DD156272A1

DD156272A1 - Zerstaeubungsanlage mit automatischer beschickungseinrichtung

Info

Publication number: DD156272A1
Application number: DD22681081A
Authority: DD
Inventors: Wolfgang Kosch; Siegfried Weckend; Goetz Teschner; Ullrich Heisig
Original assignee: Wolfgang Kosch; Siegfried Weckend; Goetz Teschner; Ullrich Heisig
Priority date: 1981-01-05
Filing date: 1981-01-05
Publication date: 1982-08-11
Also published as: DE3136352A1; JPS57120670A; HU181397B; RO84481B; RO84481A; CS237983B1

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Zerstaeubungsanlage mit automatischer Beschickungseinrichtung mit schleusbaren Substrathaltern im Chargenbetrieb. Das Ziel ist die Erhoehung der Produktivitaet, und die Aufgabe ist, dass ein schleusbarer Traeger bzw. Substrathalter den gesamten Hin- und Hertransport ermoeglicht und dass ausserhalb der Beschichtungseinrichtung ein leichtes Be- und Entstuecken moeglich ist. Erfindungsgemaess besitzt die Anlage, bestehend aus Beschickungseinrichtung, Zerstaeubungskammer und Schleuse, in der Beschickungseinrichtung eine Wendevorrichtung fuer jeweils zwei Traeger mit den Substraten, die nach aussen zeigen. Der obere wird be- bzw. entstueckt, und in der Zwischenzeit wird der untere zur Bestaeubung und wieder zurueck transportiert. Entsprechende Transportelemente und Motoren uebernehmen den gesamten Transport und die Rotation der Traeger.

Description

226 B 1 O -1-

Zerstäubungsanlage mit automatischer Beschickungseinrichtung

Anwendungsgebiet der Erfindung;

Die Erfindung betrifft eine Zerstäubungsanlage mit einer Einrichtung zum automatischen Beschicken schleusbarer Träger mit den Substrathalterungen. Die Anlage arbeitet im Chargenbetrieb und dient der Beschichtung einer hohen Anzahl von gleichen Substraten.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Die bekannten Zerstäubungsanlagen besitzen schleusbare Träger in Form von ebenen Tellern und Paletten, die in die Anlage eingebracht werden* Es sind auch schleusbare Planetengetriebe bekannt· Vorwiegend werden schleusbare Träger von Hand in die' Schleuse eingeführt und nach Beschichtung von Hand entnommen« Die Bestückung und Entleerung dieser schleusbaren Träger mit Substraten erfolgt von Hand oder in von der Anlage getrennten automatischen Bestückungseinrichtungen. Es sind auch Zerstäubungsanlagen bekannt, bei denen zur Anlage eine Bereitstellungsstation gehört, die der Schleuse zugeordnet ist, in der die Be- und Entstückung der schleusbaren Träger mit Substraten erfolgt«

Diese bekannten Einrichtungen haben alle den Nachteil, daß die zu beschichtende Oberfläche der Substrate bei der Bereitstellung und in der Zerstäubungskammer nach oben zeigt. Damit ist

die Verschmutzung der Substrate bei der Bereitstellung durch Staub und in der Zerstäubungskammer durch Flitter nicht zu verhindern·» Ein weiterer Nachteil einer derartigen Bereitstellung besteht darin, daß die für das Be- und Entstücken der schleusbaren Träger erforderliche Zeit Todzeit für die Zerstäubungsanlage ist und damit zur Produktivitätsminderung der Anlage führt

Es sind auch Zerstäubungsanlagen mit Pufferspeicher in Form von Stapeln für die schleusbaren Träger bekannt« Diese Art der Bereitstellung von schleusbaren Trägern erfordert ebenfalls die Be- und Entstückung außerhalb der Anlage bzw· bei Durchlaufanlagen den Transport der Paletten von der Ausgabeschleuse zur Eingabe schleuse von Hand«. Das Be- und Entstücken der schleusbaren Träger mit Substraten ist besonders dann erschwert, wenn dieser Antriebselemente für die Drehung bzw» Planetenbewegung enthält·

Ziel der Erfindung . '.. .

Die Mangel am Stand der Technik sollen beseitigt und die Produktivität der gesamten Zerstäubungsanlage erhöht werden*

Darlegung des

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Zerstäubungsanlage mit integrierter Beschickungseinrichtung zu schaffen, in welcher schleusbare Träger für die Substrathalterung den Transport durch die Anlage und die Wendung in der Anlage ausüben. Diese Einrichtung soll darüber hinaus als Puffer für die schleusbaren Träger dienen und die Beschichtung von unten ermöglichen. Außerdem soll die Einrichtung geeignet sein, die schleusbaren Träger zu be- und entstücken·

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mit einer Zerstäubungsanlage, die aus einer Zerstäubungskammer, einer Schleuse und einer Beschickungseinrichtung besteht .und schleusbare Träger für den

226 81

Substrattransport besitzt, dadurch gelöst, daß für den Längstransj)ort der Träger in der Schleuse und Zerstäubungsksmmer Antriebselemente in einer Ebene angeordnet sind und in der Bestückungseinrichtung eine Wendevorrichtung für die Träger ange·?- ordnet ist, die zwei Träger übereinander aufnimmt. Die Träger sind in der Wendevorrichtung so angeordnet bzw. werden zwangsweise so aufgenommen, daß die Seite, auf der die Substrate gehaltert sind, stets außen ist. Dadurch erfolgt der Transport der Träger durch die Schleuse in die Zerstäubungskammer mit den Substraten nach unten zeigend, und in der Beschickungseinrichtung befinden sich auf dem jeweils oberen Träger die Substrate zum Be- und Entstücken oben. Die Wendevorrichtung ist so ausgebildet, daß sich der jeweils untere Träger in gleicher Ebene mit den Transportelementen für den Längstransport durch die gesamte Zerstäubungsanlage befindet und dadurch in ,die Wendevorrichtung ein- und ausgefahren werden kann und daß der jeweils obere Träger bzw. die mit ihm verbundene Substrathalteplatte mittels eine3 Antriebes über ein an ihm angeordnetes Rad eingreifend an-· getrieben wird· In der Zerstäubungskammer ist·ebenfalls ein Antrieb angeordnet, der auch über das am Träger befindliche Rad eingreifend die Rotation der Substrathalteplatte während dem Bestäuben bewirkte Sämtliche Antriebe sind so gesteuert, daß der Hin- und.Hertransport der Träger und deren Rotation zum Be- und Entstücken sowie zum Bestäuben automatisch erfolgt. Die Zeiten sind dabei so gewählt_s daß die Zeit zum Be- und Entstücken kleiner ist als die Zeit des Durchlaufes eines bestückten Trägers von der Bestückungseinrichtung zur Zerstäubungskammer und zurück»

Ausführungsbeispiel

In der zugehörigen Zeichnung ist eine Zerstäubungsanlage im Schnitt dargestellt,' ·

Die Zerstäubungsanlage besteht aus der Zerstäubungskammer 1, der Schleuse 2 und der Beschickungseinrichtung 3· Die zu beschichtenden Substrate,.4 sind auf einer Substrathalteplatte 5, die drehbar

ist, in bekannter Weise befestigt, und diese ist mit dem Träger 6 verbunden. Der Längstransport durch die Zerstäubungsanlage erfolgt mittels Transportelementen 7, vorzugsweise Rollen, die von geeigneten Motoren 8 angetrieben werden. In der Beschickungseinrichtung 3 ist eine Wendevorrichtung 9 angeordnet, in der sich bis zu zwei Träger 6 befinden, und zwar so, daß die Substrate 4 voneinander weg zeigen. Der untere Träger 6 befindet sich in Höhe der Transportelemente 7 für den Längstransport, und der obere Träger 6 ist zum Be- und Entstücken bereit. Die Substrathalteplatte 5 des oberen Trägers 6 wird dazu mittels eines Motors 10 über Antriebsräder 11 und 12 gedreht. Ebenso erfolgt in der Zerstäubungskammer 1 die Drehung der Substrathalteplatte 5 über die Antriebsräder 11 und 12 durch einen Motor 10 zum Zwecke der gleichmäßigen Bestäubung über dem Plasmatron 13·

Die Arbeitsweise der Zerstäubungsanlage ist folgende:

In άβτ Anlage befinden sich zwei schleusbare Träger 6. (Des besseren Verständnisses wegen sind drei eingezeichnet). In einem dieser Träger 6 weist die zu beschichtende Oberfläche der Substrate 4 nach unten, in dem anderen sind diese nach oben gerichtet. Durch die Einbeziehung der Beschickungseinrichtung 3 in die Zerstäubungsanlage befinden sich stets zwei schleusbare Träger in dieser Anlage. Damit ist für eine Pufferung Sorge getragen, solange die Zeit für das Be- und Entstückender Substrate 4 kleiner alsjlie Zeit für das Schleusen und Beschichten ist. Diese Bedingung ist in den meisten Fällen für die bekannten technischen Anlagen gegeben.

In dar Wendevorrichtung 9 werden selbsttätig die Transportelemente 7 für den Längstransport des Trägers 6 mit dem Motor 8 gekoppelt, während der Motor 10 mit dem Antriebsrad 11 selbsttätig für die Drehung der Substrathalteplatte 5 zum Be- und Entstücken gekoppelt wird« In der Lage, in der der Träger 6 mit den su beschichtenden Substraten 4 nach oben gerichtet ist, dienen

2 2 6 8 10· c

die Transportelemente 7 als Halteelemente für den Träger 6« Durch die Anordnung der Transportelemente 7 für den Längstransport des schleusbaren Trägers 6 in der gleichen Ebene, wie in Schleuse und BeSchichtungskammer, und den selbsttätig koppelnden Antrieb kann der Träger 6 in dieser Stellung der Wendevorrichtung 9 in die Schleuse 2 und Zerstäubungskammer 1 eingegeben werden«, Dabei befinden sich die zu beschichtenden Oberflächen der Substrate 4 unten. Störende Flitter können sich damit während der Beschichtung nicht auf'der Oberfläche der Substrate 4 ablegen. Während der Beschichtung erfolgt eine Drehung der Substrathalteplatte 5» indem in der Zerstäubungskammer 1 ein gleichartiger Motor 10 mit dem Antriebsrad 11, wie in der Beschickungseinrichtung, selbsttätig eingreift· Nach dem Beschichten und Ausschleusen erfolgt, die Ausgabe des Trägers 6 in die Beschickungseinrichtung. Dazu werden nacheinander die Transportelemente 7 für den längstransport in Zerstäubungskammer 1, Schleuse 2 und Beschickungseinrichtung 3 wirksam. V/ährend dieses Gesamtvorganges kann der andere Träger 6 mit den beschichteten Substraten 4 oben entstückt und wieder neu bestückt werden. Die Be- und Entstückung der Substrate 4 erfolgt in einer definierbaren Stellung der Wendevorrichtung 9. Die Drehung der Subatrathalteplatte 5 des Trägers 6 erfolgt dabei durch den selbsttätig eingekoppelten Antrieb für die Drehung. Durch Betätigen der Wendevorrichtung 9 wird der Träger 6 mit den beschichteten Substraten 4 gegen einen Träger 6 mit unbeschichteten Substraten 4 gewechselt· ^:;

Claims

226 8 10 6

Erfindungsanspruch. - ·

Zerstäubungsanlage mit automatischer Beschickungseinrichtung, bestehend aus einer .Zerstäubungskammer, Schleuse und Beschikkungseinrichtung und schleusbaren Trägern mit darauf angebrachten Substraten, sowie mit Antriebselementen für den Längstransport der Träger durch die Zerstäubungsanlage, dadurch gekennzeichnet, daß in der Beschickungseinrichtung (3) eine Wendevorrichtung (9.) angeordnet ist, die zwei Träger (6) mit den Substraten (4) so aufnimmt, daß die Substrate (4) jedes Trägers (6) nach außen liegen, und daß sich der zeitweilig in der Beschickungseinrichtung (3) befindliche untere Träger (6) in einer Ebene mit den Transportelementen (7) für den Längstransport durch die Schleuse (2) und Zerstäubungskammer (1) befindet und der jeweils obere Träger (6) mit Substraten (4) be- und entstückbar ist, daß an jedem Träger (6) ein Antriebsrad (12) zum Bewirken der Rotation der Substrate (4) bzw. der mit dem Träger (6) verbundenen Substrathalteplatte (5) angeordnet ist, und daß in der Zerstäubungskammer (1) und in der Beschickungseinrichtung (3) in der Lage des in der Wendevorrichtung (9) oben befindlichen Trägers (6) ein Motor (10), der selbsttätig mit seinem Antriebsrad (11) in das Antriebsrad (12) eingreift, angeordnet ist.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen