DE10002137B4 - Strahlabtastvorrichtung - Google Patents

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Abstract

Strahlabtastvorrichtung zur Abtastung eines Zielbereichs durch Verwendung eines optischen Strahles, gekennzeichnet durch
eine Lichtquelle (4), die Licht emittiert,
eine Kollimatorlinse (5) die von der Lichtquelle (4) emittiertes Licht in einen parallelen optischen Strahl umwandelt,
einen Antriebsmechanismus (9), um die Kollimatorlinse (5) entlang einem vorbestimmten Laufweg hin und her zu bewegen, wobei die primäre optische Achse (4a) des von der Lichtquelle (4) emittierten Lichtes und die optische Achse (5a) der Kollimatorlinse (5) in einer einzigen Ebene plaziert sind, um den optischen Strahl über den Zielbereich abzulenken, und
eine Anschlageinrichtung (10,204,203) zum Begrenzen der Bewegung der Kollimatorlinse (5), um dem Antriebsmechanismus zum Umkehren der Bewegungsrichtung der Kollimatorlinse (5) auferlegte Belastung zu mindern, wobei der Anschlagmechanismus wenigstens an einem der Punkte vorgesehen ist, an dem die Richtung der Hin-und-Her-Bewegung der Kollimatorlinse (5) von der einen Richtung auf die andere umgeschaltet wird, wobei der Antriebsmechanismus umfasst:
ein angetriebenes Teil...

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Strahlabtastvorrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 zum zweidimensionalen Abtasten eines Bereichs, welcher ein Meßobjekt ist, durch Verwendung eines optischen Strahls wie beispielsweise eines Laserstrahls.
  • Eine solche Strahlabtastvorrichtung ist bereits aus der Druckschrift US 5 374 817 A bekannt. Hier ist eine Linse auf einem Träger mit Mylar-Streifen angeordnet und wird durch einen Dauermagneten und einen Elektromagneten hin- und herbewegt. Wenn ein Strom durch die Spule geführt wird, erzeugt das Zusammenspiel der magnetischen Felder der magnetischen Spule und des Permanentmagneten eine Kraft, die den Magneten zusammen mit der Linse aus einer ursprünglichen Position heraus bewegt. Infolge dieser Bewegung wird eine Federkraft von jedem der Mylar-Streifen erzeugt, die den Dauermagneten und die Linse in die Ausgangsposition zurück bringen möchte.
  • Aus den Druckschriften EP 178 077 A1 sowie EP 249 642 A1 sind ebenfalls bereits Strahlabtastvorrichtungen bekannt.
  • Eine allgemein angewendete Vorrichtung zur Messung des Abstands zwischen Fahrzeugen (nachfolgend einfach als eine "Fahrzeugabstands-Meßvorrichtung" bezeichnet) umfaßt grundsätzlich eine optische Strahlabtastvorrichtung zum zweidimensionalen Abtasten eines vorderen Bereichs, welcher ein Meßobjekt ist (nachfolgend als ein "vorderer Bereich" bezeichnet), durch Verwendung eines Laserstrahls, ferner eine Lichtempfangseinrichtung zum Empfangen von reflektiertem Licht des so emittierten Laserstrahls, sowie eine Berechnungseinrichtung zum Berechnen des Abstands zwischen Fahrzeugen auf der Grundlage der Kennwerte des durch die Lichtempfangseinrichtung empfangenen Lichtes. Zum Beispiel offenbart die japanische Patentveröffentlichung JP 9274076 A abstract eine Vorrichtung zur Messung des Abstands zwischen Fahrzeugen.
  • In der in Zusammenhang stehenden Vorrichtung, die in der Fahrzeugabstands-Meßvorrichtung verwendet wird, wird Impulslicht, das von einer Lichtquelle wie beispielsweise einer Laserdiode ausgeht, als ein optischer Strahl mittels einer Kollimatorlinse emittiert, und der so emittierte optische Strahl wird auf eine Reflexionsplatte gestrahlt, welche schwen kend bewegt wird innerhalb eines gegebenen Winkelbereichs, oder auf einen rotierenden Polygonspiegel. Der vordere Bereich wird zweidimensional abgetastet durch Verwendung des von der Reflexionsplatte oder dem Polygonspiegel reflektierten Strahles. Zum Beispiel führt die Fahrzeugabstands-Meßvorrichtung, die in der zitierten Patentveröffentlichung beschrieben ist, eine zweidimensionale Abtastoperation durch Verwendung eines Polygonspiegels aus.
  • Die in Zusammenhang stehende Vorrichtung ist so angeordnet, dass sie eine Abtastoperation in einem vorbestimmten Winkelbereich durch Verwendung eines optischen Strahles ausführt mittels der Schwenkbewegung der Reflexionsplatte oder mittels der Rotation eines Polygonspiegels. Die Verwendung einer solchen Reflexionsplatte oder eines ähnlichen Elementes benötigt viel Platz, so dass die optischen Strahlabtastvorrichtung nicht kompakt gestaltet werden kann.
  • Ferner strahlt die in Zusammenhang stehende Vorrichtung einen optischen Strahl in der Form eines Impulssignals in Synchronisation mit dem Abtastwinkel aus. Wenn eine Versetzung entsteht zwischen dem Zeitpunkt, bei dem ein optischer Strahl gestrahlt oder (beleuchtet) wird, und dem Drehwinkel (das heißt dem Abtastwinkel) einer Reflexionsplatte oder eines Polygonspiegels, stößt die optische Strahlabtastvorrichtung auf das Problem der Unfähigkeit, voll über den ganzen Bereich abzutasten, welcher ein Meßobjekt ist. Um solch ein Problem zu umgehen, betätigt die erste in Zusammenhang stehende Vorrichtung eine Reflexionsplatte oder einen Polygonspiegel linear. Zu diesem Zweck erfordert ein Mechanismus zur Betätigung der Reflexionsplatte oder des Polygonspiegels Positionsgenauigkeit mit einem hohen Auflösungsgrad.
  • Im Hinblick auf den Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Strahlabtastvorrichtung bereitzustellen, die einerseits die Synchronisation zwischen dem Abtastwinkel der Kollimatorlinse und der Ausstrahlungszeitfolge sicherstellt, gleichzeitig ohne optische Ablenkeinrichtung der Reflexionsplatte oder Polygonspiegel auskommt, und die schließlich im Stande ist, die Antriebsenergie zum Umkehren der Bewegungseinrichtung einer Ablenkeinrichtung zu minimieren.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Bevor zugte Ausführungsbeispiele finden sich in den Unteransprüchen.
  • Um die obigen Ziele zu erreichen, ist die Vorrichtung der Erfindung so angeordnet, dass sie direkt und schwenkend eine Kollimatorlinse bewegt, durch welche ein von einer Lichtquelle ausgehender optischer Strahl durchgeht, innerhalb eines vorbestimmten Winkelbereichs durch Verwendung eines Antriebsmechanismus, womit die Notwendigkeit für eine optische Ablenkeinrichtung wie beispielsweise eine Reflexionsplatte oder einen Polygonspiegel umgangen wird. Daher kann die Vorrichtung kompakter gestaltet werden.
  • In der Vorrichtung der Erfindung ermittelt eine Positionsermittlungseinrichtung die Position der Kollimatorlinse, die durch den Schwenkmechanismus betätigt wird. Auf der Grundlage der Drehwinkelposition der Kollimatorlinse werden die Schwenkbewegung der Kollimatorlinse und der Zeitpunkt, in dem die Lichtquelle beleuchtet wird, einer Rückführsteuerung unterworfen. Dementsprechend kann der Zeitpunkt, in dem die Lichtquelle beleuchtet wird, genau synchronisiert werden mit der Drehwinkelposition der Kollimatorlinse, womit eine angemessene Abtastung (scanning) eines Strahles ermöglicht wird.
  • Der Schwenkmechanismus kann verkörpert werden durch einen magnetischen Antriebsmechanismus, der einen Magneten und eine Antriebsspule umfaßt. In diesem Fall muß in Anbetracht des Einflusses, der durch die Trägheitskraft oder einen anderen Faktor auferlegt wird, der Antriebsspule ein großer Antriebsstrom zugeführt werden, um die Bewegungsrichtung der Kollimatorlinse, die geschwenkt wird, umzukehren. Wenn der Antriebsspule ein großer Strom zugeführt wird, wird die Menge von Wärme, die in der Antriebsspule angesammelt wird, ebenfalls erhöht in Verbindung mit der Zufuhr des Antriebsstromes. Dabei entsteht ein Problem einer Verschlechterung der Lebensdauer der Antriebsspule oder ein Problem der Wärmeausdehnung, welche von der Entstehung von Wärme herrührt, wodurch die umgebenden Elemente beeinflußt werden.
  • Jedoch wird gemäß der Erfindung zum Zeitpunkt der Umkehr der Bewegungsrichtung während der Hin-und-Her-Bewegung der Kollimatorlinse eine Treibkraft zur Minderung der Antriebslast in der entgegengesetzten Richtung wirksam, die durch einen Kollimatorlinsen-Antriebs-mechanismus auferlegt wird.
  • Auf diese Weise erzielt die Erfindung einen Vorteil durch die Fähigkeit, die Antriebsenergie, die dem Antriebsmechanismus zum Zeitpunkt der Umkehr der Bewegungsrichtung der Linse zuzuführen ist, zu vermindern, sowie einen entsprechenden Vorteil durch die Fähigkeit, die Entwicklung von Wärme in dem Antriebsmechanismus zu vermeiden.
  • Im folgenden wird die Erfindung anhand eines in der Zeichnung gezeigten Ausführungsbeispiels näher beschrieben. In der Zeichnung zeigen:
  • 1A eine Draufsicht des Hauptabschnitts einer optischen Strahlabtastvorrichtung, die geeignet ist zur Verwendung mit einer Vorrichtung zur Messung des Abstands zwischen Fahrzeugen;
  • 1B eine Seitenansicht der Vorrichtung; Figur IC eine Vorderansicht der Vorrichtung;
  • 2A eine perspektivische Explosionsansicht des Hauptabschnitts der in 1 gezeigten Strahlabtastvorrichtung, in der eine Leiterplatte weggelassen ist;
  • 2B eine Beschreibungsansicht zum Beschreiben der Arbeitsweise eines Anschlagmechanismus, der in der optischen Strahlabtastvorrichtung angewendet wird;
  • 3 eine Schnittansicht entlang der in 1B gezeigten Linie III-III ;
  • 4A eine Blockschaltbildskizze eines Antriebssteuersystems zum Antreiben der in 1 gezeigten optischen Strahlabtastvorrichtung;
  • 4B ein Zeitdiagramm betreffend die skizzierte Arbeitsweise des Antriebssteuersystems;
  • 5 eine Wellenform eines Ansteuersignals, das an eine Antriebsspule anzulegen ist in einem Fall, in dem die in 1 gezeigte optische Strahlabtastvorrichtung den Anschlagmechanismus nicht aufweist;
  • 6 eine Wellenform eines Ansteuersignals, das an die Antriebsspule der in 1 gezeigten optischen Strahlabtastvorrichtung anzulegen ist in Verbindung mit einem Bezugspunktsignal und der Drehrichtung eines Rotors;
  • 7 eine Wellenform eines Ansteuersignals, das an die Antriebsspule der in 1 gezeigten optischen Strahlabtastvorrichtung anzulegen ist in Verbindung mit einem Bezugspunktsignal und der Drehrichtung eines Rotors in einem Fall, in dem die in 1 gezeigte optische Strahlabtastvorrichtung mit einem Anschlagmechanismus zum Erzeugen von magnetischem Rückstoß versehen ist;
  • 8 eine beschreibende Ansicht eines Anschlagmechanismus, der magnetischen Rückstoß erzeugt; und
  • 9 ein schematisches Blockdiagramm des Hauptbereichs eines linearen Antriebsmechnismus.
  • Eine Strahlabtastvorrichtung, auf welche die Erfindung angewendet wird, wird nachfolgend anhand der Figuren beschrieben.
  • 1A zeigt eine Draufsicht des Hauptabschnitts einer optischen Strahlabtastvorrichtung, die geeignet ist zur Verwendung mit einer Vorrichtung zur Messung des Abstands zwischen Fahrzeugen gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung, 1B zeigt eine Seitenansicht der Vorrichtung, und 1C zeigt eine Vorderansicht der Vorrichtung; Wie in diesen Figuren gezeigt, umfaßt eine optische Strahlabtastvorrichtung 1 der vorliegenden Ausführungsform eine rechteckige Tragplatte 2 und eine auf die Tragplatte 2 aufgesetzte Leiterplatte 3. Auf der Leiterplatte 3 sind montiert eine Lasereinheit 4, welche eine Lichtquelle zum Emittieren eines Laserstrahls ist, eine Kollimatorlinse 5, welche den von der Lasereinheit 4 emittierten Laserstrahl in einen gebündelten Lichtstrahl umwandelt und den so gebündelten Lichtstrahl emittiert, und einen Schwenkmechanismus 6 zum schwenkbaren Bewegen der Kollimatorlinse 5 in einer Hin-und-Her-Bewegung. Ferner ist die Leiterplatte 3 versehen mit einer Blattfeder 10, welche als ein Anschlagmechanismus wirkt und auf die Kollimatorlinse 5 wirkt, wenn die Richtung der Schwenkbewegung der Kollimatorlinse 5 umgekehrt wird.
  • 2A zeigt eine perspektivische Explosionsansicht des Hauptabschnitts der Strahlabtastvorrichtung, in der die Leiterplatte 3 weggelassen ist. 2B zeigt eine Beschreibungsansicht zum Beschreiben der Arbeitsweise der Blattfeder 10. 3 zeigt eine Schnittansicht entlang der in 1 B gezeigten Linie III-III. Die Gestaltung einzelner Abschnitte der optischen Strahlabtastvorrichtung 1 wird nun anhand dieser Figuren beschrieben.
  • Wie in 2A gezeigt, ist die Lasereinheit 4 indem Zentrum eines horizontalen Abschnitts 7a eines bogenförmigen Tragrahmens 7 so montiert, dass sie in die Vorwärtsrichtung weist. Die primäre optische Achse 4a des von der Lasereinheit 4 emittierten Laserstrahls wird so eingestellt, dass sie in die horizontale Richtung gerichtet ist. Die unteren Enden von Füßen 7b und 7c des Tragrahmens 7 sind unter rechtem Winkel gebogen, und unter Verwendung von Befestigungsmitteln wie beispielsweise Schrauben werden die so gebogenen Abschnitte über die Leiterplatte 3 an der Tragplatte 2 befestigt, die unter der Leiterplatte 3 vorgesehen ist. Die Kollimatorlinse 5 ist vor der Lasereinheit 4 angeordnet und wird schwenkbar in der Horizontalrichtung bewegt. Wenn die Kollimatorlinse 5 an einem mittleren Punkt gelegen ist in einer Bahn, über welche die Kollimatorlinse 5 zu schwenken ist, ist eine optische Achse 5a der Kollimatorlinse 5 ausgerichtet auf die primäre optische Achse 4a der Lasereinheit 4. Ferner ist die optische Achse 5a so eingestellt, dass sie in einer horizontalen Ebene positioniert ist, in welcher die Kollimatorlinse 5 zu schwenken ist.
  • Der Schwenkmechanismus 6 für die Schwenkbewegung der Kollimatorlinse 5 von links nach rechts und umgekehrt wird jetzt beschrieben. Der Schwenkmechanismus umfaßt einen Linsenhalterahmen 8 zum Halten der Kollimatorlinse 5 und einen magnetischen Antriebsmechanismus 9 zum Schwenken des Linsenhalterahmens 8 von links nach rechts oder umgekehrt in einem vorbestimmten Winkelbereich.
  • Der magnetische Antriebsmechanismus 9 umfaßt einen Stator 91 und einen Rotor 92. Der Stator 91 umfaßt eine Jochplatte 93, die an die obere Fläche der Leiterplatte 3 angefügt ist, und ein Paar an der Jochplatte 93 angeordnete Antriebsspulen 94 und 95 mit einem Durchgangsloch 93a, das darin so ausgebildet ist, dass es zwischen den Antriebsspulen 94 und 95 liegt. Der Rotor 92 umfaßt einen scheibenförmigen Rotorhauptkörper 92a und eine Weile 92b, welche unter rechtem Winkel von dem Mittelpunkt der Rückfläche des Rotorhauptkörpers 92a nach unten vorragt. Zwei Sätze von Magneten, von denen jeder Satz einen N-Pol und einen S-Pol umfaßt, sind als Motorantriebsmagnete ausgebildet an der Rückfläche des Rotorhauptkörpers 92a in Abständen von 90 Grad.
  • Eine Wellenbohrung 2a ist in der Tragplatte 2 so ausgebildet, dass sie der Position des in der Jochplatte 93 ausgebildeten Durchgangsloches 93a entspricht. Die obere Hälfte der Wellenbohrung 2a ist so ausgebildet, dass sie einen großen Durchmesser annimmt, und ihre untere Hälfte ist so ausgebildet, dass sie einen kleinen Durchmesser annimmt. Ein Drucklager 96 ist in den Abschnitt der Wellenbohrung 2a mit großem Durchmesser eingesetzt und lagert damit den Rotor 92 drehbar auf der Tragplatte 2.
  • Eine Mittenachse 92c der Welle 92b ist ausgerichtet auf die Schwenkmittenachse der Kollimatorlinse 5, die durch den an den Rotor 92 angefügten Linsenhalterahmen 8 gehalten wird. Dementsprechend ist die Mittenachse 92c der Welle 92b auf die Schwenkmittenachse der Kollimatorlinse 5 ausgerichtet. In der vorliegenden Ausführungsform ist die Mittenachse 92c so eingestellt, dass sie durch einen Beleuchtungspunkt 4b der Lasereinheit 4 durchgeht. Also sind die primäre optische Achse 9a des von der Lasereinheit 4 emittierten ausgehenden Lichtes und die optische Achse 5a der Kollimatorlinse 5 in der gleichen horizontalen Ebene plaziert. Ferner ist die Schwenkmittenachse der Kollimatorlinse 5 auf den Beleuchtungspunkt 4b der Lasereinheit 4 ausgerichtet, und folglich kann die Kollimatorlinse 5 in der horizontalen Ebene schwenkbar bewegt werden von links nach rechts oder umgekehrt um den Beleuchtungspunkt 4b der Lasereinheit 4.
  • Der magnetische Antriebsmechanismus 9 ist ausgestattet mit einer Positionsermittlungseinrichtung zur Ermittlung der Drehposition (oder Schwenkposition) des Rotors 92. Unter Bezug auf 2 wird nun die Positionsermittlungseinrichtung der Ausführungsform beschrieben. Die Positionsermittlungseinrichtung wird verkörpert durch eine Locheinrichtung 97, welche an der Oberfläche der Jochplatte 93 so vorgesehen ist, dass sie zu der Rückfläche (oder polarisierten Fläche) des Rotorhauptkörpers 92a hinweist. Wenn der Rotor 92 zu seinem voreingestellten Bezugspunkt zurückkehrt, gibt die Locheinrichtung 97 ein Impulssignal aus, das den Bezugspunkt repräsentiert. In dieser Ausführungsform ist der magnetische Antriebsmechanismus 9 ferner versehen mit einer Drehzahlsteuereinrichtung zur Steuerung der Drehzahl des Rotors 92. Die Drehzahlsteuereinrichtung umfaßt eine polarisierte Fläche 92d für ein FG-Signal (das heißt, eine polarisierte Fläche zur Erzeugung eines Frequenzsignals), die entlang der äußeren Umfangskante des Rotorhauptkörpers 92a ausgebildet ist, und einer Magnetresonanzeinrichtung 98, welche an der oberen Fläche der Jochplatte 93 so vorgesehen ist, dass sie der polarisierten Fläche 92d gegenüber steht.
  • Die Blattfeder 10 ist auf der oberen Fläche des scheibenförmigen Rotors 92 montiert. Die Blattfeder 10 ist so vorgesehen, dass sie die optische Achse 5a unter rechtem Winkel schneidet bei einer vorderen Position entlang der Mittenachse 92c. Gegenüberliegende Enden der Blattfeder 10 sind leicht nach vorn gebogen, womit sie ein linkes und ein rechtes Anschlagteil 10a bzw. 10b bilden. Das rechte und das linke Anschlagteil 10a bzw. 10b ragen über die äußere Umfangskante des Rotors 92 nach außen vor und sind so eingestellt, dass sie mit den Füßen 7b und 7c des bogenförmigen Tragrahmens 7 kollidieren, wenn der Rotor 92 gedreht wird.
  • 4A zeigt eine Blockschaltbildskizze eines Antriebssteuersystems zum Antreiben der optischen Strahlabtastvorrichtung 1 der Erfindung, und 4B zeigt ein Zeitablaufdiagramm betreffend die Arbeitsweise des Antriebssteuersystems. Wie aus den Figuren zu erkennen, dient ein Positionsdetektor 11, welcher ein Bezugspositionssignal PG von der Locheinrichtung 97 erhält, dazu, zu ermitteln, ob der Rotor 92 des magnetischen Antriebsmechanismus 9 zu dem vorbestimmten Bezugsposition zurückgekehrt ist oder nicht. Das Ergebnis der von dem Positionsdetektor 11 durchgeführten Ermittlungsoperation wird einer Vergleichs-Steuereinrichtung 12 zugeführt. Wenn ermittelt wird, dass der Rotor 92 zu dem Bezugsposition zurückgekehrt ist, wird die Richtung, in welcher ein elektrischer Strom durch die beiden Antriebsspulen 94 und 95 fließt, umgekehrt über den Motortreiber 13, womit der Rotor 92 von einer Rückwärtsdrehung in eine Vorwärtsdrehung umgeschaltet wird.
  • Die Vergleichs-Steuereinrichtung 12 erhält ein Bezugstaktsignal, das von einem Bezugssignalgenerator 14 geliefert wird. Auf der Grundlage des so empfangenen Bezugstaktsignals zählt die Vergleichs-Steuereinrichtung 12 die Zeit, welche vergangen ist, seit der Rotor 92 den Bezugspunkt verlassen hat. Ein Zeitpunkt nach dem Ablauf einer voreingestellten Zeitspanne T wird als der andere Punkt zur Umkehr genommen. Zu diesem Zeitpunkt wird die Richtung, in welcher der elektrische Strom durch die beiden Antriebsspulen 94 und 95 fließt, umgekehrt über den Motortreiber 13, womit er den Rotor 92 von der Vorwärtsdrehung in die Rückwärtsdrehung umschaltet. Ähnlich wird in nachfolgenden Operationen der Rotor 92 zyklisch umgeschaltet zwischen Vorwärtsdrehung und Rückwärtsdrehung. Infolgedessen wird die durch den Rotor 92 gehaltene Kollimatorlinse 5 schwenkend betätigt von links nach rechts oder umgekehrt innerhalb eines gegebenen Winkelbereichs um die primäre optische Achse 4a der Lasereinheit r herum.
  • Die Vergleichs-Steuereinrichtung 12 erhält ferner eine Eingabe des von der Magnetresonanzeinrichtung 98 ausgegebenen Ermittlungssignals (FG-Signals). Auf der Grundlage des von der Magnetresonanzeinrichtung 98 ausgegebenen Ermittlungssignals steuert die Vergleichs-Steuereinrichtung 12 ferner die Drehzahl des Rotors 92.
  • Eine eingebaute Laserdiode der Lasereinheit 4 wird aktiviert mittels eines LD-Treibers 15. Der LD-Treiber 15 bewirkt, dass die Laserdiode intermittierend leuchtet zu vorgegebenen Zeitpunkten unter Kontrolle einer Beleuchtungssynchronsteuerung 16. Die Zeitsteuerung der Beleuchtung, das heißt die Zeitfolge, bei welcher der Laserstrahl auf das zu messende Objekt gestrahlt wird, wird synchron mit dem Abtastwinkel der Kollimatorlinse 5 bestimmt. Genauer gesagt wird der Beleuchtungssynchronsteuerung 16 das von dem Bezugssignalgenerator 14 ausgegebene Bezugstaktsignal zugeführt, ferner ein Signal (PG), welches den Bezugsposition (das heißt die absolute Position) der Kollimatorlinse 5 repräsentiert und von dem Positionsdetektor 11 ausgegeben wird, sowie ein von der Vergleichs-Steuereinrichtung 12 ausgegebenes Steuersignal. Auf der Grundlage dieser Signale bestimmt die Beleuchtungssynchronsteuerung 16 die Ausstrahlungszeitfolge, welche die Synchronisation zwischen dem Abtastwinkel der Kollimatorlinse 5 und der Ausstrahlungszeitfolge sicherstellt.
  • Wenn in der optischen Strahlabtastvorrichtung 1, die auf die oben erwähnte Art aktiviert und gesteuert wird, die Kollimatorlinse 5, die schwenkend betätigt wird innerhalb eines vorbestimmten Winkelbereichs mittels des Rotors 92, einen Punkt für Umkehr erreicht hat, kollidieren die Anschlagteile 10a und 10b, die an den entgegengesetzten Enden der Blattfeder 10 ausgebildet sind, mit den entsprechenden Füßen 7b und 7c des Tragrahmens 7, woraufhin eine Federkraft auf den Rotor 92 wirkt, um so die Kollimatorlinse 5 in der umgekehrten Richtung zu drehen.
  • Unter Bezug auf 2B wird die nächste Beschreibung gegeben. Wenn der Rotor 92, der die Kollimatorlinse 5 hält, über einen vorbestimmten Winkel gedreht wird in der Richtung der Vorwärtsdrehung CW, kollidiert das Anschlagteil 10a der Blattfeder 10 mit dem Fuß 7b des Tragrahmens 7. Da das Anschlagteil 10a aus einer Blattfeder gebildet ist, wird eine Aufschlagkraft, die von der Kollision zwischen dem Anschlagteil 10a und dem Fuß 7b herrührt, gemildert durch elastische Deformation des Anschlagteiles 10a. Die Federkraft, die von der elastischen Deformation des Anschlagteiles 10a herrührt, wirkt auf den Rotor 92 als eine Drehkraft zum Drehen des Rotors 92 in der Gegenrichtung CCW. Ähnlich kollidiert, selbst wenn der Rotor 92 von der Drehung in der Gegenrichtung CCW zur Drehung in die Vorwärtsrichtung CW umgeschaltet wird, das andere Anschlagteil 10b mit dem anderen Fuß 7c des Tragrahmens 7, so dass die Federkraft beiträgt zu der Kraft, die zum Drehen des Rotors 92 in der Gegenrichtung benötigt wird. Zum Zeitpunkt der Umkehr des Rotors 92 muß der magnetische Antriebsmechanismus 9 vorübergehend eine Magnetkraft von großer Stärke erzeugen. In dieser Ausführungsform trägt die Federkraft des Anschlagteiles 10a zu der Magnetkraft bei. Aus diesem Grund wird der Zeitpunkt, bei dem der Rotor 92 umgekehrt wird, so eingestellt, dass er mit einem Zeitpunkt übereinstimmt, bei dem die Anschlagteile 10a und 10b der Blattfeder 10 mit den Füßen 7b und 7c des Tragrahmens 7 kollidieren, so dass die Federkraft der Blattfeder 10 zu der Kraft beiträgt, die benötigt wird, um den Rotor 92 umzukehren. Dementsprechend kann die Antriebskraft, welche der Antriebsspule 95 zum Zeitpunkt der Umkehr des Rotors 92 zuzuführen ist, vermindert werden. Folglich kann vermieden werden, dass die Antriebsspule 95 Wärme erzeugt.
  • 5 zeigt als Beispiel ein Meßergebnis einer Wellenform 95S eines Antriebssignals, das der Antriebsspule 95 zuzuführen ist in einem Fall, in dem die optische Strahlabtastvorrichtung 1 die Blattfeder 10 nicht aufweist, deren entgegengesetzte Enden zu den Anschlagteilen 10a und 10b geformt sind. 6 zeigt als Beispiel ein Meßergebnis einer Wellenform 95S1 eines Antriebssignals, das der Antriebsspule 95 zuzuführen ist, welche benötigt wird zur Erzielung der gleichen Antriebskennwerte wie die, die in dem in 5 gezeigten Fall erzielt wurden.
  • Aus diesen Meßergebnissen ist ersichtlich, dass in dieser Ausführungsform die Spitzen der Wellenformen der Antriebssignale, die bei dem Umkehrzeitpunkt des Rotors 92 erscheinen, kleiner werden. Mit anderen Worten zeigt das Ergebnis, dass der Spulenantriebsstrom oder die Spannung, die der Antriebsspule 95 zuzuführen ist, um den Rotor 92 umzukehren, vermindert werden kann mittels der Bereitstellung der elastischen Anschlagteile 10a und 10b.
  • 8 zeigt eine zweite Ausführungsform der Erfindung, in welche ein anderer Anschlagmechanismus eingebaut ist. Ein Magnet 201 ist an den Fuß 7b des Tragrahmens 7 angefügt, und ein Magnet 202 ist an den Fuß 7c des Tragrahmens 7 angefügt. Magnete 203 und 204 sind an den Rotor 92 angefügt. Der Anschlagmechanismus besteht aus diesen Magneten 201 bis 204. Mehr im einzelnen sind die Magnete 201 und 203 so montiert, das sie einander gegenüberstehen mit einem Nennabstand zwischen ihnen, wenn der Rotor 92 über einen gegebenen Winkel vorwärts gedreht wird. Ähnlich sind die Magnete 202 und 204 so montiert, das sie einander gegenüberstehen mit einem Nennabstand zwischen ihnen, wenn der Rotor 92 in der Gegenrichtung um den gleichen Winkel gedreht wird. Die Magnete 201 und 203 können einander gegenüberstehend so angeordnet sein, dass die gleichen Magnetpole einander entgegengesetzt sind. Ähnlich können die Magnete 202 und 204 einander gegenüberstehend so angeordnet sein, dass die gleichen Magnetpole einander gegenüberstehen.
  • In dem Anschlagmechanismus dieser Konfiguration stehen, wenn der Rotor 92 über einen gegebenen Winkel in der einen Richtung gedreht wird, die Magnete 201 und 203 oder die Magnete 202 und 204 einander gegenüber, erzeugen also eine magnetische Abstoßung. In diesem Beispiel wird der Zeitpunkt, bei welchem der Rotor 92 umgekehrt wird, so eingestellt, dass er identisch ist mit dem Zeitpunkt, bei dem die Magnete einander abstoßen. Die Antriebskraft, die der Antriebsspule 95 zum Zeitpunkt der Umkehr des Rotors 92 zuzuführen ist, kann vermindert werden unter Ausnutzung der magnetischen Abstoßung. Dementsprechend kann die Wärme vermindert werden, die in der Antriebsspule 95 entsteht.
  • 7 zeigt als Beispiel ein Meßergebnis einer Wellenform 95S2 eines Antriebssignals, das der Antriebsspule 95 zuzuführen ist, um die gleichen Antriebskennwerte zu erhalten wie die, die in den in den 5 und 6 gezeigten Fällen erzielt wurden. Wie ersichtlich ist, kann sogar in einem Fall, in dem ein Anschlagmechanismus angewendet wird, der eine Magnetkraft nutzt, ein Antriebsstrom oder eine Antriebsspannung, die zum Umkehren des Rotors 92 benötigt wird, vermindert werden. Das einzige Erfordernis zur Erzielung eines Antriebssignals der gleichen Stärke, die zum Umkehren des Rotors 92 bei jedem Umkehrzeitpunkt benötigt wird, besteht darin, dass die Größe der magnetischen Abstoßung, die in den Magneten 201, 203 entwickelt wird, der in den Magneten 202, 204 entwickelten gleich ist.
  • Obwohl die Magnete 201 bis 204 einen einzelnen Satz von Magnetpolen bilden, können auch Magnete mit einer Mehrzahl von Sätzen von Magnetpolen verwendet werden.
  • Wie oben beschrieben worden ist, umgeht gemäß der Erfindung die optische Strahlabtastvorrichtung 1 die Notwendigkeit für eine Reflexionsplatte oder einen Polygonspiegel, wodurch die Gestaltung einer beträchtlich kompakten optischen Strahlabtastvorrichtung 1 ermöglicht wird. Die Lasereinheit 4 ist bei dem Schwenkzentrum von Schwenkgliedern wie beispielsweise dem Rotor 92, dem Linsenhalterahmen 8 und der Kollimatorlinse 5 angeordnet. In Vergleich mit einem Mechanismus des in Zusammenhang stehenden Standes der Technik, in welchem eine Lasereinheit außerhalb der Schwenkbahn eines Schwenkgliedes angeordnet ist, ermöglicht die optische Strahlabtastvorrichtung die Anordnung einzelner Elemente in einem kleinen Raum. Aus diesem Grund kann die optische Strahlabtastvorrichtung kompakter gemacht werden. Hinsichtlich der Synchronisation zwischen dem Zeitpunkt, bei dem die Lasereinheit 4 beleuchtet wird (das heißt Strahlungszeitpunkt) und dem Abtastwinkel der Kollimatorlinse 5 kann der Strahlungszeitpunkt einer Rückführsteuerung auf der Basis der absoluten Winkelstellung der Kollimatorlinse 5 unterworfen werden. Daher wird die Notwendigkeit eines Antriebsmechanismus vermieden, der ein hohes Maß an Positionsgenauigkeit mit einem hohen Auflösungsgrad aufweist und einen hohen Grad an Linearität erzielt, was erforderlich würde durch die optische Strahlabtastvorrichtung des Standes der Technik, um Genauigkeitssynchronisation mit dem Strahlungszeitpunkt zu erzielen. Ferner eliminiert der optische Strahlscanner der Erfindung die Möglichkeit des Auftretens einer Versetzung in der Synchronisation zwischen dem Strahlungszeitpunkt und dem Abtastwinkel, welche anderenfalls in der optische Strahlabtastvorrichtung des Standes der Technik entstehen würde.
  • Ferner wird gemäß der optische Strahlabtastvorrichtung 1 der Erfindung ein von der Kollimatorlinse 5 emittierter Laserstrahl von links nach rechts oder umgekehrt über einen gegebenen Winkelbereich abgelenkt, indem die vor der Lasereinheit 4 angeordnete Kollimatorlinse 5 direkt von links nach rechts oder umgekehrt geschwenkt wird.
  • Obwohl in den vorhergehenden Ausführungsformen die optische Strahlabtastvorrichtung eine einzige Lasereinheit 4 aufweist, können zwei oder mehr Lasereinheiten an der optischen Strahlabtastvorrichtung vorgesehen werden. In solch einem Fall kann eine Mehrzahl von Lasereinheiten in der Vertikalrichtung angeordnet werden, und die Kollimatorlinse kann in der gleichen Anzahl wie die Lasereinheiten und vor den entsprechenden Lasereinheiten vorgesehen werden.
  • Der magnetische Antriebsmechanismus 9 der vorigen Ausführungsformen ist ein sogenannter Ebene-zu-Ebene- Antriebsmechanismus, bei dem die Antriebsspulen den Magneten in der Richtung der Drehachse des Rotors 92 gegenüberstehen. Es kann auch ein magnetischer Antriebsmechanismus von der Art eines sogenannten Peripherie-zu- Peripherie- Antriebsmechanismus angewendet werden, bei dem die Antriebsspulen den Magneten in einer radialen Richtung gegenüberstehen mit dem Rotationszentrum des Rotors 92 dazwischen.
  • In den vorigen Ausführungsform weist die optische Strahlabtastvorrichtung 1 einen Schwenkmechanismus auf zur Schwenkbewegung der Kollimatorlinse 5 von links nach rechts oder umgekehrt um das Schwenkzentrum herum über einen vorbestimmten Winkelbereich. Der Laserstrahl kann über einen vorbestimmten Bereich abgelenkt werden, indem die Kollimatorlinse 5 linear und hin-und-her bewegt wird, statt die Kollimatorlinse 5 durch Schwenken zu bewegen. Zum Beispiel kann die Kollimatorlinse 5 unter Verwendung eines Schwingspulenmotors linear hin-und-herbewegt werden.
  • 9 zeigt eine dritte Ausführungsform der Erfindung, in welche ein Antriebsmechanismus eingebaut ist, um die Kollimatorlinse 5 durch Verwendung eines Schwingspulenmotors linear hin-und-her zu bewegen. In dem linearen Antriebsmechanismus 300 ist eine Kollimatorlinse an eine Schwingspule 302 angefügt, um den Schwingspulenmotor 301 linear hin-und-her zu bewegen, und ein Anschlagmechanismus zur Erzeugung magnetischer Abstoßung kann an Stützplatten 303 und 304 angefügt sein, um die entgegengesetzten Enden einer Bahn zu definieren, über welche die Schwingspule 302 wandern soll. Der Anschlagmechanismus umfaßt einen an die Stützplatte 303 angefügten Magneten 310, einen Magneten 311, welcher dem Magneten 310 gegenübersteht und an die Spulenendfläche der Schwingspule 302 angefügt ist, einen Magneten 312, der an die Stützplatte 304 angefügt ist, und einen Magneten 313, welcher dem Magneten 312 gegenübersteht und an die Spulenendfläche der Schwingspule 302 angefügt ist.
  • Selbst in diesem Fall sind wie in der in 8 gezeigten zweiten Ausführungsform magnetische Pole in den jeweiligen Magneten derart ausgebildet, dass Magnetpole der gleichen Polarität einander gegenüberstehen, um so magnetische Abstoßung zwischen den gegenüberliegenden Magneten zu erzeugen.
  • In dem linearen Antnebsmechanismus der obigen Konfiguration wird eine Antriebskraft in der entgegengesetzten Richtung durch magnetische Abstoßung erzeugt, wenn die lineare Bewegung der Kollimatorlinse umgekehrt wird. Dementsprechend kann die der Schwingspule 302 zugeführte Energie verkleinert werden, wenn die lineare Bewegung der Kollimatorlinse umgekehrt wird, und folglich kann vermieden werden, dass die Schwingspule 302 und die Antriebsschaltung Wärme erzeugen.
  • Ein Federglied kann anstelle eines Magneten für den linearen Antriebsmechanismus verwendet werden.

Claims (7)

  1. Strahlabtastvorrichtung zur Abtastung eines Zielbereichs durch Verwendung eines optischen Strahles, gekennzeichnet durch eine Lichtquelle (4), die Licht emittiert, eine Kollimatorlinse (5) die von der Lichtquelle (4) emittiertes Licht in einen parallelen optischen Strahl umwandelt, einen Antriebsmechanismus (9), um die Kollimatorlinse (5) entlang einem vorbestimmten Laufweg hin und her zu bewegen, wobei die primäre optische Achse (4a) des von der Lichtquelle (4) emittierten Lichtes und die optische Achse (5a) der Kollimatorlinse (5) in einer einzigen Ebene plaziert sind, um den optischen Strahl über den Zielbereich abzulenken, und eine Anschlageinrichtung (10,204,203) zum Begrenzen der Bewegung der Kollimatorlinse (5), um dem Antriebsmechanismus zum Umkehren der Bewegungsrichtung der Kollimatorlinse (5) auferlegte Belastung zu mindern, wobei der Anschlagmechanismus wenigstens an einem der Punkte vorgesehen ist, an dem die Richtung der Hin-und-Her-Bewegung der Kollimatorlinse (5) von der einen Richtung auf die andere umgeschaltet wird, wobei der Antriebsmechanismus umfasst: ein angetriebenes Teil zum Tragen der Kollimatorlinse (5), ein Tragglied (7), um das angetriebene Teil hin-und-her-beweglich zu lagern, und einen magnetischen Antriebsmechanismus (9), bestehend aus Magneten und einer Antriebsspule, welcher eine magnetische Antriebskraft erzeugt zwischen dem angetriebenen Glied und dem Tragglied, und wobei die Anschlageinrichtung (10, 204, 203) zwischengeschaltet ist zwischen das angetriebene Glied und das Tragglied, um Treibkraft zu erzeugen zum Dämpfen der Hin-und-Her-Bewegung des angetriebenen Gliedes, dadurch gekennzeichnet, dass das angetriebene Glied einen drehbaren Rotor (92) umfaßt mit Rotormagneten und einer polarisierten Fläche (92d) zur Erzeugung einer Frequenz, wobei der Rotor sich um eine Rotationsachse (92c) dreht, und dass das Tragglied (91) Antriebsspulen (94,95) umfaßt, die so vorgesehen sind, dass sie zu den entsprechenden Rotormagneten hinweisen, und eine Ermittlungseinrichtung (97) zur Ermittlung einer Bezugsposition des Rotors (92), wobei die Zeitsteuerung für das Aussenden von Licht der Lichtquelle auf der Grundlage der vom Rotor erzeugten Frequenz und der Ergebnisse der Ermittlungseinrichtung (97) festgelegt wird, um die Synchronisation zur Hin- und Herbewegung der Kollimatorlinse sicherzustellen.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Anschlagmechanismus ein Federteil (10) umfaßt zur Erzeugung der Treibkraft mittels seiner elastischen Deformation.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Anschlagmechanismus ein Paar Magnete (201,203;202,204) umfaßt, derart, dass die gleichen Magnetpole der Magnete (201,203;202,204) einander gegenüberstehen, und dass einer der Magnete (203,204) an das angetriebene Glied angefügt ist und der andere Magnet (201,202) an das Tragglied (7) angefügt ist, wodurch die Treibkraft erzeugt wird mittels magnetischer Abstoßung, die sich in dem Magnetpaar (201,203;202,204) entwickelt.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Antriebsmechanismus (9) einen Schwenkmechanismus (6) umfaßt zur Schwenkbewegung der Kollimatorlinse (5) in einem gegebenen Bereich, und dass das Zentrum der durch den Schwenkmechanismus (6) erzeugten Schwenkbewegung der Kollimatorlinse (5) auf einer Verlängerung der optischen Achse (5a) der Kollimatorlinse (5) angeordnet ist und zwar an einer Stelle, die näher bei der Lichtquelle (4) als bei der Kollimatorlinse (5) liegt.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Schwenkzentrum der Kollimatorlinse (5) eingestellt ist auf eine Position, wo der Lichtemissionspunkt der Lichtquelle (4) liegt.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 4, wobei die Hin-und-Her-Bewegung der Kollimatorlinse (5) gesteuert wird gemäß dem Ergebnis der durch die Linsenposition-Ermittlungseinrichtung (97) ausgeführten Ermittlung.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die primäre optische Achse des von der Lichtquelle (4) emittierten Lichtes ausgerichtet ist auf die optische Achse (5a) der Kollimatorlinse (5), wenn die Kollimatorlinse (5) bei der Mittelposition der Hin-und-Her-Bewegung gelegen ist.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10303266A1 (de) * 2003-01-28 2004-08-19 Müller, Joachim Ablenkeinrichtung für einen Galvanometer-Scanner, Drehlagererfassungseinrichtung, sowie Verfahren hierfür
EP1915755A1 (de) * 2005-08-08 2008-04-30 Koninklijke Philips Electronics N.V. Antriebssystem für den antrieb eines beweglichen teils und plattenlaufwerkeinheit mit diesem antriebssystem
JP6090015B2 (ja) * 2012-07-12 2017-03-08 船井電機株式会社 レンズ駆動装置及び光ディスク装置
DE102017205504A1 (de) * 2017-03-31 2018-10-04 Robert Bosch Gmbh Optisches Scansystem
EP3723645A4 (de) 2017-12-14 2021-08-25 Avava, Inc. System und verfahren für elektromagnetische strahlungsbündelabtastung
RU2762618C2 (ru) 2019-12-23 2021-12-21 Общество с ограниченной ответственностью "Яндекс Беспилотные Технологии" ЛИДАРНАЯ (LiDAR) СИСТЕМА ДЛЯ ОБНАРУЖЕНИЯ ОБЪЕКТОВ В ИНТЕРЕСУЮЩЕЙ ОБЛАСТИ И СПОСОБ НА ЕЕ ОСНОВЕ
RU2762744C2 (ru) * 2019-12-23 2021-12-22 Общество с ограниченной ответственностью "Яндекс Беспилотные Технологии" СПОСОБЫ И СИСТЕМЫ ОБНАРУЖЕНИЯ С ПОМОЩЬЮ ЛИДАРА (LiDAR) С ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКОЙ МАТРИЦЕЙ
CN117389030A (zh) * 2022-07-04 2024-01-12 西安炬光科技股份有限公司 光束扫描系统及其扫描方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0178077A1 (de) * 1984-10-02 1986-04-16 Kabushiki Kaisha Toshiba Optischer Kopf zur Aufzeichnung und Wiedergabe von Daten von einem Aufzeichnungsmedium
EP0241430A1 (de) * 1986-04-11 1987-10-14 Heinz Keiser Oszillierende lineare Auslenkvorrichtung
EP0249642A1 (de) * 1985-11-04 1987-12-23 Institut Mashinovedenia Imeni A.A. Blagonravova Akademii Nauk Sssr Abtastanordnung für lasertechnologieanlagen
DE4001242A1 (de) * 1990-01-18 1991-07-25 Telefunken Systemtechnik Linearscanner
US5170277A (en) * 1988-05-11 1992-12-08 Symbol Technologies, Inc. Piezoelectric beam deflector
US5374817A (en) * 1988-05-11 1994-12-20 Symbol Technologies, Inc. Pre-objective scanner with flexible optical support

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5072114A (en) * 1989-06-30 1991-12-10 Fuji Photo Film Co., Ltd. Light beam scanning apparatus and light beam adjusting mechanism for use with such light beam scanning apparatus
US5303080A (en) * 1993-04-01 1994-04-12 Eastman Kodak Company Beam scanning system including actively-controlled optical head
JP3446466B2 (ja) 1996-04-04 2003-09-16 株式会社デンソー 車間距離制御装置用の反射測定装置及びこれを利用した車間距離制御装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0178077A1 (de) * 1984-10-02 1986-04-16 Kabushiki Kaisha Toshiba Optischer Kopf zur Aufzeichnung und Wiedergabe von Daten von einem Aufzeichnungsmedium
EP0249642A1 (de) * 1985-11-04 1987-12-23 Institut Mashinovedenia Imeni A.A. Blagonravova Akademii Nauk Sssr Abtastanordnung für lasertechnologieanlagen
EP0241430A1 (de) * 1986-04-11 1987-10-14 Heinz Keiser Oszillierende lineare Auslenkvorrichtung
US5170277A (en) * 1988-05-11 1992-12-08 Symbol Technologies, Inc. Piezoelectric beam deflector
US5374817A (en) * 1988-05-11 1994-12-20 Symbol Technologies, Inc. Pre-objective scanner with flexible optical support
DE4001242A1 (de) * 1990-01-18 1991-07-25 Telefunken Systemtechnik Linearscanner

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP 9274076 A (Abstract) *

Also Published As

Publication number Publication date
DE10002137A1 (de) 2000-08-24
US6330095B1 (en) 2001-12-11
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