Claims (2)
-1- 760-1- 760
Patentansprüche:claims:
1. Verfahren zum zyklischen Evakuieren einer Vakuumkammer mittels Vorvakuumpumpe, Wälzkolbenpumpen und Ventilen, dadurch gekennzeichnet, daß nach Zuschalten der Vorvakuumpumpe und bei geöffneter Umwegleitung der Wälzkolbenpumpe die Wälzkolbenpumpe bereits bei einem Druck von ca. 1OkPa zugeschaltet wird, daß die pumpenspezifische zulässige Druckdifferenz über der Wälzkolbenpumpe mindestens verdoppelt wird, indem die Umwegleitung bereits bei einem Druck von ca. 1 kPa abgesperrt wird, daß nach Beendigung des vakuumtechnologischen Prozesses die Wälzkolbenpumpe abgeschaltet und sofort gaskinetisch sanft abgebremst wird, indem die Vakuumkammer und Druck- und Saugseite der Wälzkolbenpumpe derart belüftet werden, daß die Druckanstiegsgeschwindigkeit 700Pa/s nicht übersteigt und daß der Gaseinlaßstrom so vergrößert wird, daß die technologisch max. mögliche Druckanstiegsgeschwindigkeit erreicht wird.1. A method for cyclically evacuating a vacuum chamber by means of backing pump, Roots pumps and valves, characterized in that after connection of the backing pump and open Umwegleitung the Roots pump, the Roots pump is already switched at a pressure of about 1OkPa, that the pump-specific allowable pressure difference across the Roots pump is at least doubled by the Umwegleitung is shut off already at a pressure of about 1 kPa, that after completion of the vacuum technology process, the Roots pump is turned off and gently slowed gently kinetic kinetically by the vacuum chamber and the pressure and suction side of the Roots pump are vented so that the pressure rise rate does not exceed 700Pa / s and that the gas inlet flow is increased so that the technologically max. possible pressure rise rate is reached.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beim Belüften der Wälzkolbenpumpe der Gaseinlaßstrom so vergrößert wird, daß die Druckanstiegsgeschwindigkeit bis zum Erreichen des Atmosphärendruckes 7 kPa/s nicht unterschreitet.2. The method according to claim 1, characterized in that when venting the Roots pump, the gas inlet flow is increased so that the pressure rise speed does not fall below 7 kPa / s until reaching the atmospheric pressure.
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Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum zyklischen Evakuieren und Belüften einer Vakuumkammer. Das Verfahren findet in Vakuumkammern Anwendung, deren Druck in schnellem zyklischen Wechsel zwischen Atmosphärendruck und Feinvakuum (kleiner 100Pa) verändert wird, wie es beim Chargenbetrieb in Vakuumbeschichtungsanlagen oder in Durchlaufanlagen, die diskontinuierlich arbeiten, erforderlich ist.The invention relates to a method for cyclically evacuating and venting a vacuum chamber. The method is used in vacuum chambers, the pressure of which is changed in rapid cyclic alternation between atmospheric pressure and fine vacuum (less than 100 Pa), as required in batch operation in vacuum coating plants or in continuous plants which operate discontinuously.
Charakteristik der bekannten technischen LösungenCharacteristic of the known technical solutions
Bei diskontinuierlich arbeitenden Vakuumdurchlaufanlagen ist es notwendig, Gegenstände taktweise mit Hilfe von Schleuseneinrichtungen aus der atmosphärischen Umgebung in den stationär arbeitenden Vakuumbereich der Durchlaufanlage aufzunehmen bzw. umgekehrt auszuschleusen. Die Schleuseneinrichtungen bestehen aus mindestens einem Vakuumbehälter, der mit Einrichtungen zur Vakuumerzeugung (Vakuumpumpen), Einrichtungen zur Belüftung und mit Absperreinrichtungen (Schleusenventile) zum vakuumdichten Verschließen der Eintritts- und Austrittsöffnungen versehen ist. Bei hochproduktiven Anlagen muß die Zykluszeit sehr kurz sein. Ein Zyklus bedeutet beispielsweise Beschickung — Evakuierung — Weitertransport des Gutes— Belüftung. Die Zykluszeit wird entscheidend durch die Evakuierungs- und Belüftungszeit bestimmt. Es ist bekannt, mehrstufige Schleusenbereiche, bei denen die erste Stufe aus einer Vakuumkammer mit einer angeschlossenen Vorvakuumpumpe, beispielsweise einer Drehschieberpumpe, besteht, und die zweite bzw. weitere Stufen mit Feinvakuumpumpen ausgerüstet sind, zu verwenden. Ein Schleusungsverfahren mit Hilfe so einer Einrichtung hat den entscheidenden Nachteil, daß aufgrund der erhöhten Anzahl der Schleusenstufen der bautechnische und anlagentechnische Aufwand sehr hoch ist.In discontinuous vacuum continuous flow systems, it is necessary to take items in cycles by means of lock devices from the atmospheric environment in the stationary working vacuum region of the continuous system or auszuschleusen vice versa. The lock devices consist of at least one vacuum container, which is provided with devices for vacuum generation (vacuum pumps), devices for ventilation and with shut-off devices (lock valves) for vacuum-tight closing of the inlet and outlet openings. For highly productive plants, the cycle time must be very short. One cycle means, for example, feeding - evacuation - further transport of the goods - ventilation. The cycle time is decisively determined by the evacuation and aeration time. It is known to use multi-stage lock areas, in which the first stage consists of a vacuum chamber with a connected backing pump, for example a rotary vane pump, and the second or further stages are equipped with fine vacuum pumps. A Schleusungsverfahren using such a device has the decisive disadvantage that due to the increased number of locks stages of construction and technical complexity is very high.
Es ist weiterhin bekannt, einstufige Schleusenbereiche, bestehend aus einer Vakuumkammer, aus bekannten Schleusenventilen, aus Belüftungseinrichtungen und aus einer Kombination von Vorvakuum- und Feinvakuumpumpen mit den dazugehörigen Ventilen zum Absperren der Vakuumleitungen, zu verwenden. Als Vorvakuumpumpen werden bekannte mechanische, gegen Atmosphärendruck arbeitende Vakuumpumpen eingesetzt. Als Feinvakuumpumpen kommen hauptsächlich Wälzkolbenpumpen, z. B. Rootspumpen, zum Einsatz. Der gesamte Zyklus erfordert eine Mindestzeit, die neben technologisch bedingten Zeiten für Transport der Gegenstände, Evakuierung und Belüftung noch Nebenzeiten, die sich aus den Schaltzeiten der Absperrventile und den Wartezeiten bei Wälzkolbenpumpen ergeben, enthält. Dadurch sind Grenzen gesetzt, die Nachteil der bekannten Verfahren sind.It is furthermore known to use single-stage lock areas, consisting of a vacuum chamber, of known lock valves, of aeration devices and of a combination of fore-vacuum and fine-vacuum pumps with the associated valves for shutting off the vacuum lines. As backing pumps known mechanical, working against atmospheric pressure vacuum pumps are used. As fine vacuum pumps are mainly Roots pumps, z. B. Roots pumps, are used. The entire cycle requires a minimum time, which in addition to technological times for transport of objects, evacuation and ventilation still auxiliary times, resulting from the switching times of the shut-off valves and the waiting times for Roots pumps contains. As a result, limits are set, which are the disadvantage of the known methods.
Ziel der ErfindungObject of the invention
Es ist ein Verfahren zu schaffen, welc.es mit einer Einrichtung mit geringem apparativem Aufwand realisierbar ist und die Mängel der bekannten Verfahren beseitigt.It is a method to create, welc.es with a device with low equipment cost is feasible and eliminates the shortcomings of the known methods.
Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum schnellen Evakuieren und Belüften von Vakuumkammern zu schaffen, um in extrem kurzer Zeit zyklisch bis in den Feinvakuumbereich zu evakuieren und bis auf Atmosphärendruck zu belüften. Es soll nur eine Vakuumkammer erforderlich sein.The invention has for its object to provide a method for rapid evacuation and venting of vacuum chambers to evacuate in an extremely short time cyclically to the fine vacuum range and to vent to atmospheric pressure. It should be required only a vacuum chamber.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe unter Verwendung von Vakuumpumpe, Wälzkolbenpumpe und Absperrventilen dadurch gelöst, daß bei laufender Vakuumpumpe die Wälzkolbenpumpe bei geöffnetem Ventil der Umwegleitung bereits bei einem Druck von etwa 1OkPa zugeschaltet wird und die pumpenspezifisch zulässige Druckdifferenz über der Wälzkolbenpumpe gegenüber bekannten Verfahren verdoppelt wird, indem das Absperrventil in der Umwegleitung bereits bei einem DruckAccording to the invention, the object is achieved by using a vacuum pump, Roots pump and shut-off valves in that the Roots pump is switched on with the valve open the Umwegleitung already at a pressure of about 1OkPa and the pump-specific permissible pressure difference over the Roots pump is doubled compared to known methods by using the vacuum pump the shut-off valve in the bypass line already at a pressure