DD290076A5 - Probenhalter fuer rasterelektronenmikroskop - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Probenhalter fuer Rasterelektronenmikroskop zur Untersuchung stabfoermigen Probenmaterials. Aufgabe der Erfindung ist es, durch einen Probenhalter fuer Untersuchungen im Rasterelektronenmikroskop stabfoermige Proben aufzunehmen und in allen Stellungen untersuchen zu koennen. Erfindungsgemaesz werden die stabfoermigen Proben fuer die Untersuchungen im Rasterelektronenmikroskop von einem zylindrischen Grundkoerper durch eine Laengsoeffnung und eine Quernut sowohl in Laengs- als auch in Querrichtung aufgenommen. Durch eine Andruckplatte werden die Proben fixiert.{Rasterelektronenmikroskop; Probenhalter; Probenmaterial; Grundkoerper, zylindrisch; Laengsoeffnung; Quernut; Andruckplatte; Madenschraube, verstellbar}

Description

Hierzu 1 Seite Zeichnung

Anwendungsgebiet der Erfindung

Dio Erfindung betrifft einen Probenhalter für Rasteroloktronbnmikroskop, der zur Un'ersuchung dio Fixierung stabförmiger Proben gestattet. Dabei ist es unerhoblich, oh das Probenmaterial mechanisch oder elektrolytisch vorbehandelt wurde. Der Probenhalter kann ebenfalls für mikroanalytische Untersuchungen dos orwähnton Probonmetorials oingosetzt werden. Der Einsatz dieser Vorrichtung kann für stabförmige Feststoffe unterschiedlicher Materialien erfolgen.

Charakteristik des bekannten Standos der Technik

Gegenwärtig erfolgt die Fixierung der behandelten oder unbohandelten stabförmigen Proben derart, daß auf geräteseitig vorhandenen planen Probon Aufnahmoschehen dio zu untersuchenden Werkstoffe mittels eines geeigneten, in der Regel elektrisch leitenden Klebemediums, fixiert werden. Da die rastereloktronenmikroskopischen Untersuchungen unter den Bedingungen des Vakuums bzw. des Hochvakuums erfolgen müssen, ist eine definierte Trockenzeit für die Verdunstung des im Klebemedium befindlichen Lösungsmittels einzuhalten. Das schränkt die Untersuchungskapazität wesentlich ein. Darüber hinaus ist in den zum Einsatz kommenden Rasterelektronenmikroskopon keine Probenhalterung zur Fixierung stabförmigor Proben in Richtung der Mikroskopachse enthalten.

Der in der DD-Patentschrift 266882 beschriebene Mohrfachprobonhalter zur Untersuchung für Rasterelektronenmikroskop!) schafft diesem Mangel keine Abhilfe, da hier nur die Anzahl planer Probenträger pro Einschleusungsvorgang vervielfacht wird.

Ziel der Erfindung

Es ist das Ziel der Erfindung, den Zeitaufwand dor präparativen Vorbereitung für rasterelektrononmikroskopische Untersuchungen zu reduzieren und die Untersuchungszeit zu effektieren.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Der Erfindung liegt die technische Aufgabe zugrunde, einen Probenhalter für rasterelektronenmikroskopische Untersuchungen zu entwickeln, bei dem die bekannten technischen Nachteile vormieden werdon, indem in Abhängigkeit vom Durchmesser mehrere stabförmige Proben in diesem Probenhalter aufgenommen, in Längs· und/oder Querrichtung zur Mikroskopachse mechanisch fixiert und gleichzeitig durch Manipulation des vorhandenen Mikroskopgoniometers in allen Stellungen untersucht werden können.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß ein zylindrischer Grundkörper, der mit sienem Außendurchmesser in die Probenaufnahmehalterung des benutzten Rasterelektronenmikroskops paßt, durch eine Längsöffnung und eine Quernut die stabförmigen Proben in Längs- und/oder in Querrichtung aufnehmen kann. Durch eine sich im Nutenflansch befindliche Madenschraube wird unter Verwendung einer Andrückplatte das zu untersuchende Probenmaterial angedrückt. Die Anzahl der Proben werden durch ihre Durchmesser begrenzt.

Es wird dadurch die Möglichkeit geschaffen, mehrere stabförmige Probon in Längs- und/oder in Querrichtung mechanisch zu fixieren und mit einem Einschleusungsvorgang gleichzeitig in die Untersuchungskammer des Rasterelektronenmikroskops zu exponieren.

Die Längsöffnungon können unterschiedliche geometrische Formen aufweisen, wodurch der unterschiedlichen geometrischen Formen des zu untersuchenden Materials besser entsprochen werden kann und die Auslastung des Probenhalters effektiver gestaltet wird.

Austührungsbelsplel Die Erfindung soll nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel erläutert werden. Fig. 1: zeigt den erfindungsgemäßen Probenhalter

Sollen die Bruchfläche und das Gefüge einer stabförmigen metallischen Probe rasterelektronenmikroskopisch untersucht werden, so können gleichzeitig das Bruchende und der in üblicher Welse metallographisch präparierte und angeätzte Anschliff mit Hilfe der Andruckplatte 5 und der Madenschrauben 4 In der löngsöffnung 2 des zylindrischen Probenhalters derart fixiort werden, daß oino RasterelekUononmikroskopbeobachtung des eingeschlousten Probenhalters ermöglicht wird. Für eine Längsschliffuntersuchung wird das Probenmaterial in die Quernut 3 eingebracht und ebenfalls mit der Andruckplatte 5 und der Madonschraube 4 fixiert. Nach Ausschleusung der untersuchten Probenstücke kann der Probenhalter sofort neu bestückt werden.

Durch Anwendung des erfindungsgemäßen ^probenhalters ist os möglich, unterschiedliche metallische Materialien gleichzeitig zu analysleren und zu dokumentieren. Dies hat sich besonders positiv bei der Qualitätskontrollo bewährt.

Claims (3)

1. Probenhalter für Rasterelektronenmikroskop zur Untersuchung stabförmigen Probenmaterials, dadurch gekennzeichnet, daß in einem zylindrischen Grundkörper (1) eine Längsöffnung (2) und eine Quernut (3) vorhanden sind und sich in der Quernut (3) eine Andruckplatte (5) befindet, die mit Hilfe einer Madenschraube (4) vorstellbar angeordnet ist.

-1- 290 07« Patentansprüche:

2. Probenhalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Längsöffnung (2) verschiedene geometrische Formen aufweist.

3. Probenhalter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Andruckplatte (5) mechanisch mit der Madenschraube (4) verbunden ist.