gegenüber bekannten Verfahren verdoppelt wird, indem das Absperrventil in der Umwegleitung bereits bei einem Druck von etwa 1 kPa geschlossen wird. Nach Abschluß der Evakuierung, d. h. nach Beendigung der technologischen Schritte, wird die Wälzkolbenpumpe abgeschaltet, zur gaskinetischen Abbremsung das Ventil der Umwegleitung geöffnet und sofort die Vakuumkammer und die Wälzkolbenpupe mit einem Gaseinlaßstrom belüftet, der eine mittlere Druckanstiegsgeschwindigkeit von kleiner als 700 Pa/s bewirkt.compared to known methods is doubled by the shut-off valve is already closed in the Umwegleitung at a pressure of about 1 kPa. After completion of the evacuation, d. H. after completion of the technological steps, the Roots pump is turned off, open the valve of the detour line for gaskinetischer braking and immediately vented the vacuum chamber and the Wälzkolbenpupe with a gas inlet stream, which causes a mean pressure increase rate of less than 700 Pa / s.
Es ist auch möglich, daß beim Belüften der Gaseinlaßstrom bei kleiner Drehzahl der Wälzkolbenpumpe so vergrößert wird, daß die Druckanstiegsgeschwindigkeit bis zum Erreichen von Atmosphärendruck 7 kPa/s nicht unterschreitet. Der Gaseinlaßstrom beim Belüften kann kontinuierlich oder schrittweise vergrößert werden.It is also possible that when venting the gas inlet stream at low speed of the Roots pump is increased so that the pressure rise rate does not fall below to reach atmospheric pressure 7 kPa / s. The gas inlet flow during venting can be increased continuously or stepwise.
Das erfindungsgemäße Verfahren hat die Vorteile, daß die Anlaufzeit für die Wälzkolbenpumpe entfällt, da das Anlaufen der Wälzkolbenpumpe in unüblicher Weise ohne oder bei nur geringer Kompressionsarbeit bereits in der Pumpphase der Vorvakuumpumpe erfolgt, daß die Pumpzeit der Wälzkolbenpumpe wesentlich verkürzt ist, da die maximale Druckdifferenz über der Wälzkolbenpumpe gegenüber herkömmlichen Verfahren etwa doppelt so groß sein darf, ermöglicht dadurch, daß das Anlaufen der Wälzkolbenpumpe bereitsbeendet ist und durch Schließen des Schleusenventils die Pumpesofort mit Nenndrehzahl wirksam wird und daß die Auslaufzeit der Wälzkolbenpumpe entfällt, da sie in unüblicherWeise während der Belüftung der Vakuumkammer gaskinetisch sanft abgebremst wird, wobei die Belüftung so erfolgt, daß zunächst eine geringe, dann die technologisch maximal mögliche Druckanstiegsgeschwindigkeit realisiert wird.The inventive method has the advantages that the startup time for the Roots pump is eliminated, since the start of the Roots pump in an unusual manner without or with only little compression work already in the pumping phase of the backing pump, that the pumping time of the Roots pump is significantly shortened, since the maximum pressure difference over the Roots pump compared to conventional methods may be about twice as large, thereby allowing the start of the Roots pump is already completed and by closing the lock valve, the pump is immediately effective at rated speed and that the flow time of the Roots pump is omitted because they unusual in the ventilation of the Vacuum chamber is gently slowed down gas kinetically, wherein the ventilation is carried out so that first a low, then the maximum technologically possible pressure rise rate is realized.
Ausführungsbeispielembodiment
Die zugehörige Zeichnung zeigt das Schema einer vakuumtechnologischen Anlage im Prinzip.The accompanying drawing shows the scheme of a vacuum technology plant in principle.
In einer Vakuumkammer 1 wird der vakuumtechnologische Prozeß, z.B. die Einschleusung von Flachglas in den unter Vakuum verbleibendem Teil einer Durchlaufbeschichtungsanlage, durchgeführt. Die Substrate werden durch die Schleusenventile 2.1 und 2.2 ein-und ausgebracht. Die Ventile 3.1 und 3.2 dienen der Belüftung der Vakuumkammer 1.An die Vakuumkammer 1 sind drei Wälzkolbenpumpen 4 angeschlossen, deren Druckseiten über eine Umwegleitung 5 mit Ventil 6 mit der Vakuumkammer 1 und über ein Ventil 7 mit einer Vorvakuumpumpe 8 verbunden sindIn a vacuum chamber 1, the vacuum technological process, e.g. the introduction of flat glass into the vacuum-remaining part of a continuous coating plant. The substrates are inserted and removed through the gate valves 2.1 and 2.2. The valves 3.1 and 3.2 are used for ventilation of the vacuum chamber 1.An three roots pumps 4 are connected to the vacuum chamber 1, whose pressure sides are connected via a bypass line 5 with valve 6 to the vacuum chamber 1 and via a valve 7 to a backing pump 8
Der Verfahrensablauf ist folgender: The procedure is as follows:
Die Substrate werden über das Eingangs-Schleusenventil 2.1 eingebracht. Danach wird bei laufender Vorvakuumpumpe 8 und bei geöffnetem Ventil 6 das Ventil 7 geöffnet und anschließend bereits bei einem Druck von etwa 1OkPa die Wälzpumpen 4 zugeschaltet. Bei Erreichen eines Druckes von etwa 1 kPa wird das Ventil 6 geschlossen und bis zum erforderlichen Endddruck weiter evakuiert. Nach Abschluß der technologischen Schritte wird das Ausgangs-Schleusenventil 2.2 betätigt, das Glas weiter transportiert, die Wälzkolbenputnpen 4 werden abgeschaltet und durch Öffnen des Ventils 3.1 werden bei geöffnetem Ventil 6 die Vakuumkammer 1 und die Wälzkolbenpumpen sofort belüftet. Der Gaseinlaßstrom wird dabei so eingestellt, daß die Druckanstiegsgeschwindigkeit 700 Pa/s nicht übersteigt. Bei einem Druck von etwa 7 kPa wird der Gaseinlaßstrom durch Öffnen des Ventils 3.2 vergrößert. Die Druckanstiegsgeschwindigkeit beträgt dann etwa 8 kPa/s. Bei Erreichen von etwa 65 kPa wird das Eingangs-Schleusenventil 2.1 geöffnet.The substrates are introduced via the inlet lock valve 2.1. Thereafter, with the backing pump 8 running and with the valve 6 open, the valve 7 is opened and then the roller pumps 4 are switched on already at a pressure of about 10 kPa. Upon reaching a pressure of about 1 kPa, the valve 6 is closed and further evacuated to the required Endddruck. After completion of the technological steps, the output gate valve 2.2 is actuated, the glass transported further, the Wälzkolbenputnpen 4 are turned off and by opening the valve 3.1, the vacuum chamber 1 and the Roots pumps are vented immediately with open valve 6. The gas inlet flow is adjusted so that the pressure increase rate does not exceed 700 Pa / s. At a pressure of about 7 kPa, the gas inlet flow is increased by opening the valve 3.2. The pressure rise rate is then about 8 kPa / s. When reaching about 65 kPa, the inlet gate valve 2.1 is opened.