DE10010707C2 - Piezoelektrischer Aktuator - Google Patents

Piezoelektrischer Aktuator

Info

Publication number
DE10010707C2
DE10010707C2 DE10010707A DE10010707A DE10010707C2 DE 10010707 C2 DE10010707 C2 DE 10010707C2 DE 10010707 A DE10010707 A DE 10010707A DE 10010707 A DE10010707 A DE 10010707A DE 10010707 C2 DE10010707 C2 DE 10010707C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
resonator
rotor
piezoelectric
piezoelectric resonator
piezoelectric actuator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE10010707A
Other languages
English (en)
Other versions
DE10010707A1 (de
Inventor
Gerhard Diefenbach
Christian Reichinger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Original Assignee
Philips Corporate Intellectual Property GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to DE10010707A priority Critical patent/DE10010707C2/de
Application filed by Philips Corporate Intellectual Property GmbH filed Critical Philips Corporate Intellectual Property GmbH
Priority to AT01200747T priority patent/ATE329401T1/de
Priority to CNB011172266A priority patent/CN1241318C/zh
Priority to EP01200747A priority patent/EP1130756B1/de
Priority to DE50109989T priority patent/DE50109989D1/de
Priority to US09/796,968 priority patent/US6563253B2/en
Priority to IL14175801A priority patent/IL141758A0/xx
Priority to JP2001058608A priority patent/JP2001286165A/ja
Priority to KR1020010011117A priority patent/KR20010087330A/ko
Publication of DE10010707A1 publication Critical patent/DE10010707A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10010707C2 publication Critical patent/DE10010707C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B26HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
    • B26BHAND-HELD CUTTING TOOLS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B26B19/00Clippers or shavers operating with a plurality of cutting edges, e.g. hair clippers, dry shavers
    • B26B19/28Drive layout for hair clippers or dry shavers, e.g. providing for electromotive drive
    • B26B19/282Motors without a rotating central drive shaft, e.g. linear motors
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001Driving devices, e.g. vibrators
    • H02N2/002Driving devices, e.g. vibrators using only longitudinal or radial modes
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/005Mechanical details, e.g. housings
    • H02N2/0055Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
    • H02N2/006Elastic elements, e.g. springs
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/103Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor

Description

Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Aktuator zum Antrieb eines beweglichen Teils mit einem länglichen piezoelektrischen Resonator, welcher dazu vorgesehen ist, Longitudinalschwingungen auszuführen und auf welchen elastische Mittel einwirken.
Der Einsatz piezoelektrischer Antriebe in kleinen Elektrogeräten gewinnt immer mehr an Bedeutung, da diese Antriebsform sehr robust, kompakt und flexibel einsetzbar ist. Ein solcher piezoelektrischer Antrieb ist in der Schrift US 4,019,073 dargestellt. Es handelt sich dabei um einen longitudinalschwingenden piezoelektrischen Resonator, der eine Welle antreibt. Weiterhin ist das der Welle zugewandte Ende des piezoelektrischen Resonators an einer Feder befestigt, wobei die Feder eine Kraft senkrecht auf den Rotor ausübt und diesen gegen die Welle gedrückt. Durch diese wird der Wirkungsgrad nachteilig beeinflusst.
Aus der Schrift DE 198 17 038 A1 ist ein Piezomotor mit einem quaderförmigen Piezoelement bekannt, welches einen drehbaren Gegenstand antreibt. Das Piezoelement schwingt in longitudinaler Richtung, ist vorspannungsfrei eingespannt und seitlich durch steife Führungselemente geführt. Als Vorspannelement wird eine Feder benutzt, welche in longitudinaler Richtung eine Kraft auf das Piezoelement ausübt. Durch die Kombination longitudinaler Schwingungen mit transversalen Schwingungen führt ein Stößel an der Spitze des Piezoelements elliptische Bewegungen aus und ermöglicht so Drehbewegungen des anzutreibenden Gegenstands.
Einen weiteren piezoelektrischen Antrieb offenbart die Schrift US 5,877,579. Hier treibt ein dünnes, rechteckiges Piezoelement mit mehreren Elektroden ein bewegliches Teil an. Das Piezoelement ist dabei auf einer Seite durch feste Führungselemente und auf der gegenüberliegenden Seite durch federnde Führungselemente gelagert. Gegen das bewegliche Teil wird das Piezoelement durch eine weitere Feder vorgespannt. Diese Feder und die federnden Führungselemente weisen eine Resonanzfrequenz auf, welche sich signifikant von der Resonanzfrequenz des Piezoelements unterscheidet.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen piezoelektrischen Aktuator mit hohem Wirkungsgrad zu schaffen.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass mindestens ein piezoelektrischer Resonator und ein Federmittel, welches eine Kraft auf den piezoelektrischen Resonator zumindest in Richtung seiner Longitudinalschwingungen ausübt, so angeordnet sind, dass sich das Federmittel auf den piezoelektrischen Resonator abstützt, wobei die Resonanzfrequenz des Federmittels viel kleiner als die Resonanzfrequenz des piezoelektrischen Resonators ist.
Diese Lösung bietet den großen Vorteil, dass der piezoelektrische Resonator in longitudinaler Schwingungsrichtung ohne große Widerstände zu überwinden schwingen kann. Wenn sich der Resonator ausdehnt, übt er eine Kraft auf das bewegliche Teil aus, wodurch das bewegliche Teil in Bewegung versetzt wird. Diese Kraft kann nur ausgeübt werden, wenn sie eine Gegenkraft erfährt. Diese Gegenkraft bringt das elastische Mittel auf. Wenn sich der Resonator zusammenzieht, muss die Gegenkraft des elastischen Mittels so gering wie möglich sein. Dies ist dadurch möglich, dass piezoelektrischer Resonator und elastisches Mittel nicht aneinander befestigt sind, sondern sich nur aufeinander abstützen und durch die unterschiedlichen Resonanzfrequenzen von piezoelektrischem Resonator und Federmittel auch den Kontakt zueinander verlieren können. Je ungehinderter ein piezoelektrischer Resonator schwingen kann, desto höher fällt sein Wirkungsgrad aus. Im Gegensatz dazu muss der piezoelektrische Resonator nach US 4,019,073 einen Teil der zugeführten elektrischen Energie dazu aufwenden, Reibungswiderstände zu überwinden und das Federmittel zu spannen.
In der Ausgestaltung nach Anspruch 2 treibt der piezoelektrische Resonator einen Rotor an. Um den Wirkungsgrad weiter zu steigern, ist es wichtig, den optimalen Winkel zwischen piezoelektrischem Resonator und dem Rotor zu finden. Dieser Winkel ist unter anderem abhängig von der Materialbeschaffenheit von Resonator und Rotor und dem davon abhängigen Reibungskoeffizienten. Mittels dieses Koeffizienten lässt sich der optimale Winkel berechnen und einstellen.
Die Ausgestaltung nach Anspruch 3 bietet den Vorteil, dass der piezoelektrische Resonator an seinem dem Rotor zugewandten Ende dem Rotor nicht ausweichen kann. So wird ein Wegdrehen des Resonators vom Rotor zuverlässig verhindert.
In der Ausgestaltung nach Anspruch 4 wird das Problem berücksichtigt, dass sich durch die Reibung zwischen piezoelektrischem Resonator und den Führungselementen und die Andruckkraft des Resonators auf den Rotor der Winkel mit der Zeit vergrößert, da durch Abnutzungserscheinungen ein Materialabtrag stattfindet. Um diesem vorzubeugen, wird der Winkel ein wenig kleiner gewählt als berechnet, womit der im Betrieb erfolgenden Winkelvergrößerung Rechnung getragen ist.
Die Ausgestaltung nach Anspruch 5 verbessert die Kraftübertragung des piezoelektrischen Resonators. Damit der Wirkungsgrad erhöht wird, ist es von Vorteil, ein hartes Material am dem Rotor zugewandten Ende des piezoelektrischen Resonators aufzubringen. Dieses Material ist abnutzungsbeständig und stellt gleichzeitig den für eine gute Kraftübertragung zwischen Resonator und Rotor notwendigen hohen Reibungskoeffizienten sicher.
Der Mehrschichtresonator nach Anspruch 6 lässt sich mit deutlich geringeren Spannungen betreiben als ein herkömmlicher Einschichtresonator. Dies senkt den Energieverbrauch.
Die Ausgestaltung nach Anspruch 7 sorgt dafür, dass weniger Energie über die Kontaktstellen zwischen Resonator und Führungselementen normal zum Resonator in die Führungselemente übertragen wird. Resonator und Führungselemente sind deshalb bewusst akustisch fehlangepasst. Die akustische Impedanz Z ist dabei als das Produkt aus Dichte ρ und Schallgeschwindigkeit vP
Z = pρ
definiert.
Nach Anspruch 8 ist vorgesehen, den piezoelektrischen Aktuator in einem elektrisch betriebenen Rasierapparat als Antrieb der Schneidwerkzeuge einzusetzen. Hierdurch wird der Energieverbrauch und das Gewicht im Vergleich zu Rasierapparaten mit herkömmlichen Elektromotoren deutlich gesenkt.
Die Ausgestaltungen nach Anspruch 9 und 10 betreffen einen Rasierapparat mit rotierendem Schneidwerkzeug. Durch den Einsatz der raumsparenden piezoelektrischen Aktuatoren ist es möglich, in einem Rasierapparat mit mehreren Rotoren diese mit je einem Antrieb zu versehen. Dadurch können die Rotoren völlig unabhängig voneinander gesteuert werden und mit unterschiedlichen Drehzahlen laufen. Herkömmliche Elektromotoren benötigen so viel Platz, dass speziell bei Rasierapparaten nur Platz für einen Motor vorhanden ist. Drehzahlunterschiede zwischen den gemeinsam angetriebenen Rotoren lassen sich dann höchstens durch ein Getriebe verwirklichen, was den Bauaufwand erhöht und keine variablen Drehzahlunterschiede zwischen den Rotoren ermöglicht.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend an Hand der Figuren näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 einen piezoelektrischen Aktuator mit einem piezoelektrischen Resonator, Führungselementen, einer Feder sowie einem anzutreibendem Rotor und
Fig. 2 eine schematische Draufsicht eines elektrisch betriebenen Rasierapparates mit drei piezoelektrischen Aktuatoren und drei rotierenden Schneidwerkzeugen.
Fig. 1 zeigt das Prinzip eines piezoelektrischen Aktuators 1, der einen Rotor 2 antreibt. Der Aktuator hat einen länglichen Resonator 3, der zwischen Führungselementen 4, 5 Longitudinalschwingungen ausführen kann. Das eine Ende 6 des Resonators 3 hat einen Berührungspunkt 7 mit der Außenfläche 8 des Rotors 2. Hier findet die Kraftübertragung statt, um der Rotor drehen zu lassen. Am anderer Ende 9 des Resonators stützt sich eine Feder 10 ab, derart dass die Richtung der Kraft der Feder auf den Resonator hauptsächlich gleich der Längsrichtung 11 des Resonators ist. Der Feder stützt sich nur auf den Resonator ab, ohne daran befestigt zu sein. Die Abstützung könnte aber auch an einem anderen Teil des Resonators stattfinden.
Der Resonator 3 bildet mit dem Rotor 2 einen spitzen Winkel α. Der Winkel α ist der Winkel zwischen der Längsrichtung 11 des Resonators 3 und der Normalen 12 auf die Außenfläche 8 des Rotors durch den Berührungspunkt 7. Der für einen optimalen Wirkungsgrad erforderliche Winkel α kann mittels des Reibungskoeffizienten zwischen piezoelektrischem Resonator 3 und Rotor 2 berechnet werden. Hierzu kann verwiesen werden auf EP 01313130. Um Abnutzungserscheinungen zu berücksichtigen, wird der Winkel α jedoch etwas geringer gewählt als der aus dem Reibungskoeffizient zwischen piezoelektrischem Resonator 3 und Rotor 2 berechnete optimale Winkel α. Dieser Reibungskoeffizient kann durch die Wahl einer anderen Materialschicht 13 erhöht werden, welche auf das Ende 6 des piezoelektrischen Resonator 3 aufgebracht wird. Vorzugsweise ist die Materialschicht auch hart, damit sich für den Kontakt eine hohe Kontaktsteifigkeit ergibt. Bei einer hohen Kontaktsteifigkeit wird nur ein geringer Teil der Piezoschwingungsamplitude dazu benötigt, die Normalkraft zu erzeugen. Der Resonator ist länger frei vom Rotor, hat deshalb eine höhere Güte, bei der gleichen angelegten Spannung eine größere, bei dem gleichen abgegebenen Drehmoment eine höhere Drehzahl. Dazu erhält der Rotor 2 ebenfalls eine Beschichtung oder besteht ganz aus dem harten Material. Die Materialschicht 13 und die Beschichtung des Rotors sind deshalb so aufeinander abzustimmen, dass die Kontaktsteifigkeit groß ist und gleichzeitig der Reibungskoeffizient zwischen diesen beiden Materialien groß ist. Vorzugsweise handelt es sich bei dem harten Material um Al2O3.
Um dem piezoelektrischen Resonator 3 nur Bewegungen in seiner Schwingungsrichtung zu gestatten, wird dieser von zwei sich schräg gegenüberliegenden Führungselementen 4, 5 geführt. Diese Führungselemente wirken mit Führungsflächen 14, 15 des Resonators 3 zusammen und sind so beschaffen, dass der piezoelektrische Resonator zwischen ihnen ungehindert Longitudinalschwingungen ausführen kann. Dazu bestehen die Führungselemente 4, 5 aus einem Material mit einer geringeren akustischen Impedanz als der piezoelektrische Resonator 3. Damit wird weitestgehend verhindert, dass Energie vom Resonator 3 in die Führungselemente 4, 5 abgegeben wird. Um bei einem längeren piezoelektrischen Resonator 3 eine bessere Führung zu ermöglichen, können auch mehr als die gezeigten zwei Führungselemente vorhanden sein. In Fig. 1 ist außerdem zu sehen, dass die Führungselemente so angeordnet sind, dass sich das mit der Führungsfläche 14 des piezoelektrischen Resonators 3 zusammenwirkende Führungselement 4, wobei die Führungsfläche 14 während des Betriebes vom Rotor 4 ausweichen möchte, näher am Rotor 2 befindet als das andere Führungselement 5. Oder anders gesagt: die Führungsfläche 14 des Resonators 3, die mit dem Führungselement 4 zusammenwirkt, bildet mit der durch den Berührungspunkt 7 verlaufenden Tangentialebene 16 an der Außenfläche 8 des Rotors einen Winkel β größer als 90°.
In der Ruheposition des Resonators 3 liegt die Feder 10 unter einer geringen Vorspannung gegen den Resonator an. Während des Betriebes führt der Resonator Longitudinalschwingungen aus, d. h. er wird abwechselnd länger und kürzer. Während der Periode des Längerwerdens stößt der Berührungspunkt 7 des Resonators gegen die Außenfläche 8 des Rotors 2, was eine Normalkraft N und eine Tangentialkraft T auf den Rotor zur Folge hat. Die Tangentialkraft T bewirkt eine Drehung des Rotors, während die Normalkraft N eine Reaktionskraft auf den Resonator 3 verursacht, die von der Feder 10 und von den Führungselementen 4, 5 aufgenommen wird. Während der Periode des Kürzerwerdens löst sich das Ende 9 des Resonators 3 wegen des großen Resonanzfrequenzunterschiedes zwischen der Feder 10 und dem Resonator 3 wenigstens zeitweise von der Feder 10.
In Fig. 2 ist ein elektrisch betriebener Rasierapparat 17 mit drei rotierenden Scherköpfen 18 zu sehen. Jeder Scherkopf hat ein Außenschneidelement 19 mit Haareinfangöffnungen 20 und ein Innenschneidelement 21, das gegenüber dem Außenschneidelement 19 antreibbar ist. Das Innenschneidelement 21 hat eine rotierende Welle 2 auf der Meißel 22 angeordnet sind. Diese Welle ist gleichzeitig der in Fig. 1 beschriebene Rotor 2, der von dem piezoelektrischen Aktuator 1 angetrieben wird. Jedes Innenschneidelement 21 wird also direkt von einem Aktuator 1 angetrieben. So kann auf ein Getriebe verzichtet werden. Dies ist besonders sinnvoll, wenn die Schneidelemente 20 mit unterschiedlichen Drehzahlen arbeiten sollen. Die Rotoren können völlig unabhängig voneinander gesteuert werden. Es ist auch möglich, jeden Rotor mit mehr als einem Aktuator anzutreiben.
Anstatt einen Rotor anzutreiben, könnte ein erfindungsgemäßer piezoelektrischer Aktuator auch für einen oszillierenden Antrieb eines Gerätes verwendet werden, z. B. zum Antrieb eines Schneidelementes eines sog. Vibrationsrasierapparates. Ein Untersetzungsgetriebe wird dabei eventuell notwendig sein.

Claims (10)

1. Piezoelektrischer Aktuator (1) zum Antrieb eines beweglichen Teils (2) mit einem länglichen piezoelektrischen Resonator (3), welcher dazu vorgesehen ist, Longitudinalschwingungen auszuführen, und auf welchen ein elastisches Mittel (10) einwirkt, dadurch gekennzeichnet,
dass sich das elastische Mittel (10) hauptsächlich in Längsrichtung auf den piezoelektrischen Resonator (3) abstützt und dazu vorgesehen ist, eine Kraft auf den Resonator (3) in Richtung auf das bewegliche Teil (2) auszuüben, wobei die Resonanzfrequenz des elastischen Mittels (10) viel kleiner als die Resonanzfrequenz des piezoelektrischen Resonators (3) ist, und
dass der piezoelektrische Resonator (3) senkrecht zu seiner Längsrichtung (11) von wenigstens einem Führungselement (4, 5) geführt wird.
2. Piezoelektrischer Aktuator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der piezoelektrische Resonator (3) einen Rotor (2) antreibt, wobei der piezoelektrische Resonator (3) in Schwingungsrichtung einen spitzen Winkel (α) mit einer Normallinie (12), welche senkrecht zu einer Tangentialebene (16) durch einen Berührungspunkt (7) von Rotor (2) und Resonator (3) verläuft, bildet und dieser Winkel (α) so gewählt wird, dass sich der höchstmögliche Wirkungsgrad ergibt.
3. Piezoelektrischer Aktuator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der piezoelektrische Resonator (3) wenigstens zwei gegenüberliegende und mit den Führungselementen (4, 5) zusammenwirkende Führungsflächen (14, 15) aufweist, wobei sich das Führungselement (4) auf der Führungsfläche (14) des piezoelektrischen Resonators (3), welche mit der Tangentialebene (16) an den Rotor (2) durch den Berührungspunkt (7) von Rotor (2) und Resonator (3) einen Winkel (β) größer als 90° bildet, näher am Rotor (2) befindet als alle weiteren vorhandenen Führungselemente (5), um ein Abheben des piezoelektrischen Resonators (3) vom Rotor (2) zu verhindern.
4. Piezoelektrischer Aktuator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Winkel (α) kleiner als der für den höchsten Wirkungsgrad optimale Winkel gewählt wird.
5. Piezoelektrischer Aktuator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der piezoelektrische Resonator (1) am Berührungspunkt mit dem Rotor (4) und der Rotor (4) selbst eine Beschichtung aus einem sehr harten Material, insbesondere Al2O3, aufweist.
6. Piezoelektrischer Aktuator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der longitudinalschwingende piezoelektrische Resonator (1) ein Mehrschichtresonator ist.
7. Piezoelektrischer Aktuator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Material der Führungselemente (4, 5) eine geringere akustische Impedanz aufweist als das Material des piezoelektrischen Resonators (1).
8. Elektrisch betriebener Rasierapparat mit wenigstens einem Schneidelement (21), das von wenigstens einem piezoelektrischen Aktuator nach Anspruch 1 angetrieben wird.
9. Elektrisch betriebener Rasierapparat nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Schneidelement (21) einen Rotor (2) aufweist, der rotierend von einem Aktuator (1) nach einem der Ansprüche 2 bis 7 antreibbar ist.
10. Elektrisch betriebener Rasierapparat nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass dieser mindestens zwei von Rotoren (2) rotierend antreibbare Schneidelemente (21) aufweist und die Rotoren (2) mit unterschiedlichen Drehzahlen rotieren.
DE10010707A 2000-03-04 2000-03-04 Piezoelektrischer Aktuator Expired - Fee Related DE10010707C2 (de)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10010707A DE10010707C2 (de) 2000-03-04 2000-03-04 Piezoelektrischer Aktuator
CNB011172266A CN1241318C (zh) 2000-03-04 2001-02-28 压电致动器
EP01200747A EP1130756B1 (de) 2000-03-04 2001-02-28 Piezoelektischer Aktuator
DE50109989T DE50109989D1 (de) 2000-03-04 2001-02-28 Piezoelektischer Aktuator
AT01200747T ATE329401T1 (de) 2000-03-04 2001-02-28 Piezoelektischer aktuator
US09/796,968 US6563253B2 (en) 2000-03-04 2001-03-01 Piezoelectric actuator
IL14175801A IL141758A0 (en) 2000-03-04 2001-03-01 Piezoelectric actutator
JP2001058608A JP2001286165A (ja) 2000-03-04 2001-03-02 圧電アクチュエータ
KR1020010011117A KR20010087330A (ko) 2000-03-04 2001-03-05 압전 액츄에이터

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10010707A DE10010707C2 (de) 2000-03-04 2000-03-04 Piezoelektrischer Aktuator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10010707A1 DE10010707A1 (de) 2001-09-13
DE10010707C2 true DE10010707C2 (de) 2002-01-10

Family

ID=7633576

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10010707A Expired - Fee Related DE10010707C2 (de) 2000-03-04 2000-03-04 Piezoelektrischer Aktuator
DE50109989T Expired - Fee Related DE50109989D1 (de) 2000-03-04 2001-02-28 Piezoelektischer Aktuator

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE50109989T Expired - Fee Related DE50109989D1 (de) 2000-03-04 2001-02-28 Piezoelektischer Aktuator

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6563253B2 (de)
EP (1) EP1130756B1 (de)
JP (1) JP2001286165A (de)
KR (1) KR20010087330A (de)
CN (1) CN1241318C (de)
AT (1) ATE329401T1 (de)
DE (2) DE10010707C2 (de)
IL (1) IL141758A0 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10146703A1 (de) * 2001-09-21 2003-04-10 Elliptec Resonant Actuator Ag Piezomotor mit Führung
US6825592B2 (en) 2000-03-23 2004-11-30 Elliptec Resonant Actuator Ag Vibratory motors and methods of making and using same
DE102006031233A1 (de) * 2006-07-06 2008-01-10 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Stellvorrichtung mit einer Reihenschaltung aus einem Linearaktuator und einer Feder
US7368853B2 (en) 2002-04-22 2008-05-06 Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10347774B4 (de) * 2003-10-14 2006-04-13 Siemens Ag Aufnahmehülse für einen Aktorkörper
US7355325B2 (en) * 2006-06-15 2008-04-08 Piezomotor Uppsala Ab Wide frequency range electromechanical actuator
JP5803294B2 (ja) * 2011-06-03 2015-11-04 セイコーエプソン株式会社 モーター、ロボットハンドおよびロボット
US8797152B2 (en) * 2011-06-28 2014-08-05 New Scale Technologies, Inc. Haptic actuator apparatuses and methods thereof
CN108055860B (zh) * 2015-02-06 2020-08-18 皇家飞利浦有限公司 双向致动器
US11197614B2 (en) * 2016-12-26 2021-12-14 Mitsubishi Electric Corporation Biological material measuring apparatus and method of measuring biological material
CN109787506A (zh) * 2019-02-28 2019-05-21 长安大学 一种基于悬臂梁振动的压电驱动微马达装置及其工作方法
JP2022532184A (ja) * 2019-05-10 2022-07-13 ミニスイス・ソシエテ・アノニム 駆動ユニット、および駆動ユニットを動作させるための方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4019073A (en) * 1975-08-12 1977-04-19 Vladimir Sergeevich Vishnevsky Piezoelectric motor structures
US5877579A (en) * 1993-07-09 1999-03-02 Nanomotion Ltd. Ceramic motor
DE19817038A1 (de) * 1998-04-17 1999-10-21 Philips Patentverwaltung Piezomotor
EP1313130A1 (de) * 1997-06-26 2003-05-21 Applied Science & Technology, Inc. Toroidförmige Reaktivgasquelle mit niedriegem Feld

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4249100A (en) * 1979-04-12 1981-02-03 Vasiliev Petr E Drive means and force control for piezoelectric vibration motor
US4613782A (en) * 1984-03-23 1986-09-23 Hitachi, Ltd. Actuator
DE3735623A1 (de) * 1987-10-21 1989-05-03 Philips Patentverwaltung Elektrischer rotations- oder linearmotor, dessen laeufer mittels ultraschallschwingungen angetrieben wird
US4997177A (en) * 1987-10-23 1991-03-05 Hitachi, Ltd. Method of and apparatus for conveying object by utilizing vibration
JPH06303782A (ja) * 1993-04-14 1994-10-28 Hitachi Ltd 駆動装置
JP2658930B2 (ja) * 1994-12-27 1997-09-30 日本電気株式会社 圧電型回転駆動装置
IL113291A0 (en) * 1995-04-06 1995-07-31 Nanomotion Ltd A multi-axis rotation device
DE19757139A1 (de) * 1997-12-20 1999-06-24 Philips Patentverwaltung Antriebsvorrichtung für wenigstens zwei Rotationselemente mit wenigstens einem piezoelektrischen Antriebselement
JP2000139086A (ja) * 1998-11-02 2000-05-16 Minolta Co Ltd 圧電アクチュエータ
US6068256A (en) * 1999-07-28 2000-05-30 Technology Commercialization Corp. Piezoelectric conveying device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4019073A (en) * 1975-08-12 1977-04-19 Vladimir Sergeevich Vishnevsky Piezoelectric motor structures
US5877579A (en) * 1993-07-09 1999-03-02 Nanomotion Ltd. Ceramic motor
EP1313130A1 (de) * 1997-06-26 2003-05-21 Applied Science & Technology, Inc. Toroidförmige Reaktivgasquelle mit niedriegem Feld
DE19817038A1 (de) * 1998-04-17 1999-10-21 Philips Patentverwaltung Piezomotor

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6825592B2 (en) 2000-03-23 2004-11-30 Elliptec Resonant Actuator Ag Vibratory motors and methods of making and using same
US6870304B2 (en) 2000-03-23 2005-03-22 Elliptec Resonant Actuator Ag Vibratory motors and methods of making and using same
US7173362B2 (en) 2000-03-23 2007-02-06 Bjoern Magnussen Vibratory motors and methods of making and using same
DE10146703A1 (de) * 2001-09-21 2003-04-10 Elliptec Resonant Actuator Ag Piezomotor mit Führung
US7368853B2 (en) 2002-04-22 2008-05-06 Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof
DE102006031233A1 (de) * 2006-07-06 2008-01-10 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Stellvorrichtung mit einer Reihenschaltung aus einem Linearaktuator und einer Feder
DE102006031233B4 (de) * 2006-07-06 2012-02-16 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Stellvorrichtung mit einer Reihenschaltung aus einem Linearaktuator und einer Feder

Also Published As

Publication number Publication date
CN1241318C (zh) 2006-02-08
EP1130756A2 (de) 2001-09-05
DE50109989D1 (de) 2006-07-20
JP2001286165A (ja) 2001-10-12
US6563253B2 (en) 2003-05-13
CN1313673A (zh) 2001-09-19
ATE329401T1 (de) 2006-06-15
US20010028205A1 (en) 2001-10-11
DE10010707A1 (de) 2001-09-13
EP1130756B1 (de) 2006-06-07
EP1130756A3 (de) 2005-04-06
IL141758A0 (en) 2002-03-10
KR20010087330A (ko) 2001-09-15
EP1130756A9 (de) 2001-11-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0313130B1 (de) Elektrischer Rotations- oder Linearmotor, dessen Läufer mittels Ultraschallschwingungen angetrieben wird
DE10010707C2 (de) Piezoelektrischer Aktuator
DE3626389C2 (de)
DE3500607C2 (de) Torsionsschwingungs-Ultraschallvibrator sowie Torsionsschwingungs-Piezomotor
DE3415630C2 (de)
EP0924778B1 (de) Antriebsvorrichtung für drei Rotationselemente mit wenigstens zwei piezoelektrischen Antriebselementen
WO2006027031A1 (de) Linearer ultraschallmotor
DE3710874A1 (de) Ultraschall-schwingungserzeuger und verfahren zu seiner antriebsregelung
EP1234346A1 (de) Piezoelektrischer antrieb
DE2530045C2 (de) Elektrostriktiver Motor
EP1438754B1 (de) Piezoelektrischer antrieb
WO2016012020A1 (de) Ultraschallmotor
DE102013110356B4 (de) Ultraschallaktor
DE10113660A1 (de) Piezoelektrischer Antrieb
EP1396012B1 (de) Piezoelektrischer antrieb
DE102004044184A1 (de) Miniaturisierbarer Motor
DE102007021338A1 (de) Piezoelektrische Antriebsvorrichtung
EP0706226B1 (de) Ultraschallmotor
EP0930959B1 (de) Schere
DE4438876A1 (de) Piezoelektrischer Motor
WO2011000609A1 (de) Vorrichtung zur reduktion und/oder kompensation von vibrationen, insbesondere für eine handwerkzeugmaschine und zur verwendung in handwerkzeugmaschinen
DE2802648A1 (de) In der marschrichtung umsteuerbare ruettelplatte
DE102005027727A1 (de) Antriebseinrichtung zur Finishbearbeitung
EP0642180A2 (de) Aktuator für ein bewegbares Element
DE10013731A1 (de) Schneidinstrument mit schwingender Klinge für medizinische Anwendungen

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee