DE202018103852U1

DE202018103852U1 - Sample holder for scanning electron microscopes

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Publication number: DE202018103852U1
Application number: DE202018103852.4U
Authority: DE
Original assignee: Leibniz Institut fuer Polymerforschung Dresden eV
Current assignee: Leibniz Institut fuer Polymerforschung Dresden eV
Priority date: 2018-07-05
Filing date: 2018-07-05
Publication date: 2018-08-17
Anticipated expiration: 2028-07-06

Abstract

Probenhalter für Rasterelektronenmikroskope bei dem ein scheibenförmiger Träger für TEM-Netzchen aus einem elektrisch leitfähigen Material vorhanden ist, der mindestens aus einem Ober- und Unterteil besteht, wobei das Unterteil Aufnahmebereiche für die TEM-Netzchen aufweist und das Oberteil zur Fixierung der TEM-Netzchen im Wesentlichen ohne Beeinträchtigung des Messvorganges vorhanden ist und weiter das elektrisch leitfähige Material des Probenhalters im Wesentlichen keinen Einfluss auf das Messergebnis ausübt.Sample holder for scanning electron microscopes in which a disc-shaped support for TEM mesh of an electrically conductive material is present, which consists of at least one upper and lower part, the lower part receiving areas for the TEM mesh and the upper part for fixing the TEM mesh in Substantially without affecting the measuring process is present and further the electrically conductive material of the sample holder has substantially no influence on the measurement result.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf die Gebiete des Gerätebaus und der Messtechnik und betrifft einen Probenhalter für Rasterelektronenmikroskope, wie er beispielsweise für Rasterelektronenmikroskopie (REM), für Rastertransmissionselektronenmikroskopie (Scanning Transmission Electron Microscope - STEM) oder für Untersuchungen mittels energiedispersiver Röntgenanalyse (EDX) von Nanopartikeln, Polymeren oder Füllstoffverteilungen von polymeren Werkstoffen auf nanoskaliger Ebene zum Einsatz kommen kann.The invention relates to the fields of instrumentation and metrology and relates to a sample holder for scanning electron microscopes, as for example for scanning electron microscopy (SEM), for Scanning Transmission Electron Microscope (STEM) or for investigations by means of energy dispersive X-ray analysis (EDX) of nanoparticles, Polymer or filler distributions of polymeric materials at the nanoscale level can be used.

Als Rasterelektronenmikroskop (REM) wird ein Elektronenmikroskop bezeichnet, bei dem ein Elektronenstrahl in einem bestimmten Muster über das vergrößert abzubildende Objekt geführt (gerastert) wird und Wechselwirkungen der Elektronen mit dem Objekt zur Erzeugung eines Bildes des Objekts genutzt werden (Wikipedia, Stichwort REM).A scanning electron microscope (SEM) is an electron microscope in which an electron beam in a certain pattern on the magnified imaged object is (rasterized) and interactions of the electrons are used with the object to produce an image of the object (Wikipedia, keyword REM).

Dabei muss das Objekt als Probe in einem Probenhalter befestigt sein, der möglichst keinen Einfluss auf das Messergebnis aufweist.In this case, the object must be mounted as a sample in a sample holder, which has as possible no influence on the measurement result.

Nach der DD 290 076 A5 ist ein Probenhalter für Rasterelektronenmikroskope bekannt, mit dem stabförmige Proben untersucht werden und der aus einem zylindrischen Grundkörper mit einer Längsöffnung und einer Quernut besteht und in der Quernut eine Andruckplatte vorhanden ist, die mit Hilfe einer Madenschraube verstellbar angeordnet ist.After DD 290 076 A5 a sample holder for scanning electron microscopes is known, are examined with the rod-shaped samples and consists of a cylindrical body with a longitudinal opening and a transverse groove and in the transverse groove a pressure plate is present, which is arranged adjustable by means of a grub screw.

Gemäß der DE 11 2011 105 007 T5 ist ein Probenhalter für Elektronenmikroskope in einer Vakuumkammer bekannt, der aus einer Aufnahme besteht, in der eine Substanz für eine Gasquelle aufgenommen ist, weiter aus einem Probentisch, auf dem die Probe angebracht ist, und schließlich aus einem Mechanismus zum Zuführen von Gas, das in der Aufnahme aus der Substanz gebildet wurde, zu der auf dem Probentisch befindlichen Probe.According to the DE 11 2011 105 007 T5 a sample holder for electron microscopes in a vacuum chamber is known which consists of a receptacle in which a substance for a gas source is received, further from a sample table on which the sample is mounted, and finally from a mechanism for supplying gas which is in the image was formed from the substance to the sample located on the sample table.

Derartige Probenhalter eignen sich jedoch nicht für die Untersuchung von Partikeln, insbesondere Nanopartikeln.However, such sample holders are not suitable for the investigation of particles, in particular nanoparticles.

Im Falle der Untersuchung von Nanopartikeln, Polymeren oder Füllstoffverteilungen von polymeren Werkstoffen auf nanoskaliger Ebene mittels REM müssen die Proben entsprechend präpariert und auf sogenannte Probenträger aufgebracht werden. Die Probenträger sind an sich bekannt und bestehen im Wesentlichen aus Probentellern in Scheibenform, die aus Aluminium, Silicium oder Graphit bestehen. Die Probenträger werden in Probenhaltern befestigt.In the case of the investigation of nanoparticles, polymers or filler distributions of polymeric materials at the nanoscale level by means of SEM, the samples must be prepared accordingly and applied to so-called sample carriers. The sample carriers are known per se and consist essentially of sample plates in disk form, which consist of aluminum, silicon or graphite. The sample carriers are fixed in sample holders.

Für die Untersuchung von Proben mittels STEM werden als Probenträger sogenannte TEM-Netzchen eingesetzt. Die TEM-Netzchen werden in einem Probenhalter befestigt bei dem unterhalb der Proben die entsprechenden Detektoren, wie beispielsweise ein STEM-Detektor, platziert werden, der als Bildsignal die transmittierten Primärelektronen nutzt.For the investigation of samples by means of STEM so-called TEM meshes are used as sample carriers. The TEM meshes are mounted in a sample holder by placing below the samples the corresponding detectors, such as a STEM detector, which uses the transmitted primary electrons as the image signal.

Für die Fixierung der TEM-Netzchen sind in den REM-Haltern Aussparungen vorhanden, in denen diese kleinen TEM-Netzchen, beispielsweise aus Aluminium oder Kupfer, eingesetzt werden (Produktkatalog Plano-EM).For the fixation of the TEM meshes, recesses are present in the REM holders in which these small TEM meshes, for example of aluminum or copper, are used (product catalog Plano-EM).

Die Fixierung dieser TEM-Netzchen erfolgt bekanntermaßen über Klemmen aus Kupfer, die wiederum mittels Schrauben am Probenhalter befestigt sind.The fixation of these TEM nets is known to be via terminals made of copper, which in turn are fastened by means of screws on the sample holder.

Der Nachteil der bekannten Lösungen von Probenhaltern unter Verwendung von TEM-Netzchen für REM-Untersuchungen besteht im Wesentlichen darin, dass die Handhabung und die Fixierung der TEM-Netzchen umständlich und zeitintensiv sind.The disadvantage of the known solutions of sample holders using TEM meshes for SEM investigations is essentially that the handling and fixing of the TEM meshes are cumbersome and time-consuming.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht in der Angabe eines Probenhalters für Rasterelektronenmikroskope, welcher einfach und sicher handzuhaben ist.The object of the present invention is to specify a sample holder for scanning electron microscopes, which is easy and safe to handle.

Die Aufgabe wird gelöst durch die in den Ansprüchen angegebene Erfindung. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der Unteransprüche.The object is achieved by the invention specified in the claims. Advantageous embodiments are the subject of the dependent claims.

Bei dem erfindungsgemäßen Probenhalter für Rasterelektronenmikroskope ist ein scheibenförmiger Träger für TEM-Netzchen aus einem elektrisch leitfähigen Material vorhanden, der mindestens aus einem Ober- und Unterteil besteht, wobei das Unterteil Aufnahmebereiche für die TEM-Netzchen aufweist und das Oberteil zur Fixierung der TEM-Netzchen im Wesentlichen ohne Beeinträchtigung des Messvorganges vorhanden ist und weiter das elektrisch leitfähige Material des Probenhalters im Wesentlichen keinen Einfluss auf das Messergebnis ausübt.In the sample holder for scanning electron microscopes according to the invention, a disc-shaped support for TEM mesh of an electrically conductive material is present, which consists of at least one upper and lower part, wherein the lower part receiving areas for the TEM mesh and the upper part for fixing the TEM mesh is essentially present without affecting the measuring process and further the electrically conductive material of the sample holder has substantially no influence on the measurement result.

Vorteilhafterweise weist der scheibenförmige Träger im Wesentlichen die gleichen äußeren Abmessungen der bekannten scheibenförmigen Probenhalter für Rasterelektronenmikroskope auf, oder das Oberteil weist einen 2 - 10 % größeren Durchmesser als das Unterteil auf.Advantageously, the disk-shaped carrier has substantially the same outer dimensions of the known disk-shaped sample holders for scanning electron microscopes, or the upper part has a 2-10% larger diameter than the lower part.

Ebenfalls vorteilhafterweise besteht das Ober- und Unterteil aus dem gleichen elektrisch leitfähigen Material.Also advantageously, the upper and lower part of the same electrically conductive material.

Weiterhin vorteilhafterweise besteht das Ober- und Unterteil aus Kupfer oder Graphit. Further advantageously, the upper and lower parts made of copper or graphite.

Und auch vorteilhafterweise bedeckt das Oberteil vollflächig das Unterteil, außer in den Bereichen, die für die Funktion des Probenhalters und die Messung unbedeckt bleiben müssen.And also advantageously, the upper part over the entire surface covers the lower part, except in the areas that must remain uncovered for the function of the sample holder and the measurement.

Vorteilhaft ist es auch, wenn das Oberteil ringförmig ausgebildet ist und das Unterteil mindestens nicht in den Bereichen bedeckt, die für die Messung unbedeckt bleiben müssen.It is also advantageous if the upper part is annular and the lower part at least not covered in the areas that must remain uncovered for the measurement.

Ebenfalls vorteilhaft ist es, wenn mindestens die TEM-Netzchen unbedeckt vom Oberteil sind.It is also advantageous if at least the TEM meshes are uncovered from the upper part.

Weiterhin vorteilhaft ist es, wenn das Oberteil nicht oder in maximal drei Befestigungspunkten im Winkel von je 120 ° zueinander an dem Unterteil fixiert ist.It is also advantageous if the upper part is not fixed to the lower part or at a maximum of three attachment points at an angle of 120 ° to one another.

Und auch vorteilhaft ist es, wenn das leitfähige Material des Probenhalters vollständig oder im Wesentlichen vollständig aus einem einzigen elektrisch leitfähigen Material besteht, welches im Summenspektrum der Messung mit dem Probenhalter nur einen Peak verursacht und im Wesentlichen Peaks von Sauerstoff und/oder Silizium möglichst vollständig ausgeschlossen sind.It is also advantageous if the conductive material of the sample holder completely or substantially completely consists of a single electrically conductive material which only causes a peak in the sum spectrum of the measurement with the sample holder and substantially completely excludes peaks of oxygen and / or silicon are.

Mit der erfindungsgemäßen Lösung wird es erstmals möglich einen Probenhalter für Rasterelektronenmikroskope anzugeben, welcher einfach und sicher handzuhaben ist.With the solution according to the invention, it becomes possible for the first time to specify a sample holder for scanning electron microscopes, which is easy and safe to handle.

Erreicht wird dies durch einen Probenhalter für Rasterelektronenmikroskope, der aus einem scheibenförmigen Träger für TEM-Netzchen aus einem elektrisch leitfähigen Material besteht und mindestens ein Ober- und Unterteil aufweist. Vorteilhafterweise bestehen Ober- und Unterteil aus dem gleichen elektrisch leitfähigen Material. Ebenfalls vorteilhafterweise besteht das Ober- und/oder Unterteil des Probenhalters aus Kupfer oder Graphit, welche elektrisch leitfähig sind, und noch vorteilhafterweise bestehen das Ober- und Unterteil aus den gleichen elektrisch leitfähigen Materialien.This is achieved by a sample holder for scanning electron microscopes, which consists of a disc-shaped carrier for TEM mesh of an electrically conductive material and having at least one upper and lower part. Advantageously, the upper and lower part of the same electrically conductive material. Also advantageously, the upper and / or lower part of the sample holder made of copper or graphite, which are electrically conductive, and even more advantageously consist of the upper and lower part of the same electrically conductive materials.

Dabei weist der scheibenförmige Träger vorteilhafterweise im Wesentlichen die gleichen äußeren Abmessungen der bekannten scheibenförmigen Probenhalter für Rasterelektronenmikroskope auf.In this case, the disk-shaped carrier advantageously has substantially the same outer dimensions of the known disk-shaped sample holders for scanning electron microscopes.

Vorteilhafterweise kann erfindungsgemäß das Oberteil einen 2 - 10 % größeren Durchmesser als das Unterteil aufweisen.Advantageously, according to the invention, the upper part can have a 2 to 10% larger diameter than the lower part.

Dadurch steht der Rand des Oberteils über den Gesamtquerschnitt des Unterteils hinaus und kann einfacher und handhabbarer auf das Unterteil positioniert oder heruntergenommen werden.As a result, the edge of the upper part projects beyond the overall cross section of the lower part and can be positioned or taken down on the lower part in a simpler and more manageable manner.

Um möglichst wenig oder keinen Einfluss auf die Messergebnisse auszuüben ist es weiterhin vorteilhaft, wenn das Ober- und Unterteil aus einem Material bestehen, welches einerseits ausschließlich ein einziges Material ist und bei den Messungen nur einen einzigen Peak ergibt, und andererseits Ober- und Unterteil auch aus einem elektrisch leitfähigen Material bestehen, welches möglichst kein Material ist oder enthält, welches untersucht werden soll.In order to exert as little or no influence on the measurement results, it is also advantageous if the upper and lower part consist of a material which is on the one hand exclusively a single material and results in the measurements only a single peak, and on the other hand upper and lower part also consist of an electrically conductive material which is as possible no material or contains, which is to be examined.

Erfindungsgemäß weist das Unterteil Aufnahmebereiche für die TEM-Netzchen auf und das Oberteil fixiert die TEM-Netzchen, im Wesentlichen ohne Beeinträchtigung des Messvorganges.According to the invention, the lower part has receiving areas for the TEM nets and the upper part fixes the TEM nets, substantially without affecting the measuring process.

Dabei kann die Fixierung vorteilhafterweise sowohl durch das Unterteil als auch durch das Oberteil erfolgen.The fixation can advantageously be carried out both by the lower part and by the upper part.

Vorteilhafterweise enthält das Unterteil angefaste Durchbohrungen, die dazu dienen, das TEM-Netzchen aufzunehmen, im Bereich der Durchbohrungen die Messung realisieren zu können und im angefasten Bereich der Durchbohrung den Rand des TEM-Netzchens zu positionieren.Advantageously, the lower part contains chamfered holes, which serve to receive the TEM mesh, to be able to realize the measurement in the area of the through holes and to position the edge of the TEM mesh in the chamfered area of the through hole.

Im dazu gehörenden Oberteil des erfindungsgemäßen Probenhalters sind in den entsprechend zu den Durchbohrungen im Unterteil positionierte Durchbohrungen, so dass nach Einbringen der TEM-Netzchen und Aufbringen des Oberteils die TEM-Netzchen in einem möglichst großen Durchmesserbereich für die Messungen erreichbar sind.In the associated upper part of the sample holder according to the invention are in the corresponding to the through holes in the lower part positioned through holes, so that after introducing the TEM mesh and applying the upper part of the TEM mesh can be reached in the largest possible diameter range for the measurements.

Die Durchbohrungen im Oberteil können um die Durchbohrungen und auf der Seite, die auf das Unterteil gelegt wird, Erhöhungen aufweisen, die bezüglich ihres Durchmessers in den angefasten Bereich der Durchbohrungen im Unterteil passen und gleichzeitig dadurch den äußeren Rand der TEM-Netzchen kontaktieren und fixieren.The through holes in the top can have around the holes and on the side that is placed on the base, elevations that fit with respect to their diameter in the chamfered portion of the holes in the base while simultaneously contacting and fixing the outer edge of the TEM nets.

Die Fixierung kann aber auch vorteilhafterweise durch das Oberteil so erfolgen, dass das Oberteil vollflächig das Unterteil bedeckt, außer in den Bereichen, die für die Funktion des Probenhalters und die Messung vom Oberteil unbedeckt bleiben müssen. Dies sind in erster Linie die TEM-Netzchen, können aber auch Befestigungen des Unterteils und Mitteldurchführung des Probenhalters sein.The fixation can also be advantageously carried out by the upper part so that the upper part over the entire surface covers the lower part, except in the areas that must remain uncovered for the function of the sample holder and the measurement of the upper part. These are primarily the TEM mesh, but can also be fastenings of the base and center feedthrough of the sample holder.

Die Fixierung durch das Oberteil kann vorteilhafterweise auch nur durch das Auflegen des Oberteils auf das Unterteil erfolgen.The fixation by the upper part can advantageously also be done only by placing the upper part on the lower part.

Ebenfalls ist es erfindungsgemäß möglich, dass das Oberteil in maximal drei Befestigungspunkten im Winkel von je 120 ° zueinander am Unterteil fixiert ist.It is also possible according to the invention that the upper part in a maximum of three Fixing points at an angle of 120 ° to each other is fixed to the lower part.

Es ist auch vorteilhafterweise möglich, dass das Oberteil auch nur ringförmig ausgebildet ist und im Wesentlichen nur die Bereiche bedeckt, in denen sich im Unterteil die TEM-Netzchen befinden.It is also advantageously possible that the upper part is formed only annular and substantially only covers the areas in which the TEM meshes are located in the lower part.

Ein solches ringförmiges Oberteil weist dann ebenfalls Befestigungsmöglichkeiten auf, mit denen das Oberteil am Unterteil fixiert wird.Such an annular upper part then also has fastening possibilities with which the upper part is fixed to the lower part.

Die Fixierung des Oberteils am Unterteil soll im Wesentlichen dafür sorgen, dass die TEM-Netzchen für die Messung unbedeckt von Ober- und Unterteil bleiben und das Oberteil nicht gegenüber dem Unterteil verrutscht.The fixation of the upper part on the lower part is intended to essentially ensure that the TEM meshes remain uncovered from the upper and lower part for the measurement and the upper part does not slip relative to the lower part.

Mit der erfindungsgemäßen Lösung ist so eine wesentlich schnellere Abdeckung der TEM-Netzchen und eine einfache und sichere Fixierung der TEM-Netzchen auf dem Unterteil des Probenhalters möglich, so dass ein Austausch der TEM-Netzchen einfacher und schneller erfolgen kann.With the solution according to the invention as a much faster coverage of the TEM mesh and a simple and secure fixation of the TEM mesh on the lower part of the sample holder is possible, so that an exchange of TEM mesh can be done easier and faster.

Zusätzlich kann durch die Materialauswahl des Probenhalters das Messergebnis dahingehend verbessert werden, dass ein Peak des Materials bei dem Messergebnis einfach identifiziert und aus dem Messergebnis ausgeschlossen werden kann. Dies kann beispielsweise durch eine Messung des leeren Probenhalters erreicht werden, der den Peak des Materials aufzeigt, der bei der Messung der zu untersuchenden Proben dann einfach identifiziert und ausgeschlossen werden kann.In addition, by the material selection of the sample holder, the measurement result can be improved so that a peak of the material can be easily identified in the measurement result and excluded from the measurement result. This can be achieved, for example, by measuring the empty sample holder, which shows the peak of the material, which can then be easily identified and excluded in the measurement of the samples to be examined.

Nachfolgend wird die Erfindung an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert.The invention will be explained in more detail using an exemplary embodiment.

Dabei zeigt:

1 ein erfindungsgemäßes Unterteil des erfindungsgemäßen Probenhalters, und
2 ein erfindungsgemäßes Oberteil des erfindungsgemäßen Probenhalters.

Showing:

1 an inventive lower part of the sample holder according to the invention, and
2 an inventive upper part of the sample holder according to the invention.

Beispiel 1example 1

Ein Probenhalter für eine Messung an einem Rasterelektronenmikroskop besteht aus einer Halterung, die einen scheibenförmigen Träger aufweist. Der scheibenförmige Träger besteht aus einem Unterteil mit einem Durchmesser von 44 mm. Die Dicke des Unterteils beträgt bis zu einem Durchmesser des Unterteils von 36 mm 1 mm und am umlaufenden Rand des Unterteils eine Dicke von 2 mm, wodurch sich eine Breite des höheren Randes von 4 mm ergibt.A sample holder for a measurement on a scanning electron microscope consists of a holder which has a disk-shaped carrier. The disc-shaped carrier consists of a lower part with a diameter of 44 mm. The thickness of the lower part is 1 mm up to a diameter of the lower part of 36 mm and at the peripheral edge of the lower part a thickness of 2 mm, resulting in a width of the higher edge of 4 mm.

Im dickeren, ringförmigen Bereich des Unterteils befinden sich 12 angefaste Durchbohrungen mit jeweils einem Durchmesser der Durchbohrung von 2 mm und einem maximalen Durchmesser des angefasten Teils von 3,5 mm als Aufnahmebereiche für die TEM-Netzchen.In the thicker, annular portion of the base there are 12 chamfered holes, each with a diameter of the 2 mm bore and a maximum chamfered diameter of 3.5 mm, as receiving areas for the TEM meshes.

Das Oberteil weist einen Durchmesser von 44 mm auf. Die Dicke des Oberteils beträgt bis zu einem Durchmesser des Oberteils von 36 mm 2 mm und am umlaufenden Rand des Oberteils eine Dicke von 1 mm, wodurch sich eine Breite des niedrigeren Randes von 4 mm ergibt.The upper part has a diameter of 44 mm. The thickness of the upper part is up to a diameter of the upper part of 36 mm 2 mm and at the peripheral edge of the upper part of a thickness of 1 mm, resulting in a width of the lower edge of 4 mm.

Somit passt das Oberteil vollständig und im Wesentlichen spielfrei in das Unterteil.Thus, the upper part fits completely and essentially free of play in the lower part.

Zur besseren Fixierung des Oberteils auf dem Unterteil und zur Verhinderung eines möglichen Verrutschens des Oberteils im Bereich der TEM-Netzchen sind im Unterteil im mittleren Bereich drei weitere Durchbohrungen im Winkel von je 120 ° zueinander mit einem Durchmesser von 3 mm vorhanden, die keinen Einfluss auf die Messung ausüben. Im Oberteil sind ebenfalls im mittleren Bereich drei Erhebungen vorhanden, die einen Durchmesser von 3 mm aufweisen und eine maximale Höhe von 1 mm und im Winkel von je 120 ° zueinander angeordnet sind. Diese drei Erhebungen sind im Oberteil so positioniert, dass sie in die drei Durchbohrungen des Unterteils passen und gleichzeitig dabei die Positionierung der Durchbohrungen für die TEM-Netzchen im Oberteil über die Durchbohrungen im Unterteil fixieren.For better fixation of the upper part on the lower part and to prevent possible slippage of the upper part in the area of the TEM nets in the lower part in the central region three further holes at an angle of 120 ° to each other with a diameter of 3 mm available, which has no effect exercise the measurement. In the upper part three elevations are also present in the central region, which have a diameter of 3 mm and a maximum height of 1 mm and are arranged at an angle of 120 ° to each other. These three bumps are positioned in the top so that they fit into the three through holes in the base, while fixing the positioning of the holes for the TEM nets in the top over the holes in the bottom.

Das Oberteil weist an den Stellen der 12 Aufnahmebereiche der TEM-Netzchen Durchbohrungen auf mit einem Durchmesser von 2 mm. Somit werden die TEM-Netzchen nach ihrer Einbringung in die Aufnahmebereiche im Unterteil und durch die Abdeckung des Unterteils durch das Oberteil fest an ihrem Ort fixiert.The upper part has drill holes with a diameter of 2 mm at the locations of the 12 receiving areas of the TEM nets. Thus, the TEM mesh after its introduction into the receiving areas in the lower part and fixed by the cover of the lower part by the upper part in place.

Ober- und Unterteil bestehen vollständig aus Graphit.Upper and lower parts are made entirely of graphite.

Der Probenhalter ist nach Einsatz der TEM-Netzchen in ihre Aufnahmebereiche leicht durch Aufsetzen der drei Erhebungen des Oberteils in die drei Durchbohrungen im Unterteil zusammenzusetzen und beim Einbringen in das Rasterelektronenmikroskop einfach und sicher zu handhaben.After inserting the TEM mesh into its receiving areas, the sample holder can be easily assembled by placing the three elevations of the upper part in the three through holes in the lower part and can be handled easily and safely when introduced into the scanning electron microscope.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

DD 290076 A5 [0004]
DE 112011105007 T5 [0005]

Claims

Sample holder for scanning electron microscopes in which a disc-shaped support for TEM mesh of an electrically conductive material is present, which consists of at least one upper and lower part, the lower part receiving areas for the TEM mesh and the upper part for fixing the TEM mesh in Substantially without affecting the measuring process is present and further the electrically conductive material of the sample holder has substantially no influence on the measurement result.

Sample holder after Claim 1 in which the disk-shaped carrier has substantially the same outer dimensions of the known disk-shaped sample holders for scanning electron microscopes, or the upper part has a 2-10% larger diameter than the lower part.

Sample holder after Claim 1 in which the upper and lower parts are made of the same electrically conductive material.

Sample holder after Claim 1 in which the upper and lower parts are made of copper or graphite.

Sample holder after Claim 1 in which the upper part completely covers the lower part, except in the areas which must remain uncovered for the function of the sample holder and the measurement.

Sample holder after Claim 1 in which the upper part is ring-shaped and at least does not cover the lower part in the areas which have to remain uncovered for the measurement.

Sample holder after Claim 5 and 6 in which at least the TEM meshes are uncovered from the top.

Sample holder after Claim 1 , in which the upper part is not fixed or at a maximum of three attachment points at an angle of 120 ° to each other on the lower part.

Sample holder after Claim 1 in which the conductive material of the sample holder consists completely or essentially completely of a single electrically conductive material which causes only one peak in the sum spectrum of the measurement with the sample holder and substantially excludes substantially peaks of oxygen and / or silicon.