DD290503A5 - Verfahren zur herstellung einer zweiseitigen hochdruckentladungslampe - Google Patents
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Abstract
Bei dem erfindungsgemaeszen Verfahren zur Herstellung einer zweiseitigen Hochdruckentladungslampe werden folgende Arbeitsgaenge ausgefuehrt: Vorformen des Entladungsgefaeszes durch Einrollen mit N2-Staudruckspuelung, Einspannen in die Quetschvorrichtung, Einfuehren des ersten Eo-Systems, wobei die Stromzufuehrung zickzackfoermig geknickt und an der Innenwand des Quarzrohres selbsthalternd abgestuetzt ist, Herstellen der ersten Quetschung mit Ar-Spuelung, Hochvakuumgluehen beim Einschleusen in die mit Xenon gefuellte Glovebox, Einbringen der Fuellsubstanzen, Einfuehren des zweiten Eo-Systems, Dichtschmelzen des offenen Rohrendes mit Plasmabrenner, Entnehmen aus der Glovebox, Herstellen der zweiten Quetschung bei gleichzeitigem Ausfrieren des im Entladungsgefaesz enthaltenen Xenon bei mindestens 112C, Entnehmen der Lampe aus der Quetschvorrichtung und Entfernen der ueberstehenden Enden des Quarzrohres. Kein Pumprohr am Entladungsgefaesz. Fig. 5{Entladungsgefaesz; Vorformen; Einrollen; Einspannen; Quetschvorrichtung; Eo-System; Einfuehren; Stromzufuehrung; Quetschung; Quarzrohr; Glovebox; Plasmabrenner}
Description
Die Erfindung betrifft die Herstellung von Metallhalogenidhochdruckentladungslampen mit einer elektrischen Leistungsaufnahme von maximal 5OW, wie sie in letzter Zeit vermehrt zum Zweck der Allgemeinbeleuchtung oder zum Einsatz in Kraftfahrzeugscheinwerfern vorgeschlagen wurden.
Entsprechend dem allgemeinen Fachwissen wurden solche Lampen bisher hergestellt, indem ein beidseitig offenes Quarzrohr zuerst einseitig verschlossen und anschließend an der Stelle des künftigen Entladungsgefäßes durch Versammeln des Quarzglases dessen olivenförmigen Gestalt ausgebildet wird. Danach werden in weiteren Arbeitsgängen das anfangs verschlossene Rohrende wieder geöffnet sowie ein Pumprohr mittig an das Entladungsgefäß angesetzt. Nachdem in die offenen Rohrenden jeweils ein Elektrodensystem eingeführt und eingeschmolzen wurde, werden die Füllsubstanzen und das Füllgas durch das Pumprohr in das Entladungsgefäß eingebracht und letztlich das Pumprohr abgeschmolzen. Dieses aufwendige, arbeitsintensive Herstellverfahren hat den gravierenden Nachteil, daß an dem ohnehin sehr kleinen Entladungsgefäß - seine Länge beträgt nur ca. 7,5mm, sein Durchmesser nur ca. 5,5mm-durch das Ansetzen und Abschmelzen des Pumprohres Inhomogenitäten in der Materialverteilung entstehen, die zum einen die bold-Spot-Temperatur und damit die Lichtfarbe der Lampe nachteilig beeinflussen und zum anderen die von der Lampe emittierte Strahlung in einem nicht reproduzierbaren Maß streuen, was sich bei dem vorgesehenen Einsatz dieser Lampen in optischen Systemen besonders nachteilig bemerkbar macht. Des weiteren ist bei dieser Art Lampen die Anlaufzeit zwischen der Zündung und dem Erreichen des Endlichtstroms noch immer unbefriedigend. Sie beträgt bei einer konventionell betriebenen Lampe ca. 40see. In dem DE-GM 8623908 wurde deshalb vorgeschlagen, die Lampe im ausgeschalteten Zustand fremd zu beheizen, um so die Füllsubstanzen verdampft zu halten und auf diese Weise von einem höheren Temperatur- und damit Druckniveau ausgehend eine verkürzte Anlaufzeit von nur ca. 8sec. zu erreichen. Abgesehen von der für die Fremdheizung erforderlichen zusätzlichen elektrischen Ene;gie und dem damit verbundenen Installationsaufwand ist aber auch eine derart verkürzte Anlaufzeit für viele Anwendungszwecke noch immer nicht befriedigend.
Ziel der Erfindung ist es, die vorgenannten Mängel zu beseitigen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Anlaufzeit der Metallhalogenidlampe noch weiter zu verkürzen. Auf eine Fremdbeheizung der Lampe soll mit Rücksicht auf den zusätzlichen Energieverbrauch und die Maßnahmen für die Energieversorgung verzichtet werden. Außerdem soll ein einfaches Herstellverfahren für die in Frage kommenden Lampe geschaffen werden, bei dem keine inhomogene Materialverteilung am Entladungsgefäß auftritt.
Diese Aufgaben werden erfindungsgemäß durch ein Verfahren zur Herstellung einer zweiseitigen Hochdruckentladungslampe gelöst, wobei die Lampe ein Entladungsgefäß mit zwei an gegenüberliegenden Seiten des Entladungsgefäßes angeordneten Einschmelzungen oder Quetschungen aufweist, in die jeweils ein Elektrodensystem gasdicht eingeschmolzen ist, das aus einer im Entladungsgefäß angeordneten Elektrode, einer von der Einschmelzung oder Quetschung eingebetteten Dichtungsfolie und einer aus der Einschmelzung oder Quetschung in Lampenlängsachse austretenden Stromzuführung besteht, und das Entladungsgefäß eine den Betrieb aufrechterhaltende Füllung enthält, welches durch den Ablauf folgender Arbeitsgänge gekennzeichnet ist:
a) Erwärmen und Einrollen eines durchgehend zylindrischen Rohres aus Quarz auf einer vorbestimmte Länge zur Abgrenzung des künftigen Entladungsgefäßes.
b) Einführen und Ausrichten eines ersten, vorgefertigten Elektrodensystems in ein Ende des Rohres.
c) Erwärmen des Rohres im Bereich der Dichtungsfolie des ersten Elektrodensystems und Herstellen einer ersten Einschmelzung in Form einer Quetschung.
d) Einbringen der Füllsubstanzen durch das zweite, noch offene Ende des Rohres.
e) Fluten des Entladungsgefäßes mit einem Edelgas durch das zweite, noch offene Ende des Rohres.
f) Einführen und Ausrichten des zweiten, vorgefertigten Elektrodensystems durch das zweite, noch offene Ende des Rohres.
g) Verschmelzen des noch offenen Rohres an seinem dem Entladungsgefäß abgewandten Ende.
h) Erwärmen des Rohres im Bereich der Dichtungsfolie des zweiten Elektrodensystems und Herstellen der zweiten Einschmelzung in Form einer Quetschung.
Dabei ist es für das Verfahren vorteilhaft, daß während der Arbeitsgänge a) und c) ein Inertgasstrom durch das offene Rohr geführt wird, daß nach dem Arbeitsgang c) das Entladungsgefäß im Hochvakuum geglüht wird und daß die Arbeitsgänge d) bis g) innerhalb eines hermetisch abgeschlossenen Systems durchgeführt werden, wobei dieses, wie auch das zukünftige Entladungsgefäß, das gleiche Edelgas als Füllgas enthält. Zweckmäßig ist das Edelgas Xenon. In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist es zweckmäßig, daß die Arbeitsgänge d) bis g) innerhalb eines hermetisch abgeschlossenen Systems durchgeführt werden, wobei dieses ein von dem Füllgas des Entladungsgefäßes abweichendes Inertgas entnau u.id daß vor den Arbeitsgängen d) und g) das zukünftige Entladungsgefäß mit dem endgültigen Füllgas geflutet wird.
Vorteilhaft wird zur Durchführung des Arbeitsganges g) ein Plasmabrenner oder ein Laser verwendet. Zweckmäßig wird zur Durchführung des Arbeitsganges h) das Entladungsgefäß teilweise auf mindestens 1120C gekühlt. Die zur Durchführung der Arbeitsgänge b) und f) erforderliche Stromzuführung weist eine sich innerhalb des Rohres selbsthalternde Gestalt auf.
Eine besonders vorteilhafte Form ist dadurch gekennzeichnet, daß die Stromzuführung mit mindestens drei Auflagepunkten an der Innenwand des Rohr js abgestützt ist. Im Anschluß an den Arbeitsgang h) wird das jeweilige, über die Einschmelzung oder Quetschung hinausstehende Rohr, in dem auch der die Auflagepunkte aufweisende Teil der Stromzuführung angeordnet ist, ganz oder teilweise abge rennt.
Da die Arbeitsschritte des Füllens und Verschließen des Entladungsgefäßes in der hochreinen Atmosphäre der Glovebox erfolgen, können Verunreinigungen durch Fremdgase, wie H], O2 oder durch H2O, auf ein Minimum reduziert werden. Durch das Einfrieren des im verschlossenen Entladungsgefäß enthaltenen Xenon auf mindestens -112°C kann die zweite Quetschung außerhalb der Glovebox zügig hergestellt werden. Mit der beschriebenen Herstellungsweise wird eine erhebliche Verkürzung der Verfahrenszeit und eine Vereinfachung des gesamten Herstellverfahrens erreicht. Aufgrund des am Entladungsgefäß nicht mehr vorhandenen Pumprohres treten auch dort keine unterschiedlichen Wanddicken oder Inhomogenitäten anderer Art auf, wodurch die Strahlungsmission der Lampe sehr viel gleichmäßiger erfolgt als bei den bekannten Lampen mit Pumprohr. Das Xenon im Entladungsgefäß bewirkt einen hohen Sofortlichtanteil im unmittelbaren Anschluß an die Zündung, so daß auch schon vor dem Verdampfen der Metallhalogenide ein ausreichend hoher Lichtstrom zur Verfügung steht. Die Lampe ist für den Einsatz in optischen Systemen besonders geeignet, wie z. B. in Kraftfahrzeugsxheinwerfern, bei denen es auf eine äußerst präzise Justierung und Anordnung der Hell-/Dunkelgrenze ankommt.
Fig. 1 a zeigt das auf eine Länge von ca. 150mm geschnittene Rohr 1 aus Quarzglas. Der Außendurchmesser des Rohres beträgt ca. 4,5mm, der Innendurchmesser d ca. 2mm.
Mit Hilfe der Flammen 2 wird zunächst das in Rotation versetzte Rohr 1 erwärmt und nach Erreichen der Verformungstemperatur werden mittels der Formrolle 3 gleichzeitig beide Einschnürungen 4,5 mittig und in einem definiorten Abstand zueinander angebracht (Fig. 1 b). Während des Erwärmens und des Verformens wird von einer Seite ein Stickstoffstrom N2 mit einer Menge von ca. 101/h durch das Rohr 1 geführt. Durch das Anbringen der Einschnürungen 4,5 wird das zukünftige Entladungsgefäß 6 (Fig. 1 c) in seiner Länge von ca. 7,5mm genau abgegrenzt. Die Einschnürung 4 weist einen geringeren lichten Durchmesser auf als die Einschnürung 5. Hierdurch entsteht zwischen den beiden Einschnürungen im erwärmten Bereich des zukünftigen Entladungsgefäßes 6 ein Gasstau P des Stickstoffstromes N2, so daß dieser Bereich etwas aufgeblasen wird und seine olivenförmige Gestalt mit einem Außendurchmesser von ca. 5,5mm annimmt.
Im nächsten Arbeitsgang wird das vorgefertigte Elektrodensystem (Fig. 2) in dasjenige Ende des Rohres 1 eingequetscht, das die Einschnürung 4 mit dem geringeren Durchmesser aufweist. Das Elektrodensystem besteht aus einer Elektrode 7 aus Wolfram, einer Dichtungsfolie 8 aus Molybdän sowie aus einer Stromzuführung 9 aus Molybdän. Die Elektrode 7 ist an ihrem im Entladungsgefäß β angeordneten Ende mit einer Kugel 10 versehen. Die Stromzuführung 9 ist in dery-z-Ebenezickzackförmig gebogen, wobei der Winkel α, um den die gebogene Stromzuführung 9 von der x-z-Ebene abweicht, kleiner als 45°, vorzugsweise ca. 20°-30° ist. Die Höhe h, das ist jener Betrag, um den der Knick- oder Umkehrpunkt 11 der gebogenen Stromzuführung 9 von der x-z-Ebene abweicht, ist größer als der halbe Innendurchmesser d des Rohres 1. In der Praxis hat sich ein Verhältnis entsprechend h =* 0,55d bewährt. Die Dichtungsfolie 8 ist in der x-z-Ebene ausgerichtet, also senkrecht zur y-z-Ebene der gebogenen Stromzuführung 9. Ein derart geformtes Elektrodensystem haltert sich innerhalb des Rohres 1 von selbst, indem die Knick- oder Umkehrpunkte 11 der Stromzuführung 9 klemmend an der Rohrinnenwand anliegen. Einmal an seiner vorbestimmten Position einjustiert, behält das Elektrodensystem diese bis zur endgültigen Fixierung bei. Zur sicheren Abstützung der Stromzuführung 9 an der Innenwand des Rohres 1 sind mindestens drei Knick- oder Umkehrpunkte 11 an jeder Stromzuführung 9 angebracht. Eine derart gestaltete Stromzuführung 9 zentriert sich in der Achse des Rohres 1 von selbst. Dadurch wird auch automatisch eine Zentrierung der Elektrode 7 im Entladungsgefäß 6 in der x-Koordinate der Dichtungsfolie 8 erreicht. Eine eventuell mögliche Dezentrierung senkrecht zur Ebene der Dichtungsfolie 8, also in der y-Koordinate, z. B. durch Verbiegen der Dichtungsfolie 8, wird beim Quetschvorgang ausgeglichen.
Wie aus der Fig.3 ersichtlich, wird anschließend die erste Quetschung 12 hergestellt. Hierfür wird das Rohr 1 im Bereich der Dichtungsfolie 8 auf eine für die Verformung geeignete Temperatur von oberhalb ca. 22000C gebracht. Gleichzeitig wird ein Argonstrom durch das vorgeformte Rohr 1 geleitet. Nachdem die Quetschtemperatur erreicht ist, wird die erste Quetschung 12 hergestellt. Es wird zuerst die Quetschung abgedichtet, die der Einschnürung 4 mit dem geringeren Durchmesser benachbart ist. Die Herstellung der Quetschung an sich ist ein dem Fachmann im Lampenbau bekannter Vorgang und in den Figuren nicht gesondert dargestellt.
Das mit der ersten Quetschung 12 versehene Rohr 1 wird nun beim Einschleusen in die. Glovebox 13 zur Reinigung einer Hochvakuumglühung bei >400°C und <2x 10~smbar unterzogen. Die Glovebox 13 ist mit Xenon gefüllt. Der Fülldruck weicht um nicht mehr als einige 10 mbar vom umgebenden Atmosphärendruck ab. Das Füllgas Xenon der Glovebox 13 entspricht dem künftigen Füllgas der Metallhalogenidhochdruckentladungslampe. Die Arbeitsschritte innerhalb der Glovebox 13 sind in der Fig. 4 dargestellt.
Fig.4a zeigt die einseitig gequetschte Lampe der Fig.3 in der Glovebox 13. Als Nächstes werden in das wieder erkaltete1 Entladungsgefäß 6 zuerst die Füllsubstanzen, bestehend aus einer Metallhalogenid-Pille 14 und einer Quecksilber-Kugel 15 und weiterhin das zweite Elektrodensystem (Fig.4 b) eingebracht. Die Füllsubstanzen fallen durch die noch offene Einschnürung 5 mit dem gröfOren Durchmesser in das Entladungsgefäß 6. Das Elektrodensystem wird, wie schon zuvor bei der Vorbereitung auf
die erste Quetschung 12, selbsthalternd an seine ihm vorbestimmte Stelle in Position einjustiert, so daß die Elektrode 7 innerhalb des Entladungsgefäßes β angeordnet ist und der Abstand der Kugeln 10 beider Elektroden 7 genau seinen vorgesehenen Wert erhält. Danach wird das Quarzrohr 1 an seinem offenen Ende innerhalb der Glovebox 13 mittels eines Plasmabrenners 16 oder eines Lasers dichtgeschmolzen (Fig.4c), so daß nur noch eine Abschmelzspitze 17 (Fig.4d) verbleibt. In einer Alternative zu dem zuvor beschriebenen Verfahren ist die Glovebox 13 mit Argon gefüllt und das Xenon für die gewünschte endgültige Füllung der Lampe wird innerhalb der Glovebox 13 gesondert eingefüllt. Dies erfolgt, indem das Xenon durch eine Spülkanüle durch das noch offene Ende des Rohres 1 in das Entladungsgefäß 6 geblasen wird. Nach dem Einbringen der Füllsubstanzen 14,15 und des zweiten Elektrodensystems 7 bis 10 wird nochmals mit Xenon gespült. Anstelle der zweimaligen Spülung mit Xenon kann auch nach dem Einbringen des zweiten Elektrodensystems 7-10 mit Hilfe eines in der Glovebox· 13 angeordneten Pumpkopfes ein Gasaustausch vorgenommen werden. Anschließend wird das zweite, noch offene Ende des Rohres mit dem Plasmabrenner verschlossen, wie bereits zuvor beschrieben. Bei einem derart verschlossenen Lampengefäß wird sich eine Mischung von der Argon-Atmosphäre der Glovebox 13 und des Füllgases Xenon einstellen. Der Xenon-Anteil im Lampengefäß wird bei ca. 50 bis 95% liegen, je nach Verweildauer des Rohres zwischen dem Gasaustausch und dem Abschmelzen. Durch den Fülldruck und die Zusammensetzung der Füllgase kann der später im Entladungsgefäß 6 resultierende Xenon-Kaltfülldruck vorbestimmt werden. Das verschlossene Lampengefäß hat einen Kaltfülldruck von ca. 800mbar.
Anstelle einer Glovebox-Atmosphäre mit Argon, wie in der Alternative beschrieben, ist auch eine Füllung der Glovebox 13 mit Stickstoff oder Helium denkbar, wobei das Xenon dann wieder mittels einer Spülkanüle oder eines Pumpkopfes, wie zuvor beschrieben, eingefüllt werden muß. Der Vorteil eines solchen Vorgehens liegt darin, daß für die Füllung der Glovebox 13 ein billigeres Gas verwendet wird und das teure Xenon selbst ausschließlich für die Füllung der Lampengefäße verwendet wird. Die vorgefertigte Lampe wird jetzt wieder der Glovebox 13 entnommen. Danach wird, wie schon bei der ersten Quetschung 12 beschrieben, der Bereich um die Dichtungsfolie 8 des zweiten Elektrodensystems auf die Quetschtemperatur von ca. 22000C aufgeheizt und die zweite Quetschung 18 (Fig. 5) angebracht, indem das zweite Elektrodensystem eingequetscht wird. Während des Aufheiz- und Quetschvorganges wird der Bereich des Entladungsgefäßes 6 mittels flüssigem Stickstoff auf mindestens -1120C gekühlt, um das Xenon im Entladungsgefäß 6 auszufrieren und ein Verdampfen des Metallhalogenide 14 und Quecksilbers 15 zu verhindern. Diese tiefe Temperatur muß solange gehalten werden, bis die Quetschung erfolgt ist. Die hohe Temperaturdifferenz von ca. 2400K auf einer Länge von nur ca. 6mm wird erreicht, indem die Flammen durch Abschirmbleche abgehalten werden, während gleichzeitig der untere Bereich des Entladungsgefäßes durch Anspritzen mit dem flüssigen Stickstoff gekühlt wird. Aufgrund der geringen aufzuheizenden Masse der Quetschung 18 wird der Quetschungsbereich biszum Ausführen der Quetschung 18 nur während ca. 5 bis 6sec. aufgeheizt. Die Quetschung 18 selbst kann anschließend mit Blasluft abgekühlt werden. Der im Entladungsgefäß C resultierende Xenon-Kaltfülldruck liegt im Bereich 1 bis 30bar. Er ergibt sich bei vollständigem Ausfrieren des Xenon aus dem Xe-Partialdruck im dichtgeschmolzenen Rohr 1 (Fig.4d) und dem Verhältnis der Volumina vom Rohr 1 Entladungsgefäß 6. Bei einem typischen Xe-Partialdruck im Rohr 1 von 600 bis 800mbar, einem Rohrvolumen von 0,30cm3 und einem Entladungsgefäßvolumen von 0,025cm3 resultiert ein Xenon-Kaltfülldruck im Entladungsgefäß 6 von 7 bis 10 bar.
Des weiteren kann auch das Füllen der Quecksilber-Kugel 15 weggelassen werden. Die Rolle des Quecksilbers im Entladungsgefäß wird dann durch das Xenon übernommen. Gegenüberden herkömmlichen Xenon-Hochdrucklampen kann mit der Metallhalogenidfüllung (z. B. NaSc) die Lichtfarbe gesteuert und durch den Kreisprozeß eine höhere Lebensdauer erreicht werden.
Abschließend wird die Lampe der Quetschvorrichtung entnommen und es werden die über die Quetschungen 12,18 hinausstehenden Rohrenden 1 ganz oder teilweise entfernt. Auch der zickzackförmig ausgeführte Teil der Stromzuführungen 9 kann entfernt werden. Eine fertige Metallhalogenidhochdruckentladungslampe 19 ist in Fig. 5 dargestellt. Mit den Lampen und der erfindungsgemäßen Füllung wird eine Erhöhung der Liciitausbeute um mehr als 15% erreicht. Der Anlauf des Lichtstroms e. ier derartigen Lampe ist in der Fig. 6 dargestellt. Die Lampe 19 selbst wurde an einem elektronischen, den Anlaufstrom regelnden Vorschaltgerät betrieben. Der Xenon-Kaltfülldruck im Entladungsgefäß 6 beträgt ca. 6 bar. Der Anlaufstrom liegt bei ca. 3,3 A, was etwa dem 8,5fachen Nennstrom der Lampe 19 entspricht. Wie hier deutlich zu erkennen ist, wird der 30-%-Lichtstrom tJ aufgrund der Xenon-Füllung quasi sofort nach der Inbetriebnahme und der 90-%-Lichtstrom schon bei ca. 1 see. erreicht.
Claims (12)
1. Verfahren zur Herstellung einer zweiseitigen Hochdruckentladungslampe, wobei die Lampe ein Entladungsgefäß mit zwü an gegenüberliegenden Seiten des Entladungsgefäßes angeordneten Einschmelzungen oder Quetschungen aufweist, in die jeweils ein Elektrodensystem gasdicht eingeschmolzen ist, das aus einer im Entladungsgefäß angeordneten Elektrode, einer von der Einschmelzung oder Quetschung eingebetteten Dichtungsfolie und einer aus der Einschmelzung oder Quetschung in Lampenlängsachse austretenden Stromzuführungen besteht, und das Entladungsgefäß eine den Betrieb aufrechterhaltende Füllung enthält, gekennzeichnet durch den Ablauf folgender Arbeitsgänge:
a) Erwärmen und Einrollen eines durchgehend zylindrischen Rohres (1) aus Quarz auf eine vorbestimmte Länge zur Abgrenzung des künftigen Entladungsgefäßos (6).
b) Einführen und Ausrichten eines ersten, vorgefertigten Elektrodensystems (7-10) in ein Ende des Rohres (1).
c) Erwärmen des Rohres (1) im Bereich der Dichtungsfolie (8) des ersten Elektrodensystems und Herstellen einer ersten Einschmelzung in Form einer Quetschung (12).
d) Einbringen der Füllsubstanzen (14,15) durch das zweite, noch offene Ende des Rohres (1).
e) Fluten des Entladungsgefäßes (6) mit einem Edelgas durch das zweite, noch offene Ende des Rohres (1).
f) Einführen und Ausrichten des zweiten, vorgefertigten Elektrodensystems (7-10) durch das zweite, noch offene Ende des Rohres (1).
g) Verschmelzen des noch offenen Rohres (1) an seinem dem Entladungsgefäß (6) abgewandten Ende.
h) Erwärmen des Rohres (Dim Bereich der Dichtungsfolie (8) des zweiten Elektrodensystems (7 bis 10) und Herstellen der zweiten Einschmelzung in Form einer Quetschung (18).
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß während der Arbeitsgänge a) und c) ein Inertgasstrom durch das offene Rohr (1) geführt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Arbeitsgang c) das Entladungsgefäß (6) im Hochvakuum geglüht wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Arbeitsgänge d) bis g) innerhalb eines hermetisch abgeschlossenen Systems (13) durchgeführt werden, wobei dieses, wie auch das zukünftige Entladungsgefäß (6), das gleiche Edelgas als Füllgas enthält.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Edelgas Xenon ist.
6. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Arbeitsgänge d) bis g) innerhalb eines hermetisch abgeschlossenen Systems (13) durchgeführt werden, wobei dieses ein von dem Füllgas des Entladungsgefäßes (6) abweichendes Inertgas enthält.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß vor den Arbeitsgängen d) und g) das zukünftige Entladungsgefäß (6) mit dem endgültigen Füllgas geflutet wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß zur Durchführung des Arbeitsganges g) ein Plasmabrenner (16) oder ein Laser verwendet wird.
9. Verfahren nach Anspruch 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß zur Durchführung des Arbeitsganges h) das Entladungsgefäß (6) teilweise auf mindestens -1120C gekühlt wird.
10. Verfahren nach Anspruch 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß zur Durchführung der Arbeitsgänge b) und f) die Stromzuführung (9) eine sich innerhalb des Rohres (1) selbsthaltende Gestalt aufweist.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromzuführung (9) mit mindestens drei Auflagepunkten (11) an der Innenwand des Rohres (1) abgestützt ist.
12. Verfahren nach Anspruch 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß im Anschluß an den Arbeitsgang h) das jeweilige, über die Einschmelzung oder Quetschung (12,18) hinausstehende Rohr (1), in dem auch der die Auflagepunkte (11) aufweisende Teil der Stromzuführung (9) angeordnet ist, ganz oder teilweise abgetrennt wird.
Hierzu 6 Seiten Zeichnungen
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