DD291218A5 - Staubschuetzender transportbehaelter fuer halbleiterscheiben auf folienrahmen - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft einen staubschuetzenden Transportbehaelter fuer Halbleiterscheiben auf Folienrahmen. Der Transportbehaelter besteht aus einem rechteckigen, oben offenen Folienrahmenbehaelter, in dessen OEffnung vertikal ein Folienrahmentraeger eintaucht, dessen oberes Distanzstueck als Deckel gestaltet ist. Im gefuellten Zustand haengt der Folienrahmentraeger im Folienrahmenbehaelter. Der Transportbehaelter wird durch das Eigengewicht des Deckels und des an ihm befestigten Folienrahmentraegers sowie durch die besondere Randgestaltung gegen Staubeinfall abgedichtet. Die Randgestaltung ermoeglicht ein einfaches OEffnen und Schlieszen des Transportbehaelters.{Halbleiterscheibe; Montageverfahren; staubarme Lagerung; Folienrahmen; staubdichter Transportbehaelter; Handhabung; Behaelterrand; Deckelrand}

Description

Hierzu 2 Seiten Zeichnungen

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft einen Transportbehälter zürn staubarmen Transport und zur staubarmen Lagerung von auf Folienrahmen befindlichen Halbleiterscheiben.

Charakteristik des bekannten Standes der Technik

Strukturierte Halbleiterscheiben werden im allgemeinen zur Mechanisierung und Automatisierung des Montageprozesses mit ihrer Rückseite auf mit Spezialfolien bespannten Trägerrahmen (Folienrahmen) befestigt. Die auf Folienrahmen befindlichen Halbleiterscheiben werden zu Lager- und Transporteinheiten zusammengefaßt, indem ca. 20...30 Halbleiterscheiben mit ihren Folienrahmen parallel zueinander in nutförmigen Aufnahmerillen eines Folienrahmenträgers, der im wesentlichen aus zwei gegenüberstehenden, im Inneren mit den Aufnahmerillen versehenen Seitenflächen, die an ihren Stirnseiten equidistant gehaltert sind, gesteckt werden. Die Folienrahmen und Folienrahmenträger werden vor allem in den Prospektschriften der Formen Kulicke u. Soffa, USA und Disco, Japan propagiert.

Nachteilig ist, daß die in den Folienrahmenträgern befindlichen Folienrahmen mit ihren Halbleiterscheiben während des Transportes, der Lagerung und der Wartezeit unmittelbar vor ihrer Bearbeitung der strömenden Umgebungsluft ausgesetzt sind, und daß sich Staubpartikel auf den Halbleiterscheiben absetzen können. Zur Vermeidung der Staubablagerung auf den Scheiben ist es zumindest zwischen den Bearbeitungsschritten an den strukturierten Halbleiterscheiben üblich, die auf Folienrahmen befindlichen Halbleiterscheiben mit ihren Folienrahmenträgern in staubdichte oder nahezu staubdichte Behälter zu setzen und so zu transportieren und zu lagern.

Dabei ist weiterhin nachteilig, daß diese Behälter von Hand geöffnet oder verschlossen werden müssen, und daß die eingesetzten Folienrahmenträger manuell gehandhabt werden müssen. Dadurch besteht neben dem erhöhten Arbeitsaufwand die Gefahr der Staubkontamination der Halbleiterscheiben. Nachteilig ist auch, daß die in den Handlingsstationen der Bearbeitungsmaschine eingesetzten Folienrahmenträger während der Bearbeitungszeit aller Folienrahmen eines Folienrahmenträgers mit seinen Folienrahmen und den darauf befindlichen Halbleiterscheiben ungeschützt dem umgebenden Klima ausgesetzt sind und mit Staub kontaminiert werden können.

Um die Staubkontamination, die sich durch gegen Staub ungeschützte manuelle oder maschinelle Handhabung der Halbleiterscheiben (siehe US-Patentschriften 4.744.715; 4.746.256 und 4.529.353) bei den Arbeitsschritten der Halbleiterscheibenpräparation ergeben kann, zu vermeiden, wird in der Zeitschrift „Semiconductor International", 1985, Mai, S.222...226, Autoren: Paricle und Bonora,Titel „SMIF-Technology Reduces Clean Room Requirements" und in den Prospekten der Fa. Meissner u. Wurst, BRD, die Anwendung der SMIF-Technologie (Standard Mechanical Interface) propagiert. Aus extrem staubdichten Halbleiterscheibenbehältern (SMIF-Box), die von einem speziellen Handlingssystem nur in lokalen, nahezu staubfreien Klimata geöffnet oder geschlossen werden, entnimmt ein weiteres Handlingssystem die Halbleiterscheiben und fördert sie in die jeweilige Arbeitsstation. Nachteilig ist, daß das Öffnen und Schließen der SMIF-Box durch relativ komplizierte, geometrisch große und teure Handlingssysteme erfolgt.

Ziel der Erfindung

Ziel der Erfindung ist es, die Staubkontamination der Halbleiterscheiben während der Transport- und Lagervorgänge und während der Handhabung zu vermindern.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Aufgabe der Erfindung ist es einen für die Zwecke der Montagetechnologie ausreichend staubdichten Transportbehälter anzugeben, in dem die auf Folienrahmen befindlichen Halbleiterscheiben und die Folienrahmen ihrerseits in einem Folienrahmenträger liegen und aus dem die Folienrahmen mit einfachen Mitteln entnommen werden können. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe einen staubdichten Transportbehälter für Halbleiterscheiben auf Folienrahmen in einem Folienrahmenträger aus zwei Seitenwänden, die durch je ein oberes Distanzstück und einen Boden parallel gehalten werden und die nach innen zeigend horizontale Nuten tragen und in den, durch die Seitenwandnuten getragen, Folienrahmen eingeschoben werden, zu schaffen, dadurch gelöst, daß der Transportbehälter aus einem oben offenen rechteckigen Folienrahmenbehälter und dem vertikal in seine Öffnung eintauchenden Folienrahmenträger besteht, und daß das obere Distanzstück des Folienrahmenträgers so gestaltet ist, daß es als Deckel des Transportbehälters die Folienrahmenträgerseitenwände allseitig überragt, und daß die überragenden Ränder des oberen Distanzstückes im geschlossenen Transportbehälterzustand auf den senkrecht stehenden, allseitig umlaufenden Seitenwänden des unten mit einer Bodenplatte verschlossenen Folienrahmenbehälters aufliegen.

Damit wird erreicht, daß das obere Distanzstück des Folienrahmenträgers den Deckel des ansonsten oben offenen Folienrahmenbehälters bildet. An dem Deckel hängt der Folienrahmenträger im Folienrahmenbehälter und liegt durch sein Eigengewicht fest auf ihm auf. Durch die Seitenwände des Folienrahmenbehälters wird ein Verrutschen der Folienrahmen in den Nuten der zwei Seitenwände des Folienrahmenträgers verhindert.

Es ist zweckmäßig, den oberen Rand des Folienrahmenbehälters sehr stark nach innen abzuschrägen, um ein einfaches Einführen des mit Folienrahmen beladenen Folienrahmenträgers zu ermöglichen. Es ist weiterhin zweckmäßig, dem über den oberen Rand des Folienrahmenbehälters ragenden, deckelartigen oberen Distanzstück eine den oberen Rand des Folienrahmenbehälters umfassende, nach unten gerichtete Randzone anzugliedern. Es ist schließlich zweckmäßig die Randzone an ihrer inneren Kante stark abzuschrägen. Mit der zusätzlichen Randzone wird ein verbesserter Staubschutz und eine sichere, definierte Lage des Deckels auf dem oberen Rand des Folienrahmenbehälters erreicht. Damit hängt auch der Folienrahmenträger in einer definierten Lage im Folienrahmenbehälter. Durch den Druck des Deckels (und des an ihm hängenden Folienrahmenträgers) auf den oberen Rand der Seitenflächen des Folienrahmenbehälters wird der Transportbehälter staubdicht geschlossen. Es ist auch zweckmäßig die Bodenplatte mit einer Öffnung zu versehen. Das Ausheben oder Einsetzen des Folienrahmenträgers aus dem oder in den Folienrahmenbehälter erfolgt durch hier nicht näher beschriebene entweder am Deckel oder durch die Öffnung der Bodenplatte am Boden des Folienrahmenbehälters oder am Deckel und Boden angreifende Handhabevorrichtungen.

Die erfindungsgemäße Lösung hat den Vorteil, daß eine sichere und weitgehend staubfreie Lagerung der auf den Folienrahmen befindlichen Halbleiterscheiben erfolgt, und daß die Transportbehälter einfach transportierbar und handhabbar sind. Aufgrund des überragenden Deckels ist selbst der ganz oder teilweise aus dem Folienrahmenbehälter herausgehobene Folienrahmenträger und seine in ihm befindlichen Halbleiterscheiben vor senkrechtem Staubeinfall geschützt. Der Folienrahmenbehälter und der Deckel (oberes Distanzstück) des Folienrahmenträgers sind mit einfachen technischen Mitteln herstellbar. Der Folienrahmenträger kann mit einfachen technischen Mitteln in den Transportbehälter eingesetzt oder aus ihm entnommen werden. Der Folienrahmenträger kann bei jeder beabsichtigten Entnahme oder Eingabe von Folienrahmen manuell oder maschinell aus dem Folienrahmenbehälter ausgehoben und nach der Folienrahmenhandhabung sofort wieder abgesenkt werden. Damit werden die Halbleiterscheiben nur für die Zeit der unmittelbaren Folienrahmenhandhabung und nicht während der Wartezeit vor und nach der Handhabung der Umgebungsluft ungeschützt ausgesetzt. Aufwendige Handhabungsmechanismen und teure Luftentstaubungsanlagen können vermieden werden. Die einfache Transportbehälterart ermöglicht die Anwendung störungsarmer Handlingssysteme.

Ausfuhrungsbeispiel

Die Erfindung soll an einem Ausführungsbeispiel anhand von Zeichnungen näher erläutert werden. Es zeigen

Fig. 1: Folienrahmen mit einer Halbleiterscheibe in der Draufsicht

Fig. 2: Schnittdarstellung eines teilweise in den Folienrahmenbehälter eintauchenden Folienrahmenträgers.

Folienrahmenbehälter und Folienrahmenträger mit Deckel bilden zusammen den erfindungsgemäßen Transportbehälter.

Die Seitenwände 3 des Folienrahmenträgers 1, die nach innen weisende Nuten 11 tragen, sind an der oberen Stirnseite 17 an dem Deckel 2, der gleichzeitig als Distanzstück wirkt, befestigt. Der Deckel 2 überragt die allseitig umlaufenden Seitenwände 12 de's Folienrahmenbehälters 4 und läuft in eine den oberen äußeren Rand 14 der Seitenwände 12 des Folienrahmenbehälters 4 umfassende, nach unten weisende Randzone 9 aus. Die Randzone 9 weist nach innen eine starke Abschrägung 10 auf. An der unteren Stirnseite 21 sind die zwei nutentragenden Seitenwände 3 des Folienrahmenträgers 1 mit dem unteren Distanzstück 13 fest verbunden. Die Seitenwände 12 des Folienrahmenbehälters 4 besitzen an der Öffnung 5 des Folienrahmenbehälters 4 starke, nach innen gerichtete Randabschrägungen 6. In die Nuten 11 des Folienrahmenträgers 1 ist ein Folienrahmen 7 mit einer auf einer Klebefolie 15 befestigten Halbleiterscheibe 8 eingeschoben. Der Folienrahmenbehälter 4 wird durch vier Seitenwände 12 und durch eine Bodenplatte 18 gebildet. Die Bodenplatte 18 weist eine Öffnung 22 auf, welche das Durchgreifen von Aushebemechanismen oder das Einfüllen gasförmiger Medien in den Folienrahmenbehälter 4 ermöglicht.

Claims (5)

1. Staubschützender Transportbehälter für Halbleiterscheiben auf Folienrahmen in einem Folienrahmenträger aus zwei Seitenwänden, die durch je ein oberes und unteres Distanzstück parallel gehalten werden und die nach innen zeigend horizontale Nuten tragen und in den, durch die Seitenwände getragen, die Folienrahmen eingeschoben werden, dadurch gekennzeichnet, daß der Transportbehälter (19) aus einem rechteckigen Folienrahmenbehälter (4) und dem vertikal in seine Öffnung (5) eintauchenden Folienrahmenträger (1) besteht, daß das obere Distanzstück (2) des Folienrahmenträgers (1) als ein allseitig die Folienrahmenträgerseitenwände (12) überragender Transportbehälterdeckel (2) gestaltet ist und daß im geschlossenen Transportbehälterzustand der Deckelrand (20) des Transportbehälters (19) auf den senkrecht stehenden, allseitig umlaufenden Seitenwänden (12) des unten mit einer Bodenplatte (18) verschlossenen Folienrahmenbehälters (4) aufliegen.

2. Staubschützender Transportbehälter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die oberen Ränder (14) der Seitenwände (12) des Folienrahmenbehälters (4) starke, nach innen weisende Randabschrägungen (6) aufweisen.

3. Staubschützender Transportbehälter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Transportbehälterdeckel (2) eine nach unten gerichtete, den oberen Rand (14) des Folienrahmenbehälters (4) umfassende Randzone (9) aufweist.

4. Staubschützender Transportbehälter nach Anspruch 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß die nach unten gerichtete Randzone (9) eine nach innen gerichtete Abschrägung (10) aufweist.

5. Staubschützender Transportbehälter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich in der Bodenplatte (18) des Folienrahmenbehälters (4) eine Öffnung (22) befindet.