DE10027354C2 - Aktorarray mit fluidischem Antrieb, Blindenschriftdisplay, flächenhaftes elektrisches 2D-Relais, Ventilarray und Spiegelarray mit derartigem Aktorarray sowie Verfahren zur Herstellung einer Aktorplatte zur Verwendung für ein derartiges Aktorarray - Google Patents
Aktorarray mit fluidischem Antrieb, Blindenschriftdisplay, flächenhaftes elektrisches 2D-Relais, Ventilarray und Spiegelarray mit derartigem Aktorarray sowie Verfahren zur Herstellung einer Aktorplatte zur Verwendung für ein derartiges AktorarrayInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Aktorarray mit fluidischen Antrieb, und
insbesondere ein Blindenschriftdisplay, ein hochpoliges elektrisches 2D-Relais, ein
Ventilarray, ein Spiegelarray, jeweils mit fluidischen Antrieb, eine Aktorplatte und ein
Verfahren zu deren Herstellung.
In der Mikrotechnik werden eine Vielzahl verschiedener Aktorprinzipien angewandt.
Beispielsweise sind Aktoren auf Siliziumtechnik bekannt, die sowohl rotatorische als
auch translatorisch mechanische Energie zur Verfügung stellen. Derartige Aktoren
stellen jedoch nur eine äußerst geringe Arbeit je Hub- bzw. Umdrehung zur
Verfügung und besitzen außerdem nur eine äußerst begrenzte Lebensdauer.
Membranen mit nicht-flexiblen inneren Bereichen sind aus DE 93 20 965 U1
bekannt, und DE 42 27 998 A1 beschreibt eine fluidische Aktoranordnung mit einer
derartigen Membran.
Mikrofluidische Aktoren mit einer Entkopplung der krafterzeugenden Quelle von dem
Wirkort der Aktoren sind beispielsweise aus der US 5222895 bekannt, die ein
Blindenschriftarray vorschlägt, das aus einer Vielzahl von flächenhaft angeordneten
Druckkammern besteht, die mit einer Flüssigkeit gefüllt sind und von einer
elastischen Membran abgedeckt sind. Ein Querschnitt einer Druckkammer des aus
der US 5 222 895 bekannten Blindenschriftarrays ist in Fig. 1a und b dargestellt. Die
Druckkammer D ist von einer elastischen Membran M abgedeckt, und bei einer
Druckänderung der Flüssigkeit F in der Druckkammer D wölbt sich die Membran M
entsprechend nach oben bzw. nach unten. Hierdurch wird zwar eine Auslenkung
erzielt, die jedoch aufgrund der elastischen Eigenschaften der Membran M immer
einen kreisbogenförmigen Querschnitt hat, der auch für die Anwendung als taktiles
Blindenschriftarray nachteilig ist. In der US 5 222 895 wurde daher versucht den
Nachteil der Auslenkung mit ovalem bzw. kreisbogenförmigem
Querschnitt der Membran M zu beheben, und es wurden aufwendige weitere
mechanische Vorkehrungen vorgesehen, die oberhalb der Membran angeordnet
wurden, wie in Fig. 1b
dargestellt ist. Mittels dem Stift S, der Feder Fe und der Grundplatte G, die oberhalb
der Membran in einer zylindrischen Stiftführung angeordnet sind, ist es zwar möglich
die Aufwölbung der Membran M in eine translatorische Bewegung des Stiftes S zu
überführen; diese Vorkehrungen sind jedoch nur unter einem erheblichen Aufwand
und mit entsprechenden Kosten durchführbar und mittels kostensparender
mikrotechnischer Verfahren nicht zu realisieren, wodurch insbesondere
Serienfertigung nur unter unverhältnismäßigem Aufwand möglich ist.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher ein kostengünstiges Aktorarray mit
fluidischem Antrieb bereitzustellen, das eine zielgenaue translatorische Auslenkung
eines Aktors ermöglicht, die auch für Anwendungen brauchbar ist, die eine präzise
translatorische Positionsänderung des Aktors erfordern, nämlich ein
Blindenschriftarray, ein hochpoliges elektrisches 2D-Relais, ein Ventilarray und ein
Spiegelarray.
Die vorstehende Aufgabe wird mit den Merkmalen der unabhängigen Ansprüche 1,
16, 18, 26 und 30 gelöst. Vorteilhafte Ausführungen der vorliegenden Erfindung sind
ohne jede Beschränkung in den Unteransprüchen und der nachfolgenden
Beschreibung erwähnt, die von schematischen Zeichnungen begleitet ist.
Hierzu zeigt:
Fig. 1a und b, Querschnitte durch einen Ausschnitt eines herkömmlichen
Blindenschriftarrays;
Fig. 2a und 2b eine erste Ausführung der vorliegenden Erfindung;
Fig. 3a und 3b eine zweite Ausführung der vorliegenden Erfindung;
Fig. 4a und 4b vergrößerte Querschnitte eines Ausschnitts von Fig. 2b;
Fig. 5a bis 5e Abwandlungen der ersten und zweiten Ausführung der vorliegenden
Erfindung von Fig. 2 bzw. Fig. 3;
Fig. 6a eine weitere Abwandlung der vorliegenden Erfindung von Fig. 5b anhand
eines Querschnitts durch die Linie A-A von Fig. 5b;
Fig. 6b eine weitere Abwandlung der Ausführung von Fig. 6a;
Fig. 6c einen vergrößerten Ausschnitt der Ausführung von Fig. 6b;
Fig. 7 eine weitere Abwandlung der Ausführung von Fig. 6b und Schritte bei ihrer
Herstellung;
Fig. 8a und 8b einen Ausschnitt eines erfindungsgemäßen Blindenschriftdisplays;
Fig. 9a und 9b einen Ausschnitt eines erfindungsgemäßen elektrischen 2D-Relais,
Fig. 10a und 10b einen Ausschnitt eines erfindungsgemäßen Ventilarrays;
Fig. 11a, b und c einen Ausschnitt eines erfindungsgemäßen Spiegelarrays.
Grundgedanke der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung einer teilflexiblen,
vorteilhafterweise einstückigen Platte, die in bestimmten Bereichen durch geeignete
Maßnahmen beweglich gestaltet ist und in Zwischenbereichen diese Beweglichkeit
nicht aufweist. Eine hierfür erforderliche Modifikation eines Ausgangsmaterials wie
einer Kunststoffolie zur lokalen mechanischen Veränderung kann durch
mikrotechnische Verfahren in sehr kleinen Dimensionen in großen Flächen und zu
geringen Kosten erfolgen.
Die Gestaltung kann bei Materialien mit entsprechender Flexibilität durch lokales
Dünnen oder Verdicken des Materials erreicht werden. Durch die Variation der
Dicke über einer Folienfläche lassen sich dann nahezu beliebige
Oberflächenkonturen bei Auslenkung erzielen. Bei Materialien mit geringer
Dehnfähigkeit, aber ausreichendem Elastizitätsmodul und Streckgrenze ist durch
das verschachtelte Anbringen von Konturen in Oberseite und/oder Unterseite des
Ausgangsmaterials, das geeigneter Weise eine Kunststoffolie sein kann, eine Art
von Federausbildung möglich. Derartige bewegliche Strukturen können im
Mikrobereich zwischen 10 und 10000 Mikrometer angewendet werden, wobei die
Zahl der Strukturen mindestens eins ist aber bis zu einer Dichte von 10.000
Feldern/cm2 möglich ist.
Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend zunächst mit Bezug zu den Fig. 2a und
2b beschrieben. Die vorliegende Erfindung geht von der Überlegung aus, ein
mikromechanisches Aktorarray mit fluidischem Antrieb bereitzustellen, das aus einer
im wesentlichen zweidimensional ausgebildeten Aktorplatte 1 besteht, die eine
Vielzahl flexible und nicht-flexible-Bereiche 2 und 3, 4 aufweist, die in
Matrixanordnung angeordnet sind, wobei die Aktorplatte 1 eine Vielzahl von
Druckkammern 5 eines fluidischen Antriebs abschließt, und die flexiblen Bereiche 2
durch einen ersten nichtflexiblen Bereich 3 voneinander getrennt sind, und die
flexiblen Bereiche 2 wenigstens einen zweiten nicht-flexiblen Bereich 4 umgeben.
Dabei schließt ein äußerer Rand der flexiblen Bereiche 2 eine erste Fläche mit einer
ersten Geometrie und einem ersten Schwerpunkt S2 ein, und ein äußerer Rand des
zweiten nichtflexiblem Bereichs 4 schließt eine zweite Fläche mit einer zweiten
Geometrie und einem zweiten Schwerpunkt S4 ein.
Fig. 2a zeigt eine Draufsicht auf eine erste Ausführung der vorliegenden Erfindung
und Fig. 2b zeigt einen Querschnitt durch die Linie A-A von Fig. 2a. Die
erfindungsgemäße Aktorplatte 1 von Fig. 2a und Fig. 2b umfaßt eine elastische
Membran, wobei die flexiblen Bereiche 2 und die ersten und zweiten nicht-flexiblen
Bereiche 3 und 4 wie folgt ausgebildet sind:
Die flexiblen Bereiche 2 schließen Druckkammern 5 eines beispielhaften fluidischen Systems ab, wobei die ersten nichtflexiblem Bereiche 3 mit einer Wand der Druckkammern 5 verbunden sind, wie in Fig. 4a und b dargestellt ist. Die zweiten nichtflexiblen Bereiche 4 sind erfindungsgemäß auf den flexiblen Bereichen 2 angeordnete Schichten aus nichteleastischen Material und erfindungsgemäß mit der elastischen Membran fest verbunden. Die elastische Membran 2 und die nichtelastische Schicht 4 sind geeigneterweise aus Materialen gewählt, so daß die Membran 2 und die Schicht 4 mittels Druck und/oder Temperatur und/oder Klebstoffen fest miteinander verbunden werden können, wobei vorteilhaft die Schicht 4 teilweise in die Membran 2 hineingedrückt ist.
Die flexiblen Bereiche 2 schließen Druckkammern 5 eines beispielhaften fluidischen Systems ab, wobei die ersten nichtflexiblem Bereiche 3 mit einer Wand der Druckkammern 5 verbunden sind, wie in Fig. 4a und b dargestellt ist. Die zweiten nichtflexiblen Bereiche 4 sind erfindungsgemäß auf den flexiblen Bereichen 2 angeordnete Schichten aus nichteleastischen Material und erfindungsgemäß mit der elastischen Membran fest verbunden. Die elastische Membran 2 und die nichtelastische Schicht 4 sind geeigneterweise aus Materialen gewählt, so daß die Membran 2 und die Schicht 4 mittels Druck und/oder Temperatur und/oder Klebstoffen fest miteinander verbunden werden können, wobei vorteilhaft die Schicht 4 teilweise in die Membran 2 hineingedrückt ist.
Fig. 4a und 4b zeigen außerdem einen Ausschnitt eines erfindungsgemäßen
Aktorarrays mit fluidischem Antrieb mit der erfindungsgemäßen Aktorplatte 1 von
Fig. 2a, das aus einer Vielzahl von Druckkammern 5 besteht, die in einer mittleren
Schicht 7 ausgebildet sind, wobei die mittlere Schicht 7 sandwichartig zwischen der
erfindungsgemäßen Aktorplatte 1 und einer Grundschicht 8 angeordnet ist, und die
elastischen Bereiche 4 jeweils oberhalb einer Druckkammer 5 angeordnet sind. Die
Druckkammern 5 sind mit in der mittleren Schicht 7 und/oder in der Grundschicht 8
ausgebildeten Kanälen 6 verbunden und mit einer Flüssigkeit F als Mittel zur
Druckerzeugung gefüllt.
Bei einer in den Fig. 4a und 4b nicht dargestellten Ausführung können die Kanäle 6
und die Druckkammern 5 derart ausgebildet sein, daß eine entfernt von den
Druckkammern 5 angeordnete Pumpe durch Zu- und Abschalten einen Druck der
Flüssigkeit F in den Druckkammern 5 auf- bzw. abbaut, so daß sich der flexible
Bereich 2 mit dem nicht-flexiblen Bereich 4 hebt bzw. senkt. Bei dieser Ausführung
kann mit einer Vielzahl von in einer Ebene in Matrixanordnung angeordneter
Druckkammern 5, die entsprechend mit einer Aktorplatte 1 abgedeckt sind, mittels
Druckaufbau und -abbau gleichzeitig eine Vielzahl von Anhebungen bzw.
Absenkungen der flexiblen Bereiche 2 mit den nicht-flexiblen Bereichen 4
bereitgestellt werden.
Bei der in Fig. 4a und 4b dargestellten Ausführung der vorliegenden Erfindung ist
das Mittel zur Druckerzeugung ebenfalls geeigneter Weise eine Pumpe, die entfernt
von den Druckkammern 5 angeordnet ist, und im Unterschied zu der oben
beschriebenen nicht dargestellten Ausführung einen ständigen Flüssigkeitsstrom
der Flüssigkeit F durch die Vielzahl von Druckkammern 5 und die Kanäle 6 erzeugt.
Bei dieser Ausführung ist die Flüssigkeit geeigneterweise eine elektrorheologische
Flüssigkeit. Außerdem sind an geeigneten Positionen in den Kanälen 6 Elektroden 9
und 10 angeordnet, die mit einem elektronischen Schaltkreis zusammenwirken, so
daß ein elektrisches Feld zwischen den Elektroden 9 und 10 erzeugt werden kann.
Fig. 4a zeigt den Betriebszustand der erfindungsgemäßen Aktorplatte über einer
Druckkammer 5, wobei an die Elektroden 9 und 10 keine Spannung angelegt ist,
und demzufolge kein elektrisches Feld in dem Flüssigkeitskanal 6 an dem Ausgang
der Druckkammer 5 existiert, und daher die Flüssigkeit F ungehindert durch die
Kanäle 6 und die Druckkammer 5 strömen kann, und demzufolge in der
Druckkammer 5 kein Überdruck aufgebaut ist, und daher der flexible Bereich 2 und
der nicht-flexible Bereich 4 der Aktorplatte 1 in seiner Grundposition plan oberhalb
der Druckkammer 5 angeordnet ist. Es ist klar, daß anstelle der
elektrorheologischen Flüssigkeit auch eine magnetorhologische Flüssigkeit mit
entsprechender Zuschaltung und Abschaltung eines Magnetfelds verwendet werden
kann.
Fig. 4b zeigt den Betriebszustand der erfindungsgemäßen Aktorplatte 1, bei dem an
die Elektroden 9 und 10 eine elektrische Spannung angelegt ist, und demzufolge ein
elektrisches Feld in dem Kanal 6 am Ausgang der Druckkammer 5 aufgebaut ist, so
daß die Viskosität der elektroreologischen Flüssigkeit F im Bereich des elektrischen
Feldes 11 stark verringert ist, und der Ausgang der Druckkammer 5 im Bereich des
elektrischen Feldes 11 nahezu verschlossen ist, so daß die Flüssigkeit F in dem
Kanalsystem 6 und der Druckkammer 5 nur sehr erschwert zirkulieren kann. Bei
Dauerbetrieb der oben beschriebenen von der Druckkammer 5 entfernt
angeordneten Pumpe, baut sich in diesem Betriebszustand ein Überdruck in der
Druckkammer 5 auf, was zur Folge hat, daß der flexible Bereich 2 und der nicht
flexiblen Bereich 4 der Aktorplatte nach oben gedrückt wird, und so der nichtflexible
Bereich 4 in einer definierten zweiten Position oberhalb der Grundposition
angeordnet ist.
Bei flächenhafter Anordnung einer Vielzahl der Grundelemente gemäß Fig. 4a und
Fig. 4b kann erfindungsgemäß mittels Ansteuerung der Elektroden 9 und 10 über
einen elektronischen Schaltkreis eine gezielte Auslenkung ausgewählter Aktoren 2,
4 der Aktorplatte 1 bereitgestellt werden.
Fig. 3a zeigt eine zweite Ausführung der Aktorplatte 1 der vorliegenden Erfindung,
die ebenfalls im wesentlichen zweidimensional ausgebildet ist, und die ebenfalls
eine Vielzahl flexible und nicht-flexible Bereiche 2 und 3, 4 aufweist, die in
Matrixanordnung angeordnet sind. Die erfindungsgemäße Aktorplatte 1 von Fig. 3a
und 3b ist ebenso wie die Aktorplatte 1 von Fig. 2a und 2b für ein beispielhaftes
fluidisches System gemäß den obigen anhand von Fig. 4a und 4b beschriebenen
Ausführungen vorgesehen, und weist ebenfalls eine Vielzahl von flexiblen und nicht
flexiblen Bereichen 2 und 3, 4 auf, die in Matrixanordnung angeordnet sind. Im
Unterschied zu der Aktorplatte 1 von Fig. 2a und 2b ist die Aktorplatte 1 von Fig. 3a
und 3b jedoch vorteilhaft einstückig ausgebildet, was die Herstellung der Aktorplatte
1, die nachfolgend im Zusammenhang mit Fig. 6 und Fig. 7 beschrieben wird,
vereinfacht, und außerdem ein vorteilhaftes aufgabengerechtes Design der
elastischen Bereiche 2 ermöglicht, so daß definierte zielgenaue translatorische
Bewegungen und daraus resultierende Positionierungen der zweiten nicht-flexiblen
Bereiche 4 bei vorgegebenen Druckänderungen in den Druckkammern möglich
sind.
Fig. 5a bis 5e zeigen jeweils Ausschnitte von vorteilhaften Ausführungen der
Aktorplatte 1 von Fig. 2 und Fig. 3, wobei erfindungsgemäß der äußere Rand der
flexiblen Bereiche 2 eine erste Fläche mit einer ersten Geometrie und einem ersten
Schwerpunkt S2 einschließt und ein äußerer Rand der zweiten nichtflexiblen
Bereiche 4 einen zweite Fläche mit einer zweiten Geometrie und einem zweiten
Schwerpunkt S4 einschließt. Die Erfindung stellt damit die Möglichkeit bereit, über
ein geeignetes Design und eine geeignete Anordnung der ersten und zweiten
Flächen eine beabsichtigte Translation bzw. Positionierung der nicht-flexiblen
Bereiche 4 bei vorgegebener Druckänderung in den Druckkammern 5 zu erreichen.
Dabei können die ersten und zweiten Flächen geeigneter Weise eine identische
Geometrie haben und symmetrisch zueinander angeordnet sein, wobei die Flächen
auch so angeordnet sein können, daß sich ihre jeweiligen Schwerpunkte S2 bzw.
S4 decken.
Fig. 5a zeigt beispielsweise eine quadratische erste Fläche und eine quadratische
zweite Fläche, die vorteilhaft punktsymmetrisch angeordnet sind, und Fig. 5b zeigt
eine kreisförmige erste Fläche und eine kreisförmige zweite Fläche, die ebenfalls
vorteilhaft punktförmig angeordnet sind, und Fig. 5c zeigt eine kreisförmige erste
Fläche, auf der zwei zweite Flächen der nicht-flexiblen Bereiche 4 angeordnet sind.
Fig. 5d zeigt ein weiteres Beispiel für eine Anordnung einer ersten Fläche und einer
zweiten Fläche mit verschiedenen Geometrien anhand einer quadratischen ersten
Fläche und einer kreisförmigen zweiten Fläche, deren Schwerpunkte sich decken.
Fig. 5e zeigt ein weiteres Beispiel einer dreieckigen ersten Fläche und einer
dreieckigen zweiten Fläche, die derart angeordnet sind, daß ihre Schwerpunkte an
verschiedenen Positionen zu liegen kommen. Die Anordnung von Fig. 5e und die
Anordnung von Fig. 5c ist besonders geeignet für das erfindungsgemäße
Spiegelarray das später beschrieben wird.
Die anhand der Fig. 5a bis Fig. 5e oben beschriebenen Beispiele für das Design
eines Einzelelements der Aktorplatte 1 bestehend aus flexiblen Bereichen 2 und
nicht-flexiblen Berichen 4, die oberhalb einer Druckkammer 5 angeordnet sind,
können jeweils geeigneterweise in Matrixanordnung flächenhaft nebeneinander
angeordnet sein, wie in Fig. 2 und Fig. 3 schematisch dargestellt ist.
Dabei ist das Design des Grundelements durch die jeweilige Aufgabe vorgegeben,
und erfindungsgemäß können auch verschiedene Grundelemente mit
unterschiedlichen Geometrien auf einer Aktorplatte 1 angeordnet sein; und mit einer
derartig ausgestalteten erfindungsgemäßen Aktorplatte 1 können vorteilhaft
verschiedene Anwendungen und Funktionen gleichzeitig bereitgestellt werden.
Beispielseise kann die Anordnung von Fig. 5b und die Anordnung von Fig. 5e
zusammen auf einer Aktorplatte 1 angeordnet sein. Weitere Beispiele für eine
vorteilhafte Kombination verschiedener Grundelemente mit unterschiedlichen
Geometrien werden später beschrieben.
Die erfindungsgemäße Aktorplatte 1 von Fig. 3 ist vorteilhaft einstückig ausgebildet,
wobei die flexiblen Bereiche 2 in der Aktorplatte 1 mittels Strukurierung und
Formgebung ausgebildet sind, und erfindungsgemäß die Oberfläche der flexiblen
Bereiche in Richtung der Ebene E der Aktorplatte deutlich größer ist als die
Oberfläche der nichtflexiblen Bereiche 3 und 4 und/oder erfindungsgemäß das
Material der flexiblen Bereiche der Aktorplatte 1 gegenüber den nicht-flexiblen
Bereichen ausgedünnt ist.
Fig. 6a zeigt ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Aktorplatte 1 mit einem
strukurierten flexiblen Bereich 2 anhand der Anordnung von Fig. 5b und zeigt einen
Schnitt durch die Linie A-A von Fig. 5b. Der elastische Bereich 2 der Aktorplatte 1
von Fig. 6a ist erfindungsgemäß dünner ausgebildet als die nicht-flexiblen Bereiche
3 und 4 und erstreckt sich außerdem vom oberen Rand des nicht-flexiblen Bereichs
3 zum unteren Rand des nicht-flexiblen Bereichs 4.
Fig. 6b zeigt ein weiteres abgewandeltes Beispiel eines strukturierten flexiblen
Bereichs 2 ebenfalls anhand eines Schnitts durch die Linie A-A der Anordnung von
Fig. 5b, wobei der flexible Bereich 2 erfindungsgemäß mäanderförmig ausgebildet
ist. Es ist klar, daß der flexible Bereich 2 vorteilhaft auch bogenförmig oder
wellenförmig ausgebildet sein kann, was in den Zeichnungen nicht dargestellt ist.
Bei der erfindungsgemäßen strukturellen Ausbildung der flexiblen Bereiche 2
spielen für das Design der Akorplatte 1 die folgenden Parameter eine Rolle: die
elastischen Eigenschaften des Materials der Aktorplatte 1, die Dicke D der
Aktorplatte 1, die Anordnung und Geometrie des elastischen Bereichs 2, F2 in
Bezug zu der Anordnung und Geometrie des nichtflexiblen Bereichs 4, F4, die
Wandstärke DE des elastischen Bereichs 2 und bei mäanderförmiger bzw.
bogenförmiger struktureller Ausbildung Amplitude A, Anzahl und Periode P der
Abfolge der Bögen bzw. Mäander und Struktur und Ausbildung der Bögen bzw.
Mäander. Die obigen Parameter sind in den Beispielen der Fig. 6b und 6c
angegeben. Es ist klar, daß für ein besonderes aufgabenorientiertes Design die
obigen Parameter über dem flexiblen Bereich 2 entsprechend variieren können, was
besonders bei nicht symmetrischen Geometrien der Anordnung wie beispielsweise
der Anordnung von Fig. 5e oder bei speziellen Anwendungen wie beispielsweise
dem erfindungsgemäßen Spiegelarray von Fig. 11, das später beschrieben wird,
vorteilhaft ist.
Die erfindungsgemäßen strukturierten flexiblen Bereiche 2 werden in
Serienproduktion geeigneterweise mittels Prägetechniken von oberhalb und/oder
unterhalb in eine Rohplatte der Aktorplatte 1 geprägt, wie in Fig. 7 schematisch
dargestellt ist, wobei hier nur die Strukturierung auf einer Seite der Aktorplatte 1 und
das Ergebnis gezeigt ist. Die vollständig stukturierten Bereiche 2 der Aktorplatte 1
von Fig. 7 sind hier als Balgfedern ausgebildet, wobei deren Strukturierung
geeigneter Weise mittels Ausbildung von keilförmigen Ausnehmungen auf beiden
Seiten der Aktorplatte erfolgt. Es ist klar, daß die erfindungsgemäße Aktorplatte 1,
die geeigneterweise eine Kunststoffplatte aus z. B. Polymer ist, auch mittels anderer
Techniken wie z. B. Laserstrukturierung strukturiert werden kann.
Fig. 8a und b zeigen einen Ausschnitt eines erfindungsgemäßen
Blindenschriftdisplays BAR mit der erfindungsgemäßen strukturierten einstückigen
Aktorplatte 1 von Fig. 7, wobei die Aktorplatte 1 von Fig. 8 ähnlich wie die
Aktorplatte 1 von Fig. 4 mit ihren elastischen Bereichen 2 oberhalb einer
Druckkammer 5 eines fluidischen Systems mit einer elektrorheologischen
angeordnet ist, das anhand von Fig. 4 beschrieben wurde. Auf eine Beschreibung
des fluidischen Systems wird daher hier verzichtet und statt dessen auf die
Beschreibung von Fig. 4 verwiesen.
Mit dem erfindungsgemäßen Blindenschriftarray mittels der erfindungsgemäßen
Aktorplatte 1 ist es auf einfache und kostengünstige Weise möglich unter Einsatz
kostengünstiger Verfahren der Mikrotechnik ein Blindenschriftdisplay auch in
Serienproduktion bereitzustellen, das eine zielgenaue Auslenkung von 3-Pixeln
ermöglicht. Mit dem erfindungsgemäßen Blindenschriftarray lassen sich
Auflösungen im Bereich der VGA-Auflösung erreichen und in Formate bis A5 und
A4 erstrecken.
Fig. 9a und b zeigen einen Ausschnitt eines erfindungsgemäßen vielpoligen
elektrischen 2D-Relais EAR mit der erfindungsgemäßen strukturierten einstückigen
Aktorplatte 1 von Fig. 7, wobei die Aktorplatte 1 von Fig. 9 ähnlich wie die
Aktorplatte 1 von Fig. 4 mit ihren elastischen Bereichen 2 oberhalb einer
Druckkammer 5 eines fluidischen Systems angeordnet ist, das anhand von Fig. 4
beschrieben wurde. Auf eine Beschreibung des fluidischen Systems wird daher hier
verzichtet und statt dessen auf die Beschreibung von Fig. 4 verwiesen.
Neben der Schichtenfolge der Grundplatte 8, der Zwischenschicht 7 und der
Aktorplatte 1 weist das elektrische Ralais EAR außerdem eine Schicht 12 auf, die
auf der Aktorplatte 1 angeordnet ist. In der Schicht 12 sind eine Vielzahl von
geeigneten Hohlräumen 51 korrespondierend mit den Druckkammern 5 auf der
anderen Seite der Aktorplatte 1 ausgebildet und derart abgemessen, daß ein
Druckaufbau der Flüssigkeit F in den Druckkammern 5 den nichtflexiblen Bereich 4
der Aktorplatte gegen eine obere Wand des Hohlraums 51 drückt. Erfindungsgemäß
ist auf dem nichtflexiblem Bereich 4 eine elektrisch leitende Schicht 41 ausgebildet
und an der oberen Wand des Hohlraums 51 wenigstens eine Elektrode 53
vorgesehen, so daß bei Druckaufbau in der Druckkammer 5 und entsprechender
Positionierung der elektrisch leitenden Oberfläche des nicht-flexiblen Bereichs 4 ein
elektrischer Kontakt mit der Elektrode 53 hergestellt ist, und bei Druckabbau der
elektrische Kontakt mit der Elektrode 53 unterbrochen wird, wodurch ein
elektrisches Relais bereitgestellt ist, das sich erheblich miniaturisiert auf einfache
Weise herstellen läßt und besonders störungssicher arbeitet. Mit dem
erfindungsgemäßen vielpoligen elektrischen 2D-Relais mittels der
erfindungsgemäßen Aktorplatte 1 ist es auf einfache und kostengünstige Weise
möglich unter Einsatz kostengünstiger Verfahren der Mikrotechnik ein vielpoliges
elektrisches 2D-Relais auch in Serienproduktion bereitzustellen, das einen
störungssicheren Einsatz auch im Dauerbetrieb ermöglicht.
Das erfindungsgemäße 2D Relais ist insbesondere für hochohmige
Relaisschaltungen vorteilhaft, wobei durch das 2D Relais die Ausbildung von 2D
Arrays möglich ist, die besonders vorteilhaft auch direkt in eine Leiterplatte integriert
werden können, so daß durch Relais z. B. Chip-Applikationen kostengünstig ersetzt
werden können. Besonders vorteilhaft und einfach wird eine derartige Anordnung
dann, wenn alle Relaispole gleichzeitig geschaltet werden können, da dann die
elektrischen Kontakte durch gasförmige bzw. flüssige Medien zur Aktorplatte über
Mikrokanäle eingekoppelt werden.
Fig. 10a und b zeigen einen Ausschnitt eines erfindungsgemäßen Ventilarrays VAR
mit der erfindungsgemäßen strukturierten einstückigen Aktorplatte 1 von Fig. 7,
wobei die Aktorplatte 1 von Fig. 10 ähnlich wie die Aktorplatte 1 von Fig. 4 mit ihren
elastischen Bereichen 2 oberhalb einer Druckkammer 5 eines fluidischen Systems
angeordnet ist, das anhand von Fig. 4 beschrieben wurde. Auf eine Beschreibung
des fluidischen Systems wird daher hier verzichtet und statt dessen auf die
Beschreibung von Fig. 4 verwiesen.
Neben der Schichtenfolge der Grundplatte 8, der Zwischenschicht 7 und der
Aktorplatte 1 weist das Ventilarray VAR außerdem eine Schicht 12 auf, die auf der
Aktorplatte 1 angeordnet ist. In der Schicht 12 sind eine Vielzahl von geeigneten
Hohlräumen 51 korrespondierend mit den Druckkammern 5 auf der anderen Seite
der Aktorplatte 1 ausgebildet und derart abgemessen, daß ein Druckaufbau der
Flüssigkeit F in den Druckkammern 5 den nichtflexiblen Bereich 4 der Aktorplatte
gegen eine obere Wand des Hohlraums 51 drückt. Vorteilhaft ist auf dem
nichtflexiblem Bereich 4 eine Dichtungschicht 41 ausgebildet und an der oberen
Wand des Hohlraums 51 wenigstens eine Kanalöffnung eines Kanals 55
vorgesehen, der mit einem weiteren in der Schicht 12 ausgebildetem Raum 54
verbunden ist. Außerdem kann der Hohlraum 51 noch mit weiteren in der Schicht 12
ausgebildeten Kanälen verbunden sein. Bei Druckaufbau in der Druckkammer 5 und
entsprechender Translation und Positionierung der Dichtungsschicht 41 des nicht
flexiblen Bereichs 4 wird die Dichtungsschicht 41 gegen die Öffnung des Kanals 55
gedrückt, wodurch der Raum 54 von unten verschlossen ist; und bei Druckabbau
wird umgekehrt die Dichtungsschicht 41 des flexiblen Bereichs 4 von der Öffnung
des Kanals 55 entfernt, so daß die Öffnung des Kanals 55 geöffnet wird.
Beispielsweise kann so ein in dem Raum 54 enthaltenes Medium, z. B. eine
Flüssigkeit aus dem Raum 54 austreten und über den Hohlraum 51 und ein weiteres
Kanalsystem abgeführt werden oder umgekehrt auch der Raum 54 über den
Hohlraum 51 mit einem Medium befüllt werden.
Mit dem erfindungsgemäßen Ventilarray VAR ist ein Ventilarray bereitgestellt, das
sich erheblich miniaturisiert auf einfache Weise herstellen läßt und besonders
störungssicher arbeitet. Mit dem erfindungsgemäßen Ventilarray VAR mittels der
erfindungsgemäßen Aktorplatte 1 ist es auf einfache und kostengünstige Weise
möglich unter Einsatz kostengünstiger Verfahren der Mikrotechnik ein Ventilarray
auch in Serienproduktion bereitzustellen, das einen störungssicheren Einsatz auch
im Dauerbetrieb ermöglicht.
Das erfindungsgemäße Ventilarray kann vorteilhafter Weise mit Mikrotiterplatten für
beispielsweise biochemische Analysen kombiniert werden, da es aus bio
kompatiblen Materialien hergestellt und auch zusammen mit der Mikrotiterplatte in
einem Fertigungsschritt kostensparend gefertigt werden kann.
Fig. 11a, b und c zeigen einen Ausschnitt eines erfindungsgemäßen Spiegelarrays
SAR mit der erfindungsgemäßen strukturierten einstückigen Aktorplatte 1 von Fig. 7,
wobei die Aktorplatte 1 von Fig. 11 ähnlich wie die Aktorplatte 1 von Fig. 4 mit ihren
elastischen Bereichen 2 oberhalb einer Druckkammer 5 eines fluidischen Systems
angeordnet ist, das anhand von Fig. 4 beschrieben wurde. Auf eine Beschreibung
des fluidischen Systems wird daher hier verzichtet und statt dessen auf die
Beschreibung von Fig. 4 verwiesen.
Die Oberfläche 41 des nicht-flexiblen Bereichs 4 der Aktorplatte 1 ist hier
erfindungsgemäß verspiegelt ausgebildet, und die oben beschriebenen Geometrien,
Anordnungen und Abmessungen und Strukturen des flexiblen Bereichs 2 und des
nicht-flexiblen Bereichs 4 sind derart bestimmt bzw. ausgebildet, daß bei
Druckaufbau in der Druckkammer 5 eine präzise Auslenkung des nicht-flexiblen
Bereichs in einem vorbestimmten Winkel erfolgt, so daß ein auf die verspiegelte
Oberfläche gerichteter Laserstrahl in eine vorbestimmte Richtung abgelenkt wird.
Der Aktorbereich kann auch vorteilhaft durch eine unsymmetrische Anordnung von
Vertiefungen in die Aktorplatte so ausgestaltet sein, dass auf einer Seite sich die
Platte leicht abheben läßt und auf der anderen Seite lediglich ein dünnes
Biegegelenk ausgebildet ist. Mit dem erfindungsgemäßen Spiegelarray SAR mittels
der erfindungsgemäßen Aktorplatte 1 ist es auf einfache und kostengünstige Weise
möglich unter Einsatz kostengünstiger Verfahren der Mikrotechnik ein Spiegelarray
auch in Serienproduktion bereitzustellen, das eine winkelgenaue Auslenkung von
der bespiegelten Oberfläche des nicht-flexiblen Bereichs 4 und damit eine
zielgenaue Ablenkung von Laserlicht ermöglicht.
Das erfindungsgemäße Spiegelarray (SAR) hat im Vergleich zu herkömmlichen
Spiegelarrays aus beispielsweise elektrostatisch verstellten Siliziumspiegeln den
Vorteil, daß mit dem erfindungsgemäßen Spiegelarray vergleichsweise sehr große
Winkeländerungen möglich sind.
Ebenso wie das Relais kann auch das Spiegelarray bei geeigneter Wahl der
Basismaterialien in eine Leiterplatte integriert werden, woraus eine kostengünstige
und platzsparende Fertigung der Ablenksysteme resultiert, da die Aktorik mit der
Leiterplatte in einem Arbeitsgang gefertigt werden kann und dabei auch die
Einbringung von Elektroden zur Steuerung problemlos möglich ist.
Die Aktorplatte, das Blindenschriftdisplay, das 2D Relais, das Ventilarray und das
Spielgelarray der vorliegenden Erfindung sind sehr preisgünstig, da Sie aus
Kunststoffen hergestellt werden können und sowohl in der Prototypenphase mittels
Lasertechnik als auch in Serienproduktion mittels Prägetechnik vollständig mittels
Mikrotechniken hergestellt werden können. Außerdem kann die Aktorplatte alleine
auf einer Fläche angeordnet sein und mit denselben Fertigungsschritten
unterschiedliche Mikrosysteme realisiert werden, wobei insbesondere die
Aktorplatte mit anderen fluidischen Bauelementen kombiniert werden kann, die
nahezu in dem gleichen Arbeitsgang hergestellt werden können.
Das oben beschriebene 2D Relais, das Ventilarray und das Spiegelarray weisen
jeweils jedem Einzelaktorelement vorteilhaft zwei Bereiche 5 und 51 zu, die
Flüssigkeitsdicht und gasdicht mittels der Aktorplatte 1 voneinander getrennt sind,
wodurch ein Bereich als Arbeitsbereich 5 und der andere Bereich als
Antriebsbereich 51 eingesetzt werden kann. Die vorstehende vorteilhafte
Zweiteilung ermöglicht ebenfalls eine weitestgehende Miniaturisierung.
Es ist klar, daß die erfindungsgemäße Aktorplatte auch mittels einem
pneumatischem Drucksystem anstelle dem hier beispielhaft beschriebenen
vorteilhaften hydrostatischem Drucksystem angetrieben werden kann
Außerdem ist wie auch oben mit Bezug zu Fig. 4 beschrieben auf einfache Weise
eine beliebige Kombination von Relais-Elementen, Ventilelementen und
Spiegelelementen auf einer Aktorplatte möglich, wodurch die verschiedensten
Aufgaben und Anwendungen mittels Bereitstellung einer einzigen Aktorplatte gelöst
werden können. Auf diese Weise kann beispielsweise eine Multi-Parameter Analyse
einer Vielzahl von Proben in einer Mikrotiterplatte mittels Mischung, optischer und
elektrischer Analyse bereitgestellt werden. Ein Multisystem wie beispielsweise ein
Lab-on-a-Chip ist daher mit der erfindungsgemäßen Aktorplatte als zentralem
Schaltelement möglich.
Claims (31)
1. Aktorarray mit fluidischem Antrieb, mit
einer im wesentlichen zweidimensional ausgebildeten Aktorplatte (1), die eine Vielzahl flexible (2) und nicht-flexible (3, 4) Bereiche aufweist, die in Matrixanordnung angeordnet sind, wobei
die Aktorplatte (1) eine Vielzahl von Druckkammern (5) abschließt;
die flexiblen Bereiche (2) durch einen ersten nicht-flexiblen Bereich (3) voneinander getrennt sind, und
die flexiblen Bereiche (2) wenigstens einen zweiten nicht-flexiblen Bereich (4) umgeben, wobei
ein äußerer Rand der flexiblen Bereiche (2) eine erste Fläche mit einer ersten Geometrie und einem ersten Schwerpunkt (S2) einschließt, und
ein äußerer Rand der zweiten nicht-flexiblen Bereiche (4) eine zweite Fläche mit einer zweiten Geometrie und einem zweiten Schwerpunkt (S4) einschließt.
einer im wesentlichen zweidimensional ausgebildeten Aktorplatte (1), die eine Vielzahl flexible (2) und nicht-flexible (3, 4) Bereiche aufweist, die in Matrixanordnung angeordnet sind, wobei
die Aktorplatte (1) eine Vielzahl von Druckkammern (5) abschließt;
die flexiblen Bereiche (2) durch einen ersten nicht-flexiblen Bereich (3) voneinander getrennt sind, und
die flexiblen Bereiche (2) wenigstens einen zweiten nicht-flexiblen Bereich (4) umgeben, wobei
ein äußerer Rand der flexiblen Bereiche (2) eine erste Fläche mit einer ersten Geometrie und einem ersten Schwerpunkt (S2) einschließt, und
ein äußerer Rand der zweiten nicht-flexiblen Bereiche (4) eine zweite Fläche mit einer zweiten Geometrie und einem zweiten Schwerpunkt (S4) einschließt.
2. Aktorarray mit fluidischem Antrieb nach Anspruch 1, wobei
die Aktorplatte (1) eine elastische Membran umfaßt,
die flexiblen Bereiche (2) die Druckkammern (5) abschließen;
die ersten nicht-flexiblen Bereiche (3) mit einer Wand der Druckkammern (5) verbunden sind;
die zweiten nicht-flexiblen Bereiche (4) aus auf den flexiblen Bereichen (3) angeordnete Schichten aus nicht elastischem Material bestehen, und mit der elastischen Membran fest verbunden sind.
die Aktorplatte (1) eine elastische Membran umfaßt,
die flexiblen Bereiche (2) die Druckkammern (5) abschließen;
die ersten nicht-flexiblen Bereiche (3) mit einer Wand der Druckkammern (5) verbunden sind;
die zweiten nicht-flexiblen Bereiche (4) aus auf den flexiblen Bereichen (3) angeordnete Schichten aus nicht elastischem Material bestehen, und mit der elastischen Membran fest verbunden sind.
3. Aktorarray mit fluidischem Antrieb nach Anspruch 1, wobei
die Aktorplatte (1) einstückig ausgebildet ist.
4. Aktorarray mit fluidischem Antrieb nach Anspruch 3, wobei
die flexiblen Bereiche (2) eine Struktur haben, so daß die flexiblen Bereiche (2)
im Vergleich zu den zweiten nicht-flexiblen Bereichen (4) in Bezug zu ihrer
Ausdehnung in Richtung der Ebene (E) der Aktorplatte (1) eine deutlich größere
Oberfläche haben.
5. Aktorarray nach Anspruch 3, wobei
die flexiblen Bereiche (2) eine geringere Dicke als die zweiten nicht-flexiblen
Bereiche (4) haben.
6. Aktorarray nach Anspruch 4 oder 5, wobei
die flexiblen Bereiche (2) eine mäanderförmige Struktur haben.
7. Aktorarray nach Anspruch 4 oder 5, wobei
die flexiblen Bereiche (2) eine bogenförmige Struktur haben.
8. Aktorarray nach Anspruch 4 oder 5, wobei
die flexiblen Bereiche (2) in der Aktorplatte (1) ausgebildete Balgfedern sind.
9. Aktorarray nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei
die erste und zweite Geometrie ähnlich sind.
10. Aktorarray nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei
die erste und zweite Geometrie deutlich voneinander verschieden sind.
11. Aktorarray nach einem der Ansprüche 9 oder 10, wobei
der erste (S2) und zweite (S4) Schwerpunkt sich decken.
12. Aktorplatte nach einem der Ansprüche 9 oder 10, wobei
der erste (S2) und zweite (S4) Schwerpunkt räumlich voneinander getrennt
angeordnet sind.
13. Aktorplatte nach einem der Ansprüche 5 bis 8, wobei
Amplitude und Frequenz der Struktur der flexiblen Bereiche (2) an die
Geometrie und Anordnung der ersten und zweiten Fläche angepaßt ist.
14. Aktorarray nach einem der vorstehenden Ansprüche, außerdem mit
einer Vielzahl von mit den Druckkammern (5) verbundenen Kanälen (6);
einer in den Druckkammern (5) und Kanälen (6) angeordneten Flüssigkeit (F);
einem Flüssigkeitsreservoir;
einer Aktorplatte (1), die die Druckkammern (5) jeweils mit einem der flexiblen (2) und nicht-flexiblen (4) Bereiche abschließt;
einem Mittel zur Druckerzeugung auf die Flüssigkeit (F);
Mitteln zur Druckregelung, so daß in einer vorbestimmten Auswahl der Druckkammern (5), der zweite nicht-flexible Bereich (4) der Aktorplatte (1) eine Positionsänderung erfährt.
einer Vielzahl von mit den Druckkammern (5) verbundenen Kanälen (6);
einer in den Druckkammern (5) und Kanälen (6) angeordneten Flüssigkeit (F);
einem Flüssigkeitsreservoir;
einer Aktorplatte (1), die die Druckkammern (5) jeweils mit einem der flexiblen (2) und nicht-flexiblen (4) Bereiche abschließt;
einem Mittel zur Druckerzeugung auf die Flüssigkeit (F);
Mitteln zur Druckregelung, so daß in einer vorbestimmten Auswahl der Druckkammern (5), der zweite nicht-flexible Bereich (4) der Aktorplatte (1) eine Positionsänderung erfährt.
15. Aktorarray nach Anspruch 14, wobei
die Flüssigkeit (F) eine elektrorheologische Flüssigkeit ist;
das Mittel zur Druckerzeugung eine Pumpe ist, die entfernt von den Druckkammern (5) angeordnet ist;
die Mittel zur Druckregelung an geeigneten Positionen in den Kanälen (6) angeordnete Elektroden sind, die mit einem elektronischen Schaltkreis zusammenwirken.
die Flüssigkeit (F) eine elektrorheologische Flüssigkeit ist;
das Mittel zur Druckerzeugung eine Pumpe ist, die entfernt von den Druckkammern (5) angeordnet ist;
die Mittel zur Druckregelung an geeigneten Positionen in den Kanälen (6) angeordnete Elektroden sind, die mit einem elektronischen Schaltkreis zusammenwirken.
16. Blindenschriftdisplay (BAR) mit
einer Vielzahl von Druckkammern (5) und Kanälen (6);
einer in den Druckkammern (5) und Kanälen (6) angeordneten Flüssigkeit (F);
einem Flüssigkeitsreservoir;
einer Aktorplatte (1), die die Druckkammern (5) jeweils mit einem flexiblen (2) und nicht-flexiblen (4) Bereich abschließt;
einem Mittel zur Druckerzeugung auf die Flüssigkeit (F);
Mitteln zur Druckregelung, so daß in einer vorbestimmten Auswahl der Druckkammern (5), der nicht-flexible Bereich (4) der Aktorplatte (1) eine Positionsänderung erfährt, und
als Braille-Schrift-Pixel getastet werden kann.
einer Vielzahl von Druckkammern (5) und Kanälen (6);
einer in den Druckkammern (5) und Kanälen (6) angeordneten Flüssigkeit (F);
einem Flüssigkeitsreservoir;
einer Aktorplatte (1), die die Druckkammern (5) jeweils mit einem flexiblen (2) und nicht-flexiblen (4) Bereich abschließt;
einem Mittel zur Druckerzeugung auf die Flüssigkeit (F);
Mitteln zur Druckregelung, so daß in einer vorbestimmten Auswahl der Druckkammern (5), der nicht-flexible Bereich (4) der Aktorplatte (1) eine Positionsänderung erfährt, und
als Braille-Schrift-Pixel getastet werden kann.
17. Blindenschriftdisplay (BAR) nach Anspruch 16, mit
der Aktorplatte (1) nach einem der vorstehenden Ansprüche 1 bis 15.
18. Flächenhaftes elektrisches 2D-Relais (EAR) mit
einer Vielzahl von Druckkammern (5) und Kanälen (6);
einer in den Druckkammern (5) und Kanälen (6) angeordneten Flüssigkeit (F);
einem Flüssigkeitsreservoir;
einer Aktorplatte (1), die die Druckkammern (5) jeweils mit einem flexiblen (2) und nicht-flexiblen (4) Bereich abschließt;
einem nicht-flexiblen Bereich (4), der eine elektrisch leitende Oberfläche (41) hat;
einem Mittel zur Druckerzeugung auf die Flüssigkeit (F);
Mitteln zur Druckregelung, so daß in einer vorbestimmten Auswahl der Druckkammern (5), der nicht-flexible Bereich (4) der Aktorplatte (1) eine Positionsänderung erfährt, und
die elektrisch leitende Oberfläche (41) jeweils einen Kontakt mit wenigstens einer Elektrode (53) schaltet.
einer Vielzahl von Druckkammern (5) und Kanälen (6);
einer in den Druckkammern (5) und Kanälen (6) angeordneten Flüssigkeit (F);
einem Flüssigkeitsreservoir;
einer Aktorplatte (1), die die Druckkammern (5) jeweils mit einem flexiblen (2) und nicht-flexiblen (4) Bereich abschließt;
einem nicht-flexiblen Bereich (4), der eine elektrisch leitende Oberfläche (41) hat;
einem Mittel zur Druckerzeugung auf die Flüssigkeit (F);
Mitteln zur Druckregelung, so daß in einer vorbestimmten Auswahl der Druckkammern (5), der nicht-flexible Bereich (4) der Aktorplatte (1) eine Positionsänderung erfährt, und
die elektrisch leitende Oberfläche (41) jeweils einen Kontakt mit wenigstens einer Elektrode (53) schaltet.
19. 2D-Relais (EAR) nach Anspruch 18, wobei
das 2D-Relais in eine Leiterplatte integriert ist.
20. 2D-Relais (EAR) nach Anspruch 18 und 19, mit
der Aktorplatte (1) nach einem der vorstehenden Ansprüche 1 bis 15.
21. Ventilarray (VAR) mit einem Aktorarray nach einem der Ansprüche 14 und 15,
wobei
der nicht-flexible Bereich (4) eine als Dichtung (41) geeignete Oberfläche hat;
ein Mittel zur Druckerzeugung auf die Flüssigkeit (F) vorgesehen ist;
die Dichtungsoberfläche (41) bei Positionsänderung des zweiten nicht-flexiblen Bereichs (4) jeweils eine Ventilöffnung (55) schaltet.
der nicht-flexible Bereich (4) eine als Dichtung (41) geeignete Oberfläche hat;
ein Mittel zur Druckerzeugung auf die Flüssigkeit (F) vorgesehen ist;
die Dichtungsoberfläche (41) bei Positionsänderung des zweiten nicht-flexiblen Bereichs (4) jeweils eine Ventilöffnung (55) schaltet.
22. Ventilarray (VAR) nach Anspruch 21, wobei
das Ventilarray eine Vielzahl von Ventilöffnungen (55) auf der Unterseite einer
Mikrotiterplatte schaltet.
23. Ventilarray (VAR) nach Anspruch 21 oder 22, wobei
das Ventilarray in eine Mikrotiterplatte integriert ist.
24. Ventilarray (VAR) nach Anspruch 21, 22 oder 23, wobei
das Ventilarray in eine Leiterplatte integriert ist.
25. Ventilarray (VAR) nach Anspruch 21, 22, 23, oder 24 mit
der Aktorplatte (1) nach einem der vorstehenden Ansprüche 1 bis 13.
26. Spiegelarray (SAR), mit
einer Vielzahl von Druckkammern (5) und Kanälen (6);
einer in den Druckkammern (5) und Kanälen (6) angeordneten Flüssigkeit (F);
einem Flüssigkeitsreservoir;
einer Aktorplatte (1) mit flexiblen (2) und nicht-flexiblen (4) Bereichen, die die Druckkammern (5) jeweils mit einem der flexiblen (2) und nicht-flexiblen (4) Bereiche abschließt;
einem nicht-flexiblen Bereich (4), der eine verspiegelte Oberfläche (41) hat;
einem Mittel zur Druckerzeugung auf die Flüssigkeit (F);
Mitteln zur Druckregelung, so daß in einer vorbestimmten Auswahl der Druckkammern (5), der zweite nicht-flexible Bereich (4) der Aktorplatte (1) eine Positionsänderung erfährt, und
die verspiegelte Oberfläche (41) einen Laserstrahl (L) schaltet.
einer Vielzahl von Druckkammern (5) und Kanälen (6);
einer in den Druckkammern (5) und Kanälen (6) angeordneten Flüssigkeit (F);
einem Flüssigkeitsreservoir;
einer Aktorplatte (1) mit flexiblen (2) und nicht-flexiblen (4) Bereichen, die die Druckkammern (5) jeweils mit einem der flexiblen (2) und nicht-flexiblen (4) Bereiche abschließt;
einem nicht-flexiblen Bereich (4), der eine verspiegelte Oberfläche (41) hat;
einem Mittel zur Druckerzeugung auf die Flüssigkeit (F);
Mitteln zur Druckregelung, so daß in einer vorbestimmten Auswahl der Druckkammern (5), der zweite nicht-flexible Bereich (4) der Aktorplatte (1) eine Positionsänderung erfährt, und
die verspiegelte Oberfläche (41) einen Laserstrahl (L) schaltet.
27. Spiegelarray (SAR) nach Anspruch 26, wobei
das Spiegelarray in eine Leiterplatte integriert ist.
28. Spiegelarray (SAR) nach Anspruch 26 oder 27, mit
der Aktorplatte (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 15.
29. Aktorarray, mit
der Aktorplatte (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 15;
wenigstens einem Relaiselement nach einem der Ansprüche 18 bis 20, und/oder
wenigstens einem Ventilelement nach einem der Ansprüche 21 bis 25; und/oder
wenigstens einem Spiegelelement nach einem der Ansprüche 26 bis 28;
der Aktorplatte (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 15;
wenigstens einem Relaiselement nach einem der Ansprüche 18 bis 20, und/oder
wenigstens einem Ventilelement nach einem der Ansprüche 21 bis 25; und/oder
wenigstens einem Spiegelelement nach einem der Ansprüche 26 bis 28;
30. Verfahren zur Herstellung einer Aktorplatte (1) zur Verwendung für ein
Aktorarray mit fluidischem Antrieb, wobei
in einer im wesentlichen zweidimensional ausgebildeten Aktorplatte (1), eine Vielzahl von flexiblen (2) und nicht-flexiblen (3, 4) Bereiche in Matrixanordnung strukturiert werden, wobei
die flexiblen Bereiche (2) durch einen ersten nicht-flexiblen Bereich (3) voneinander getrennt ausgebildet werden, so daß
die flexiblen Bereiche (2) wenigstens einen zweiten nicht-flexiblen Bereich (4) umgeben, wobei
die flexiblen Bereiche (2) derart strukturiert werden, daß sie im Vergleich zu den zweiten nicht-flexiblen Bereichen (4) in Bezug zu ihrer Ausdehnung in Richtung der Ebene (E) der Aktorplatte (1) eine deutlich größere Oberfläche, und/oder eine geringer Dicke als die zweiten nicht-flexiblen Bereiche haben.
in einer im wesentlichen zweidimensional ausgebildeten Aktorplatte (1), eine Vielzahl von flexiblen (2) und nicht-flexiblen (3, 4) Bereiche in Matrixanordnung strukturiert werden, wobei
die flexiblen Bereiche (2) durch einen ersten nicht-flexiblen Bereich (3) voneinander getrennt ausgebildet werden, so daß
die flexiblen Bereiche (2) wenigstens einen zweiten nicht-flexiblen Bereich (4) umgeben, wobei
die flexiblen Bereiche (2) derart strukturiert werden, daß sie im Vergleich zu den zweiten nicht-flexiblen Bereichen (4) in Bezug zu ihrer Ausdehnung in Richtung der Ebene (E) der Aktorplatte (1) eine deutlich größere Oberfläche, und/oder eine geringer Dicke als die zweiten nicht-flexiblen Bereiche haben.
31. Verfahren nach Anspruch 30, wobei
eine einstückige Kunststoffschicht mittels Prägetechniken beidseitig strukturiert wird.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013019192A1 (de) * | 2013-11-15 | 2015-05-21 | Audi Ag | Flexible mechanische Skala |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6881063B2 (en) * | 2003-02-24 | 2005-04-19 | Peichun Yang | Electroactive polymer actuator braille cell and braille display |
SE0301637D0 (sv) * | 2003-06-06 | 2003-06-06 | Wouter Van Der Wijngaart Royal | a micromachined knife gate valve for high-flow pressure regulation applications |
EP2870593A4 (de) * | 2012-07-05 | 2016-03-02 | Univ Northeastern | Vorrichtungen, verfahren und systeme für hochauflösende taktile anzeigen |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5222895A (en) * | 1990-03-13 | 1993-06-29 | Joerg Fricke | Tactile graphic computer screen and input tablet for blind persons using an electrorheological fluid |
DE4227998A1 (de) * | 1992-08-24 | 1994-03-10 | Fraunhofer Ges Forschung | Mikrominiaturisierbares Ventil |
DE9320965U1 (de) * | 1992-05-15 | 1995-07-06 | Hitachi Ltd | Halbleiter-Beschleunigungsmesser |
DE4403831A1 (de) * | 1994-02-08 | 1995-08-10 | Physikalisch Tech Studien Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung von durch Höhenunterschiede charakterisierten Betriebszuständen mechanischer Stellglieder |
US5496174A (en) * | 1994-08-04 | 1996-03-05 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Method and device for producing a tactile display using an electrorheological fluid |
-
2000
- 2000-06-02 DE DE10027354A patent/DE10027354C2/de not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-06-04 WO PCT/EP2001/006333 patent/WO2001093228A2/de active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5222895A (en) * | 1990-03-13 | 1993-06-29 | Joerg Fricke | Tactile graphic computer screen and input tablet for blind persons using an electrorheological fluid |
DE9320965U1 (de) * | 1992-05-15 | 1995-07-06 | Hitachi Ltd | Halbleiter-Beschleunigungsmesser |
DE4227998A1 (de) * | 1992-08-24 | 1994-03-10 | Fraunhofer Ges Forschung | Mikrominiaturisierbares Ventil |
DE4403831A1 (de) * | 1994-02-08 | 1995-08-10 | Physikalisch Tech Studien Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung von durch Höhenunterschiede charakterisierten Betriebszuständen mechanischer Stellglieder |
US5496174A (en) * | 1994-08-04 | 1996-03-05 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Method and device for producing a tactile display using an electrorheological fluid |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013019192A1 (de) * | 2013-11-15 | 2015-05-21 | Audi Ag | Flexible mechanische Skala |
DE102013019192B4 (de) * | 2013-11-15 | 2015-06-11 | Audi Ag | Flexible mechanische Skala |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2001093228A3 (de) | 2002-05-23 |
WO2001093228A2 (de) | 2001-12-06 |
DE10027354A1 (de) | 2001-12-13 |
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