DE10008103A1 - Ionisierungsröhre für Gase, insbesondere zur Erzeugung von Ozon - Google Patents
Ionisierungsröhre für Gase, insbesondere zur Erzeugung von OzonInfo
- Publication number
- DE10008103A1 DE10008103A1 DE10008103A DE10008103A DE10008103A1 DE 10008103 A1 DE10008103 A1 DE 10008103A1 DE 10008103 A DE10008103 A DE 10008103A DE 10008103 A DE10008103 A DE 10008103A DE 10008103 A1 DE10008103 A1 DE 10008103A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- tube
- electrode
- discharge tube
- ionization
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/10—Dischargers used for production of ozone
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/10—Dischargers used for production of ozone
- C01B2201/14—Concentric/tubular dischargers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/20—Electrodes used for obtaining electrical discharge
- C01B2201/22—Constructional details of the electrodes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/30—Dielectrics used in the electrical dischargers
- C01B2201/32—Constructional details of the dielectrics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2201/00—Preparation of ozone by electrical discharge
- C01B2201/70—Cooling of the discharger; Means for making cooling unnecessary
- C01B2201/72—Cooling of the discharger; Means for making cooling unnecessary by air
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Ionisierungssröhre für Gase, insbesondere zur Erzeugung von
Ozon, für Labor- und Versuchsgeneratoren, mit einem eine als Dielektrikum ausgebildete
Wandung und einen Strömungsraum für die Entladung und den Durchtritt des Gases besitzen
den Entladungsrohr und mit einer in diesem geführten, an einer Hochspannungsquelle an
schließbaren Innenelektrode und mit einer auf der Außenwandung des Entladungsrohres ange
ordneten oder zu dieser nach außen beabstandeten und konzentrisch zum Entladungsrohr an
geordneten, die Gegenelektrode zu der Innenelektrode darstellenden Außenelektrode,
wobei der Strömungsraum zwischen der Außenelektrode und der Außenwandung des dielek
trischen Entladungsrohres
und/oder zwischen der Innenseite der Außenwandung des dielektrischen Entladungsrohres und
der in dieser geführten Innenelektrode sich erstreckt,
und in diesem das in einer elektrischen Entladung zu ionisierende oder zu dissozierende Gas zu
führen ist und insbesondere die Synthese von Ozon aus dem zu ionisierenden und zu dissozie
renden sauerstoffhaltigen Gas in einer Gasentladung erfolgt.
Bisher bekannt sind vorwiegend konzentrisch gestreckte oder plattenförmige Ionisierungsröh
ren.
Nachteilig bei diesen ist, daß die Gehäuseabmessungen wegen der Bauform der Ionisierungs
röhre relativ groß sein müssen und eine besonders zentrische Anordnung von Innen- und Au
ßenelektrode erforderlich ist.
Aufgabe der Erfindung ist daher, eine Ionisierungsröhre für Gase zu entwickeln, welche klein
in den Abmessungen, besonders gut kühlbar und kostengünstig herstellbar ist sowie einen mo
dularen Aufbau gestattet.
Dabei soll trotz Verkleinerung der Bauform eine möglichst hohe Ozonausbeute gegeben sein.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist die Ausbildung einer Ionisierungsröhre der eingangs genannten
Art gemäß Anspruch 1 vorgesehen.
Insofern ist zumindest über einen Teil der Länge des Entladungsrohres in dessen Strömungs
raum die Innenelektrode außerzentrisch entlang einer schraubenfederförmigen Linie als
Drahtelektrode oder als Kapilarrohrelektrode oder in Form eines außerzentrisch im Strö
mungsraum gelagerten Drahtlitzengeflechtes geführt.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Ionisierungsröhre gemäß Anspruch 4 ist eine sich
gerade erstreckende Entladungsröhre mit in Längsrichtung gleichem Innendurchmesser und
gleichem Außendurchmesser vorgesehen, wobei die entlang einer schraubenfederförmigen Li
nie geführte, aus einem Draht oder aus einem beschichteten Kapilarrohr gebildete Innenelek
trode sich in Form einer langen Schraubenfeder mit konstanter Steigung und mit gleichbleiben
dem Wendeldurchmesser innen entlang des Entladungsrohres erstreckt.
Der Innendurchmesser des Strömungsraumes des Entladungsrohres ist dabei etwas größer als
der Außendurchmesser der Wendeln der schraubenfederförmig sich erstreckenden Innenelek
trode.
Der Leiterdraht dieser schraubenfederförmigen Innenelektrode verläuft außerzentrisch des
Strömungsraumes des Entladungsrohres, wobei der Abstand der Außenseite der Innenelektro
de zur Innenseite der aus einem dielektrischen Material bestehenden, den Strömungsraum be
grenzenden Außenwandung des Entladungsrohrs sehr gering, z. B. 0,1 mm sein kann.
Bei geeigneter Abstimmung des Außendurchmessers der Wendeln und des Innendurchmessers
des Strömungsraumes des Entladungsrohres, nämlich einer geringfügig kleineren Ausbildung
des Außendurchmessers der Wendeln der Innenelektrode, wird erreicht, daß der Leiterdraht
der Innenelektrode sich unmittelbar in geringem Abstand entlang der Innenseite der Wandung
des Strömungsraumes erstreckt und dort bei einer sich ausbildenden Gasentladung eine geringe
Schlagweite der Gasstrecke gegeben ist.
Im Querschnitt gesehen nimmt der Leiterdraht oder das Kapilarrohr der Innenelektrode bei
geringer Bemessung nur einen geringen Teil des Innenquerschnittes des Strömungsraumes ein,
wobei insofern die aus einem dünnen Draht oder einem dünnen Kapilarrohr von beispielsweise
4-5 × 10-4 m Durchmesser gebildete Innenelektrode nur einen geringen Strömungswiderstand
darstellt.
Es wird insofern die Strömungsgeschwindigkeit des Gases und des sich bei einer Gasentladung
in der Ionisierungsröhre bildenden Plasmas über den Querschnitt des Strömungsraumes des
Entladungsrohres und über dessen Länge durch die Innenelektrode nicht wesentlich verändert,
wobei sich insbesondere zur Ozonsynthese ein geeignetes nichtthermisches Plasma homogen
über das gesamte Volumen des Entladungsrohres ausbilden kann.
Es ergeben sich gute plasmaphysikalische Bedingungen für die Ozonerzeugung mit einem
gleichförmigen Entladungseinsatz und einer gleichmäßigen Entladungsentwicklung über die
gesamte Länge des Entladungsrohres, wobei sich insofern keine Konzentration des Plasmas auf
einzelne Entladungskanäle ergibt.
Die Ionisierungsröhre wird dabei in üblicher Weise mit sinusförmiger Wechselspannung und
Netzfrequenz (50 Hz) betrieben. Es sind dabei aber auch Frequenzen bis in den KHz-Bereich
möglich, wobei auch statt einer sinusförmigen Wechselspannung ein periodisches Laden und
Entladen der Ionisierungsröhre mit steilflankigen Spannungen erfolgen kann.
Die auf eine Hochspannung von beispielsweise 5000 Volt aufzuladende Innenelektrode ist da
bei aufgrund ihrer schraubenfederförmigen, über ihre gesamte Länge gewundenen Bauform
bedeutend länger als die Länge des Strömungsraumes des Entladungsrohres oder eines zen
trisch in diesem in Längsrichtung geradförmig geführten Entladungsdrahtes.
Aufgrund dieser größeren Länge stellt sich dabei eine höhere Ozonausbeute ein, wobei diese
sich auch aufgrund des geringen Abstandes der Wendeln der über einen schraubenförmigen
Linie geführten Innenelektrode zur dielektrischen Innenwandung des Entladungsrohres ergibt,
also der geringen Schlagweite der sich bei einer Gasentladung einstellenden Gasstrecke von
weniger als 1 mm.
Die in einer schraubenfederförmigen Linie geführte Innenelektrode weist dabei im Gegensatz
zu einem lediglich zentrisch geführten Draht oder einer Elektrode mit flacher gerader Oberflä
che eine veränderte Feldverteilung auf, wobei dies zu einer größeren Ladungsträgerdichte im
Bereich der Wendeln der Innenelektrode führt.
Aus dieser ergibt sich eine weitere Vergleichmäßigung der räumlichen Entladungsentwicklung
und eine höhere Ozonausbeute.
Sofern die Innenelektrode nicht aus einem Draht sondern aus einem Kapilarrohr gebildet ist,
welches auf der Außenseite als Dielektrikum ausgebildet ist, also keine elektrisch leitende Be
schichtung aufweist und in der Kapilarrohrmitte der Leiterdraht geführt ist, ergibt sich bei der
Anordnung dieses Kapilarrohres im Strömungsraum des Entladungsrohres eine Ionisierungs
röhre mit einem doppelten statt einem einfachen Dielektrikum.
Eine weitere Erhöhung der Ozonausbeute ist dadurch erreichbar, daß die Wandung des Entla
dungsrohres möglichst dünn gehalten wird. In Verbindung mit einem geringen Abstand der
schraubenfederförmig geführten Innenelektrode zur Wandung des Entladungsrohres ergibt sich
bei Ausbildung einer Gasentladung zudem eine geringe Schlagweite der Gasstrecke und damit
eine hohe Energiedichte über die Kapazität der Gasstrecke bzw. des Entladungsraumes und des
Dielektrikums der dünnen Wandung des Entladungsrohres.
In vorteilhafter Weise ist dabei gemäß Anspruch 4 des weiteren vorgesehen, daß das zur Bil
dung einer stillen Entladung notwendige Dielektrikum, bzw. die aus einem dielektrischen Ma
terial bestehende Wandung des Entladungsrohres einerseits möglichst lang ist und somit eine
große Fläche zur Ozonbildung zur Verfügung stellt, anderseits aber eine kompakte Bauform
gegeben ist.
Es ist insofern vorgesehen, daß das Entladungsrohr nicht gerade gemäß den vorwiegend be
kannten Entladungsröhren ausgebildet ist, sondern sich entlang einer schraubenförmigen Linie
gemäß den Wendeln einer längeren Schraubenfeder erstreckt, also gewunden ist.
Es ergibt sich insofern eine große Länge des Entladungsrohres, wobei die Länge der in diesem
geführten, zudem selbst schraubenfederförmig gewundenen Innenelektrode sich weiter be
trächtlich erhöht, da diese zusätzlich mit einem i. a. kleineren Gang entsprechend der Windung
des Entladungsrohres aufgewickelt ist. Dieser Gang der insofern zusätzlich schraubenfederför
mig gewundenen Innenelektrode, sei es nun eine Drahtelektrode, eine Kapilarrohrelektrode
oder eine aus einem Drahtlitzengeflecht gebildete Elektrode, entspricht im wesentlichen dem
des gewundenen Entladungsrohres. Es wird insofern zur Innenwandung des Entladungsrohres
immer ein ausreichender Abstand eingehalten.
Eine hohe Ozonausbeute mit gleichförmigen Entladungseinsatz und gleichmäßiger Entladungs
entwicklung ohne Konzentration auf Entladungskanäle ergibt sich dabei auch bei einer Innene
lektrode, welche in dem Entladungsrohr aus einem außerzentrisch angeordneten Drahtlitzen
geflecht besteht.
Dies kann dabei ein schraubenförmig sich windendes Band bilden oder auch einem koaxial zum
äußeren Entladungsrohr liegenden, in Längsrichtung durchgehenden zylinderförmigen Mantel,
wie er als äußere Erdabschirmung für Antennenkabel bekannt ist.
Ein derartiges Geflecht ist dabei aus einem ozonbeständigen Draht mit äußerst geringen
Durchmesser von beispielsweise 4-5 × 10-4 m herstellbar und im geringen Abstand von der
Innenwandung des Entladungsrohres anlegbar.
Es stellt sich dabei wiederum eine Veränderung der Feldverteilung gegenüber einem bloßen als
Innenelektrode zentrisch geführten Längsdraht ein, wobei sich vor den Drähten des Drahtge
flechtes eine größere Ladungsträgerdichte ergibt. Der Ozonbildungsprozeß verlagert sich dabei
in den Bereich zwischen der Innenwandung des Entladungsrohres und der Außenseite des
Drahtlitzengeflechtes.
Zur Bildung der Gegenelektrode kann dabei gemäß Anspruch 5 das Entladungsrohr konzen
trisch innerhalb eines äußeren, als Gegenelektrode anzuschließenden Metallrohres angeordnet
sein oder auf seiner Außenseite mit einer als Gegenelektrode verwendbaren Leiterschicht be
dampft sein.
Bei der Anordnung des Entladungsrohres innerhalb eines äußeren, von diesem in radialer
Richtung beabstandeten Metallrohres ergibt sich dabei der Vorteil, daß insofern durch ein
durch das Metallrohr geführtes Kühlmedium auch die Außenseite des Entladungsrohres kühl
bar ist.
Erfolgt dagegen die Bildung der Gegenelektrode unter Verwendung einer auf die Außenseite
des Entladungsrohres aufgebrachten Leiterschicht, so ist gemäß Anspruch 6 vorgesehen, die
Gegenelektrode derart auszubilden, daß innerhalb des eine axiale Ausnehmung aufweisenden,
schraubenfederförmig geführten Körpers des Entladungsrohres ein inneres Metallrohr ange
ordnet ist, welches mit der äußeren Beschichtung des Entladungsrohres in dessen Längsrich
tung fortlaufend elektrisch verbunden ist und somit ebenfalls ein Teil der äußeren Gegenelek
trode bildet.
Dieses innere als auch ein äußeres Metallrohr wird dabei auf Erdpotential gebracht, wogegen
die Innenelektrode mit einer sich z. B. sinusförmigen verändernden Hochspannung beaufschlagt
wird.
Das Erdpotential des inneren Metallrohres wird dabei zur entsprechenden Erdung der mit Me
tall bedampften Außenseite des schraubenförmig gewundenen Entladungsrohres auf diese
übertragen.
Gemäß Anspruch 7 erfolgt die Anordnung des schraubenförmig gewundenen Entladungsrohres
oder auch eines bloßen sich geradförmig erstreckenden Entladungsrohres in vorteilhafter Weise
innerhalb eines zur Führung eines Kühlmediums dienenden zylinderförmigen Mantelrohres,
wobei das gerade oder schraubenförmig gewundene Entladungsrohr mit seiner Außenseite
bzw. dem zusätzlich als Teil der Außenelektrode angeordneten äußeren Metallrohr oder dem
entsprechenden im Inneren, längs des Windungsgangs angeordneten inneren Metallrohr kon
zentrisch innerhalb des äußeren zylinderförmigen Mantelrohres angeordnet ist.
Gemäß Anspruch 8 wird dabei das zylinderförmige Mantelrohr mit einem Ein- und Auslaß für
das Kühlmedium versehen, so daß der Körper des schraubenförmig gewundenen Entladungs
rohres sowohl von der Innenseite als auch von der Außenseite kühlbar ist.
Zur Führung von Luft als Kühlmedium ist dabei in dem Strömungskanal des zylinderförmigen
Mantelrohres im Bereich des Rohrendes ein Ventilator zur Erhöhung der Luftströmung gemäß
Anspruch 9 angeordnet.
Gemäß Anspruch 10 ist die gemäß Anspruch 1 aus einem spiralfederförmig gewickelten Draht
bestehende Innenelektrode in vorteilhafter Weise nochmals in sich selbst wendelförmig gewic
kelt, wobei insofern eine große Drahtoberfläche gebildet wird und sich somit optimal plasma
physikalische Bedingungen für die Ozonerzeugung einstellen. Bei einem schraubenförmig ge
wundenen Entladungsrohr ergibt sich für eine derartige, in diesem angeordnete Drahtelektrode
eine insgesamt 3-fache Wicklung entlang drei unterschiedlichen schraubenförmigen Linien mit
unterschiedlichem Gang.
Gemäß Anspruch 11 ist dabei dieser einfach, zweifach oder dreifach schraubenfederförmig
geführte Draht der Innenelektrode zu einem schraubenfederförmigen Gebilde von einem Au
ßendurchmesser von 4 mm gewickelt, wobei der Drahtdurchmesser 0,1 mm beträgt.
Die Anordnung erfolgt dabei in einem Entladungsrohr mit einem Innendurchmesser von 5 mm
und einem Außendurchmesser von 7 mm, wobei insofern die Stärke des Dielektrikums
(Wandstärke des Entladungsrohres) 1 mm beträgt.
Gemäß Anspruch 12 erfolgt dabei die Verwendung eines koaxial zum äußeren Entladungsrohr
angeordneten, nur gemäß diesem einfach gewendelten Kapilarrohres mit koaxialer Gasumspü
lung mit einen Außendurchmesser von 4 mm, wobei eine Anordnung innerhalb eines Entla
dungsrohres mit einem Innendurchmesser von 5 mm erfolgt, welches einen Außendurchmesser
von 7 mm aufweist.
Das Kapilarrohr ist dabei außen unter Bildung der eigentlichen Innenelektrode mit einer leiten
den Metallschicht bedampft (Silberlack).
Die erfindungsgemäße Ionisierungsröhre zur Ozonerzeugung wird im folgenden anhand zweier
bevorzugter Ausführungsformen und deren Zeichnungen näher beschrieben.
In den Zeichnungen zeigen:
Fig. 1: Einen Längsschnitt durch eine erste Ausführungsform der Ionisierungs
röhre, deren Entladungsrohr als Wendelröhre aus Glas hergestellt ist,
welche eine innen entsprechend ihrem Gang geführte, zusätzlich in
Längsrichtung wendelförmig sich erstreckende, die Innenelektrode bil
dende Edelstahlspirale aufweist und außen als Außenelektrode eine
elektrisch leitende Metallschicht trägt. Die Entladungsröhre ist dabei in
nerhalb eines einen Strömungskanal bildenden länglichen äußeren Man
telrohres angeordnet;
Fig. 2: Einen Querschnitt durch das Entladungsrohr einer abgewandelten Ioni
sierungsröhre, welche statt einer Wendelröhre ein gestrecktes Entla
dungsrohr aufweist, mit zu diesem zentrisch in geringem Abstand zur
Innenseite angeordneter, entlang einer schraubenförmigen Linie geführ
ten Innenelektrode aus Draht sowie mit einer eine Außenelektrode bil
denden, leitenden äußeren Beschichtung der Entladungsröhre;
Fig. 3: Eine Querschnittsansicht durch das Entladungsrohr einer Ionisierungs
röhre mit Wendelröhre gemäß Fig. 1;
Fig. 4: Eine Ausführungsform der Ionisierungsröhre gemäß Fig. 1 und 3 in
einer Querschnittsansicht entlang einer durch die Mittelachse und Ein
laß-/Auslaßstutzen gehenden Schnittebene, wobei zusätzlich in Längs
richtung der Wendelröhre gemäß Fig. 1 bzw. 3 in deren axialer Aus
nehmung über die Länge des Bereichs der Wendel ein Metallrohr aus
elektrisch leitendem Metall oder mit einer äußeren derartigen Metallbe
schichtung geschoben ist, wobei die aufgedampfte, äußere Metallbe
schichtung der aus Glas bestehenden Wendelröhre auf Erdpotential in
Kontakt mit der elektrisch leitenden Außenseite des Metallrohres steht;
Fig. 5: Einen Querschnitt durch ein gewendeltes Entladungsrohr gemäß Fig. 3,
wobei statt einer schraubenförmig gewickelten dünnen Drahtelektrode
oder eines derart geführten dünnen Kapilarrohres ein koaxiales breites
Kapilarrohr mit zylinderförmig durchgehenden Mantel angeordnet ist.
In Fig. 1 und Fig. 4 ist jeweils eine als Ozonisator zu verwendende Ionisierungsröhre 1 wie
dergegeben, welche eine kompakte Bauform unter Ermöglichung einer hohen Ozonausbeute
u. a. insofern aufweist, als dessen Entladungsrohr 2 kein gerades gestrecktes Ozonrohr dar
stellt, sondern entlang einer schraubenförmigen Linie gemäß den Wendeln einer längeren
Schraubenfeder gewunden ist.
Querschnittsansichten eines derartigen in Form eines Wendelrohres aufgebauten Entladungs
rohres 2 sind dabei in Fig. 3 und 5 wiedergegeben.
In Fig. 2 ist dabei ein Querschnitt durch ein abgewandeltes Entladungsrohr 2' wiedergegeben,
welches gemäß dem Stand der Technik als gerades gestrecktes Ozonrohr ausgebildet ist, dabei
aber im Gegensatz zu derartigen Ozonrohren wie in den Ausführungen gemäß Fig. 1, 3, 4
und 5 eine Innenelektrode 5 in Form einer Drahtelektrode 9 aufweist, welche über die Länge
des Entladungsrohres und dessen Strömungsraum 4' außerzentrisch angelegt ist und entlang
einer schraubenfederförmigen Linie verläuft, also im Gegensatz zum Entladungsrohr 2' gewen
delt ist.
Das Prinzip dieser neuen Ionisierungsröhre 1 geht aus Fig. 1 hervor.
Die Ionisierungsröhre 1 besteht aus einer im Strömungsraum 4 des Entladungsrohres 2 außer
zentrisch angelegten, entlang einer schraubenförmigen Linie des Entladungsrohres geführten
und zusätzlich um sich gewendelten Innenelektrode 5, nämlich einer Drahtelektrode 9 (siehe
Fig. 2 und 3), oder einer größeren rohrförmigen, lediglich entsprechend der schraubenfeder
förmigen Linienführung des Entladungsrohres 2 geführten Kapilarrohrelektrode 10.
Das Entladungsrohr 2 wie auch das Kapilarrohr der Kapilarrohrelektrode 10 sind dabei aus
Glas oder Teflon gebildet, wobei also Materialien zu verwenden sind, welche ozonbeständig
sind.
Durch die außerzentrische Führung der Innenelektrode 5, welche im geringen Abstand zur
Innenseite der Außenwandung 3 des Entladungsrohres 2 zu liegen kommt, stellt sich bei einer
Gasentladung, welche zwischen der Innenelektrode 5 und einer auf der Außenseite des Entla
dungsrohres 2 befindlichen Außenelektrode wirkt, eine geringe Schlagweite der Gasstrecke der
Gasentladung ein, wobei auf der Innenseite der Außenwandung 3 sich eine Gegenspannung zu
der zwischen den Innen- und Außenelektroden 5,7 wirkenden, sinusförmig zu verändernden
Hochspannung auf- und abbaut.
Aufgrund dieser geringen Schlagweite ergibt sich somit eine hohe Energiedichte in dem Raum
zwischen Innenelektrode und der dielektrischen Außenwandung 3 und somit eine hohe
Ozonausbeute.
Die Ozonausbeute wird dadurch vergrößert, als die Innenelektrode 5 aus einem sehr langen
Draht oder Kapilarrohr besteht, welcher zunächst entsprechend dem Gang des schraubenför
mig gewundenen Entladungsrohres aufgewickelt ist und dabei des weiteren noch um sich selbst
in einer eigenen steileren schraubenfederförmigen Linie geführt ist.
Des weiteren ergibt sich eine hohe Ozonausbeute durch die größere Oberfläche bzw. Innen
seite des in Form eines Wendelrohres ausgebildeten Entladungsrohres 2.
Auf der Außenseite der Außenwandung 3 des Entladungsrohres 2 ist dabei eine aufgedampfte
Metallschicht (Silberlack) 11 vorgesehen, welche gemäß Fig. 1 die Außenelektrode 7 mitbil
det und gemäß Fig. 4 auf Grund der zusätzlichen Anordnung eines inneren Metallrohres 13 in
der zwischen den Wendeln gebildeten axialen Ausnehmung 12 des Entladungsrohres 2 zusam
men mit diesem inneren Metallrohr 13 die Außenelektrode 7 darstellt.
Diese Außenelektrode liegt dabei auf Erdpotential und bildet die Gegenelektrode zur
Innenelektrode 5.
Der Anschluß der Innenelektrode erfolgt dabei an eine Hochspannungsquelle 6 in Form eines
Hochspannungstrafos 8, wobei ein sinusförmiger Spannungsverlauf mit einem Frequenzbereich
von 50 Hz bis einigen kHz erzeugt wird.
Um die auftretende Verlustwärme beim Betrieb der Ionisierungsröhre abzuführen, ist dabei
eine Kühlung des Entladungsrohres 2 auf der Außenseite vorgesehen.
Insofern befindet sich, wie in Fig. 1 und 4 erkenntlich, das Entladungsrohr 2 innerhalb eines
äußeren zylinderförmigen Mantelrohres 14. Dieses wird dabei von einem Kühlmedium durch
strömt, welches über den Einlaßstutzen 15 und den Auslaßstutzen 16 des zylinderförmigen
Mantelrohres 14 geführt wird.
Sofern eine Kühlung mit Luft erfolgt, ist dabei gemäß Fig. 4 zusätzlich die Anordnung eines
Ventilators 19 am Ende des zylinderförmigen Mantels 14 vorgesehen. Das innere Metallrohr
13 ist am Ende zum Ventilator 19 hin geschlossen, so daß die Kühlluft für das Entladungsrohr
2 mit größerer Geschwindigkeit ausschließlich an der Außenseite des inneren Metallrohrs 13
geführt wird bzw. in den dort gebildeten Ringraum zum äußeren zylinderförmigen Mantelrohr
14.
In Fig. 1 und 4 ist dabei jeweils die Zuführung von Gas bzw. Luft oder Sauerstoff zur Ozon
bildung und die Abführung des synthesierten Ozons gezeigt. Zur Zuführung dient dabei der
Luft- oder Sauerstoff-Eingang 17 und zur Abführung des Ozons der Ozon-Luftausgang 18.
Die mit dieser Ionisierungsröhre erzielte Ozonausbeute entspricht etwa der einer konventio
nellen Ionisierungsröhre nach dem derzeitigen Stand der Technik von 50 cm Länge, während
die Ionisierungsröhre gemäß Fig. 1 und 4 lediglich eine Längenabmessung von 15 cm auf
weist.
Bei ca. 14 Windungen mit einem Durchmesser der Windung von 3 cm beträgt dabei die ge
streckte Baulänge des schraubenlinienförmig gewundenen Entladungsrohres 125 cm. Ein we
sentlicher Vorteil ist weiterhin, daß eine sehr hohe und im Querschnitt gleichmäßige Strö
mungsgeschwindigkeit gegeben ist, wobei ein freier Querschnitt von 20 mm2 (r = 2,52 mm)
gegenüber ca. 150 mm2 nach dem Prinzip der bekannten Ionisierungsröhren mit geradem ge
streckten Ozonrohr und koaxialer Umspülung der Innenelektrode gegeben ist.
Der Aufbau des als Wendelrohr ausgebildeten Entladungsrohres 2 ergibt sich dabei deutlich
aus Fig. 3 und 5. Das Entladungsrohr 2 besteht dabei aus einem schraubenförmig gewunde
nen Rohrkörper, welcher aus Glas gebildet ist und dessen Außenwandung 3 insofern ein Die
lektrikum darstellt.
Die Außenelektrode 7 ist dabei auf der Außenseite der Außenwandung 3 in Form einer Leiter
beschichtung 11 aufgebracht (Silberlack).
Innerhalb des Entladungsrohres 2 wird dabei der Strömungsraum 4 gebildet, in welchem das
sauerstoffhaltige Gas geführt und in der sich dort ausbildenden Gasentladung ionisiert wird.
Die entstehenden Sauerstoffatome werden in diesem Strömungsraum schließlich zu Ozon syn
thetisiert.
In Fig. 3 ist dabei die Anordnung der Innenelektrode als schraubenförmig gewickelte
Drahtelektrode 9 dargestellt, wobei insofern ein zusätzlicher steilerer Gang als die Windung
des Entladungsrohres gegeben ist, als im Querschnitt lediglich ein kleiner schraffierter Teil der
Drahtelektrode zu erkennen ist, während der übrige Gang der Drahtelektrode in Draufsicht
erscheint, also als Ringfläche wiedergegeben ist.
Die insofern doppelt wendelförmig ausgebildete Drahtelektrode 9 kommt dabei außerzentrisch
des Strömungsraumes 4 zu liegen und befindet sich mit ihren Wendeln in einem Bereich un
mittelbar vor der Innenseite der Außenwandung 3 des Entladungsrohres 2.
Dieser Abstand ist dabei je nach Verschiebung dieses wendelförmigen Gebildes kleiner oder
größer. Wesentlich ist dabei insbesondere, daß im Gegensatz zu gemäß dem Stand der Technik
in geraden gestreckten Ozonrohren mit Ringraum koaxial angeordneten und umspülten In
nenelektroden die wendelförmige Drahtelektrode 9 nur einen sehr geringen Strömungswider
stand verursacht, so daß die Strömungsgeschwindigkeit des zu ionisierenden Gases über dem
Querschnitt des Strömungsraumes 4 nur gering verändert wird. Des weiteren ergibt sich auf
grund der geringen Querschnittsabmessung des Entladungsrohres 2 im Bereich der Wendel und
damit der geringen Querschnittsfläche des dortigen Strömungsraumes 4 von z. B. lediglich 20
mm gegenüber der bedeutend größeren Querschnittsfläche des Ringraumes bekannter gerade
gestreckter Ozonrohre von beispielsweise 150 mm2 eine erheblich höhere Strömungsgeschwin
digkeit.
Der Durchsatz von sauerstoffhaltigem Gas zur Ozonbildung kann somit erheblich gesteigert
werden und somit auch die Ozonausbeute.
Der Vorteil einer gemäß dem Stand der Technik koaxial beidseits umspülten Kapilarrohrelek
trode 10, welche aber gemäß Fig. 5 in einem schraubenförmig gewundenen Entladungsrohr 2
angeordnet, also selbst gewunden ist, besteht zunächst in der kürzeren kompakten Bauform
des Entladungsrohres 2 und damit der Ionisierungsröhre 1, welche sich aus der Führung der
Kapilarrohrelektrode entsprechend der schraubenförmigen Windung des Entladungsrohres 2
ergibt.
Die Kapilarrohrelektrode 10 stellt einen etwas größeren Strömungswiderstand gegenüber dem
der Drahtelektrode 9 dar. Andererseits ist auch in dieser Ausführungsform aufgrund der gerin
gen Querschnittsfläche des Strömungsraumes 4 der Wendel des Entladungsrohres 2 eine hohe
Strömungsgeschwindigkeit und somit ein hoher Gasdurchsatz mit hoher Ozonausbeute gege
ben.
In Fig. 2 ist dabei im Querschnitt ein gestrecktes Entladungsrohr wiedergegeben, welches
insofern nicht gemäß Fig. 1, 3-5 als Wendelrohr ausgebildet ist.
Ein derartiges gestrecktes Entladungsrohr 2' eignet sich durchaus zur Aufnahme einer im
Strömungsraum 4' anzuordnenden, entsprechend einer schraubenförmigen Linie aufgewickel
ten Drahtelektrode 9 oder einer gewundenen Kapilarrohrelektrode 10, wie dies in Fig. 3 ge
zeigt ist.
Aufgrund der sich insofern einstellenden größeren Länge der Innenelektrode 5 bzw. 9 ergibt
sich eine höhere Ozonausbeute, wobei insofern die Länge des Entladungsrohres 2' gekürzt
werden kann und somit eine kompaktere Bauform der Ionisierungsröhre 1 gegeben ist.
Zum Vergleich der Ozonausbeute der bisher gegebenen Standard-Ionisierungsröhren der Firma
FISCHER Labor- und Verfahrenstechnik GmbH mit einem geraden gestreckten Ozonrohr bei
koaxialer Umspülung der Innenelektrode über einen äußeren Ringraum,
wurden folgende Vergleichsmessungen der Ionisierungsröhre gemäß Fig. 1 erstellt:
Es ist ein Aufbau der Ionisierungsröhre mit wendelförmigem Entladungsrohr aus Glas mit
14 Windungen und einer Längenabmessung von 15 cm und einem Durchmesser der Wendeln
vom 3 cm auf einem Radius des Strömungsraumes von 2,52 mm sowie mit in dessen Wendeln
geführter schraubenfederförmig aufgewickelter Drahtelektrode aus einem Edelstahldrahtmate
rial von 4-5 × 10-4 m Durchmesser und mit
einer Spannungsversorgung: von 5000 V über 220 V Wechselstrom, 50 Hz, 1,8 A gegeben:
Es ergeben sich insofern im wesentlichen die gleichen Ozonausbeuten von beträchtlich größe
ren Standard-Ozongeneratoren mit geradem gestreckten Ozonrohr und koaxialer Umspülung
der Innenelektrode in einem Ringraum der Baureihe OZ 502-503, siehe z. B. Zeichnung Nr.
0325-M2-0170-01-1F vom 14.09.1995 der Firma FISCHER Labor- und Verfahrenstechnik
GmbH.
Auf Grund fehlender Kühlung sind die unteren Konzentrationsmeßwerte von der Standard-
Ozon Leistungskurve aus der Druckschrift "Ozongeneratoren" gegenüber der Kurve OZ 503
nach unten abweichend. Die maximalen Leistungen werden problemlos erreicht.
Sofern man zwei derartige Ionisierungsröhren der Baureihe OZ 503 mit konzentrischen Edel
stahl-Stabelektroden parallelschaltet, wird eine Ozonausbeute bzw. Leistung von 20 g/Std. bei
einem Durchfluß von 500 l/Std. O2 gemäß der Leistung der Ionisierungsröhre mit Glaswen
delrohr und Edelstahl-Wendelelektrode nach der vorstehenden Ausführung etwa erzielt.
Es ergeben sich in Gegenüberstellung folgende technische Daten der Ionisierungsröhren:
vorstehende erfindungsgemäße Ausführungsform:
vorstehende erfindungsgemäße Ausführungsform:
Strömungsquerschnitt 20 mm2
Strömungslänge 1300 mm
Gas-Volumen 25 cm3
Entladungsfläche außen 220 cm2
Entladungsfläche innen 36 cm2
Strömungslänge 1300 mm
Gas-Volumen 25 cm3
Entladungsfläche außen 220 cm2
Entladungsfläche innen 36 cm2
Ausführungsform mit einem geraden gestreckten Ozonrohr und koaxialer Umspülung von
konzentrischen Edelstahl-Stabelektroden (OZ 503):
Strömungsquerschnitt 123 mm2 (246 mm2)
Strömungslänge 500 mm (500 mm)
Gas-Volumen 62 cm3 (124 cm3)
Entladungsfläche 628 cm2 (1256 cm2)
Strömungslänge 500 mm (500 mm)
Gas-Volumen 62 cm3 (124 cm3)
Entladungsfläche 628 cm2 (1256 cm2)
- - Die Angaben in der Klammer beziehen sich jeweils auf 2 parallelgeschaltete Ionisierungsröh ren OZ 503.
Im Gegensatz zu allen bisher bekannten Ionisierungsröhren zur Ozonerzeugung wird somit
erneuerungsgemäß auf eine konzentrische, gestreckte Form der Entladungsröhre bzw. eine
koaxiale Umspülung der Innenelektrode über einen Ringraum verzichtet, um eine kleinere
Bauform der Entladungsröhre zu erreichen und dabei insbesondere eine zentrische koaxiale
Anordnung von Innen- und Außenelektrode zu vermeiden.
Es ergibt sich neuerungsgemäß insofern
- - eine wesentlich kürzere Bauform der Ionisierungsröhre,
- - eine hohe Feldstärke durch Verwendung einer schraubenfederförmig aufgewickelten Innenelektrode aus einem dünnen Draht oder Kapilarrohr oder durch Verwendung eines derart geführten außerzentrisch gelagerten Drahtlitzengeflechtes,
- - eine turbulente Gasführung durch das als Wendelrohr ausgebildete Entladungsrohr, welches einen geringen Durchflußquerschnitt aufweist, wobei sich eine höherer Durchströmungs geschwindigkeit bei gleichmäßiger Konzentration im Gasstrom einstellt,
- - ein wesentlich kleineres Gasvolumen und höherer Konzentration von Ozon,
- - eine optimale Möglichkeit zur Tiefkühlung zur Verhinderung eines Zerfalls des gebildeten Ozons,
- - die Möglichkeit der Kühlung bei einer klein gehaltenen Bauform mit einer einfachen Kühlaggregat (z. B. nach dem Peltier-Effekt).
1
Ionisierungsröhre
2
,
2
' Entladungsrohr
3
,
3
' Außenwandung
4
,
4
' Strömungsraum
5
Innenelektrode
6
Hochspannungsquelle
7
,
7
' Außenelektrode
8
Hochspannungstrafo
9
Drahtelektrode
10
Kapilarrohrelektrode
11
,
11
' Leiterbeschichtung der Außenelektrode
12
axiale Ausnehmung
13
inneres Metallrohr
14
zylinderförmiges Mantelrohr
15
Einlaßstutzen
16
Auslaßstutzen
17
Luft- oder Sauerstoff-Eingang
18
Ozon-Luftausgang
19
Ventilator
Claims (14)
1. Ionisierungsröhre (1) für Gase, insbesondere zur Erzeugung von Ozon für Labor- und Ver
suchsgeneratoren, mit einem eine als Dielektrikum ausgebildete Außenwandung (3, 3') und
einen Strömungsraum (4, 4') für die Entladung und den Durchtritt des Gases besitzenden
Entladungsrohr (2, 2') und mit einer in diesem geführten, an einer Hochspannungsquelle (6)
anschließbaren Innenelektrode (5) und mit einer auf der Außenwandung (3) des Entladungs
rohres (2) angeordneten oder zu dieser nach außen beabstandeten und konzentrisch zum
Entladungsrohr (2) angeordneten, die Gegenelektrode zu der Innenelektrode darstellenden
Außenelektrode (7, 7'),
wobei der Strömungsraum (2) zwischen der Außenelektrode (7, 7') und der Außenwandung
(3, 3') des dielektrischen Entladungsrohres (2, 2') und/oder zwischen der Innenseite der Au
ßenwandung (3, 3') der dielektrischen Entladungsrohres (2, 2') und der in dieser geführten
Innenelektrode (5) sich erstreckt und in diesem das in einer elektrischen Entladung zu ioni
sierende oder zu dissozierende Gas zu führen ist und insbesondere die Synthese von Ozon
aus dem zu ionisierenden und zu dissozierenden sauerstoffhaltigen Gas in einer Gasentla
dung erfolgt,
dadurch gekennzeichnet, daß
zumindest über einen Teil der Länge des Entladungsrohres (2, 2') in dessen Strömungsraum
(4, 4') die Innenelektrode (5) außerzentrisch entlang einer schraubenfederförmigen Linie als
Drahtelektrode oder als Kapilarrohrelektrode oder in Form eines außerzentrisch im Strö
mungsraum gelagerten Drahtlitzengeflechtes geführt ist.
2. Ionisierungsröhre nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Drahtelektrode (9) aus einem schraubenförmig gewickelten drahtförmigen Leiter besteht
und das die Kapilarrohrelektrode (10) aus einem entlang einer schraubenförmigen Linie ge
führten Kapilarrohr besteht, in welchem mittig ein die Innenelektrode darstellender Draht
aus einem Leitermaterial geführt ist oder daß eine Leiterbeschichtung (11') auf der Außen
seite des Kapilarrohres aufgebracht ist.
3. Ionisierungsröhre nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Entladungsrohr (2) aus einem dünnwandigen Glas- oder Teflonrohr besteht.
4. Ionisierungsröhre nach einem der Ansprüche 1-3,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Entladungsrohr (2') sich geradförmig in Längsrichtung der Ionisierungsröhre (1) er
streckt oder daß es (2) entlang einer schraubenförmigen Linie gemäß den Wendeln einer
längeren Schraubenfeder gewunden ist.
5. Ionisierungsröhre nach einem der Ansprüche 1-4,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Entladungsrohr (2, 2') konzentrisch innerhalb eines äußeren, als Gegenelektrode anzu
schließenden Metallrohres angeordnet ist
oder daß auf der Außenwandung (3, 3') das Entladungsrohr mit einer als Gegenelektrode
verwendbaren Leiterschicht (7, 7') bedampft ist.
6. Ionisierungsröhre nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, daß
bei einem in Längsrichtung schraubenförmig gewundenen Entladungsrohr (2) die Außen
wandung (3) unter Bildung der Gegenelektrode mit Metall bedampft ist und innerhalb des
eine axiale Ausnehmung (12) aufweisenden schraubenfederförmigen Körpers des Entla
dungsrohres (2) ein inneres Metallrohr (13) geführt ist, welches mit der äußeren Beschich
tung (11) des Entladungsrohres (2) elektrisch verbunden ist und ebenfalls als äußere Ge
genelektrode wirkt.
7. Ionisierungsröhre mit einem schraubenförmig in Längsrichtung gewundenen Entladungsrohr
nach einem der Ansprüche 4-6,
dadurch gekennzeichnet, daß
das schraubenförmig gewundene Entladungsrohr (2) innerhalb eines zylinderförmigen, einen
größeren Innendurchmesser aufweisenden Mantelrohres (14) konzentrisch angeordnet ist,
wobei das Innere dieses Mantelrohres (14) zur Führung eines Kühlmediums für das Entla
dungsrohr (2) und damit für das in diesem geführte Gas dient.
8. Ionisierungsröhre nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Innere des zylinderförmigen Mantelrohres (14) und/oder des in der axialen Ausnehmung
(12) des Entladungsrohres (2) eingeschobenen Metallrohres (13) einen Strömungskanal zur
Luft- oder Wasserkühlung aufweist, wobei am Rohranfang ein Einlaßstutzen (15) für das
Kühlmedium und am Rohrende für dies ein Auslaßstutzen (16) angeordnet ist.
9. Ionisierungsröhre nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß
zur Kühlung mittels Luft am Rohrende ein Ventilator (19) zur Erzeugung einer verstärkten
Luftströmung im Strömungskanal des Mantelrohres (14) und/oder des in der axialen Aus
nehmung (12) des Entladungsrohres (2) eingesteckten inneren Metallrohres (13) angeordnet
ist.
10. Ionisierungsröhre nach einem der Ansprüche 1-9,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Wendeln der in einer schraubenfederförmigen Linie geführten Drahtelektrode (9) einen
Außendurchmesser von 4 mm aufweisen und daß das diese Innenelektrode aufnehmende
Entladungsrohr (2) einen Innendurchmesser von 5 mm besitzt und einen Außendurchmesser
von 7 mm, wobei der Drahtquerschnitt 0,1 mm beträgt.
11. Ionisierungsröhre nach einem der Ansprüche 1-9,
dadurch gekennzeichnet, daß
die konzentrisch im Entladungsrohr (2) angelegte Kapilarrohrelektrode (10) einen Innen
durchmesser von 4 mm und einen Außendurchmesser von 5 mm aufweist und in einer
schraubenförmigen Linie in den Wendeln eines längeren schraubenfederförmig gewundenen
Entladungsrohres (2) geführt ist, welches einen Innendurchmesser von 5 mm und einen Au
ßendurchmesser von 7 mm aufweist.
12. Ionisierungsröhre nach einem der Ansprüche 1-11,
dadurch gekennzeichnet, daß
die entlang einer schraubenfederförmigen Linie geführte Drahtelektrode (9) oder eine derart
geführte Kapilarrohrelektrode (10) und/oder das derart wendelförmig geführte Entladungs
rohr (2) über die gesamte Länge mit gleichem Außendurchmesser und im Querschnitt
gleichbleibend aufgebaut sind.
13. Ionisierungsröhre nach einem der Ansprüche 1-11,
dadurch gekennzeichnet, daß
Steigerung und/oder Ganghöhe der Drahtelektrode (9) oder der Kapilarrohrelektrode (10)
sich über die Länge der Elektrode ändern.
14. Ionisierungsröhre nach einem der Ansprüche 1-10,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Drahtlitzengeflechtelektrode oder die Kapilarrohrelektrode (10) gemäß der schrauben
förmigen Linie des Entladungsrohres (2) geführt und konzentrisch zu diesem mit einem zy
linderförmigen Mantel und in geringem Abstand zur Innenseite der Außenwandung (3) des
Entladungsrohres (2) angeordnet ist, wobei auf der Außenseite des Kapilarrohres eine Lei
terbeschichtung (11') aufgebracht ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10008103A DE10008103A1 (de) | 1999-06-15 | 2000-02-22 | Ionisierungsröhre für Gase, insbesondere zur Erzeugung von Ozon |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE29910447U DE29910447U1 (de) | 1999-06-15 | 1999-06-15 | Ionisierungsröhre für Gase, insbesondere zur Erzeugung von Ozon |
DE10008103A DE10008103A1 (de) | 1999-06-15 | 2000-02-22 | Ionisierungsröhre für Gase, insbesondere zur Erzeugung von Ozon |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10008103A1 true DE10008103A1 (de) | 2000-12-28 |
Family
ID=8074839
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE29910447U Expired - Lifetime DE29910447U1 (de) | 1999-06-15 | 1999-06-15 | Ionisierungsröhre für Gase, insbesondere zur Erzeugung von Ozon |
DE10008103A Withdrawn DE10008103A1 (de) | 1999-06-15 | 2000-02-22 | Ionisierungsröhre für Gase, insbesondere zur Erzeugung von Ozon |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE29910447U Expired - Lifetime DE29910447U1 (de) | 1999-06-15 | 1999-06-15 | Ionisierungsröhre für Gase, insbesondere zur Erzeugung von Ozon |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (2) | DE29910447U1 (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112978681B (zh) * | 2019-12-13 | 2023-08-08 | 无锡比格米智能科技有限公司 | 一种用于产生臭氧的改进型电击装置 |
-
1999
- 1999-06-15 DE DE29910447U patent/DE29910447U1/de not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-02-22 DE DE10008103A patent/DE10008103A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE29910447U1 (de) | 1999-09-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3422989C2 (de) | Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon | |
EP0357911B1 (de) | Ozonerzeuger | |
EP2016809B1 (de) | Kaltplasma-handgerät zur plasma-behandlung von oberflächen | |
CH626311A5 (de) | ||
CH652381A5 (de) | Vorrichtung und verfahren zur erzeugung von ozon. | |
EP0313802A1 (de) | Ozonerzeuger | |
CH677356A5 (de) | ||
DE4317964C2 (de) | Vorrichtung zur plasmachemischen Bearbeitung von Schadstoffen und Materialien | |
DE69130110T2 (de) | Generator aktiver spezie welcher eine beschichtete kleinkalibrige elektrode anwendet | |
DE102010044252A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung einer Barriereentladung in einem Gasstrom | |
EP0483938A1 (de) | Vorrichtung zur Erzeugung von Ozon aus Sauerstoff | |
DE2445603C3 (de) | Ionenquelle | |
DE2925667A1 (de) | Vorrichtung zur erzeugung von ozon | |
WO2004064461A1 (de) | Ionenbeschleuniger-anordnung | |
DE3731168C2 (de) | Ozonisator zur Erzeugung von Ozon durch kaltes Plasma für Wechselspannungsanregung im kHz-Bereich und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung | |
DE3220018C2 (de) | ||
EP0941145A1 (de) | Pulversprüheinrichtung | |
EP1849178A2 (de) | Dielektrische barriere-entladungslampe in doppelrohrkonfiguration | |
WO2003026365A1 (de) | Plasmabrenner mit mikrowellenanregung | |
EP3261985B1 (de) | Ozongenerator mit positionsabhängiger entladungsverteilung | |
DE10008103A1 (de) | Ionisierungsröhre für Gase, insbesondere zur Erzeugung von Ozon | |
EP1397308A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur erzeugung von ozon | |
DE19735362C2 (de) | Gasreaktor | |
DE2527609A1 (de) | Ionenquelle | |
DE10320805A1 (de) | Vorrichtung zur Bearbeitung von zylindrischen, zumindest eine elektrisch leitende Ader aufweisenden Substraten |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |