27 |
US20020030885A1 (en) | 2002-03-14 |
US6900935B2 (en) | 2005-05-31 |
GB2366115B (en) | 2003-04-02 |
JP2002107636A (ja) | 2002-04-10 |
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