DD245648A1 - Verfahren und vorrichtung zur herstellung hochdisperser kieselsaeuren - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur herstellung hochdisperser kieselsaeuren Download PDF

Info

Publication number
DD245648A1
DD245648A1 DD28588886A DD28588886A DD245648A1 DD 245648 A1 DD245648 A1 DD 245648A1 DD 28588886 A DD28588886 A DD 28588886A DD 28588886 A DD28588886 A DD 28588886A DD 245648 A1 DD245648 A1 DD 245648A1
Authority
DD
German Democratic Republic
Prior art keywords
compounds
highly dispersed
combustion
starting materials
item
Prior art date
Application number
DD28588886A
Other languages
English (en)
Inventor
Eberhard Mueller
Wolfram Vogelsberger
Helga Dunken
Jochen Stark
Richard Rudolph
Original Assignee
Dessau Zementanlagenbau Veb
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dessau Zementanlagenbau Veb filed Critical Dessau Zementanlagenbau Veb
Priority to DD28588886A priority Critical patent/DD245648A1/de
Publication of DD245648A1 publication Critical patent/DD245648A1/de

Links

Landscapes

  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und die Vorrichtung zur Herstellung disperser Kieselsaeuren mit variabel einstellbarer Partikelgroesse und Oberflaechenstruktur (einschliesslich Porenstruktur bei Kieselgelen) und Oberflaechengroesse sowie waehlbaren oberflaechenchemischen Eigenschaften. Ziel und Aufgabe der Erfindung ist es, diese Produkte mit hoher Ausbeute zeit- und energiesparend aus fluessigen Ausgangsstoffen herzustellen. Die Aufgabe wird dadurch geloest, dass die fluessigen Ausgangsverbindungen: siliciumorganische Verbindungen in einer pulsierenden Verbrennung eines Schwingfeuerreaktors umgesetzt werden, indem sie in den Reaktor direkt eingesprueht oder eingespritzt werden.

Description

Hierzu 1 Seite Zeichnung
Anwendungsgebiet der Erfindung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und die Vorrichtung zur Hersteilung hochdisperser Kieselsäuren aus siliciumorganischen Verbindungen für Füllstoffe, als Verdickungsmittel für Lacke, Farben, salbenartige Masse, für chromatographische Zwecke, für Katalysatorträger, zum Herstellen von Poliermittelmischungen, als Adsorbentien, von Sinterwerkstoffen auf SiO2-Basis.
Charakteristik der bekannten technischen Lösungen
Hochdisperse SiO2-Produkte nehmen hinsichtlich Herstellungsverfahren und Einsatzgebieten in der Literatur breiten Raum ein.
Diese SiO2-Produkte können nach ihren Herstellungsverfahren in pyrogen oder thermisch erzeugte Produkte (Plasmaverfahren, Flammenhydrolyseverfahren, Lichtbogenverfahren) und nach Naßverfahren (Fällungsverfahren, Gelverfahren, Hydrothermalverfahren) erzeugte Produkte unterteilt werden. Die so erzeugten Produkte überstreichen in Abhängigkeit von den Herstellungsbedingungen und -verfahren, von den verwendeten Ausgangsstoffen und von Zusätzen ein breites Eigenschaftsspektrum, das insbesondere durch die chemischen und strukturellen Oberflächeneigenschaften bestimmt wird.
Bestimmende strukturelle Oberflächeneigenschaften sind: die spezifische Oberflächengröße (von 10m2/g bis 1 000m2/g), die Primärteilchenradien und deren Verteilung, die Porengröße und -verteilung, Partikelhabitus und -agglomeration.
Die chemischen Oberflächeneigenschaften werden determiniert durch die Oberflächen-OH-Gruppen-Konzentration und verteilung, durch andere funktionell Oberflächengruppen, durch Fremdstoffe in der Oberfläche. Entsprechend dieser variierbaren Eigenschaftspalette finden disperse SiO2-Produkte ein breites Einsatzspektrum.
Für die vorliegende Erfindung sind nur die thermischen bzw. pyrogenen Verfahren von Belang, da die nach dem Naßverfahren hergestellten hochdispersen SiO2-Produkte generell andere Produkteigenschaften aufweisen.
Bei den Pyrolyse- und thermischen Herstellungsverfahren dominieren die Flammenhydrolyse gegenüber plasmachemischen und Lichtbogenverfahren.
Flammenpyrolyseverfahren basieren auf der Umsetzung flüchtiger Metall- bzw. Nichtmetallverbindungen mit oxidierenden bzw. hydrolysierenden Verbindungen bei höheren Temperaturen in der Gasphase. Ausgangsverbindungen für die Erzeugung von dispersem SiO2 sind dabei vor allem SiCI4, teilweise SiF4, aber auch zahlreiche Siliciumorganoverbindungen.
Grundlegende Patente zur Umsetzung von SiCI4 sind unter anderem die DE-OS 2923182, die DE-OS 3045190 und DE-OS 223454. Neben SiCI4 werden dabei teilweise auch Halogenide anderer Metalle sowie nurteilweise halogeniert^ Silane eingesetzt. Als Brenngas dient dabei meist Wasserstoff, wobei das in der Knallgasflamme primär entstehende Wasser in der ersten Reaktionsphase zur Hydrolyse der Halogenide unter Bildung von Silanolverbindungen führt, die bei erhöhten Temperaturen unter H2O-Abspaltung kondensieren.
Aus den so gebildeten Primärteilchen entstehen Sekundärstrukturen, die schließlich entsprechend der Reaktionsführung weiter aggregieren. Neben Wasserstoff sind aber auch andere Brennstoffe, wie Wassergas, Leuchtgas, Kokereigas, die bei der Verbrennung Wasser bilden, einsetzbar.
Die Umsetzung von SiF4 nach dem gleichen Prinzip ist 1J. a. in der EP 54531 beschrieben.
Brennbare siliciumorganische Verbindungen (Silane, Chlorsilane, Methylsilane, Alkylchlorsilane, Methyldisilane, Alkoxysilane, Siloxane, Silanole u.a.) sind auch ohne Brennstoff einsetzbar. Sie sind im wesentlichen aus den Patenten DE-OS 2620737 und DE-OS 3028363 bekannt.
Es sind weiterhin eine Reihe von Lösungen bekannt, die die Konstruktion von Apparaturen und Brennern für diese Flammenpyrolyse zum Inhalt haben.
Die gasförmigen Verbindungen (Halogenide, Silane, siliciumorganische Verbindungen) werden mit Luft eingeblasen, teilweise wird H20-Dampf zugesetzt, in entsprechenden Kammern vermischt und in das Brennergas gebracht. Zumeist verhindern dabei Ringspüldüsen das Absetzen des SiO2 am Brennerausgang. Dabei wird kalte Spülluft eingeblasen, die zugleich für Abkühlung der Reaktionsprodukte und der Brennerdüse sorgt. Entsprechende Konstruktionen sorgen für die Abscheidung der Produkte, wobei die Länge der Koagulationsstrecke und die Strömungsgeschwindigkeit entscheidend sind.
Mit diesem Verfahren bilden sich je nach den gewählten Versuchsbedingungen hochdisperse, kugelförmige Partikel mit Durchmessern zwischen 5nm bis 50nm.
Die Produkte besitzen eine hoche chemische Reinheit und sind nahezu porenfrei (kleinere innere Porenoberfläche).
Die plasmachemische Umsetzung von SiCI4 und O2 wird in der DE-PS 3332558 beschrieben, wobei die Ausgangsstoffe von einem elektrisch aufgeheizten, wasserstofffreien Plasmastrom eingeführt werden, um disperses SiO2 zu erzeugen. Das daher entstehende CI2-GaS muß nach der Reaktion abgetrennt werden.
Für die Herstellung von dispersem SiO2 aus festen Ausgangsstoffen werden in der DE-AS 1140911 und DE-AS 1180723 Verfahren im Lichtbogen beschrieben, die von SiO2 und Kohle ausgehen.
Die beiden letztgenannten Verfahren besitzen gegenüber der Flammenpyrolyse eine untergeordnete Bedeutung, obwohl damit auch disperse Produkte analoger Qualität, wie beschrieben, erzielt werden können. Die dargestellten Verfahren zeichnen sich durch hohe Produktausbeuten aus, wobei die Steuerbarkeit des Flammenpyrolyseprozesses in weiten Grenzen möglich ist und zu hoher Chargentreue der Produkte führt.
Allerdings sind bei allen Verfahren relativ aufwendige Konstruktionen für Brenner, zur Stabilisierung des Brenners, zur Kondensation und Koagulation der Produkte notwendig. Die Ausgangsstoffe müssen verdampft werden.
Ziel der Erfindung
Das Ziel der Erfindung besteht in einem Verfahren, bei dem disperse Kieselsäuren mit vorbestimmter Partikelgröße, Oberflächenstruktur und Reinheit in hoher Ausbeute aus möglichst kostengünstigen Ausgangsstoffen energie- und zeitsparend hergestellt werden.
Darlegung des Wesens der Erfindung
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine erhebliche Reduzierung des Verfahrens, insbesondere der Verfahrenstechnik oder -stufen bei gleichzeitiger Verbesserung der Wärmeübertragung, Verkürzung der Reaktionszeiten und ohne zusätzliche Zerteilung des Brenngutes zu erreichen.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß in einem Einstufenprozeß die Ausgangsstoffe durch pulsierende Verbrennung, beispielsweise in einem Schwingfeuerreaktor, umgesetzt werden.
Die pulsierende Verbrennung bietet gegenüber der stationären Verbrennung die Vorteile der Steigerung der Energieumsetzung, der verbesserten Wärmeübertragung, der raschen thermischen Aktivierung der Ausgangsstoffe, der Verkürzung der Reaktionszeiten in den Millisekundenbereich und insbesondere der zusätzlichen Zerteilung des Brenngutes durch den pulsierenden Betrieb. Die Ausgangsstoffe können direkt in flüssiger Form in den Reaktor eingedüst werden. Damit werden zugleich hohe Umsätze garantiert.
Ausführungsbeispiel
Die Erfindung ist nachstehend an Hand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert. In der dazugehörigen Zeichnung ist eine Einrichtung mit pulsierender Verbrennung schematisch dargestellt.
Als Ausgangsstoffe werden flüssige oder in organischen Lösungsmitteln gelöste Siliciumorganoverbindungen, wie Alkoxysilane: Si(OR)4, gemischte Alkoxysilane: Si(OR'HOR")(OR"')(ORlv), Alkylsilane: SiHmR4.m, Silanole: Si(OH)mR4^ m; Atkoxysilanole: Si(OH)111(OR)4 _m, Siloxane: SinOn-1R2n + 2, mit m = 1 bis 3, R = organische Restgruppen wie Alkyl (CnH2n + ι); Alkenyl (CnH2n _ ι); aromatische Gruppen; Alkohol-, Ester- und Ethergruppen sowie gemischte Gruppen (R', R", R'", Rlv) sowie Mischungen dieser Siliciumorganoverbindungen in den Reaktor eingespritzt. Als Brenngas dient Stadtgas (Diesel). Durch Regelung der Luftzufuhr, der Reaktortemperatur, der Brenngaszufuhr und der Ausgangsstoffdosierung werden hochdisperse Kieselsäuren mit variablen Partikelgrößen und spezifischen Oberflächengrößen steuerbar erzeugt.
Bei entsprechender Prozeßführung, z. B. durch Drosselung der Sauerstoffzufuhr oder Erhöhung der Ausgangsstoffdosierung, können z. B. ausTetraethoxysilan hochdisperse modifizierte Kieselsäuren mit Ethoxyoberflächengruppen erzeugt werden. Weiterhin können als Ausgangsstoffe flüssige Kieselsole in den Reaktor eingespritzt werden; der hohe Aufheizgradient und das Schwingfeuerprinzip ermöglichen eine Tropfenzerteilung und rasche Wasserverdampfung. Durch Einstellung der Reaktortemperatur swowie der Luftzufuhr sind auf diese Weise ebenfalls hochdisperse Kieselsäuren herstellbar. Günstige Reaktionsbedingungen für die Herstellung hochdisperser kugeliger SiO2-Partikel mit Durchmessern von 15 bis 25 nm und einer spezifischen Oberflächengröße von 210m2/g sind: Einsatz von Tetraethoxysilan, Einspritzen von 10 l/h über eine Danfoss-Düse, Reaktortemperatur von 6000C bis 8000C.
Für hochdisperse Produkte mit Partikelgrößen 20 bis 30nm und spezifischen Oberflächengrößen von 130m2/g muß bei sonst gleichen Bedingungen die Reaktortemperatur bei 500°C liegen. Durch Reduktion des Luftstromes entstehen beim Einsatz von Tetraethoxysilan disperse, mit Ethoxygruppen modifizierte Kieselsäuren mit stark hydrophoben Eigenschaften. Zur Durchführung des Verfahrens wird ein Schwingfeuerreaktor 1 mit Stadtgas 2 und Verbrennungsluft 3, die von einem Rootsgebläse 4 gefördert wird, so betrieben, daß am Ende des Resonanzrohres 5 eine Temperatur von beispielsweise 6000C herrscht. Von einer Pumpe 6 wird Tetraethoxysilan über eine Düse 7 am Beginn des Resonanzrohres, d. h. kurz nach der Brennkammer 8 senkrecht zum Gasstrom eingedüst. Auf Grund der feinen Zerstäubung, z.B. durch eine Danfoss-Düse, und der hohen Turbulenz im Resonanzrohr sowie der Schwingungsfrequenz der Gassäule von 50Hz bis 100 Hz wird das feinzerstäubte Tetraethoxysilan zu SiO2-Teilchen unter 50 nm umgewandelt. Die chemische Reaktion läuft dabei in wenigem Millisekunden ab. Das hochdisperse SiO2 wird nach dem Resonanzrohr sowie nach Zumischen von Kaltluft 9 in einem Filter 10 abgeschieden. Durch Einsatz halogenfreierAusgangsstoffe entstehen keine umweltschädigenden Abgase, ein Vorteil gegenüber Verfahren, die halogenierte Verbindungen einsetzen. EineAbgasentsorgung entfällt ebenso wie ein Waschprozeß. Durch eineCO-Kontrolleim Abgas ist die Vollständigkeit der Verbrennung von siliciumorganischen Verbindungen kontrollier- und regulierbar.

Claims (4)

Erfindungsanspruch:
1. Verfahren zur Herstellung hochdisperser Kieselsäuren mit einstellbarer Partikelgröße, Oberflächengröße und -struktur und wählbaren oberflächenchemischen Eigenschaften, gekennzeichnet dadurch, daß flüssige oder in organischen Lösungsmitteln gelöste Siliciumorganoverbindungen in einem Einstufenprozeß durch Kombination von Feinzerstäubung und pulsierender Verbrennung umgesetzt werden und als siIiciumorganische Verbindungen alle Substanzen als Ausgangsstoffe einsetzbar sind, die selbst brennbar sind und bei ihrer Verbrennung H2O und CO2 bilden.
2. Verfahren zur Herstellung hochdisperser Kieselsäuren nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die siliciumorganischen. Verbindungen oder ihre Lösungen mittels Preßluft oder Pumpen in die Zone der pulsierenden Verbrennungen eingesprüht oder eingespritzt werden.
3. Verfahren zur Herstellung mit organischen Endgruppen modifizierter hochdisperser Kieselsäuren nach Punkt 1 und 2, gekennzeichnet dadurch, daß die Art der Endgruppenkonzentration durch die Einstellung der Ausgangsstoffe und/oder durch Zusatz organischer Verbindungen oder durch Variation der Reaktionsbedingungen steuerbar ist.
4. Vorrichtung zur Herstellung hochdisperser Kieselsäuren nach Punkt 1 bis 3, gekennzeichnet dadurch, daß an einem Schwingfeuerreaktor (1) eine Gaszuführung (2) und eine Zuführung für die Verbrennungsluft (3) sowie am Anfang des Resonanzrohres (5) eine Düse (7) angeordnet ist und dem Schwingfeuerreaktor ein Filter (10) nachgeschaltet ist.
DD28588886A 1986-01-02 1986-01-02 Verfahren und vorrichtung zur herstellung hochdisperser kieselsaeuren DD245648A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD28588886A DD245648A1 (de) 1986-01-02 1986-01-02 Verfahren und vorrichtung zur herstellung hochdisperser kieselsaeuren

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD28588886A DD245648A1 (de) 1986-01-02 1986-01-02 Verfahren und vorrichtung zur herstellung hochdisperser kieselsaeuren

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DD245648A1 true DD245648A1 (de) 1987-05-13

Family

ID=5575643

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DD28588886A DD245648A1 (de) 1986-01-02 1986-01-02 Verfahren und vorrichtung zur herstellung hochdisperser kieselsaeuren

Country Status (1)

Country Link
DD (1) DD245648A1 (de)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006046803A1 (de) * 2006-09-29 2008-04-03 Ibu-Tec Gmbh & Co. Kg Verfahren und thermischer Reaktor zur Herstellung von Partikeln
DE102007003744A1 (de) * 2007-01-19 2008-07-31 Ibu-Tec Advanced Materials Gmbh Verfahren und thermischer Reaktor zur Herstellung von Partikeln
EP2335821B1 (de) 2006-07-13 2016-03-16 IBU-tec advanced materials AG Verfahren zur Herstellung nanokristalliner Metalloxide
DE102015003398A1 (de) * 2015-03-18 2016-09-22 Dennert Poraver Gmbh Verfahren und Anlage zur Herstellung von Mikrohohlkugeln aus Glas
EP3053571B1 (de) 2015-02-05 2017-03-22 Dentsply DeTrey GmbH Verfahren zur Herstellung einer teilchenförmigen Dentalfüllstoffzusammensetzung
DE102015223376A1 (de) * 2015-11-26 2017-06-01 Dennert Poraver Gmbh Verfahren und Anlage zur Herstellung von mono- oder multizellulär expandierten Partikeln aus einem glasartigen oder keramischen Material
DE102016001349A1 (de) * 2016-02-08 2017-08-24 Horst Büchner Verfahren zur thermischen Materialbehandlung
DE102016002566A1 (de) 2016-03-04 2017-09-07 Horst Büchner Vorrichtung und Verfahren zur thermischen Materialbehandlung
EP3228876A1 (de) 2016-03-31 2017-10-11 FTE automotive GmbH Vorrichtung zur reduktion von vibrationen in einem hydraulischen betätigungssystem, insbesondere einer hydraulischen kupplungsbetätigung für kraftfahrzeuge
EP3236152A1 (de) 2016-04-22 2017-10-25 Büchner, Horst Verfahren und vorrichtung zur thermischen materialbehandlung in einem schwingfeuer-reaktor

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2335821B1 (de) 2006-07-13 2016-03-16 IBU-tec advanced materials AG Verfahren zur Herstellung nanokristalliner Metalloxide
DE102006046803A1 (de) * 2006-09-29 2008-04-03 Ibu-Tec Gmbh & Co. Kg Verfahren und thermischer Reaktor zur Herstellung von Partikeln
DE102007003744A1 (de) * 2007-01-19 2008-07-31 Ibu-Tec Advanced Materials Gmbh Verfahren und thermischer Reaktor zur Herstellung von Partikeln
EP3053571B1 (de) 2015-02-05 2017-03-22 Dentsply DeTrey GmbH Verfahren zur Herstellung einer teilchenförmigen Dentalfüllstoffzusammensetzung
DE102015003398B4 (de) 2015-03-18 2018-11-22 Dennert Poraver Gmbh Verfahren und Anlage zur Herstellung von Mikrohohlkugeln aus Glas und Verwendung eines Pulsationsreaktors
DE102015003398A1 (de) * 2015-03-18 2016-09-22 Dennert Poraver Gmbh Verfahren und Anlage zur Herstellung von Mikrohohlkugeln aus Glas
DE102015223376A1 (de) * 2015-11-26 2017-06-01 Dennert Poraver Gmbh Verfahren und Anlage zur Herstellung von mono- oder multizellulär expandierten Partikeln aus einem glasartigen oder keramischen Material
DE102016001349A1 (de) * 2016-02-08 2017-08-24 Horst Büchner Verfahren zur thermischen Materialbehandlung
WO2017148562A1 (de) 2016-03-04 2017-09-08 Büchner Horst Vorrichtung und verfahren zur thermischen materialbehandlung
DE102016002566A1 (de) 2016-03-04 2017-09-07 Horst Büchner Vorrichtung und Verfahren zur thermischen Materialbehandlung
DE102016002566B4 (de) 2016-03-04 2022-01-20 Horst Büchner Vorrichtung und Verfahren zur thermischen Materialbehandlung
EP3228876A1 (de) 2016-03-31 2017-10-11 FTE automotive GmbH Vorrichtung zur reduktion von vibrationen in einem hydraulischen betätigungssystem, insbesondere einer hydraulischen kupplungsbetätigung für kraftfahrzeuge
EP3236152A1 (de) 2016-04-22 2017-10-25 Büchner, Horst Verfahren und vorrichtung zur thermischen materialbehandlung in einem schwingfeuer-reaktor
DE102016004977A1 (de) * 2016-04-22 2017-10-26 Horst Büchner Verfahren und Vorrichtung zur thermischen Materialbehandlung in einem Schwingfeuer-Reaktor
DE102016004977B4 (de) 2016-04-22 2023-09-21 Ibu-Tec Advanced Materials Ag Verfahren und Vorrichtung zur thermischen Materialbehandlung in einem Schwingfeuer-Reaktor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5976480A (en) Pyrogenic silica, process for the production thereof and use
DE2909815C2 (de) Verfahren zur Herstellung von hochdispersem Siliciumdioxid
US5776240A (en) Granules based on pyrogenically prepared silicon dioxide, methods for their preparation and use thereof
DE69511288T2 (de) Vertikal angeordneter schüttschicht-filmverdampfer für halogenidfreie silizium enthaltende verbindungen
DE102013209673B3 (de) Verfahren und Verdampfer zur Herstellung von synthetischem Quarzglas
DE1163784B (de) Verfahren zur Oberflaechenbehandlung von hochdispersen Oxyden
US6328944B1 (en) Doped, pyrogenically prepared oxides
KR100500122B1 (ko) 폴리알킬실록산의정제방법및이의제품
DD245648A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung hochdisperser kieselsaeuren
DE102011119341A1 (de) Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas nach der Sootmethode
US3924029A (en) Method of modifying the surface properties of finely divided metal oxides
US6129899A (en) Processes for producing synthetic quartz powder and producing shaped quartz glass
DE69122039T2 (de) Verfahren zum Herstellen von hochreinem Glaspulver
DE10359951A1 (de) Verfahren zur Herstellung von ultratrockenem, Cl-freiem und F-dotiertem hochreinem Quarzglas
EP2782875A1 (de) Verfahren zur herstellung von synthetischem quarzglas durch abscheidung von silicasoot aus der dampfphase auf einer unterlage
DE102011119339A1 (de) Zerstäubungsverfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas
EP2782876A1 (de) Verfahren zur herstellung von synthetischem quarzglas durch abscheidung von silicassoot aus der dampffase auf einer unterlage
US5372795A (en) Process for hydrophobicizing of pyrogenic silica
US4022152A (en) Apparatus for making particulate materials, particularly oxides, hydrophobic
EP1048617B1 (de) Silicium-Aluminium-Mischoxid, Verfahren zur dessen Herstellung und die Verwendung des Mischoxids
EP3233743A1 (de) Verfahren zur herstellung von synthetischem quarzglas unter verwendung einer reinigungsvorrichtung
EP3259236A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung von quarzglas aus einer polymerisierbaren polyalkylsiloxanverbindung mit membranfilter als reinigungsvorrichtung
EP0844979B1 (de) PORÖSE MONODISPERSE SiO2-PARTIKEL
DE69518669T2 (de) Verfahren zur herstellung eines synthetischen quarzpulvers
DE102011121356A1 (de) Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas

Legal Events

Date Code Title Description
UW Conversion of economic patent into exclusive patent
ENJ Ceased due to non-payment of renewal fee