DE10006966A1 - Erzeugnis umfassend ein piezoelektrisches Substrat - Google Patents

Abstract

Das Erzeugnis umfaßt ein piezoelektrisches Substrat (1), eine auf einer aktiven Oberfläche (2) des Substrats (1) angebrachte Wandlerstruktur (3) mit zumindest zwei ersten Kontakten (4). Die Wandlerstruktur (3) vermittelt eine eindeutige Beziehung zwischen einer akustischen Oberflächenwelle auf der aktiven Oberfläche (2) und einem elektrischen Signal zwischen den ersten Kontakten (4). Auf der aktiven Oberfläche (2) und der Wandlerstruktur (3) ist eine Schutzschicht (5) aufgebracht, welche die aktive Oberfläche (2) passiviert und aus einem Mineral, vorzugsweise Siliziumnitrid, besteht.

Description

Die Erfindung betrifft ein Erzeugnis umfassend ein piezoelek­ trisches Substrat, eine auf einer aktiven Oberfläche des Sub­ strats angebrachte Wandlerstruktur mit zumindest zwei ersten Kontakten, welche Wandlerstruktur eine eindeutige Beziehung zwischen einer akustischen Oberflächenwelle auf der aktiven Oberfläche und einem elektrischen Signal zwischen den ersten Kontakten vermittelt, sowie eine auf der aktiven Oberfläche und der Wandlerstruktur angebrachte Schutzschicht, welche die aktive Oberfläche passiviert.

Ein solches Erzeugnis geht hervor aus der EP 0 542 469 A1. Dieses Erzeugnis ist ausgestaltet als Flüssigkeitssensor. Die Schutzschicht dieses Erzeugnisses bedeckt die Wandlerstruk­ tur, nicht aber andere Teile der aktiven Oberfläche, besteht aus Silikongummi und muß photolithographisch strukturiert werden. Das Erzeugnis ist dazu bestimmt, ein in einer Lösung gelöstes Agens nachzuweisen, indem dieses Agens sich an ein auf einer Haftschicht über der aktiven Oberfläche gebundenes Reagens bindet und somit einen zusätzlichen Ballast an der aktiven Oberfläche bildet. Dieser zusätzliche Ballast verän­ dert relevante Eigenschaften der aktiven Oberfläche, insbe­ sondere die Ausbreitungsgeschwindigkeit einer sich darauf ausbreitenden Oberflächenwelle. Das Agens wird nachgewiesen, indem eine entsprechende Veränderung der Ausbreitungsge­ schwindigkeit nachgewiesen wird. Aus dem zitierten Dokument sind auch viele Hinweise in Bezug auf den vorliegend relevan­ ten technologischen Hintergrund enthalten; auf diese Hinweise wird hiermit ausdrücklich Bezug genommen.

Auch aus der DE 44 18 926 C1 geht ein Erzeugnis wie vorste­ hend beschrieben hervor. Die Schutzschicht dieses Erzeugnis­ ses besteht aus aufgeschleudertem und thermisch polymerisier­ tem Polyimid. Zur Kontaktierung der Wandleranordnung des Erzeugnisses wird nichts ausgeführt. Die Verwendung von Polyi­ mid als Schutzschicht ist allerdings unter Umständen proble­ matisch, denn Polyimid ist sehr hydrophil und neigt dement­ sprechend zur Aufnahme von Wasser. Dementsprechend käme die­ ses Erzeugnis für eine Anwendung als Sensor nur in Frage, wenn das nachzuweisende Gas Wasserdampf wäre.

Ein als Sensor ausgestaltetes Erzeugnis umfassend ein piezo­ elektrisches Substrat, auf welchem zum Zweck der Meßwerter­ mittlung Oberflächenwellen angeregt werden, ist sehr einge­ hend beschrieben in der DE 42 17 049 A1. Aus diesem Dokument gehen insbesondere Hinweise hervor, welches Material für das Substrat in Frage kommt, wie die Wandlerstruktur ausgestaltet sein kann und wie das Erzeugnis zum Zwecke der Erhöhung der Meßgenauigkeit und zum Zwecke des Ausschlusses einer uner­ wünschten Beeinträchtigung weitergebildet werden kann. Auch bevorzugte Kombinationen mit mehreren solchen Erzeugnissen sind in diesem Dokument beschrieben.

Aus dem Buch "Flip-Chip-Technologies", herausgegeben von John H. Lau, McGraw-Hill, New York, N. Y., 1996, Bild 15.2 auf Sei­ te 438 nebst zugehöriger Beschreibung, geht ein Prozeß her­ vor, mit welchem auf einer flachen, elektrisch leitfähigen Schicht eines elektronischen Bauelementes ein erhabener Kon­ takt gebildet werden kann. Dazu wird die Schicht zunächst mit einer Haftschicht, bestehend aus einer Zink enthaltenden Ver­ bindungen, einem sog. Zinkat, versehen. Alternativ kann eine Haftschicht aus Palladium zum Einsatz kommen. Die Haftschicht wird nachfolgend in einem stromlosen galvanischen Prozeß mit Nickel versehen, welches auf der Haftschicht zu einem erhabe­ nen Körper aufwächst; abschließend wird dieser Körper mit ei­ ner Deckschicht aus Gold oder dergl. versehen und somit re­ sistent gegen Korrosion gemacht.

Die Wandleranordnung eines vorstehend beschriebenen Erzeug­ nisses herkömmlicher Art wird insbesondere aus Aluminium, d. h. reinem Aluminium oder einer geeigneten Legierung mit Aluminium als Grundbestandteil, hergestellt. Im Hinblick auf die Erzeugung und Ausbreitung von Oberflächenwellen hat Alu­ minium vorteilhafte Eigenschaften, jedoch ist Aluminium an­ fällig für Korrosion und muß dementsprechend vor entsprechen­ den störenden Einflüssen der Umgebung geschützt werden. Dies wird in der Regel bewerkstelligt, indem das Erzeugnis in ein hermetisch dichtes Gehäuse eingebaut wird. Soll das Erzeugnis jedoch als Chemosensor verwendet werden, so kommt der Einbau in ein hermetisch dichtes Gehäuse schlechterdings nicht in Frage. Es muß in Kauf genommen werden, daß Material aus der Umgebung des Erzeugnisses mehr oder weniger direkt an dieses bzw. eine auf diesem angebrachte chemosensitive Schicht ge­ langt. Dementsprechend kann gemäß herkömmlicher Praxis eine Beeinträchtigung des Erzeugnisses durch Korrosion oder dergl. nicht zuverlässig ausgeschlossen werden. Auch die Anbringung einer chemosenssitiven Schicht auf dem Erzeugnis ist unter Umständen problematisch, denn gemäß herkömmlicher Praxis kann keinesfalls davon ausgegangen werden, daß auf dem Erzeugnis einheitliche Bedingungen für die Haftung der chemosensitiven Schicht vorliegen. Insbesondere muß davon ausgegangen werden, daß die Oberflächenbeschaffenheit durch Einflüsse der Umge­ bung bei der Herstellung oder Lagerung beeinträchtigt ist.

Dementsprechend liegt die Aufgabe der nachfolgend zu be­ schreibenden Erfindung darin, ein Erzeugnis anzugeben, wel­ ches vor eventuellen nachteiligen Einflüssen seiner Umgebung zuverlässig geschützt ist. Vorzugsweise soll das Erzeugnis auch eine gute Voraussetzung für die Aufbringung einer chemo­ sensitiven Schicht bieten.

Zur Lösung dieser Aufgabe angegeben wird ein Erzeugnis umfas­ send ein piezoelektrisches Substrat, eine auf einer aktiven Oberfläche des Substrats angebrachte Wandlerstruktur mit zu­ mindest zwei ersten Kontakten, welche Wandlerstruktur eine eindeutige Beziehung zwischen einer akustischen Oberflächen­ welle auf der aktiven Oberfläche und einem elektrischen Sig­ nal zwischen den ersten Kontakten vermittelt, sowie eine auf der aktiven Oberfläche und der Wandlerstruktur angebrachte Schutzschicht, welche die aktive Oberfläche passiviert, und aus einem Mineral besteht.

Die Erfindung geht aus von dem Gedanken, daß eine das Erzeug­ nis passivierende mineralische Schicht sowohl als Schutz als auch als Basis für eine eventuell gewünschte chemosensitive Schicht vorgesehen wird. Insbesondere bietet die Schutz­ schicht gute und homogene Bedingungen für die Anbringung ei­ ner chemosensitiven Schicht. Das Mineral kann aus einer gro­ ßen Vielfalt von Werkstoffen ausgewählt und insbesondere un­ ter Zuhilfenahme der geläufigen CVD-Technik auf das Erzeugnis aufgebracht werden. Bevorzugt kommt ein Mineral zum Einsatz, das eine Schutzschicht bildet, die für Wasser undurchlässig ist; Beispiel für ein solches Mineral sind amorpher Kohlen­ stoff und, als besonders bevorzugtes Beispiel, Siliziumnit­ rid. Siliziumnitrid eignet sich hervorragend zur Aufbringung mit einem CVD-Prozeß.

Vorzugsweise weist die Schutzschicht eine mittlere Dicke auf, welche im wesentlichen gleich einer mittleren Dicke der Wand­ lerstruktur ist. Dies ist von besonderem Vorteil im Hinblick auf die eventuell gewünschte Anbringung einer chemosensitiven Schicht, denn es ist dadurch sichergestellt, daß eine durch den vorgesehenen Sensoreffekt bedingte materielle Veränderung der chemosensitiven Schicht, insbesondere eine Veränderung ihrer wirksamen Masse aufgrund der Adsorption eines nachzu­ weisenden Gases, eine ausgeprägte und leicht nachweisbare Wirkung auf die aktive Oberfläche des Substrats und die dort angeregten Oberflächenwellen hat.

Weiterhin vorzugsweise besteht die Wandlerstruktur des Er­ zeugnisses aus Aluminium, das heißt reinem Aluminium oder ei­ ner Legierung mit Aluminium als Grundbestandteil. Durch die Schutzschicht wird eine Beeinträchtigung des Erzeugnisses aufgrund der Korrosionsanfälligkeit des Aluminiums ausge­ schlossen, es bleiben aber die vorteilhaften Eigenschaften im Hinblick auf die möglichst ungestörte Ausbreitung der Ober­ flächenwellen erhalten. Es gibt somit keine Notwendigkeit mehr, die Wandlerstruktur zur Vermeidung von Korrosion aus einem Edelmetall wie Gold zu bilden, was hinsichtlich der Ausbreitung der Oberflächenwellen durch unerwünschte Reflexi­ on oder dergl. nachteilig wäre. Auch zeigt Aluminium auf je­ dem üblicherweise für das Substrat verwendeten Werkstoff eine deutlich bessere Haftung als Gold, was die Verwendung einer speziellen Haftschicht aus Chrom, Titan oder Platin, welche für Gold unerläßlich wäre, überflüssig macht.

Eine besonders bevorzugte Weiterbildung des Erzeugnisses zeichnet sich dadurch aus, daß eine chemosensitive Schicht über der aktiven Oberfläche auf der Schutzschicht aufgebracht ist. Auf die genaue Zusammensetzung und Wirkungsweise der chemosensitiven Schicht kommt es allenfalls in untergeordne­ ter Weise an, da die Schutzschicht eine nachteilige Wechsel­ wirkung zwischen der chemosensitiven Schicht und dem Substrat von vornherein ausschließt. Insbesondere ist die chemosensi­ tive Schicht derart ausgebildet, daß der Nachweis eines vor­ gegebenen Stoffes erfolgt durch Adsorption des Stoffes an die chemosensitive Schicht und Nachweis einer Zunahme der wirksa­ men Masse der chemosensitiven Schicht über die Beeinflussung relevanter Eigenschaften des Substrats, insbesondere der Aus­ breitungsgeschwindigkeit der Oberflächenwellen.

Eine ebenfalls besonders bevorzugte Weiterbildung des Erzeug­ nisses zeichnet sich dadurch aus, daß zumindest zwei zweite Kontakte vorgesehen sind, deren jeder über einem ersten Kon­ takt auf der Schutzschicht angebracht ist und mit diesem ei­ nen die Wandlerstruktur kontaktierenden Kondensator bildet. Dabei wird in Abkehr von der herkömmlichen Praxis davon abge­ sehen, die Wandlerstruktur über einen durchgehend elektrisch leitfähigen Pfad, also galvanisch, zu kontaktieren. Stattdes­ sen wird die Wandlerstruktur kapazitiv kontaktiert, wobei die Schutzschicht als Dielektrikum fungiert. Die kapazitive Kon­ taktierung ist angesichts dessen, daß ein mit Oberflächenwellen auf einem üblichen Substrat wechselwirkendes elektrisches Signal eine Frequenz von wenigstens einigen hundert MHz haben muß, bereits dann ausreichend und ohne wesentliche Beein­ trächtigung der relevanten Eigenschaften des Erzeugnisses wirksam, wenn die für die Kontaktierung zum Einsatz kommenden Kondensatoren jeweils eine Kapazität von einigen Picofarad oder mehr haben. Eine solche Vorgabe ist unter Verwendung ei­ ner vorstehend beschriebenen mineralischen Schutzschicht ohne weiteres erfüllbar; bei einer Dicke der Wandlerstruktur ent­ sprechend einem typischen Wert von etwa 100 nm und einer ver­ gleichbar dicken Schutzschicht erfordert die Realisierung ei­ nes Kondensators mit einer Kapazität von etwa 10 pF bei einer Schutzschicht aus Siliziumnitrid eine Fläche von 500 × 500 µm² - dies entspricht den Abmessungen eines herkömmlichen Kon­ takts.

Vorzugsweise ist jeder zweite Kontakt gebildet in Form einer auf der Schutzschicht angebrachten elektrisch leitfähigen Schicht; da diese Schicht unter Umständen Umgebungseinflüssen ausgesetzt ist, ist es vorteilhaft, sie aus einem Edelmetall, insbesondere Gold, zu bilden. Alternativ ist jeder zweite Kontakt ein auf die Schutzschicht aufgedrückter metallischer Stempel.

Anstelle der vorstehend beschriebenen kapazitiven Kontaktie­ rung kann auch eine galvanische Kontaktierung erfolgen. Zu diesem Zweck hat die Schutzschicht über jedem ersten Kontakt eine Ausnehmung, welche mit einem elektrisch leitfähigen Stopfen dichtend ausgefüllt ist. Dieser Stopfen besteht ins­ besondere aus einer auf dem zugehörigen ersten Kontakt ange­ brachten Haftschicht, welche insbesondere aus einer Zink ent­ haltenden Verbindung bestehen kann, einem auf der Haftschicht aufgewachsenen Körper aus Nickel und einer den Körper gegen die Umgebung schützenden Deckschicht aus einem Edelmetall, insbesondere aus Gold.

Ausgestaltungen der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung erläutert. Im einzelnen zeigt jede der Fig. 1 bis 4 eine Schnittansicht einer Ausführungsform des erfin­ dungsgemäßen Erzeugnisses, geschnitten in einer zur aktiven Oberfläche senkrechten Ebene.

Einander entsprechende Merkmale tragen in jeder Figur dassel­ be Bezugszeichen. Für die nachfolgende Erläuterung wesentli­ cher Eigenschaften des erfindungsgemäßen Erzeugnisses wird zunächst Bezug auf alle Figuren gemeinsam genommen.

Das Erzeugnis umfaßt ein piezoelektrisches Substrat 1, insbe­ sondere Quarz, Lithiumtantalat, Lithiumtetraborat oder Li­ thiumniobat, und auf diesem Substrat 1 ist eine aktive Ober­ fläche 2 definiert. Diese aktive Oberfläche 2 ist im allge­ meinen eben. Auf der aktiven Oberfläche 2 angebracht ist eine Wandlerstruktur 3, insbesondere umfassend eine Anordnung mit zumindest einem Interdigitalwandler sowie zwei erste Kontakte 4. Die Wandlerstruktur 4 besteht aus Aluminium und wird ins­ besondere durch einen photolithographischen Prozeß erzeugt.

Die Wandlerstruktur 3 vermittelt eine eindeutige Beziehung zwischen einer akustischen Oberflächenwelle auf der aktiven Oberfläche 2 und einem elektrischen Signal zwischen den ers­ ten Kontakten 4. Die Wandlerstruktur 3 wandelt ein erstes e­ lektrisches Signal um in eine Oberflächenwelle, welche sich in einer durch die Wandlerstruktur 3 beeinflußten Weise auf der aktiven Oberfläche 2 ausbreitet, und wandelt diese Ober­ flächenwelle wieder um in ein zweites elektrisches Signal. Zu diesem Zweck können zwei Interdigitalwandler vorgesehen sein, einer zur Erzeugung und einer zum Empfang der Oberflächenwel­ le, oder ein einziger Interdigitalwandler kombiniert mit ei­ nem Reflektor, welcher die vom Interdigitalwandler ausgesand­ te Oberflächenwelle zu diesem zurückreflektiert, wo sie wie­ derum in ein elektrisches Signal transformiert wird.

Die aktive Oberfläche 2 und die Wandlerstruktur 3 sind passi­ viert durch eine Schutzschicht 5, bestehend aus per CVD- Prozeß aufgebrachtem Siliziumnitrid. Die Schutzschicht 5 weist eine mittlere Dicke auf, welche im wesentlichen gleich einer mittleren Dicke der Wandlerstruktur 3 ist; sie erlaubt es somit, die Eigenschaften der aktiven Oberfläche 2 zu be­ einflussen durch eine auf der Schutzschicht 5 aufgebrachte chemosensitive Schicht 6. Die Beeinflussung geschieht derart, daß eine Belastung der aktiven Oberfläche 2 verändert wird, indem die chemosensitive Schicht 6 ein Gas adsorbiert. Solche chemosensitiven Schichten 6 sind in großer Vielzahl bekannt und einsetzbar zum Nachweis einer großen Vielzahl von ver­ schiedenen Gasen und anderen Agensien. Als einfaches Beispiel für ein solches Gas sei erwähnt Wasserdampf, zu dessen Nach­ weis die chemosensitive Schicht 6 im Grunde nur hinreichend hydrophil sein muß.

Die Kontakte 4 dienen dazu, das Erzeugnis elektrisch zu kon­ taktieren. Dazu gibt es mehrere voneinander verschiedene Aus­ führungsformen, welche in den Figuren jeweils dargestellt sind und nachfolgend einzeln erläutert werden.

In der Ausführung gemäß Fig. 1 weist das Erzeugnis zweite Kontakte 7 auf, deren jeder über einem ersten Kontakt 4 auf der Schutzschicht 5 angebracht ist und mit diesem einen die Wandlerstruktur 3 kontaktierenden Kondensator bildet. Jeder zweite Kontakt 7 ist seinerseits über einen Anschluß 8, gemäß Fig. 1 ein angelöteter Draht 8, kontaktiert. Für die Funkti­ on des Kondensators gebildet aus erstem Kontakt 4 und zweitem Kontakt 7 ist lediglich eine hinreichende Kapazität erforder­ lich. Bei einer mittleren Dicke der Schutzschicht 5 von etwa 100 nm und einer Dielektrizitätskonstante des Siliziumnitrids von etwa 2 genügt für jeden Kondensator 4, 7 eine Fläche von etwa 500 µm², um eine zum unbeeinträchtigten Betrieb hinrei­ chende Kapazität von 10 pF zu bilden. Dies bedeutet, daß die Kontakte 4 und 7 in herkömmlicher Größe ausgeführt werden können. Wie gesagt ist diese Ausführungsform grundsätzlich geeignet in Kombination mit einer Schutzschicht 5 aus belie­ bigem Material.

Die Ausführungsform gemäß Fig. 2 entspricht im wesentlichen der Ausführung gemäß Fig. 1; lediglich sind für die An­ schlüsse 8 Stifte 8 vorgesehen, deren jeder auf einen zweiten Kontakt 7 aufgepreßt ist.

Auch die Ausführungsform gemäß Fig. 3 entspricht funktionell weitgehend der Ausführungsform gemäß Fig. 1. Es ist aller­ dings jeder zweite Kontakt 9 ein auf die Schutzschicht 5 auf­ gepreßter Stempel 9; die besondere elektrisch leitfähige Schicht 7 gemäß einer der vorigen Figuren entfällt. Als Anschluß 8 dient jeweils eine Verlängerung 8 des Stempels 9.

In der Ausführung gemäß Fig. 4 hat die Schutzschicht 5 über jedem ersten Kontakt 4 eine Ausnehmung, welche beispielsweise photolithographisch erzeugt werden kann und mit einem elekt­ risch leitfähigen Stopfen 11, 12, 13 ausgefüllt ist. Der Stopfen 11, 12, 13 schließt die Schutzschicht 5 dicht ab und beeinträchtigt somit die Passivierung der aktiven Oberfläche 2 und der Wandlerstruktur 3 nicht. Der Stopfen 11, 12, 13 wird gebildet, indem zunächst eine Haftschicht 11 auf dem ersten Kontakt 4 angebracht wird. Die Haftschicht 11 besteht aus einer Zink enthaltenden Verbindung, einem sog. Zinkat, und wird anschließend in einem stromlosen galvanischen Prozeß mit Nickel beschichtet, welches zu einem Körper 12 auf der Haftschicht 11 aufwächst. Schließlich wird auf dem Nickel ei­ ne Deckschicht 13 aus Gold abgeschieden; diese bewirkt die gewünschte Passivierung des Stopfens 11, 12, 13.

Im Rahmen jeder beschriebenen Ausführung sind die aktive O­ berfläche 2 und die Wandlerstruktur 3 gleichermaßen ge­ schützt; auch bildet die Schutzschicht 5 eine homogene Ober­ fläche für jedwede eventuell erforderliche chemische Vorbe­ handlung und zur Verankerung einer eventuell gewünschten chemosensitiven Schicht 6. In jedem Fall hat das Erzeugnis eine Kontaktierung, die die Passivierung nicht beeinträchtigt.

Claims (12)

1. Erzeugnis umfassend ein piezoelektrisches Substrat (1), eine auf einer aktiven Oberfläche (2) des Substrats (1) an­ gebrachte Wandlerstruktur (3) mit zumindest zwei ersten Kon­ takten (4), welche Wandlerstruktur (3) eine eindeutige Bezie­ hung zwischen einer akustischen Oberflächenwelle auf der ak­ tiven Oberfläche (2) und einem elektrischen Signal zwischen den ersten Kontakten (4) vermittelt, sowie eine auf der akti­ ven Oberfläche (2) und der Wandlerstruktur (3) angebrachte Schutzschicht (5), welche die aktive Oberfläche (2) passi­ viert, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (5) aus einem Mineral besteht.

2. Erzeugnis nach Anspruch 1, bei dem das Mineral undurchläs­ sig für Wasser ist.

3. Erzeugnis nach einem der vorigen Ansprüche, bei dem das Mineral Siliziumnitrid ist.

4. Erzeugnis nach einem der vorigen Ansprüche, bei dem die Schutzschicht (5) einem mittlere Dicke aufweist, welche im wesentlichen gleich einer mittleren Dicke der Wandlerstruktur (3) ist.

5. Erzeugnis nach einem der vorigen Ansprüche, bei dem die Wandlerstruktur (3) aus Aluminium besteht.

6. Erzeugnis nach einem der vorigen Ansprüche, welches eine chemosensitive Schicht (6) aufweist, welche über der aktiven Oberfläche (2) auf der Schutzschicht (5) angebracht ist.

7. Erzeugnis nach einem der vorigen Ansprüche, welches zumin­ dest zwei zweite Kontakte (7, 9) aufweist, deren jeder über einem ersten Kontakt (4) auf der Schutzschicht (5) angebracht ist und mit diesem einen die Wandlerstruktur (3) kontaktierenden Kondensator bildet.

8. Erzeugnis nach Anspruch 7, bei dem jeder zweite Kontakt (7, 9) eine auf der Schutzschicht (5) angebrachte elektrisch leitfähige Schicht (7) ist.

9. Erzeugnis nach Anspruch 8, bei dem die elektrisch leitfä­ hige Schicht (7) aus einem Edelmetall, insbesondere Gold, be­ steht.

10. Erzeugnis nach Anspruch 7, bei dem jeder zweite Kontakt (7, 9) ein auf die Schutzschicht (5) aufgedrückter metalli­ scher Stempel (9) ist.

11. Erzeugnis nach einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem die Schutzschicht (5) über jedem ersten Kontakt (4) eine Ausneh­ mung (10) aufweist, welche mit einem elektrisch leitfähigen Stopfen (11, 12, 13) dichtend ausgefüllt ist.

12. Erzeugnis nach Anspruch 11, bei dem jeder Stopfen (11, 12, 13) aus einer auf dem zugehörigen ersten Kontakt (4) angebrachten Haftschicht (11), insbesondere bestehend aus ei­ ner Zink enthaltenden Verbindung, einem Körper (12) aus auf der Haftschicht (11) aufgewachsenem Nickel und einer Deck­ schicht (13) aus einem Edelmetall, insbesondere Gold, be­ steht.