DE10018550A1 - Optoelektronischer Sensor - Google Patents

Abstract

Es wird ein optoelektronischer Sensor vorgeschlagen, der auf der Basis von Optoden aufgebaut ist und der dazu dient, mittels eines verspiegelten Optodenmaterials nahezu beliebige Einkoppelwinkel des Lichts in das Optodenmaterial zu ermöglichen. Damit wird vorteilhafterweise ein längerer optischer Weg erreicht als er mit Totalreflexion möglich ist. Damit wird eine höhere Meßgenauigkeit erzielt. Das Optodenmaterial ist hier ein Polymer, wobei die Verspiegelung durch in das Polymer eingelassene Metallpartikel realisiert wird. Der Lichtsender und die lichtempfindlichen Sensoren sind jeweils eine LED und Fotodioden. Verschiedene optoelektronische Sensoren können zu einem Gassensorarray kombiniert werden.

Description

Stand der Technik

Die Erfindung geht aus von einem optoelektronischen Sensor nach der Gattung des unabhängigen Patentanspruchs.

Für Optoden in der Brandmeldetechnik kommen verschiedene Realisierungsmöglichkeiten der optischen Meßtechnik in Frage. Eine Technik ist die MIRE (Multiple Internal Reflection)/ATR (Atanuated Total Reflection), wobei Licht in ein hochbrechendes Material eingekoppelt wird, so dass das Licht Totalreflexion erfährt, und eine Membran auf das hochbrechende Material abgeschieden wurde, so dass das evaneszente Feld des eingekoppelten Lichts durch die Membran Absorption erleidet. Kommt die Membran mit einem Analyten, einem zu messenden Gas, in Berührung, ändert sich das Absorptionsverhalten der Membran und damit die Absorption des Lichtes. Durch die Messung der Absorption kann daher die Konzentration des zu messenden Gases gemessen werden, weil je nach der Konzentration des Gases die Membran ihre Absorptionseigenschaften ändert. Eine notwendige Bedingung ist dabei, dass lediglich das evaneszente Feld in die Membran hineinreicht und damit absorbiert wird.

Eine weitere Meßmethode ist die Transmissionsmessung. Auch hier wird eine Absorptionsänderung gemessen. Dabei gelangt Licht durch eine Membran, die mit dem Analyten in Kontakt kommt, wobei in Abhängigkeit von dem Analyten die Absorption der Membran geändert wird. Durch Vergleichsmessung mit und ohne Analyten ist eine Bestimmung des Analyten möglich. Gegebenenfalls kann eine Spüllösung verwendet werden, um den Analyten von der Membran zwischen den Messungen zu entfernen.

Vorteile der Erfindung

Der erfindungsgemäße optoelektronische Sensor mit den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs hat demgegenüber den Vorteil, dass das Licht nicht unter Totalreflexion in die Optode eingekoppelt werden muß, so dass das Licht in einem beliebigen Winkel in die Optode eingekoppelt wird, da die Optode einen Spiegel aufweist, der das Licht am Rand der Optode wieder in die Optode hinein reflektiert. Dadurch ist es möglich, dass größere Winkel für die Einkopplung des Lichtes verwendet werden können, so dass dann der optische Weg durch die Optode von dem Lichtsender zu den lichtempfindlichen Sensoren länger wird, als wenn allein die Winkel, für die Totalreflexion gilt, verwendet werden würden. Damit wird die Meßempfindlichkeit höher, da die Wechselwirkung des Lichtes mit der Optode über einen längeren Weg möglich ist. Das Meßergebnis über das zu analysierende Gas, das in die Optode eindringt, ist mittels der lichtempfindlichen Sensoren sofort ermittelbar.

Die erhöhte Meßempfindlichkeit kann vorteilhafterweise dazu verwendet werden, bei Säuglingen Frühstadien der Gelbsucht einfach und schnell zu erkennen, wobei der Kohlenmonoxidgehalt in der ausgeatmeten Luft der Säuglinge untersucht wird. Überschreitet der Kohlenmonoxidgehalt einen Wert von 1,8 ppm, wird eine mögliche Gelbsuchterkrankung indiziert. Der erfindungsgemäße optoelektronische Sender liefert sofort ein Meßergebnis und eine rechtzeitige, lebensrettende Behandlung kann eingeleitet werden.

Durch die in den abhängigen Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen und Weiterbildungen sind vorteilhafte Verbesserungen des im unabhängigen Patentanspruch angegebenen optoelektronischen Sensors möglich.

Besonders vorteilhaft ist, dass der Spiegel an der Außenseite des Optodenmaterials durch eingelassene Metallpartikel realisiert wird. Diese Methode ist einfach und in den Herstellungsprozeß des optoelektronischen Sensors leicht integrierbar.

Weiterhin ist es von Vorteil, dass durch die Bedeckung des Optodenmaterials mit einem lichtundurchlässigen Material der Lichtaustritt durch Streulicht verhindert wird. Dies reduziert die Rückwirkung von Streulicht auf die durchzuführende Messung und erhöht somit die Meßgenauigkeit.

Darüber hinaus ist es von Vorteil, dass das Optodenmaterial ein Polymer ist, dem eine Indikatorsubstanz zugegeben wird. Die Verwendung eines Polymers mit einer Indikatorsubstanz ermöglicht eine einfache Herstellung und Aufbringung des Optodenmaterials auf das Halbleitersubstrat.

Des weiteren ist es von Vorteil, dass Farbstoffmoleküle in der Indikatorsubstanz vorliegen, die zu einer gasabhängigen Absorption des eingekoppelten Lichts führen. Mittels dieser Farbstoffmoleküle wird vorteilhafterweise in reversibler Art eine von der Gasart abhängige Absorption dargestellt, die dann anhand der gemessenen Absorption zur Bestimmung der Gaskonzentration verwendet wird.

Darüber hinaus ist es von Vorteil, dass das lichtundurchlässige Material als Polymer ausgeführt wird, wodurch der Herstellungsprozeß dieser lichtundurchlässigen Schicht an den Herstellungsprozeß der Optoden angepasst wird. Die Gesamtherstellung wird dadurch vereinfacht.

Weiterhin ist es von Vorteil, dass die lichtempfindlichen Sensoren mit den sie bedeckenden Abschnitten des Optodenmaterials sektorartig zentralsymmetrisch um den Lichtsender angeordnet werden. Damit wird das von dem Lichtsender ausgesendete Licht gleichmäßig verteilt und zur Messung in den verschiedenen mit Optodenmaterial bedeckten Abschnitten verwendet.

Ein den optoelektronischen Sensor bildender Chip kann daher quadratisch 5-, 6-, 7- oder 8-eckig oder auch kreisrund ausgeführt sein. Daneben kann ein solcher optoelektronischer Sensor auch weniger oder mehr als vier Transmissionszweige beinhalten.

Weiterhin ist es von Vorteil, dass das Halbleitersubstrat aus n-leitendem Silizium und die lichtempfindlichen Elemente aus in das n-Siliziumsubstrat integrierten p-leitenden Siliziumbereichen gebildet wird. Auf diese Weise bilden die lichtempfindlichen Elemente Fotodioden. Der Lichtsender ist bevorzugt eine lichtimittierende Diode (LED), es können zur Abgrenzung der Wellenlänge aber auch mehrere LEDs aufgebracht werden.

Weiterhin ist es von Vorteil, dass das Optodenmaterial für die Detektion von Stickoxiden ausgebildet ist, so dass diese einen Brand charakterisierenden Gase quantitativ durch den Brandmelder, der den optoelektronischen Sensor aufweist, detektiert werden. Damit wird eine Brandfrüherkennung aufgrund der hohen Meßempfindlichkeit des erfindungsgemäßen optoelektronischen Sensors ermöglicht.

Weiterhin ist es von Vorteil, dass der erfindungsgemäße Sensor mit Oxidationsmitteln versehen ist, die auf einem Trägermaterial aufgebracht sind, so dass eine Schädigung des erfindungsgemäßen Sensors durch Schwefeldioxid vermieden wird. Alternativ ist es möglich, dass der erfindungsgemäße Sensor ein Molekularsieb aufweist, das unerwünschte Gase ausfiltert.

Bei dem optoelektronischen Sensor sind die einzelnen Transmissionszweige durch Barrieren getrennt, so dass sich die einzelnen Transmissionszweige durch aus dem Optodenmaterial austretenden Streulicht optisch nicht beeinflussen. Die Höhe dieser Barrieren kann etwa gleich der Höhe des zentralen Lichtsensors gewählt werden. Außerdem können alle Stellen des Chips, die nicht lichtempfindlich sind - falls erforderlich - verspiegelt werden, so auch die Seitenwände der Barrieren. Dazu wird vorteilhafterweise eine Metallisierung, vorzugsweise Gold, verwendet.

Darüber hinaus ist es von Vorteil, dass der Lichtsender mit Pulsen betrieben wird, so dass die Leistungsaufnahme des erfindungsgemäßen Sensors reduziert wird.

Durch die Kombination von verschiedenen optoelektronischen Sensoren zu einem Sensorarray wird eine hohe Meßgenauigkeit und große Angriffsfläche für das zu detektierende Gas ermöglicht. Dazu weist der erfindungsgemäße optoelektronische Sensor Zuleitungen auf, die den Lichtsender und die lichtempfindlichen Sensoren treiben bzw. die Messsignale abgreifen.

Zeichnung

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt Fig. 1 einen schematischen Querschnitt durch den erfindungsgemäßen optoelektronischen Sensor und Fig. 2 eine Aufsicht auf eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen optoelektronischen Sensors.

Beschreibung

Optoelektronische Sensoren, insbesondere, wenn sie auf Halbleiterbasis hergestellt werden, haben den Vorteil, dass sie sehr kleine Abmessungen aufweisen. Durch die Verwendung eines Optodenmaterials, durch das Licht gestrahlt wird, um mittels der Absorption in dem Optodenmaterial eine Gaskonzentration quantitativ zu bestimmen, ist die Wechselwirkung des Gases mit dem Optodenmaterial, d. h. die Absorption des Lichts, ein Maß der Länge, die das Licht durch das Optodenmaterial zurücklegt. Umso länger der Weg ist, umso häufiger wird Licht durch eine gasabhängige Absorption des Optodenmaterials gedämpft. Es ist daher ein Ziel, den Lichtweg in einem Optodenmaterial zu erhöhen. Die Totalreflexion in einem Optodenmaterial, wie es z. B. Polymer ist, gestattet nur einen bestimmten Winkel unter dem das Licht mindestens eingekoppelt werden muß, so dass das Licht nicht wieder aus der Optode ausgekoppelt wird. Steilere Winkel, die zu einem längeren optischen Weg führen, halten den Winkel für die Totalreflexion dann nicht mehr ein, und das Licht wird aus der Optode ausgekoppelt.

Erfindungsgemäß wird daher das Optodenmaterial am äußeren Rand mit einem Spiegel versehen, so dass nahezu beliebige Einkoppelwinkel des Lichts möglich sind und damit längere optische Wege, die das Licht durch das Optodenmaterial zurücklegt. In dem Optodenmaterial befindet sich eine Indikatorsubstanz, die Farbstoffmoleküle aufweist. Das Optodenmaterial selbst ist ein Polymerträgermaterial, das mindestens eine Indikatorsubstanz aus der Gruppe von Verbindungen bestehend aus Azobenzolen, Acetophenonen, Corrinen, Porphyrinen, Phtalocyaninen, Macroliden, Porphyrinogenen, Nonactin, Valinomycin und/oder deren Komplexe mit Übergangsmetallen der ersten, zweiten und der fünften bis achten Nebengruppe. Diese Substanzen führen zu einer reversiblen Änderung der Absorptionseingenschaften unter dem Einfluß zu detektierender Gase wie Stickstoffoxide oder Kohlenmonoxid. Aber auch andere Substanzen wie Amine, Wasserdampf, Sauerstoff oder Alkohole sind mit diesen Indikatorsubstanzen identifizierbar. Es liegen hier Chromoionophore vor, die zu einem Farbumschlag und damit zu einer Änderung des Absorptionsverhaltens bei Kontakt mit einem zu detektierenden Gas führen.

In Fig. 1 ist ein Querschnitt durch eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen optoelektronischen Sensors dargestellt. Ein Lichtsender 1 ist mittig plaziert. Der Lichtsender 1 ist hier eine lichtimitierende Diode (LED). Alternativ sind auch eine Laserdiode oder kleine Lampen oder andere Lichtquellen verwendbar. Es sind hier stellvertretend zwei aus dem Lichtsender 1 austretende Lichtstrahlen 2 und 3 dargestellt. Es reicht hier also, sich auf die geometrische Optik zu beschränken. Tatsächlich emittiert der Lichtsender 1 bei vielen anderen Winkeln Lichtstrahlen. Der Lichtsender wird hier mit elektrischen Pulsen betrieben, um die Leistungsaufnahme zu verringern. Dies führt dazu, dass auch nur Lichtpulse versendet werden. Die Verwendung von Pulsen hat den neben der geringeren Leistungsaufnahme den Vorteil, dass thermische Effekte in ihrem Einfluß reduziert werden. Eine in Abhängigkeit von dem verwendeten Lichtsender geeignete Frequenz für die Pulse wird gewählt.

Die Lichtstrahlen 2 und 3 treffen auf den äußeren Rand des Optodenmaterials 4, das sich auf dem Lichtsender 1, auf einem Halbleitersubstrat 10 und auf lichtempfindlichen Sensoren 6 befindet, unter einem Winkel, der kleiner als der notwendige Winkel für die Totalreflexion ist. Damit wird der optische Weg der Lichtstrahlen 2 und 3 länger als wenn sie unter der Bedingung der Totalreflexion in das Optodenmaterial 4 eingekoppelt werden würden. Da sich das Optodenmaterial 4 direkt auf dem Lichtsender 1 befindet, ist eine direkte Überkopplung des Lichts gewährleistet.

Das Optodenmaterial 4 ist hier wie oben dargestellt ein Polymer mit den genannten Indikatorsubstanzen. Eine Optode bezeichnet einen optischen Sensor. Hier ist das Optodenmaterial 4 als Lichtleiter ausgebildet, durch den Licht geführt wird, wobei die Absorption des Lichts durch diesen Lichtleiter durch eine Gaskonzentration bestimmt wird. Durch die Wahl der unterschiedlichen Indikatorsubstanzen wird das Absorptionsverhalten für entsprechende Gase eingestellt, zum Beispiel für Kohlenmonoxid oder Stickstoffoxide.

Das Optodenmaterial 4 wird hier auch als Membran bezeichnet, da es als solche auf dem Lichtsender 1, dem Halbleitersubstrat 10 und den lichtempfindlichen Sensoren 6 aufgebracht ist. Um eine Lichtauskopplung aus dem Optodenmaterial 4 zu vermeiden, befindet sich auf dem Optodenmaterial 4 ein Spiegel 5. Der Spiegel 5 reflektiert die Strahlen zurück in das Optodenmaterial 4. Der Spiegel 5 ist hier mittels in das Polymer für das Optodenmaterial 4 eingelassener Metallpartikel realisiert. Alternativ ist auch eine Bedampfung des Optodenmaterials 4 mit einem Metallfilm möglich, wobei ein Metallfilm auch mit einer Beschichtungstechnik aufgebracht sein kann.

Das Einlassen von Metallpartikeln in das Polymer des Optodenmaterials 4, um den Spiegel zu realisieren, ermöglicht, dass die Herstellung des Spiegels mit dem Auftragen des Optodenmaterials realisiert wird. Das Polymer des Optodenmaterials 4 wird in einem flüssigen Zustand auf den Lichtleiter 1, das Halbleitersubstrat 10 und die lichtempfindlichen Sensoren 6 aufgebracht. Durch Trocknen und/oder Heizen wird das Polymer in einen festen Zustand überführt. Auf dem Spiegel 5 befindet sich ein weiteres Polymer, und zwar eine lichtundurchlässige Schicht 9. Die lichtundurchlässige Schicht 9 hat die Aufgabe, Licht, das nicht von dem Spiegel 5 zurück in das Optodenmaterial 4 reflektiert wurde, abzublocken, so dass die Messung der Gaskonzentration nicht durch austretendes Streulicht verfälscht wird. Die lichtundurchlässige Schicht 9 ist derart ausgeführt, dass sie inert gegenüber dem Optodenmaterial 4 ist, also keine Reaktion mit ihm eingeht oder es in seinen Eigenschaften verändert.

Das Optodenmaterial 4 ist am Ende bei den lichtempfindlichen Sensoren 6 abgerundet, um eine bessere Einkopplung in die lichtempfindlichen Sensoren zu erreichen.

Die LED 1 als Lichtsender wird entweder durch Eindiffusion von Dotierstoffen oder durch ein Aufbringen der LED 1 auf das Halbleitersubstrat 10 hergestellt. Auch die lichtempfindlichen Sensoren 6 werden durch eine Eindiffusion von Dotierstoffen an den Stellen, wo die lichtempfindlichen Sensoren 6 hergestellt werden sollen, ermöglicht. Die Bauelemente werden dann durch Standardtechnologieschritte der Siliziumhalbleitertechnik wie Photolithographie, Ätzung, Passivierung und Metallisierung hergestellt. Hier liegt als Halbleitersubstrat 10 n-leitendes Silizium vor. Um Fotodioden als die lichtempfindlichen Sensoren 6 herzustellen, werden Akzeptoren an die Stellen, wo die lichtemfindlichen Sensoren 6 hergestellt werden sollen, eindiffundiert. Da es sich hier um Silizium handelt, kann Bor als Akzeptor verwendet werden. Auch eine Implantation der Akzeptoren ist hier möglich.

Anstatt Silizium zu verwenden, kann es auch angezeigt sein, Verbindungshalbleiter zu verwenden, die für lichtemittierende Bauelemente geeigneter sein können. Zu solchen Verbindungshalbleitern gehören die Arsenide, die Phosphide, die Nitride, die Antimonide und Siliziumcarbid.

Das lichtundurchlässige Polymer 9, der Spiegel 5 und das Optodenmaterial 4 sind für die zu messenden Gase durchlässig.

In Fig. 2 ist eine Aufsicht auf eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen optoelektronischen Sensors dargestellt. Der Lichtsender 1 befindet sich mittig im Zentrum des Sensors. Jeweils wegführend von dem Lichtsender 1 führen Transmissionsarme 8 zu den lichtempfindlichen Sensoren 6. Barrieren 7 liegen zwischen den Transmissionsarmen 8, um ein Nebensprechen durch Streulicht zu verhindern. Es können alternativ mehr als vier Transmissionsarme verwendet werden, wobei auch weniger Transmissionsarme möglich sind.

Die gleichmäßige Verteilung des vom Lichtsender 1 emittierten Lichts ermöglicht jedoch, die Fläche des optoelektronischen Sensors optimal auszunutzen. Die Transmissionsarme 8, die die Membran des Optodenmaterials bilden, weisen eine Länge von 600 bis 1200 Mikrometer und eine Breite von 280 Mikrometer sowie eine Dicke von 10 Mikrometer auf. Der Abstand zwischen dem Lichtsender 1 und den lichtempfindlichen Sensoren 6 sollte möglichst gering sein, um die maximal aufzubringende Lichtleistung zu minimieren. Außerdem wird dadurch Chipfläche eingespart. Bei diesen gegebenen Abmessungen wird dann erfindungsgemäß der optische Weg maximiert.

Die Barrieren 7 können aus Halbleitermaterial hergestellt werden, das isoliert keine elektrische Funktion übernimmt. Die Barrieren 7 können zusätzlich mit einer Metallschicht versehen sein, um Streulicht zu reflektieren. Alternativ können die Barrieren 7 auch aus Metall oder einem dielektrischen Material hergestellt werden. Da die Barrieren 7 ein Nebensprechen zwischen den Transmissionsarmen verhindern sollen, sind die Barrieren 7 mindestens so hoch wie die LED 1.

Durch eine Kombination von verschiedenen erfindungsgemäßen optoelektronischen Sensoren, die auf einem Halbleitersubstrat hergestellt werden, kann ein Sensorenfeld, ein sogenanntes Sensorarray realisiert werden. Dies ermöglicht, gleichzeitig mit mehreren Sensoren zu messen, um damit ein stärkeres Messsignal zu erzeugen, da eine größere Gesamtfläche mit Optodenmaterial bedeckt ist und zur Auswertung verwendet wird. Die Lichtsender 1 und die lichtempfindlichen Sensoren 6 werden durch zentrale Spannungs- beziehungsweise Stromquellen versorgt. Die Ausgangssignale von den Lichtsensoren 6, die die Messsignale führen werden zu Verstärkern geführt. Durch die Verstärker, die an die erfindungsgemäßen optoelektronischen Sensoren angeschlossen werden, werden die Messsignale zur besseren Auswertung verstärkt.

Da der optoelektronische Sensor auch in einem Brandmelder verwendet werden kann, wobei vorzugsweise als einen Brand anzeigende Gase Stickstoffdioxid und/oder Kohlenmonoxid beziehungsweise Kohlendioxid detektiert werden, muß dieser Sensor dabei auch vor Schadgasen geschützt werden. Solch ein Schadgas ist vor allem Schwefeldioxid. Schwefeldioxid würde das Optodenmaterial irreversibel schädigen. Zur Trennung von Schwefeldioxid und den zu messenden Gasen wie CO oder CO₂ wird die Oxidierbarkeit von SO₂ zu SO₃ ausgenutzt. Schwefeltrioxid stellt kein Problem mehr als Schadgas dar. Als Oxidationsmittel wird hier Kaliumpermanganat verwendet, aber auch andere Oxidationsmittel wie Chromate sind einsetzbar.

Eine andere Möglichkeit der Trennung von CO₂ und SO₂ ist das Molekularsieb. Da CO₂ und SO₂ sich hinsichtlich ihres räumlichen Aufbaus deutlich unterscheiden, werden sie von dem Molekularsieb unterschiedlich adsorbiert. Ein Molekularsieb weist ein Anordnung bestehend aus Röhren auf, die an ihren Innenwänden mit Oxidationsmitteln beschichtet sind.

Claims (15)

1. Optoelektronischer Sensor auf der Basis von Optoden, der auf einem Halbleitersubstrat (10) mehrere getrennte lichtempfindliche Sensoren (6) und mittig einen Lichtsender (1) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der Lichtsender (1) und die lichtempfindlichen Sensoren (6) von einem transparenten Optodenmaterial bedeckt sind und dass das transparente Optodenmaterial (4) an der Seite, die abgewandt von dem Halbleitersubstrat (10) ist, verspiegelt ist.

2. Optoelektronischer Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Verspiegelung durch in das transparente Optodenmaterial (4) eingelassene Metallpartikel ermöglicht ist.

3. Optoelektronischer Sensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das transparente Optodenmaterial (4) mit einem lichtundurchlässigen Material (9) bedeckt ist.

4. Optoelektronischer Sensor nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass das transparente Optodenmaterial (4) ein Polymer ist, bei dem eine Indikatorsubstanz zugegeben ist.

5. Optoelektronischer Sensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichent, dass die Indikatorsubstanz Farbstoffmoleküle aufweist.

6. . Optoelektronischer Sensor nach Anspruch 3, 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass das lichtundurchlässige Material (9) ein Polymer ist.

7. Optoelektronischer Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die lichtempfindlichen Sensoren (6) mit den sie bedeckenden Abschnitten des Optodenmaterials (8) sektorartig zentralsymmetrisch um den Lichtsender (1) angeordnet sind.

8. Optoelektronischer Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Halbleitersubstrat (10) ein n-Siliziumsubstrat ist und die lichtempfindlichen Sensoren (6) aus p-Silizium bestehen.

9. Optoelektronischer Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die lichtempfindlichen Sensoren (6) Fotodioden bilden und der Lichtsender eine LED ist.

10. Optoelektronischer Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Optodenmaterial (4) für die Detektion von Stickoxiden oder Kohlenmonoxid ausgebildet ist.

11. Optoelektronischer Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor mit Oxidationsmitteln versehen ist, die auf einem Trägermaterial aufgebracht sind.

12. Optoelektronischer Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der optoelektronische Sensor ein Molekularsieb aufweist.

13. Optoelektronischer Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der optoelektronische Sensor zwischen Transmissionszweigen Barrieren aufweist.

14. Optoelektronischer Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Lichtsender (1) mit elektrischen Pulsen betreibbar ist.

15. Gassensorarray nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass als Arrayelemente der optoelektronische Sensor verwendet wird.