DD290076A5

DD290076A5 - SAMPLE HOLDER FOR RASTER ELECTRONIC MICROSCOPE

Info

Publication number: DD290076A5
Application number: DD33554389A
Authority: DD
Inventors: Beate Werner; Michael Werner
Original assignee: Dtaht- Und Seilwerk,De
Priority date: 1989-12-12
Filing date: 1989-12-12
Publication date: 1991-05-16

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Probenhalter fuer Rasterelektronenmikroskop zur Untersuchung stabfoermigen Probenmaterials. Aufgabe der Erfindung ist es, durch einen Probenhalter fuer Untersuchungen im Rasterelektronenmikroskop stabfoermige Proben aufzunehmen und in allen Stellungen untersuchen zu koennen. Erfindungsgemaesz werden die stabfoermigen Proben fuer die Untersuchungen im Rasterelektronenmikroskop von einem zylindrischen Grundkoerper durch eine Laengsoeffnung und eine Quernut sowohl in Laengs- als auch in Querrichtung aufgenommen. Durch eine Andruckplatte werden die Proben fixiert.{Rasterelektronenmikroskop; Probenhalter; Probenmaterial; Grundkoerper, zylindrisch; Laengsoeffnung; Quernut; Andruckplatte; Madenschraube, verstellbar}The invention relates to a sample holder for scanning electron microscope for studying stabfoermigen sample material. The object of the invention is to record by a sample holder for investigations in a scanning electron microscope stabfoermige samples and to examine in all positions. According to the invention, the rod-shaped samples for the investigations in the scanning electron microscope are taken up by a cylindrical base body by a longitudinal opening and a transverse groove both in the longitudinal and in the transverse direction. The samples are fixed by means of a pressure plate {Scanning Electron Microscope; Sample holder; Sample material; Basic body, cylindrical; Laengsoeffnung; transverse groove; pressure plate; Grub screw, adjustable}

Description

Hierzu 1 Seite ZeichnungFor this 1 page drawing

Field of application of the invention

Dio Erfindung betrifft einen Probenhalter für Rasteroloktronbnmikroskop, der zur Un'ersuchung dio Fixierung stabförmiger Proben gestattet. Dabei ist es unerhoblich, oh das Probenmaterial mechanisch oder elektrolytisch vorbehandelt wurde. Der Probenhalter kann ebenfalls für mikroanalytische Untersuchungen dos orwähnton Probonmetorials oingosetzt werden. Der Einsatz dieser Vorrichtung kann für stabförmige Feststoffe unterschiedlicher Materialien erfolgen.Dio invention relates to a sample holder for Rasteroloktronbnmikroskop that allows the Un¬eruchung dio fixation rod-shaped samples. It is unimaginable, oh the sample material was mechanically or electrolytically pretreated. The sample holder can also be used for microanalytical investigations of orwähnton Probonmetorials. The use of this device can be done for rod-shaped solids of different materials.

Characteristic of the known state of the art

Gegenwärtig erfolgt die Fixierung der behandelten oder unbohandelten stabförmigen Proben derart, daß auf geräteseitig vorhandenen planen Probon Aufnahmoschehen dio zu untersuchenden Werkstoffe mittels eines geeigneten, in der Regel elektrisch leitenden Klebemediums, fixiert werden. Da die rastereloktronenmikroskopischen Untersuchungen unter den Bedingungen des Vakuums bzw. des Hochvakuums erfolgen müssen, ist eine definierte Trockenzeit für die Verdunstung des im Klebemedium befindlichen Lösungsmittels einzuhalten. Das schränkt die Untersuchungskapazität wesentlich ein. Darüber hinaus ist in den zum Einsatz kommenden Rasterelektronenmikroskopon keine Probenhalterung zur Fixierung stabförmigor Proben in Richtung der Mikroskopachse enthalten.Currently, the fixation of the treated or unboortten rod-shaped samples is carried out such that are fixed on the device side plan Probon Aufnahmoschehen dio materials to be examined by means of a suitable, usually electrically conductive adhesive medium. Since the raster electron microscope investigations must be carried out under the conditions of the vacuum or the high vacuum, a defined drying time must be observed for the evaporation of the solvent present in the adhesive medium. This significantly limits the examination capacity. In addition, no sample holder for fixing rod-shaped samples in the direction of the microscope axis is included in the scanning electron microscope used.

Der in der DD-Patentschrift 266882 beschriebene Mohrfachprobonhalter zur Untersuchung für Rasterelektronenmikroskop!) schafft diesem Mangel keine Abhilfe, da hier nur die Anzahl planer Probenträger pro Einschleusungsvorgang vervielfacht wird.The Mohrfachprobonhalter described in DD Patent 266882 for investigation for scanning electron microscope!) Does not remedy this deficiency, since only the number of flat sample carrier per Einschleusungsvorgang is multiplied.

Object of the invention

Es ist das Ziel der Erfindung, den Zeitaufwand dor präparativen Vorbereitung für rasterelektrononmikroskopische Untersuchungen zu reduzieren und die Untersuchungszeit zu effektieren.It is the object of the invention to reduce the time required for preparative preparation for scanning electron microscopic examinations and to effect the examination time.

Explanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die technische Aufgabe zugrunde, einen Probenhalter für rasterelektronenmikroskopische Untersuchungen zu entwickeln, bei dem die bekannten technischen Nachteile vormieden werdon, indem in Abhängigkeit vom Durchmesser mehrere stabförmige Proben in diesem Probenhalter aufgenommen, in Längs· und/oder Querrichtung zur Mikroskopachse mechanisch fixiert und gleichzeitig durch Manipulation des vorhandenen Mikroskopgoniometers in allen Stellungen untersucht werden können.The invention is based on the technical object to develop a sample holder for scanning electron microscopic investigations, in which the known technical disadvantages werdon by depending on the diameter recorded several rod-shaped samples in this sample holder, mechanically fixed in the longitudinal and / or transverse direction to the microscope axis and can be examined simultaneously by manipulating the existing microscope goniometer in all positions.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß ein zylindrischer Grundkörper, der mit sienem Außendurchmesser in die Probenaufnahmehalterung des benutzten Rasterelektronenmikroskops paßt, durch eine Längsöffnung und eine Quernut die stabförmigen Proben in Längs- und/oder in Querrichtung aufnehmen kann. Durch eine sich im Nutenflansch befindliche Madenschraube wird unter Verwendung einer Andrückplatte das zu untersuchende Probenmaterial angedrückt. Die Anzahl der Proben werden durch ihre Durchmesser begrenzt.According to the invention, this object is achieved in that a cylindrical base body, which fits with sienem outer diameter in the sample receiving holder of the scanning electron microscope used, can absorb the rod-shaped samples in the longitudinal and / or transverse direction through a longitudinal opening and a transverse groove. By means of a grub screw located in the groove flange, the sample material to be examined is pressed on using a pressure plate. The number of samples are limited by their diameters.

Es wird dadurch die Möglichkeit geschaffen, mehrere stabförmige Probon in Längs- und/oder in Querrichtung mechanisch zu fixieren und mit einem Einschleusungsvorgang gleichzeitig in die Untersuchungskammer des Rasterelektronenmikroskops zu exponieren.It is thereby created the possibility to mechanically fix several rod-shaped Probon in the longitudinal and / or transverse direction and to expose simultaneously with a Einschleusungsvorgang in the examination chamber of the scanning electron microscope.

Die Längsöffnungon können unterschiedliche geometrische Formen aufweisen, wodurch der unterschiedlichen geometrischen Formen des zu untersuchenden Materials besser entsprochen werden kann und die Auslastung des Probenhalters effektiver gestaltet wird.The Längsöffnungon may have different geometric shapes, whereby the different geometric shapes of the material to be examined can be better met and the utilization of the sample holder is made more effective.

Austührungsbelsplel The invention will be explained below using an exemplary embodiment. Fig. 1: shows the sample holder according to the invention

Sollen die Bruchfläche und das Gefüge einer stabförmigen metallischen Probe rasterelektronenmikroskopisch untersucht werden, so können gleichzeitig das Bruchende und der in üblicher Welse metallographisch präparierte und angeätzte Anschliff mit Hilfe der Andruckplatte 5 und der Madenschrauben 4 In der löngsöffnung 2 des zylindrischen Probenhalters derart fixiort werden, daß oino RasterelekUononmikroskopbeobachtung des eingeschlousten Probenhalters ermöglicht wird. Für eine Längsschliffuntersuchung wird das Probenmaterial in die Quernut 3 eingebracht und ebenfalls mit der Andruckplatte 5 und der Madonschraube 4 fixiert. Nach Ausschleusung der untersuchten Probenstücke kann der Probenhalter sofort neu bestückt werden.If the fracture surface and the microstructure of a rod-shaped metallic specimen are to be examined by scanning electron microscopy, the fracture end and the bevel polished and etched in customary catfish can simultaneously be fixed in the opening 2 of the cylindrical specimen holder with the aid of the pressure plate 5 and the grub screws 4 oino RasterelekUononmikroskopbeobachtung the collapsed sample holder is enabled. For a longitudinal section investigation, the sample material is introduced into the transverse groove 3 and likewise fixed with the pressure plate 5 and the Madon screw 4. After ejection of the examined sample pieces, the sample holder can be refilled immediately.

Durch Anwendung des erfindungsgemäßen ^probenhalters ist os möglich, unterschiedliche metallische Materialien gleichzeitig zu analysleren und zu dokumentieren. Dies hat sich besonders positiv bei der Qualitätskontrollo bewährt.By using the ^p robes holder inventive os is possible to analysleren different metallic materials simultaneously and documented. This has proved particularly positive in the quality control.

Claims

1. Sample holder for scanning electron microscope for studying rod-shaped sample material, characterized in that in a cylindrical base body (1) has a longitudinal opening (2) and a transverse groove (3) are present and in the transverse groove (3) is a pressure plate (5), the with the help of a grub screw (4) is arranged imaginable.

-1- 290 07 «Claims:

2. Sample holder according to claim 1, characterized in that the longitudinal opening (2) has different geometric shapes.

3. Sample holder according to claim 1, characterized in that the pressure plate (5) is mechanically connected to the grub screw (4).