DE10005754C2 - Leistungshalbleiterschaltungsanordnung mit schwingungsgedämpfter Parallelschaltung - Google Patents

Leistungshalbleiterschaltungsanordnung mit schwingungsgedämpfter Parallelschaltung

Info

Publication number
DE10005754C2
DE10005754C2 DE2000105754 DE10005754A DE10005754C2 DE 10005754 C2 DE10005754 C2 DE 10005754C2 DE 2000105754 DE2000105754 DE 2000105754 DE 10005754 A DE10005754 A DE 10005754A DE 10005754 C2 DE10005754 C2 DE 10005754C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
lamination
circuit arrangement
island
igbt
emitter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE2000105754
Other languages
English (en)
Other versions
DE10005754A1 (de
Inventor
Paul Mourick
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Semikron Elektronik GmbH and Co KG
Original Assignee
Semikron GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE19938302A external-priority patent/DE19938302C2/de
Application filed by Semikron GmbH and Co KG filed Critical Semikron GmbH and Co KG
Priority to DE2000105754 priority Critical patent/DE10005754C2/de
Publication of DE10005754A1 publication Critical patent/DE10005754A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10005754C2 publication Critical patent/DE10005754C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/07Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
    • H01L25/072Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00 the devices being arranged next to each other
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2223/00Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
    • H01L2223/58Structural electrical arrangements for semiconductor devices not otherwise provided for
    • H01L2223/64Impedance arrangements
    • H01L2223/66High-frequency adaptations
    • H01L2223/6644Packaging aspects of high-frequency amplifiers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/06Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of a plurality of bonding areas
    • H01L2224/0601Structure
    • H01L2224/0603Bonding areas having different sizes, e.g. different heights or widths
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4911Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain
    • H01L2224/49111Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain the connectors connecting two common bonding areas, e.g. Litz or braid wires
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4911Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain
    • H01L2224/49113Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain the connectors connecting different bonding areas on the semiconductor or solid-state body to a common bonding area outside the body, e.g. converging wires
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49171Fan-out arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49175Parallel arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01005Boron [B]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01029Copper [Cu]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • H01L2924/13055Insulated gate bipolar transistor [IGBT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/1901Structure
    • H01L2924/1904Component type
    • H01L2924/19041Component type being a capacitor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/30107Inductance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)
  • Power Conversion In General (AREA)
  • Thyristors (AREA)

Description

Die Erfindung beschreibt eine Leistungshalbleiterschaltungsanordnung mit den Merkmalen des Anspruches 1 der DE 199 38 302 C2. Schaltungsanordnungen mit Leistungsschaltern insbesondere IGBT (Insulated-Gate-Bipolar-Transistor) sind mehrfach aus der Literatur bekannt. Die zwischenzeitlich erlangte Komplexität des Aufbaus und die Vielfältigkeit der Wirkprinzipien von derartigen Schaltungsanordnungen ermöglichen es, nur Teilgebiete dieses umfangreichen Wissensfeldes zum Gegenstand von Verbesserungen zu machen.
So können die aktiven Leistungsbauelemente, wie Leistungsschalter und/oder Freilaufdioden, die passiven Bauelemente, wie Widerstände und/oder Kondensatoren, deren Aufbauten auf Isolierkeramiken mit den dazugehörenden Verbindungstechniken zu den äußeren Anschlüssen oder die Ansteuerung der Schaltungsanordnung Gegenstand von neuen. In jedem Falle wird durch jede neue Veröffentlichung der weiteren Entwicklung von Schaltungsanordnungen durch Optimieren eines Teilfachgebietes Rechnung getragen.
Der Stand der Technik zu dieser Zusatzanmeldung wird bereits im Hauptpatent dargestellt. Neben dem beabsichtigten und konstruktiv geplanten Verhalten von Schaltungsanordnungen, insbesondere solcher mit hoher Packungsdichte und hohen Leistungsaufnahmen, ergeben sich Wechselwirkungen und Nebeneffekte, die meist im Nachgang bei der Erprobung oder im Einsatzfall sichtbar werden und einer Nachbesserung bedürfen. Beispielhaft kann eine hohe Packungsdichte ungewollte Nebeneffekte in Form von hochfrequenten Schwingungen mit unterschiedlichen Ursachen und Folgen bewirken.
Parasitäre Induktivitäten und Kapazitäten sind in jeder Schaltungsanordnung durch die geometrische Anordnung der Einzelbauelemente und deren Zusammenschalten gegeben und es ist eine Frage des Wissens auf diesem Gebiet, um eine berechenbare Kalkulation mit entsprechenden Gegensteuerungen in die Schaltungen einzubauen. In jedem Fall sollte ein induktivitätsarmer Aufbau angestrebt und parasitäre Induktivitäten müssen weitgehend reduziert werden.
Bei Parallelschaltungen von mindestens zwei Leistungsschaltern, insbesondere bei Einsatz von IGBT, treten in solchem Maße größere Probleme auf, wie der Integrationsgrad wächst. Bereits bei zwei parallel geschalteten eng benachbarten IGBT können sich hochfrequente Schwingungen bemerkbar machen.
Das Auftreten von hochfrequenten Schwingungen wird bereits in DE 195 49 011 C2 beschrieben. Durch mindestens eine weitere Verbindungsleitung, die die Emitterkontakte zweier benachbarter IGBT-Chips elektrisch direkt miteinander verbindet, werden dort diese Schwingungen verhindert.
Im Hauptpatent wird die Vermeidung von hochfrequenten Schwingung durch Einbringen definierter unkaschierter Bereiche in das Kupfergebiet des DCB-Substrats (direct copper bonded) z. B des Kollektorbereiches beschrieben.
Bei der typische Ansteuerung eines IGBT-Leistungsschalter wird der Emitter auf das Gate rückgekoppelt. Dabei sind zwei mögliche Varianten zu unterscheiden. Für langsames Schalten des IGBT-Leistungsschalters wird die induktive Emittergegenkopplung eingesetzt. Dabei führt die Induktivität zwischen dem Emitterkontakt und dem Rückkoppelanschluss für das Gate zu einem Gegegenstrom in der Ansteuerung des IGBT-Leistungsschalters. Dieser führt dann zu einem langsamen Schaltverhalten des IGBT-Leistungschalters. Für Anforderungen, in denen ein sehr schnelles Schalten gewünscht ist wird daher der Rückkoppelanschluss nicht nach der Induktivität sondern direkt am Emitterkontakt angeschlossen. Für diese Schaltvariante ist ein zusätzlicher Hilfsemitteranschluss notwendig.
Dem Zusatzpatent liegt die Aufgabe zugrunde, die schwingungsvermeidenden Mechanismen gemäß Hauptpatent weiter zu optimieren.
Diese Aufgebe wird vom Prinzip her mit dem Bereitstellen eines Hilfsemitteranschlusses gelöst.
Das Prinzip wird nun anhand der Figuren erläutert.
Fig. 1 skizziert dabei den Schaltungsausschnitt bei zwei parallel geschalteten und in Reihe aufgebauten Chips von Leistungsschaltern.
Fig. 2 stellt ein Ausschnittsvergrößerung gemäß Fig. 1 nach einer Variante dar,
Fig. 3 stellt ein Ausschnittsvergrößerung gemäß Figur nach einer anderen Variante dar,
Fig. 1. Das die Kaschierung (6) unterbrechende unkaschierte Feld (12) zwischen den IGBT- Schaltern besitzt eine eigene kaschierte Insel derart, dass diese gegenüber der umgebenden Kaschierung elektrisch isoliert ist. Diese elektrisch isolierte Kaschierungsinsel (18) dient als Anschluß für den Hilfsemitter. Der Hilfsemitter verbindet die Emitterkontakte (15) der IGBT-Leistungsschalter (7) mit der entsprechenden Hilfsemittermetallisierung (14) auf der DCB. Zur Herstellung dieser Verbindung werden die nächstliegenden Emitterkontakte (15) der beiden benachbarten IGBT-Leisungsschalter (7) mit dieser Kaschierungsinsel (18) durch mindesten eine Bondverbindung (16) je IGBT kontaktiert. Die weitere Kontaktierung des Hilfsemitters wird durch mindestens eine Bondverbindung (13) ausgehend von der elektrisch isolierten Kaschierungsinsel (18) zum entsprechenden Hilfsemitteranschluß (14) des DCB- Substrats hergestellt. Spezielle Ausgestaltungen der Bondverbindungen (16) finden sich in den Fig. 2 und 3.
Der Vorteil dieses Ausgestaltung des Hilfsemitteranschlusses für schnelles Schalten liegt in der direkt benachbarten Anordnung der Anschlüsse des Gates (9) und des Hilfsemitters (14) auf der DCB. Der minimale Abstand von Gate- und Hlilfsemitteranschluss führt zu einer geringen umschlossenen Fläche und damit zu einer minimierten Induktivität. Dadurch wird vermieden, das größere Spannungen in der Schleife Gate-Hilfsemitter induziert werden. Somit ist eine weitere Voraussetzung für störungsfreies Schalten, d. h. frei von hochfrequenten Schwingungen, gewährleistet.
Fig. 2 stellt als eine Möglichkeit die Ausführung der Verbindungen zwischen den Emitterkontakten der IGBT- Leistungsschalter zur elektrisch isolierten Kaschierungsinsel dar. Ausgehend von dem jeweils nächst benachbarten Emitterkontakt (15) jedes IGBT-Leistungsschalters (7) wird mindestens eine Bondverbindung (16) zur Kaschierungsinsel (18) hergestellt.
Fig. 3 stellt als eine Möglichkeit die Ausführung der Verbindungen zwischen den Emitterkontakten des IGBT- Leistungsschalter zur elektrisch isolierten Kaschierungsinsel dar. Ausgehend von einem der nächst benachbarten Emitterkontakte (15) eines IGBT-Leistungsschalters (7) wird eine Bondverbindung (17) zur elektrisch isolierten Kaschierungsinsel (18) und von dort weiter zum nächst benachbarten Emitterkontakt des weiteren IGBT-Leistungsschalters geführt.

Claims (3)

1. Leistungshalbleiterschaltungsanordnung nach Hauptpatent DE 199 38 302 C2, aufgebaut mit mindestens zwei Halbleiterbauelementen (7) in Form von IGBT-Leistungsschaltern in Parallelschaltung auf aufbauseiteig mit Kupfer kaschierter und strukturierter Isolierkeramik (6) mit jeweils mindestens einem die Kaschierung unterbrechenden Bereich (12) zwischen benachbarten IGBT-Leistungsschaltern, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens einer der die Kaschierung unterbrechenden Bereiche (12) eine eigene, gegenüber der umgebenenden Kaschierung isolierte Kaschierung (Kaschierungsinsel) (18) zur Verwendung als Hilfsemitteranschluss aufweist.
2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktierung aller elektrisch isolierten Kaschierungsinseln (15) durch mindestens jeweils einen Verbindungsdraht der beiden direkt benachbarten Emitterkontaktfenster der jeweils benachbarten IGBT-Leistungsschalter vorgenommen wird. (Fig. 2)
3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktierung einer jeden elektrisch isolierten Kaschierungsinsel (18) durch mindestens einen Verbindungsdraht, der eine Kontaktierung des Emitterkontaktfensters des einen direkt benachbarten IGBT-Leistungsschalter zur Kaschierungsinsel und weiter zum direkt benachbarten Emitterkontaktfenster des weiteren IGBT-Leistungsschalter herstellt, vorgenommen wird. (Fig. 3)
DE2000105754 1999-08-12 2000-02-09 Leistungshalbleiterschaltungsanordnung mit schwingungsgedämpfter Parallelschaltung Expired - Lifetime DE10005754C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2000105754 DE10005754C2 (de) 1999-08-12 2000-02-09 Leistungshalbleiterschaltungsanordnung mit schwingungsgedämpfter Parallelschaltung

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19938302A DE19938302C2 (de) 1998-08-21 1999-08-12 Leistungshalbleiterschaltungsanordnung-g mit schwingungsgedämpfter Parallelschaltung
DE2000105754 DE10005754C2 (de) 1999-08-12 2000-02-09 Leistungshalbleiterschaltungsanordnung mit schwingungsgedämpfter Parallelschaltung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10005754A1 DE10005754A1 (de) 2001-08-23
DE10005754C2 true DE10005754C2 (de) 2002-02-07

Family

ID=26004255

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2000105754 Expired - Lifetime DE10005754C2 (de) 1999-08-12 2000-02-09 Leistungshalbleiterschaltungsanordnung mit schwingungsgedämpfter Parallelschaltung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE10005754C2 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10229625B4 (de) * 2001-11-01 2008-06-19 Mitsubishi Denki K.K. Halbleitereinrichtung

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10316357B4 (de) * 2002-10-25 2005-02-10 Semikron Elektronik Gmbh Verfahren zur Überwachung von Leistungshalbleiterbauelementen
DE10333315B4 (de) * 2003-07-22 2007-09-27 Infineon Technologies Ag Leistungshalbleitermodul
CN103594449B (zh) * 2013-11-19 2016-01-20 西安永电电气有限责任公司 一种igbt模块的电路板
EP3105791B1 (de) 2014-02-14 2021-05-26 ABB Power Grids Switzerland AG Halbleitermodul mit zwei hilfsemitter-leitungen

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10229625B4 (de) * 2001-11-01 2008-06-19 Mitsubishi Denki K.K. Halbleitereinrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
DE10005754A1 (de) 2001-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102010002627B4 (de) Niederinduktive Leistungshalbleiterbaugruppen
EP1389820B1 (de) Induktivitätsarme Schaltungsanordnung für Leistungshalbleitermodule
EP0427143B1 (de) Leistungshalbleitermodul
DE60127027T2 (de) Halbleiterelement mit Leistungsverdrahtungsstruktur
DE102014111931B4 (de) Niederinduktive Schaltungsanordnung mit Laststromsammelleiterbahn
DE102015115271A1 (de) Elektronikbaugruppe mit entstörkondensatoren
EP1083599B1 (de) Leistungshalbleitermodul
DE112018000701T5 (de) Leistungshalbleitermodul und leistungswandlervorrichtung
DE102005036116A1 (de) Leistungshalbleitermodul
DE112015000156T5 (de) Halbleitervorrichtung
EP2203937B1 (de) Verfahren zur herstellung einer elektronischen schaltung aus teilschaltungen
DE102005014746A1 (de) Aktive primärseitige Schaltungsanordnung für ein Schaltnetzteil
EP0738008B1 (de) Leistungshalbleitermodul
WO2016177491A1 (de) Verfahren zum herstellen einer elektronischen schaltungsvorrichtung und elektronische schaltungsvorrichtung
DE10005754C2 (de) Leistungshalbleiterschaltungsanordnung mit schwingungsgedämpfter Parallelschaltung
EP2557595A1 (de) Leistungselektronisches System mit einer Schalt- und einer Ansteuereinrichtung
DE102004046806B4 (de) Leistungshalbleitermodul
EP2413354B1 (de) Submodul und Leistungshalbleitermodul
DE102004027185B4 (de) Niederinduktives Halbleiterbauelement mit Halbbrückenkonfiguration
WO2000077827A2 (de) Niederinduktives halbleiterbauelement
EP0990301B1 (de) Leistungshalbleiter-anordnung auf dcb-substrat
EP3281289B1 (de) Leistungsstromrichter mit parallel geschalteten halbleiterschaltern
DE102019109461A1 (de) Leistungsmodul mit zwischenkreiskondensator
DE10158374C1 (de) Schaltungsanordnung zur Vermeidung von hochfrequenten Schwingungen in Leistungshalbleitermodulen
EP1237271B1 (de) Schaltungdanordnung für einen Treiber für Leistungshalbleitermodule

Legal Events

Date Code Title Description
AG Has addition no.

Ref document number: 19938302

Country of ref document: DE

AG Has addition no.

Ref document number: 19938302

Country of ref document: DE

OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
AG Has addition no.

Ref document number: 19938302

Country of ref document: DE

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: SEMIKRON ELEKTRONIK GMBH & CO. KG, 90431 NUERNBERG,

R071 Expiry of right