CZ309267B6

CZ309267B6 - Přístroj s korpuskulárním paprskem s nosičem vzorku

Info

Publication number: CZ309267B6
Application number: CZ2011592A
Authority: CZ
Inventors: Josef Biberger; Josef Dr Biberger; Ralph Pulwey; Ralph Dr Pulwey
Original assignee: Carl Zeiss Microscopy Gmbh
Priority date: 2010-09-29
Filing date: 2011-09-23
Publication date: 2022-07-06
Also published as: US20120074320A1; CZ2011592A3; NL2007475A; DE102010041678A1; NL2007475C2; US9190242B2; DE102010041678B4

Abstract

Vynález se týká přístroje s korpuskulárním paprskem, jako je elektronový mikroskop SEM nebo TEM, vybavený Johnsovaným iontovým svazkem FIB, a zařízení k uložení vzorku, které obsahuje nosič (112) vzorku. Nosič (112) vzorku je uspořádán pohyblivě podél alespoň první osy (x) a podél alespoň druhé osy (y). Dále je nosič (112) vzorku uspořádán otočně okolo jedné první rotační osy (124) a okolo druhé rotační osy (128). První držák (118) vzorku je okolo třetí rotační osy (129) uspořádán relativně otočně vůči nosiči (112) vzorku, přičemž třetí rotační osa (129) a druhá rotační osa (128) jsou alespoň částečně vzájemně laterálně přesazeny. Přístroj dále zahrnuje ovládací zařízení, přičemž první držák (118) vzorku je pomocí ovládacího zařízení otočný okolo třetí rotační osy (129) do polohy zkoumání a/nebo polohy opracování.

Description

Přístroj s korpuskulárním paprskem s nosičem vzorku

Oblast techniky

Vynález se týká přístroje používajícího korpuskulámí záření, zvláště přístroje používajícího elektronový nebo iontový paprsek, který obsahuje nosič vzorku. Vynález se ale týká například přístroje používajícího korpuskulámí záření se dvěma tubusy, zvláště s jedním tubusem pro elektronový paprsek a druhým pro iontový paprsek, přičemž přístroj používající korpuskulámí záření obsahuje nosič vzorku.

Dosavadní stav techniky

Přístroje s elektronovým paprskem, zvláště rastrovací elektronový mikroskop, (dále označovaný též jako SEM) se používají ke zkoumání vzorků za účelem poznání vlastností a chování těchto vzorků za určitých podmínek.

U SEM se elektronový paprsek (dále též primární elektronový paprsek) vytváří pomocí zdroje záření a pomocí systému ovládajícího paprsek se soustřeďuje, zvláště pomocí čočky objektivu, na zkoumaný vzorek. Pomocí vychylovacího zařízení se vede primární elektronový paprsek po povrchu zkoumaného vzorku ve formě rastru. Elektrony primárního elektronového paprsku se přitom dostávají do interakce s materiálem zkoumaného vzorku. Následkem interakce vznikají zvláště interakční částice. Zvláště jsou elektrony ze zkoumaného vzorku emitovány (tzv. sekundární elektrony) a elektrony primárního elektronového paprsku jsou na zkoumaném vzorku zpětně rozptylovány (tzv. zpětně rozptýlené elektrony). Sekundární elektrony a zpětně rozptýlené elektrony se detekují a používají k vytváření obrazu. Tak vznikne obraz zkoumaného vzorku.

Dále je ze současného stavu techniky známo použití kombinovaných přístrojů ke zkoumání vzorků, u kterých mohou být ke zkoumanému vzorku přivedeny jak elektrony, tak také ionty. Například je známo dodatečné vybavení SEM tubusem s iontovým paprskem. Pomocí zdroje iontů v tubusu s iontovým paprskem se vytváří ionty, které se používají k preparaci vzorku (například k odnosu vrstvy vzorku nebo k nanesení materiálu na vzorek), nebo i k vytváření obrazu. SEM slouží přitom zvláště k pozorování preparace, ale také k dalšímu zkoumání preparovaného nebo nepreparovaného vzorku.

Ze současného stavu techniky je dále známo vybavení přístroje používajícího korpuskulámí záření s nosičem vzorku ve formě stolku, na kterém je vzorek určený ke zkoumání nebo k preparaci uspořádán. Stolek pro vzorek je vytvořen jako pohyblivý, přičemž pohyblivé vytvoření nosiče vzorku umožňuje více pohybových prvků. Pohybové prvky umožňují pohyb stolku pro vzorek alespoň v jednom určitém směru. Zvláště je znám stolek pro vzorek, který obsahuje více translačních pohybových prvků (například ve formě lineárních pohonů) a více rotačních pohybových prvků. Například je znám nosič vzorku, který je uspořádán jako pohyblivý podél první translační osy (například osy x), podél druhé translační osy (například osy y) a také podél třetí translační osy (například osy z). První translační osa, druhá translační osa a třetí translační osa jsou vůči sobě orientovány kolmo. Známý držák vzorku se může přídavně otáčet také okolo první rotační osy a okolo druhé rotační osy, přičemž první rotační osa a druhá rotační osa jsou vůči sobě orientovány kolmo.

Výše uvedený stav techniky je například uveden v EP 1780764 AI.

Dále poukazujeme například na US 2010/0059672 AI a na DE 102007026 847 AI, z nichž je znám přístroj s korpuskulárním paprskem, který obsahuje nosič vzorku, který může být pomocí rotace zaveden do polohy zkoumání a/nebo do polohy opracování.

- 1 CZ 309267 B6

Známý nosič vzorku může obsahovat držák vzorku, na kterém je uspořádán zkoumaný vzorek. Přídavně může nosič vzorku obsahovat další držáky vzorku, na nichž je vždy uspořádán další vzorek určený ke zkoumání. Držák nebo držáky vzorku mají vždy rovinnou plochu pro uložení vzorku a také vždy upínací prvek. Upínací prvek každého nosiče vzorku je vždy upnut rozebíratelně do jednoho otvoru nosiče vzorku, například pomocí šroubového spojení.

Nosič vzorku s četnými držáky vzorku se používá ke zkoumání četných vzorků v relativně krátkém čase. K zavedení určitého zkoumaného vzorku do požadované orientace je známo řešení pomocí eucentrického pohybu nosiče vzorku. Dochází ovšem k tomu, že při eucentrickém pohybu nosiče vzorku jeho části naráží na díly přístroje s elektronovým paprskem, které jsou uspořádány s nosičem vzorku v komoře vzorku.

K tomuto popsanému jevu dochází zvláště v kombinovaném přístroji, který obsahuje dva tubusy s korpuskulámím paprskem. U takového kombinovaného přístroje se například předpokládá, že vzorek určený ke zkoumání a/nebo k opracování je uspořádán v oblasti bodu koincidence prvního korpuskulámího paprsku a druhého korpuskulámího paprsku, aby bylo možné zkoumání a/nebo opracování ke zkoumaného a/nebo opracovávaného vzorku. Na obr. 1A je schematické zobrazení přístroje s korpuskulámím paprskem ze současného stavu techniky. Přístroj s korpuskulámím paprskem obsahuje první tubus 1 s korpuskulámím paprskem a druhý tubus 2 s korpuskulámím paprskem. Dále se předpokládá nosič 3 vzorku, který - jak již bylo popsáno - je vytvořen jako pohyblivý. Na nosiči 3 vzorku je uspořádán první držák 4 vzorku a dmhý držák 5 vzorku. Na prvním držáku 4 vzorku je uspořádán první vzorek 6A, který má být zkoumán nebo opracován. První korpuskulámí paprsek 7 vytvořený prvním tubusem 1 a dmhý korpuskulámí paprsek 8 vytvořený dmhým tubusem 2 se stýkají v bodě 9 koincidence na prvním vzorku 6A. Aby bylo možné zkoumání a/nebo opracovávání v bodě 9 koincidence, předpokládá se, že je první držák 4 vzorku uspořádán co možná blízko na okraji nosiče 3 vzorku, přičemž okraj nosiče 3 vzorku je uspořádán co nejblíže prvnímu tubusu 1 korpuskulámího paprsku a co nejblíže dmhému tubusu 2 korpuskulámího paprsku. Dále je první držák 4 vzorku manuálně (tedy ručně) na nosiči 3 vzorku nastaven tak, že je první vzorek 6A pomocí prvního korpuskulámího paprsku 7 nebo dmhého korpuskulámího paprsku 8 dostatečně orientován. Ruční nastavení je ale náročné. Kromě toho je takové nastavení často chybné. Z toho vyplývá, že provádění zkoumání více vzorků, které jsou držákem vzorku na nosiči vzorku uspořádány, je časově náročné a zatíženo chybami.

Dále může dojít k tomu, že je uspořádán další ke zkoumání a/nebo opracování určený vzorek na nosiči 3 vzorku. To znázorňuje obr. 1B. Aby bylo možné na druhém držáku 5 vzorku uspořádaný dmhý vzorek 6B zkoumat a/nebo opracovat, pohybuje se nosič 3 vzorku tak, že je dmhý vzorek 6B uspořádán v oblasti bodu 9 koincidence. Přitom se ale může stát, že první držák 4 vzorku například narazí na první tubus 1 s korpuskulámím paprskem.

Také při rotaci nosiče 3 vzorku okolo rotační osy je možné, že alespoň jeden z uvedených držáků vzorku se srazí s díly přístroje s korpuskulámím paprskem. Znázorňuje to obr. 1C. Při rotaci nosiče 3 vzorku okolo optické osy, která je paralelní vůči dmhému tubusu 2 s korpuskulámím paprskem, může narazit druhý držák 5 vzorku na první tubus 1 s korpuskulámím paprskem.

Vynález má za úkol nabídnout nosič vzorku s držáky vzorků, popřípadě přístroj s korpuskulámím paprskem, u kterého se zabrání tomu, aby při nastavení polohy pro zkoumání a/nebo polohy pro opracování vzorku nosič vzorku nebo jednotka nosiče vzorku narazila do součásti přístroje s korpuskulámím paprskem a u kterého je možné zkoumání četných vzorků při malých nárocích na čas.

US 2009134327 popisuje přístroj vykazující znaky obsažené v předvýznaku nároku 1.

-2CZ 309267 B6

Podstata vynálezu

Tento úkol je řešen podle vynálezu pomocí přístroje s korpuskulámím paprskem s význaky podle nároku 1. Zařízení pro uložení vzorku podle vynálezu je dáno význaky nároku 15. Další význaky vynálezu vyplývají z následujícího popisu, dalších nároků a/nebo připojených obrázků.

Přístroj s korpuskulámím paprskem obsahuje komoru vzorku. Dále obsahuje přístroj s korpuskulámím paprskem první tubus s korpuskulámím paprskem s první optickou osou. První tubus s korpuskulámím paprskem obsahuje první zdroj paprsku k vytváření prvního korpuskulámího paprsku a první čočku objektivu k fokusaci prvního korpuskulámího paprsku. Kromě toho se předpokládá u přístroje s korpuskulámím paprskem nejméně jeden detektor k detekci interakčních částic, které vznikají při dopadu prvního korpuskulámího paprsku na první v komoře vzorku uspořádaný vzorek vlivem interakcí prvního korpuskulámího paprsku s prvním vzorkem. Zvláště se přitom předpokládá, že je první korpuskulámí paprsek pomocí vychylovacího zařízení veden ve formě rastm po povrchu prvního vzorku. Povrch prvního vzorku by měl přitom ležet v oblasti, ve které může být první korpuskulámí paprsek pomocí vychylovacího zařízení veden. Tato oblast se také nazývá rozsahem rastm. Vedení prvního korpuskulámího paprsku vně rozsahu rastm se zde nepředpokládá. Částice prvního korpuskulámího paprsku se dostávají při rastrování do interakce s materiálem prvního vzorku. Následkem interakce vznikají interakční částice. Například jsou emitovány z prvního vzorku elektrony (tak zvané sekundární elektrony) a/nebo elektrony na prvním vzorku zpětně rozptýlené (tak zvané zpětně rozptýlené elektrony). Sekundární elektrony a zpětně rozptýlené elektrony jsou potom detekovány detektorem a použity k tvorbě obrazu. Tak obdržíme obraz prvního vzorku.

V komoře vzorkuje uspořádán první držák vzorku, který je vytvořen k uložení vzorku, například prvního vzorku. První držák vzorku je opět uspořádán na nosiči vzorku, který je například vytvořen jako stolek pro vzorek. U jedné formy provedení se předpokládá, že první držák vzorku je na nosiči vzorku uspořádán rozebíratelně. Nosič vzorku je podél nejméně jedné první osy (například osy x) a podél nejméně druhé osy (například osy y) uspořádán pohyblivě. První osa a dmhá osa jsou uspořádány vzájemně v prvním úhlu, který je různý od 0 a 180°. Dále se předpokládá, že první a dmhá osa nejsou uspořádány vůči sobě paralelně nebo koaxiálně. Například leží první úhel v rozsahu od asi 45° do asi 135° (přičemž jsou hranice zmíněného rozsahu vtom obsaženy). Například se předpokládá, že první osa a druhá osa jsou orientovány vzájemně kolmo. Kromě toho je nosič vzorku nejméně okolo první rotační osy a nejméně okolo dmhé rotační osy uspořádán otočně pohyblivě, přičemž první rotační osa a dmhá rotační osa jsou vzájemně orientovány pod druhým úhlem, který je různý od 0° a 180°. Potom se předpokládá, že první rotační osa a dmhá rotační osa nejsou uspořádány vůči sobě paralelně nebo koaxiálně. Například leží první úhel v rozsahu od asi 45° do asi 135° (včetně hranic jmenovaného rozsahu). Například se předpokládá, že první rotační osa a druhá rotační osa jsou vzájemně orientovány kolmo.

První držák vzorku je okolo třetí rotační osy relativně vůči nosiči vzorku uspořádán otočně. Jinými slovy řečeno je první držák vzorku relativně vůči nosiči vzorku otočný, a to okolo třetí rotační osy. Třetí rotační osa a dmhá rotační osa jsou přitom aspoň částečně laterálně vůči sobě přesazeny, například úplně laterálně přesazeny vůči sobě. Jinými slovy řečeno nejsou třetí rotační osa a dmhá rotační osa identické, ale vůči sobě uspořádány bočně. Dále se například předpokládá, že třetí rotační osa je uspořádána paralelně s jednou z následujících os: první osou, dmhou osou, první rotační osou a dmhou rotační osou. Alternativně k tomu se předpokládá, že třetí rotační osa svírá s nejméně jednou z následujících os, a to s první osou, dmhou osou, první rotační osou a dmhou rotační osou úhel, který není ani 0, ani 180°.

Dále obsahuje přístroj s korpuskulámím paprskem podle vynálezu ovládací zařízení, přičemž první držák vzorku je otočný pomocí ovládacího zařízení okolo třetí rotační osy do polohy zkoumání a/nebo do polohy opracování. V poloze zkoumání a/nebo opracování může být první

-3 CZ 309267 B6 vzorek zvláště zkoumán a/nebo opracován pomocí prvního korpuskulámího paprsku.

Vynález má tu výhodu, že pomocí rotace prvního držáku vzorku relativně vůči nosiči vzorku okolo třetí rotační osy vzniká další stupeň volnosti, takže na prvním držáku vzorku uspořádaný první vzorek je ke zkoumání a/nebo opracování dostatečně dobře polohovatelný. V zásadě umožňuje vynález zvýšení flexibility při polohování prvního vzorku vůči prvnímu korpuskulámímu paprsku. Zvláště je zaručeno, že pomocí rotace nosiče vzorku okolo druhé rotační osy může být první vzorek v zásadě relativně vůči první optické ose seřízen. V návaznosti na to je možné provést jemné nastavení polohy prvního vzorku vůči první optické ose a/nebo seřízení prvního vzorku vůči rastrovací oblasti prvního tubusu s korpuskulámím zářením pomocí rotace prvního držáku vzorku okolo třetí rotační osy.

Vynález je zvláště výhodný tehdy, když se pomocí přístroje s korpuskulámím paprskem provádí postup, u kterého je zapotřebí různé seřízení prvního vzorku. To je například zapotřebí při zhotovování většího počtu TEM lamel, které se ze vzorku vypreparují a mají mít vždy různou orientaci. Není tedy nutné ke zhotovení takových TEM lamel první držák vzorku s prvním vzorkem vícekrát z nosiče vzorku uvolňovat a první držák vzorku znovu na nosič vzorku upevňovat, přičemž by bylo zapotřebí nové seřízení prvního vzorku. Při uvedeném postupu je nutné napřed komoru vzorku zavzdušnit, první držák vzorku uvolnit a nově seřídit a komoru vzorku znovu vyčerpat, aby vzniklo vakuum. Tato časově náročná operace u vynálezu odpadá.

U jedné formy provedení přístroje s korpuskulámím paprskem podle vynálezu se alternativně nebo dodatečně předpokládá, že třetí rotační osa a druhá rotační osa jsou uspořádány vůči sobě laterálně odděleně. Jinak řečeno předpokládá se, že jsou stranově tak vůči sobě uspořádány nebo orientovány, že se třetí rotační osa a druhá rotační osa nekříží. Například se - jak bylo právě řečeno - předpokládá, že je třetí rotační osa a druhá rotační osa vzájemně paralelní. Alternativně k tomu je možné, že třetí rotační osa a dmhá rotační osa jsou uspořádány vůči sobě laterálně, ale v jednom bodě se kříží.

U jiné formy provedení přístroje s korpuskulámím paprskem se alternativně nebo dodatečně předpokládá, že je nosič vzorku uspořádán nejméně podél jedné třetí osy (například osy z) pohyblivě. Zvláště se předpokládá, že první osa a třetí osa jsou uspořádány pod třetím úhlem, který je různý od 0 a 180°. Přídavně nebo alternativně k tomu jsou dmhá osa a třetí osa vzájemně uspořádány pod čtvrtým úhlem, který je různý od 0 a 180°. Tedy podle vynálezu nejsou první osa, dmhá osa a třetí osa uspořádány koaxiálně nebo vzájemně paralelně. Například leží nejméně jeden z následujících úhlů, a to první úhel, třetí úhel a čtvrtý úhel v rozsahu mezi 45° a 135° (včetně hranic rozsahu). Například jsou první osa, dmhá osa a třetí osa uspořádány vůči sobě kolmo. Dále může být například třetí rotační osa orientována paralelně vůči třetí ose. Alternativně k tomu je možné, aby třetí rotační osa svírala s třetí osou úhel, který není 0° ani 180°.

U jedné formy provedení přístroje s korpuskulámím paprskem podle vynálezu se alternativně nebo dodatečně předpokládá, že první držák vzorkuje uspořádán v prvním směm pohybu. Tento první směr pohybu se používá k otočení prvního držáku vzorku okolo třetí osy rotace. První směr pohybu je například vytvořen jako mechanické a/nebo elektronické zařízení. Tak jedna forma provedení například předpokládá, že první pohybové zařízení obsahuje ozubené kolo, kterým je poháněn první držák vzorku, takže se otáčí okolo třetí rotační osy.

U další formy provedení se alternativně nebo dodatečně předpokládá, že ovládací zařízení je spojeno s prvním pohybovým zařízením k pohybu prvního držáku vzorku. Spojení mezi ovládacím zařízením a prvním pohybovým zařízením může být přitom provedeno například mechanicky, elektronicky a/nebo opticky. Například se jako optické spojení dají použít svíticí prostředky a světelné čidlo. Například se u jedné formy provedení předpokládá, že ovládací zařízení obsahuje svíticí prostředek, pomocí něhož se vysílá nejméně jeden světelný signál do světelného čidla uspořádaného v prvním pohybovém zařízení k ovládání prvního pohybového

-4CZ 309267 B6 zařízení.

U další formy provedení přístroje s korpuskulámím paprskem podle vynálezu se přídavně nebo alternativně předpokládá, že první držák vzorku je tak pohybově uspořádán, že držák vzorku umožňuje eucentrický pohyb prvního držáku vzorku. V předchozím i následném výkladu se pod eucentrickým pohybem rozumí pohyb, u kterého střed vytvářeného obrazu je při jeho pohybu pevným bodem.

U další formy provedení přístroje s korpuskulámím paprskem podle vynálezu se přídavně nebo alternativně předpokládá, že první držák vzorku je tak pohybově uspořádán, že při pohybu prvního držáku vzorku první předurčené místo na prvním vzorku zůstává vůči první optické ose prvního tubusu s korpuskulámím paprskem místně pevné.

U další formy provedení přístroje s korpuskulámím paprskem podle vynálezu se přídavně nebo alternativně předpokládá, že přístroj s korpuskulámím paprskem obsahuje nejméně jeden dmhý držák vzorku, který je uspořádán na nosiči vzorku. Například je dmhý držák vzorku uspořádán na nosiči vzorku snímatelně. Dmhý držák vzorkuje vytvořen k uložení dmhého vzorku. Vynález tak není omezen na to, že je na nosiči vzorku uspořádán jen jeden držák vzorku. Daleko spíše vynález předpokládá, že jsou na nosiči vzorku uspořádány nejméně dva nebo více držáků vzorku. Výše uvedený dmhý držák vzorku je uspořádán jako otočný okolo čtvrté rotační osy relativně vůči nosiči vzorku. Jinými slovy řečeno je dmhý držák vzorku relativně vůči nosiči vzorku otočný, a to okolo čtvrté rotační osy. Čtvrtá rotační osa, třetí rotační osa a druhá rotační osa jsou přitom aspoň částečně laterálně vůči sobě přesazeny, například zcela laterálně přesazeny vůči sobě. Jinak řečeno nejsou identické. Mnohem spíše jsou uspořádány vedle sebe. Dále se například předpokládá, že čtvrtá rotační osa je orientována paralelně vůči následujícím osám, a to vůči první ose, druhé ose a třetí ose, první rotační ose, dmhé rotační ose a třetí rotační ose. Alternativně k tomu se předpokládá, že čtvrtá rotační osa s nejméně jednou z následujících os, a to první osou, dmhou osou, třetí osou, první rotační osou, dmhou rotační osou a třetí rotační osou svírá úhel, který není roven 0 ani 180°.

U jedné další formy provedení přístroje s korpuskulámím paprskem podle vynálezu se alternativně nebo dodatečně předpokládá, že čtvrtá rotační osa, třetí rotační osa a dmhá rotační osa jsou vůči sobě uspořádány jako laterálně oddělené. Jinak řečeno se předpokládá, že čtvrtá rotační osa, třetí rotační osa a dmhá rotační osa jsou uspořádány nebo orientovány bočně vůči sobě tak, že se čtvrtá rotační osa, třetí rotační osa a dmhá rotační osa se neprotínají. Například čtvrtá rotační osa, třetí rotační osa a dmhá rotační osa jsou uspořádány paralelně. Alternativně k tomu je možné, aby čtvrtá rotační osa, třetí rotační osa a dmhá rotační osa by uspořádány vůči sobě laterálně, ale v jednom bodě se protínaly.

Použití více držáků vzorku, které jsou na nosiči vzorku uspořádány, je u vynálezu výhodné. Vynález tak umožňuje v jedné operaci výměnu vzorku, aniž by se musel nosič vzorku nebo držák vzorku vyjímat z vakua komory vzorku. Kromě toho je odstraněno nebezpečí kolize držáku vzorku s některým dílem přístroje s korpuskulámím paprskem. Je-li například uspořádáno více držáků vzorku na nosiči vzorku kmhově, je možné uskutečnit pomocí první rotace nosiče vzorku okolo dmhé rotační osy výměnu vzorku. Jinými slovy řečeno, přivede se první držák vzorku nebo dmhý držák vzorku se zkoumaným vzorkem do určité relativní polohy vůči první optické ose. V návaznosti na to se pomocí rotace prvního držáku vzorku okolo třetí rotační osy nebo dmhého držáku vzorku okolo čtvrté rotační osy dosáhne velmi rychlého seřízení prvního vzorku nebo dmhého vzorku do rastrovací oblasti prvního tubusu s korpuskulámím paprskem. Současně se sníží nebezpečí nárazu nosiče vzorku nebo prvního držáku vzorku nebo dmhého držáku vzorku s díly přístroje s korpuskulámím paprskem. Dále není u vynálezu nezbytně nutné seřizovat první držák vzorku nebo dmhý držák vzorku měně k dosažení postačující orientace prvního vzorku nebo dmhého vzorku v rastrovací oblasti prvního tubusu s korpuskulámím paprskem. Vyhovující orientace je možné dosáhnout pomocí nastavení polohy prvního vzorku nebo dmhého vzorku ve vztahu k prvnímu korpuskulámímu paprsku pomocí rotace prvního držáku vzorku okolo třetí

-5CZ 309267 B6 rotační osy nebo rotace druhého držáku vzorku okolo čtvrté rotační osy.

Mimo to se přídavně nebo alternativně předpokládá uspořádání druhého držáku vzorku na druhém pohybovém zařízení. Druhé pohybové zařízení se používá k otočení druhého držáku vzorku okolo čtvrté rotační osy. Druhé pohybové zařízení je vytvořeno například jako mechanické a/nebo elektronické zařízení. Také se u další formy provedení například předpokládá, že druhé pohybové zařízení obsahuje pohon ozubeným kolem, pomocí něhož je poháněn druhý držák vzorku, takže se otáčí okolo čtvrté rotační osy.

U ještě další formy provedení se alternativně nebo přídavně předpokládá, že ovládací zařízení je spojeno s druhým pohybovým zařízením. Také spojení mezi ovládacím zařízením a druhým pohybovým zařízením může být vytvořeno mechanicky, elektronicky a/nebo opticky. V případě optického spojení se dá i zde předpokládat, že ovládací zařízení obsahuje svíticí prostředek, který vysílá nejméně jeden světelný signál k ovládání druhého pohybového zařízení světelnému čidlu, které je uspořádáno na druhém pohybovém zařízení.

U další formy provedení přístroje s korpuskulámím paprskem podle vynálezu se alternativně nebo přídavně předpokládá, že je ovládací zařízení spojeno jak s prvním pohybovým zařízením, tak i s druhým pohybovým zařízením. U opět další formy provedení se alternativně nebo přídavně předpokládá, že nejméně jedno ze spojení mezi ovládacím zařízením a jedním z obou pohybových zařízení je například vytvořeno jako mechanické, elektronické a/nebo optické. Představené formy provedení umožňují, že s ovládacím zařízením je možné jednak ovládat rotaci prvního držáku vzorku okolo třetí rotační osy, a jednak se dá ovládat ovládacím zařízením rotace druhého držáku vzorku okolo čtvrté rotační osy. Explicitně upozorňujeme na to, že vynález tím není omezen a počet ovládacích zařízení je vhodně volitelný. Tak se u jednoho alternativního provedení předpokládá, že rotace prvního držáku vzorku se provádí z prvního ovládacího zařízení a že rotace druhého držáku vzorku se ovládá z druhého ovládacího zařízení.

U ještě další formy provedení se alternativně nebo přídavně předpokládá, že první pohybové zařízení a druhé pohybové zařízení je tvořeno jedinou pohybovou jednotkou. Například je tato jediná pohybová jednotka vytvořena jako pohonná jednotka, která je spojena pomocí mechanických dílů jednak s prvním držákem vzorku a jednak s druhým držákem vzorku, takže pomocí pohonné jednotky se může pohybovat jak první držák vzorku, tak druhý držák vzorku.

U další formy provedení přístroje s korpuskulámím paprskem podle vynálezu se alternativně nebo přídavně předpokládá, že je první tubus s korpuskulámím paprskem vytvořen jako tubus s elektronovým paprskem, nebo jako tubus s iontovým paprskem. Je-li první tubus s korpuskulámím paprskem vytvořen jako tubus s elektronovým paprskem, vytváří první zdroj paprsku elektronový paprsek jako první korpuskulámí paprsek. Je-li však první tubus s korpuskulámím paprskem vytvořen jako tubus s iontovým paprskem, vytváří první zdroj paprsku iontový paprsek jako první korpuskulámí paprsek. První objektivová čočka soustřeďuje první korpuskulámí paprsek na první vzorek nebo na druhý vzorek. Při interakci prvního korpuskulámího paprsku s prvním vzorkem nebo s druhým vzorkem vznikají interakční částice, které mohou být detekovány detektorem. Při interakci prvního korpuskulámího paprsku ve formě elektronového paprsku s prvním vzorkem nebo s druhým vzorkem vznikají interakční částice, zvláště ve formě sekundárních elektronů a zpětně rozptýlených elektronů, které mohou být použity k vytvoření obrazu.

U další formy provedení přístroje s korpuskulámím paprskem podle vynálezu se alternativně nebo přídavně předpokládá, že přístroj s korpuskulámím paprskem obsahuje dmhý tubus s korpuskulámím paprskem s dmhou optickou osou. Dmhý tubus s korpuskulámím paprskem má dmhý zdroj paprsku k vytváření druhého korpuskulámího paprsku a dmhou čočku objektivu, která například slouží k fokusaci druhého korpuskulámího paprsku například na první vzorek nebo dmhý vzorek. Zvláště se počítá s tím, že první tubus s korpuskulámím paprskem je vytvořen jako tubus s elektronovým paprskem a že dmhý tubus s korpuskulámím paprskem je

-6CZ 309267 B6 vytvořen jako tubus s iontovým paprskem. U další formy provedení přístroje s korpuskulámím paprskem podle vynálezu se alternativně předpokládá, že první tubus s korpuskulámím paprskem je vytvořen jako tubus s iontovým paprskem a druhý tubus s korpuskulámím paprskem je vytvořen jako tubus s elektronovým paprskem. U opět další formy provedení přístroje s korpuskulámím paprskem se předpokládá, že jak první tubus s korpuskulámím paprskem, tak i dmhý tubus s korpuskulámím paprskem je vytvořen vždy jako tubus s iontovým paprskem. U opět další alternativní formy provedení se počítá s tím, že jak první, tak i dmhý tubus s korpuskulámím paprskem je vytvořen vždy jako tubus s elektronovým paprskem.

U jedné další formy provedení přístroje s korpuskulámím paprskem podle vynálezu se alternativně nebo přídavně předpokládá, že první držák vzorkuje tak pohybově uspořádán, že při pohybu prvního držáku vzorku zůstává dmhé předvolené místo na vzorku, například na prvním vzorku, relativně vůči dmhé optické ose dmhého tubusu s korpuskulámím paprskem místně stabilní.

Přitom mohou být například právě zmíněné první předvolené místo na prvním vzorku a dmhé předvolené místo na prvním vzorku identické.

U jedné další formy provedení přístroje s korpuskulámím paprskem podle vynálezu se alternativně nebo přídavně předpokládá, že dmhý držák vzorkuje tak pohybově uspořádán, že při pohybu dmhého držáku vzorku zůstává třetí předvolené místo na vzorku, například na dmhém vzorku, relativně vůči první optické ose prvního tubusu s korpuskulámím paprskem místně stabilní.

U jedné další formy provedení přístroje s korpuskulámím paprskem podle vynálezu se alternativně nebo přídavně předpokládá, že dmhý držák vzorkuje tak pohybově uspořádán, že při pohybu druhého držáku vzorku zůstává čtvrté předvolené místo na vzorku, například na dmhém vzorku, relativně vůči dmhé optické ose dmhého tubusu s korpuskulámím paprskem místně stabilní.

Přitom mohou být například výše právě jmenované třetí předvolené místo na dmhém vzorku a čtvrté předvolené místo na dmhém vzorku identické.

Vynález se týká také zařízení pro uložení vzorku, zvláště pro přístroj s korpuskulámím paprskem, který vykazuje například jeden z výše jmenovaných význaků nebo kombinaci nejméně dvou výše jmenovaných význaků. Zařízení pro uložení vzorku může přitom rovněž vykazovat jeden z výše jmenovaných význaků nebo kombinaci nejméně dvou výše jmenovaných význaků.

Zařízení pro uložení vzorku obsahuje neméně jeden první držák vzorku k přijetí prvního vzorku a nejméně jeden nosič vzorku, na kterém je první držák vzorku uspořádán. Nosič vzorku je pohyblivě uspořádán podél nejméně jedné první osy (například osy x) a podél nejméně dmhé osy (například osy y). První osa a druhá osa jsou vůči sobě uspořádány pod prvním úhlem, který je různý od 0° a 180°. Takže se předpokládá, že první osa a dmhá osa nejsou vůči sobě uspořádány paralelně nebo koaxiálně. Například leží první úhel v rozsahu od asi 45° do asi 135° (včetně hranic jmenovaného rozsahu). Například se počítá s tím, že první osa a dmhá osa jsou vůči sobě orientovány kolmo. Dále je nosič vzorku uspořádán otočně okolo nejméně první rotační osy a nejméně okolo dmhé rotační osy, přičemž první rotační osa a dmhá rotační osa jsou vůči sobě uspořádány pod úhlem, který je různý od 0° a 180°. Takže se předpokládá, že první rotační osa a dmhá rotační osa nejsou vůči sobě uspořádány paralelně nebo koaxiálně. Například leží dmhý úhel v prvním rozsahu od asi 45° do asi 135° (včetně hranic zmíněného rozsahu). Například se předpokládá, že první rotační osa a dmhá rotační osa jsou vůči sobě orientovány kolmo. Dále je první držák vzorku uspořádán otočně okolo třetí rotační osy relativně k nosiči vzorku. Takže je první držák vzorku relativně vůči nosiči vzorku otočný, a to okolo třetí rotační osy. Třetí rotační osa a dmhá rotační osa jsou alespoň částečně vůči sobě laterálně přesazeny.

-7 CZ 309267 B6

Dále se na zařízení pro uložení vzorku podle vynálezu předpokládá ovládací zařízení, přičemž první držák vzorku je otočný pomocí ovládacího zařízení okolo třetí rotační osy do polohy zkoumání a/nebo polohy opracování. V poloze zkoumání a/nebo v poloze opracování může být vzorek zkoumán a/nebo zpracován zvláště pomocí korpuskulámího paprsku.

Navýše uvedené výhody zařízení pro uložení vzorku podle vynálezu bude dále poukazováno jako na výhody přístroje s korpuskulámím paprskem.

U jedené další formy provedení zařízení pro uložení vzorku podle vynálezu se alternativně nebo přídavně předpokládá, že třetí rotační osa a druhá rotační osa jsou vzájemně uspořádány laterálně odděleně. Jinými slovy se předpokládá, že jsou stranově tak vzájemně uspořádány nebo orientovány, že třetí rotační osa a druhá rotační osa se neprotínají. Například jsou třetí rotační osa a druhá rotační osa uspořádány vzájemně paralelně. Alternativně k tomu se předpokládá, že třetí rotační osa a druhá rotační osa jsou vzájemně uspořádány laterálně, ale protínají se v jednom bodě. Dále je například možné, že třetí rotační osa a druhá rotační osa svírají úhel, který je různý od 0° a 180°.

U jedné další formy provedení zařízení pro uložení vzorku podle vynálezu se alternativně nebo přídavně předpokládá, že držák vzorku je nejméně podél třetí osy (například osy z) uspořádán pohyblivě. Zvláště se počítá s tím, že první osa a třetí osa svírají vzájemně třetí úhel, který je různý od 0° a 180°. Alternativně nebo přídavně se předpokládá, že druhá osa a třetí osa jsou vzájemně uspořádány pod čtvrtým úhlem, který je různý od 0° a 180°. Podle vynálezu nemusí být první osa, druhá osa a třetí osa vůči sobě uspořádány koaxiálně nebo paralelně. Například leží pod jedním z následujících úhlů, a to pod prvním úhlem, třetím úhlem a čtvrtým úhlem v rozsahu asi od 45° do asi 135° (včetně hranic zmíněného rozsahu). Například se předpokládá, že první osa, druhá osa a třetí osa jsou uspořádány vzájemně kolmo.

U jedné další formy provedení se předpokládá, že třetí rotační osa probíhá paralelně s jednou z následujících os, a to první osou, druhou osou, třetí osou a první rotační osou. Alternativně k tomu se předpokládá, že třetí rotační osa s nejméně jednou z následujících os, a to s první osou, druhou osou, třetí osou a první rotační osou svírá úhel, který je různý od 0° a 180°.

U jedné další formy provedení zařízení pro uložení vzorku podle vynálezu se alternativně nebo přídavně předpokládá, že první držák vzorkuje uspořádán na prvním pohybovém zařízení. První pohybové zařízení se používá k otáčení prvního držáku vzorku okolo třetí rotační osy. První pohybové zařízení je vytvořeno například jako mechanické a/nebo elektronické zařízení. Také se však u další formy provedení například předpokládá, že první pohybové zařízení obsahuje pohon ozubeným kolem, které pohání první držák vzorku, takže se otáčí okolo třetí rotační osy.

U jedné další formy provedení zařízení pro uložení vzorku podle vynálezu je na nosiči vzorku uspořádán alespoň jeden druhý držák vzorku. Na druhém držáku vzorku může být uspořádán druhý vzorek. Tak není zařízení pro uložení vzorku podle vynálezu omezeno na to, že je na nosiči vzorku uspořádán jen jeden držák vzorku. Daleko spíše se počítá s tím, že jsou na nosiči vzorku uspořádány dva nebo více držáků vzorku. Výše uvedený druhý držák vzorkuje uspořádán otočně okolo čtvrté rotační osy relativně vůči nosiči vzorku. Jinak řečeno, je druhý držák vzorku relativně otočný vůči nosiči vzorku, a to okolo čtvrté rotační osy. Dále se počítá s tím, čtvrtá rotační osa, třetí rotační osa a druhá rotační osa jsou alespoň částečně laterálně vzájemně posunuty. U jedné další formy provedení se předpokládá, že čtvrtá rotační osa, třetí rotační osa a druhá rotační osa jsou uspořádány vzájemně laterálně odděleně. Jinak řečeno počítá se s tím, že čtvrtá rotační osa, třetí rotační osa a druhá rotační osa jsou bočně tak vzájemně uspořádány nebo orientovány, že se čtvrtá rotační osa, třetí rotační osa a druhá rotační osa nekříží. Například se počítá s tím, že čtvrtá rotační osa, třetí rotační osa a druhá rotační osa jsou vůči sobě uspořádány paralelně. Relativně k tomu je možné, že čtvrtá rotační osa, třetí rotační osa a druhá rotační osa jsou vzájemně uspořádány laterálně, ale kříží se v jednom bodě. Svírají vzájemně úhel, který je různý od 0° a 180°.

-8CZ 309267 B6

Také se u zařízení pro uložení vzorku podle vynálezu dodatečně nebo alternativně počítá s tím, že je druhý držák vzorku uspořádán na druhém pohybovém zařízení. Druhé pohybové zařízení se používá k otáčení druhého držáku vzorku okolo čtvrté rotační osy. Druhé pohybové zařízení je vytvořeno například jako mechanické a/nebo elektronické zařízení. Také se u další formy provedení například předpokládá, že druhé pohybové zařízení obsahuje ozubené kolo, které pohání druhý držák vzorku, takže se otáčí okolo čtvrté rotační osy.

U ještě další formy provedení se alternativně nebo dodatečně předpokládá, že ovládací zařízení je spojeno s druhým pohybovým zařízením k pohonu druhého držáku vzorku. Také spojení mezi ovládacím zařízením a druhým pohybovým zařízením může být přitom vytvořeno mechanicky, elektronicky a/nebo opticky (viz výše uvedený popis).

U jedné další formy provedení zařízení pro uložení vzorku se například předpokládá, že čtvrtá rotační osa probíhá paralelně s jednou z následujících os a to s první osou, druhou osou, třetí osou, první rotační osou, druhou rotační osou a třetí rotační osou. Alternativně k tomu se předpokládá, že čtvrtá rotační osa s nejméně jednou z následujících os, a to první osou, druhou osou, třetí osou, první rotační osou, druhou rotační osou a třetí rotační osou svírá úhel, který je různý od 0° a 180°.

U jedné další formy provedení zařízení pro uložení vzorku podle vynálezu se například předpokládá, že ovládací zařízení je spojeno jak s prvním pohybovým zařízením, tak s druhým pohybovým zařízením. U jedné další formy provedení se předpokládá, že nejméně jedno ze spojení mezi ovládacím zařízením a jedním z obou pohybových zařízení je například vytvořeno jako mechanické, elektronické a/nebo optické. Uvedené formy provedení umožňují, že pomocí ovládacího zařízení je možné ovládat jak rotaci prvního držáku vzorku okolo třetí rotační osy, jednak je možné pomocí ovládacího zařízení ovládat rotaci druhého držáku vzorku okolo čtvrté rotační osy.

U jedné další formy provedení zařízení pro uložení vzorku podle vynálezu se dodatečně nebo alternativně předpokládá, že první pohybové zařízení a druhé pohybové zařízení jsou tvořena jediným pohybovým zařízením. Například je jediné pohybové zařízení vytvořeno jako pohonná jednotka, která je pomocí mechanických stavebních dílů spojena jednak s prvním držákem vzorku a také s druhým držákem vzorku, takže pomocí pohonné jednotky se může pohybovat jak první držák vzorku, tak i druhý držák vzorku.

Objasnění výkresů

Dále bude vynález blíže objasněn na příkladech provedení. Zde značí:

obr. 1 schematická zobrazení přístrojů s korpuskulámím paprskem podle současného stavu techniky;

obr. 2 schematické zobrazení přístroje s korpuskulámím paprskem s jedním tubusem s korpuskulámím paprskem obr. 3 schematický nákres nosiče vzorku;

obr. 4 další schematický nákres nosiče vzorku podle obr. 3;

obr. 5 schematický nákres přístroje s korpuskulámím paprskem se dvěma tubusy s korpuskulámími paprsky;

obr. 6 další schematický nákres uspořádání tubusů s korpuskulámími paprsky podle obr. 5;

-9CZ 309267 B6 obr. 7A schematický boční pohled na další nosič vzorku;

obr. 7B další schematický nákres nosiče vzorku podle obr. 7A a obr. 8 další schematický nákres zařízení držáku nosiče vzorku podle obr. 7A.

Příklady uskutečnění vynálezu

Na obr. 2 je schematické zobrazení přístroje 100 s korpuskulámím paprskem ve formě SEM s prvním tubusem 101 s korpuskulámím paprskem, který je vytvořen jako tubus s elektronovým paprskem. Teď ale důrazně upozorňujeme, že vynález není omezen na SEM, ale mnohem spíše je použitelný u každého přístroje s korpuskulámím paprskem, zvláště u přístroje s iontovým paprskem.

První tubus 101 s korpuskulámím paprskem má první optickou osu 102. první zdroj paprsku ve formě zdroje 103 elektronů (katodu), první elektrodu 104 ve formě extrakční elektrody a druhou elektrodu 105 ve formě anody, která tvoří konec první trubky 106 pro vedení paprsku. Například je zdroj 103 elektronů termický emitor pole. Elektrony, které vystupují ze zdroje 103 elektronů, jsou urychlovány vlivem rozdílu potenciálů mezi zdrojem 103 elektronů a druhou elektrodou 105 na anodovém potenciálu. Tak je připraven první korpuskulámí paprsek ve formě elektronového paprsku.

Dále obsahuje přístroj 100 s korpuskulámím paprskem první čočku 107 objektivu, která zasahuje do komory 113 vzorku přístroje 100 s korpuskulámím paprskem. První čočka 107 objektivu má otvor, kterým je vedena první trubka 196 pro vedení paprsku. První čočka 107 objektivu má dále pólové nástavce 108. ve kterých jsou uspořádány cívky 109. Za první tmbkou 106 pro vedení paprsku je uspořádáno elektrostatické zpožďovací zařízení. To obsahuje trubkovou elektrodu 110, která tvoří konec první trubky 106 pro vedení paprsku. Dále obsahuje elektrostatické zpožďovací zařízení jednotlivou elektrodu 111. která je uspořádána blízko trubkové elektrody 110 podél první optické osy 102. V komoře 113 vzorku je uspořádán nosič 112 vzorku, o kterém se dále ještě blíže zmíníme.

Trubková elektroda 110 leží společně s první tmbkou 106 pro vedení paprsku na anodovém potenciálu, zatímco jednotlivá elektroda 111 a na nosiči 112 vzorku uspořádaný první vzorek 114 a na nosiči 112 vzorku uspořádaný druhý vzorek 115 leží na nižším potenciálu než potenciál anody. Tak mohou být elektrony prvního korpuskulámího paprsku zbržděny na požadovanou energii, která je potřebná ke zkoumání a/nebo opracování na nosiči 112 uspořádaného prvního vzorku 114 a/nebo druhého vzorku 115. První tubus 101 s korpuskulámím paprskem obsahuje ještě rastrovací prostředek 116. pomocí něhož je odchylován první korpuskulámí paprsek, takže první korpuskulámí paprsek může být rastrován po prvním vzorku 114 a/nebo po druhém vzorku 115 na nosiči 112 vzorku.

K vytvoření obrazu jsou pomocí detektoru 117 sekundárních elektronů a/nebo zpětně rozptýlených elektronů umístěného v první tmbce 106 pro vedení paprsku tyto elektrony detekovány na základě interakcí prvního korpuskulámího paprsku s prvním vzorkem 114 nebo s druhým vzorkem 115. Detektorem 117 vytvořené signály jsou předány ktvorbě obrazu do jednotky elektroniky (nezobrazené).

Dále se blíže zmíníme o nosiči 112 vzorku. Nosič 112 vzorku obsahuje úložiště 120, na kterém je instalován první držák 118 vzorku. Na prvním držáku 118 vzorkuje uspořádán první vzorek 114. Dále je na úložišti 120 vzorku uspořádán druhý držák 119 vzorku, na kterém je uspořádán druhý vzorek 115. První držák 118 vzorku i druhý držák 119 vzorku mohou být na úložišti 120 upevněny rozebíratelně. Jak bylo řečeno výše, je počet držáků vzorků variabilní. Takže se u další

-10 CZ 309267 B6 formy provedení předpokládá, že jsou na úložišti 120 vzorku uspořádány ještě další držáky vzorků.

Nosič 112 vzorkuje vytvořen jako pohyblivý stolek, který je schematicky znázorněn na obr. 3 a 4. Nosič 112 vzorků obsahuje jako rovnou plochu vytvořené úložiště 120 vzorků, na kterém je umístěn první držák 118 vzorku a druhý držák 119 vzorku (ty nejsou na obr. 3 kvůli přehlednosti nakresleny). Jako stolek vytvořený nosič 112 vzorku obsahuje pohybové prvky, které zajišťují pohyb nosiče 112 vzorku tak, aby mohla být zájmová oblast na prvním vzorku 114 nebo druhém vzorku 115 pomocí korpuskulámího paprsku zkoumána a/nebo opracována.

Pohybové prvky jsou znázorněny schematicky na obr. 3 a 4. Nosič 112 vzorku obsahuje první pohybový prvek 121 na krytu 122 komory 113 vzorku, ve které je nosič 112 vzorku uspořádán. První pohybový prvek 121 umožňuje pohyb nosiče 112 vzorku podél osy z (první translační osa). Dále obsahuje druhý pohybový prvek 123. Druhý pohybový prvek 123 umožňuje rotaci nosiče 112 vzorku okolo první rotační osy 124. která se označuje jako „osa náklonu“. Tak umožňuje druhý pohybový prvek 123 rotaci na úložišti 120 uspořádaného prvního vzorku 114 a/nebo druhého vzorku 115 okolo první rotační osy 124.

Na druhém pohybovém prvku 123 je uspořádán třetí pohybový prvek 125, který je vytvořen jako vedení saní a zajišťuje, že nosič vzorku 112 se pohybuje ve směru x (druhá translační osa). Zmíněné sáně tvoří další pohybový prvek, a to čtvrtý pohybový prvek 126. Čtvrtý pohybový prvek 126 je vytvořen tak, že nosič vzorku 112 je pohyblivý ve směru y (třetí translační osa). Dále má čtvrtý pohybový prvek 126 vedení, ve kterém jsou vedeny další sáně, na kterých je uspořádáno úložiště 120 vzorku.

Úložiště 120 je opět vytvořeno s pátým pohybovým prvkem 127, který umožňuje, že úložiště 120 je otočné okolo druhé rotační osy 128.

První translační osa, druhá translační osa, a třetí translační osa jsou vždy vůči sobě orientovány kolmo. Kromě toho je druhá rotační osa 128 orientována kolmo k první rotační ose 124.

Vzhledem k právě popsanému uspořádání obsahuje nosič 112 vzorku u zde diskutovaného příkladu provedení následující kinematický řetězec: první pohybový prvek 121 (pohyb podél osy z) - druhý pohybový prvek 123 (rotace okolo první rotační osy 124) - třetí pohybový prvek 125 (pohyb podél osy x) - čtvrtý pohybový prvek 126 (pohyb podél osy y) - pátý pohybový prvek 127 (rotace okolo druhé rotační osy 128). Explicitně ale poukazujeme na to, že vynález není omezen na popsaný kinematický řetězec. Mnohem spíše jsou možné další formy provedení, jiná uspořádání a složení kinematického řetězce.

K ovládání pohybu jednotlivých jmenovaných pohybových prvků je k dispozici ovládací zařízení 142. které je spojeno s nosičem vzorku 112 nebo přinejmenším s jedním už jmenovaným pohybovým prvkem (viz obr. 2). Spojení mezi ovládacím zařízením 142 a se jmenovaným (i) pohybovým(i) zařízením(i) může být přitom vytvořeno jako mechanické, elektronické a/nebo optické, přičemž na právě výše uvedené je odkazováno.

Jak je vidět z obr. 4, jsou na úložišti 120 uspořádány první držák 118 vzorku a druhý držák 119 vzorku. První držák 118 vzorkuje relativně otočný okolo třetí rotační osy 129 vůči úložišti 120. Kromě toho je druhý držák 119 vzorku relativně otočně uspořádán vůči úložišti 120. Jinými slovy je první vzorek 114 uspořádaný na prvním držáku 118 vzorku relativně otočný vůči úložišti 120. Také je druhý vzorek 115 uspořádaný na druhém držáku 119 vzorku relativně otočný vůči úložišti 120.

Jak třetí rotační osa 129. tak také čtvrtá rotační osa 130 jsou v zásadě uspořádány paralelně s druhou rotační osou 128. Dále jsou třetí rotační osa 129 a čtvrtá rotační osa 130 vůči druhé rotační ose 128 laterálně vzdáleny. Dále jsou jak třetí rotační osa 129, tak čtvrtá rotační osa 130

-11 CZ 309267 B6 v podstatě orientovány kolmo k první rotační ose 124.

Na obr. 5 je další příklad provedení vynálezu, který je realizován na přístroji 100' s korpuskulámím paprskem. Přístroj 100' má dva tubusy s korpuskulámími paprsky, a to první tubus 101 s korpuskulámím paprskem a dmhý tubus 131 s korpuskulámím paprskem, které jsou uspořádány na komoře 113 vzorku. První tubus 101 s korpuskulámím paprskem je vytvořen jako tubus s elektronovým paprskem a je vzhledem ke komoře 113 vzorku uspořádán vertikálně. První tubus 101 s korpuskulámím paprskem je stejně konstruován jako první tubus 101 s korpuskulámím paprskem podle obr. 2. Proto jsou stejné díly označeny stejnými vztažnými značkami. Navíc je znázorněn kondenzor 132 pro první korpuskulámí paprsek ve formě elektronového paprsku.

Dmhý tubus 131 s korpuskulámím paprskem je vytvořen jako tubus s iontovým paprskem a je uspořádán pod úhlem asi 50° vůči prvnímu tubusu 101 s korpuskulámím paprskem. Dmhý tubus 131 s korpuskulámím paprskem obsahuje zdroj 133 iontového paprsku, pomocí něhož se vytváří ionty, které vytváří dmhý korpuskulámí paprsek ve formě iontového paprsku. Ionty se urychlují pomocí extrakční elektrody 134 na přednastavený potenciál. Dmhý korpuskulámí paprsek se dostává tak pomocí iontové optiky do dmhého tubusu 131 s korpuskulámím paprskem, přičemž iontovou optiku tvoří čočka 135 kondenzom a uspořádání dalších čoček 136, které tvoří dmhou čočku objektivu. Čočky 136 vytváří nakonec iontovou sondu, která je soustředěna na prvním vzorku 114 na prvním držáku 118 vzorku, nebo na druhém vzorku 115 na dmhém držáku 119 vzorku.

Nad čočkami 136 (tedy ve směm zdroje 133 iontového paprsku) jsou uspořádány nastavitelná clona 137. první soustava 138 elektrod a druhá soustava 139 elektrod, přičemž první soustava 138 elektrod a druhá soustava 139 elektrod jsou vytvořeny jako rastrovací elektrody.

Pomocí prvního soustavy 138 elektrod a dmhé soustavy 139 elektrod rastruje dmhý korpuskulámí paprsek po povrchu prvního vzorku 114 nebo dmhého vzorku 115, přičemž první soustava 138 elektrod působí v prvním směm a dmhá soustava 139 elektrod v dmhém směm, který je vůči prvnímu směm protilehlý. Tak se provádí rastrování, např. ve směm x. Rastrování v tomu kolmému směm y se provádí pomocí dalších o 90° otočených elektrod (nenakreslených) na první soustavě 138 elektrod a na dmhé soustavě 139 elektrod.

Na obr. 5 znázorněné vzdálenosti mezi jednotlivými prvky přístroje 101' s korpuskulámím paprskem jsou přehnané v zájmu lepší viditelnosti jednotlivých prvků přístroje 10Γ s korpuskulámím paprskem. V komoře 113 vzorku je opět uspořádán nosič 112 vzorku, který je vytvořen identicky jako nosič 112 vzorku podle obr. 2 až 4.

Obr. 6 znázorňuje uspořádání prvního tubusu 101 s korpuskulámím paprskem a dmhého tubusu 131 s korpuskulámím paprskem podle obr. 5 v dalším schematickém zobrazení ve vztahu k nosiči 112 vzorku. První optická osa 102 a druhá optická osa 140 míří do jednoho koincidenčního bodu 141.

U všech výše jmenovaných příkladů provedení se předpokládá ovládací zařízení 142. které ovládá pohyb nosiče 112 vzorku. Ktomu je první ovládací zařízení 142 spojeno s nosičem 112 vzorku, například mechanicky, elektronicky a/nebo opticky (viz výše).

Dále obsahují výše uvedené příklady provedení první pohybové zařízení, na kterém je uspořádán první držák 118 vzorku. První pohybové zařízení se používá k otočení prvního držáku 118 vzorku okolo třetí rotační osy 129. První pohybové zařízení je například vytvořeno jako mechanické a/nebo elektronické zařízení. Také u další formy provedení se například předpokládá, že první pohybové zařízení obsahuje pohon ozubeným kolem, které pohání první držák 118 vzorku, takže se točí okolo třetí rotační osy 129. První pohybové zařízení je spojeno s ovládacím zařízením 142 k ovládání rotace prvního držáku 118 vzorku okolo třetí rotační osy

-12 CZ 309267 B6

129.

Kromě toho obsahují výše uvedené příklady provedení druhé pohybové zařízení, na kterém je uspořádán druhý držák 119 vzorku. Druhé pohybové zařízení se používá k otáčení druhého držáku 119 vzorku okolo čtvrté rotační osy 130. Také druhé pohybové zařízení je vytvořeno například jako mechanické a/nebo elektronické zařízení. Dále se u další formy provedení například předpokládá, že druhé pohybové zařízení obsahuje pohon ozubeným kolem, které pohání druhý držák 119 vzorku, takže se otáčí okolo čtvrté rotační osy 130. Druhé pohybové zařízení je spojeno s ovládacím zařízením 142 k ovládání rotace druhého držáku 119 vzorku okolo čtvrté rotační osy 130.

Ovládáním prvního pohybového zařízení a druhého pohybového zařízení pomocí ovládacího zařízení 142 může být první vzorek 114 a druhý vzorek 115 dopraven do polohy pro výzkum a/nebo do polohy opracování. V poloze pro výzkum a/nebo poloze pro opracování může být první vzorek 114 nebo druhý vzorek 115 pomocí prvního korpuskulámího paprsku a/nebo druhého korpuskulámího paprsku zkoumán nebo opracován.

Obr. 7A znázorňuje v schematickém bočním pohledu příklad provedení nosiče vzorku 112. Na přijímací plošině 120 jsou pod úhlem 90° uspořádány: první držák 118 vzorku s prvním vzorkem 114 (na obr. 7A nenakresleno), druhý držák 119 vzorku s druhým vzorkem 115 (na obr. 7A nenakresleno), třetí držák vzorku se třetím vzorkem (nenakresleno), a čtvrtý držák vzorku se čtvrtým vzorkem (nenakresleno). Každý z uvedených držáků vzorkuje uspořádán vždy v jednom úchytu 143 ozubeného kola 144 (viz obr. 7B). Tak obsahuje na obr. 7A znázorněný příklad provedení čtyři ozubená kola 144 uspořádaná vzájemně pod 90°. Dále jsou středy úchytů 143 místy, kterými prochází třetí rotační osa 129, čtvrtá rotační osa 130. pátá rotační osa 145 třetího držáku vzorku a šestá rotační osa 146 čtvrtého držáku vzorku (viz obr. 7B). U zde představeného příkladu provedení jsou třetí rotační osa 129. čtvrtá rotační osa 130. pátá rotační osa 145 a šestá rotační osa 146 vzájemně orientovány paralelně s odstupem.

Každé ze čtyř ozubených kol 144 zasahuje do centrálního hnacího ozubeného kola 147, jehož středem probíhá druhá rotační osa 128. Centrální hnací ozubené kolo 147 je spojeno s jednou pohonnou jednotkou ve formě hnacího motoru 148. Hnací motor 148 je konstruován tak, že může pohybovat centrálním ozubeným kolem 147. Tím jsou poháněna i ozubená kola 144, takže se zmíněné držáky vzorku rovněž otáčejí.

Úložiště 120 obsahuje dále první spojovací prvek 149, pomocí něhož může být úložiště 120 na druhém spojovacím prvku 150 přídržného zařízení 151 uspořádáno. Přídržné zařízení je schematicky znázorněno na obr.8. První spojovací prvek 149 i druhý spojovací prvek 150 jsou vytvořeny například ve tvaru „vlaštovčího ocasu“.

Je-li první spojovací prvek 149 spojen s druhým spojovacím prvkem 150. je zástrčka 152 úložiště 120 vzorku (viz obr. 7A) spojena se zásuvkou 153 přídržného zařízení 151 (viz obr. 8), Zástrčkové spojení umožňuje ovládání hnacího motoru 148.

Přídržné zařízení 151 je vytvořeno kruhově a má na obvodu kruhové kontakty 154. které jsou spojeny se třecími kontakty 155 spojenými s ovládacím zařízením 142. Tak je možné pomocí ovládacího zařízení 142 ovládat hnací motor 148.

Druhý spojovací prvek 150 je vytvořen jako rotačně symetrický a jeho středovým bodem prochází druhá rotační osa 128.

U další formy provedení se předpokládá, že hnací motor 148 je vybaven nejméně jedním měřicím zařízením, takže je možné měřit úhel otočení zmíněných držáků vzorků.

U popsaných forem provedení je/jsou první držák 118 vzorku, druhý držák 119 vzorku, třetí

-13 CZ 309267 B6 držák vzorku anebo čtvrtý držák vzorku tak pohybově uspořádány, že při pohybu prvního držáku 118 vzorku, druhého držáku 119 vzorku, třetího držáku vzorku anebo čtvrtého držáku vzorku mohou být pozorovány detaily objektu, které jsou zkoumány na držácích vzorku a/nebo opracovány, aniž by opustily rastrovanou oblast. Ktomu se předpokládá, že při otáčení uvedených držáků vzorku je nejméně jeden pohyb jednoho kinematického řetězce vynechán tak, že zkoumaný a/nebo opracovávaný detail objektu na daném vzorku zůstane v rastrované oblasti a tím i na obraze. Zmíněné držáky vzorku mají proto vlastnost, která je známa jako „počítačově eucentrická“. Po instalaci úložiště 120 nebo nosiče 112 vzorku se pomocí kalibrační metody zjišťují vzdálenosti mezi druhou rotační osou 128 a optickou osou 102 prvního tubusu 101 s korpuskulámím paprskem a uloží se do paměti. Analogicky mohou být také zjišťovány jednotlivě vzdálenosti třetí rotační osy 129. čtvrté rotační osy 130 a dalších rotačních os od optické osy 102 prvního tubusu 101 s korpuskulámím paprskem a uloženy do paměti. Potom může být na jmenované držáky vzorku vždy umístěn kalibrační objekt, který vykazuje význačný detail na vzorku. V návaznosti na to se při malém zvětšení přístroje 100 s korpuskulámím paprskem (tedy při velké rastrované oblasti) při různých známých otočeních okolo dmhé rotační osy 128, zaznamenají a vyhodnotí obrazy otočené okolo třetí rotační osy 129, čtvrté rotační osy 130 a dalších možných rotačních os. Z tohoto vyhodnocení se zjistí, jakou cestu vykonává markanta vzorku při rotaci okolo všech rotačních os. Je-li známo zvětšení, dá se tímto způsobem zjistit vzdálenost mezi každou rotační osou (tedy druhou rotační osou 128, třetí rotační osou 129, čtvrtou rotační osou 130 a dalšími možnými rotačními osami a optickou osou 102 prvního tubusu 101 s korpuskulámím paprskem podle velikosti a směru. Když se nato zhotoví obrázky reálného vzorku, například prvního vzorku 114 nebo dmhého vzorku 115, je možné ze stávajících uložených hodnot vzdáleností mezi platnými jmenovanými rotačními osami, okolo nichž se otáčí a úhlů otočení, o které se vždy otáčelo, zjistit z ovládacího zařízení 142 přístroje 100 s korpuskulámím paprskem, jak velké dráhy musí nosič 112 vzorku podél první osy a dmhé osy vykonat, aby se bod na optické ose 102 prvního tubusu 101 s korpuskulámím paprskem pomocí lineárních pohybů podél první osy a dmhé osy dostal zpět, když se pomocí otáčení okolo dmhé rotační osy 128. třetí rotační osy 129. čtvrté rotační osy 130 a/nebo dalších rotačních os předtím pohyboval. Lineární pohony podél první osy a dmhé osy se potom navedou ovládacím zařízením 142 přístroje 100 s korpuskulámím paprskem tak, aby složený lineární pohyb podél první osy a dmhé osy právě kompenzoval pohyb, který bod na optické ose 102 prvního tubusu 101 s korpuskulámím paprskem vlivem otáčení okolo dmhé rotační osy, třetí rotační osy a čtvrté rotační osy a/nebo každé další rotační osy vykonal.

Také se u jmenovaných příkladů provedení předpokládá, že první držák 118 vzorku, druhý držák 119 vzorku, třetí držák vzorku a/nebo čtvrtý držák vzorku je tak pohybově uspořádán , že při pohybu prvního držáku 118 vzorku nebo dmhého držáku 119 vzorku, nebo třetího držáku vzorku, popřípadě čtvrtého držáku vzorku zůstane místo na prvním vzorku 114 nebo na druhém vzorku 115 nebo třetím vzorku nebo čtvrtém vzorku relativně vůči první optické ose 102 prvního tubusu 101 s korpuskulámím paprskem, nebo vůči dmhé optické ose 140 dmhého tubusu 131 s korpuskulámím paprskem místně neměnné. Alternativně k tomu se předpokládá, že nosič vzorku 112 je tak pohybově uspořádán, že při pohybu nosiče vzorku 112 zůstává předvolené místo na prvním vzorku 114 nebo dmhém vzorku 115, nebo třetím vzorku, nebo čtvrtém vzorku relativně vůči optické ose 102 prvního tubusu 101 s korpuskulámím paprskem, nebo na dmhé optické ose 140 druhého tubusu 131 s korpuskulámím paprskem místně neměnné.

Na obrázcích znázorněné příklady provedení ukazují všechny výhody a účinky, které byly představeny výše.

Claims

PATENTOVÉ NÁROKY

1. Přístroj (100, 100') s korpuskulámím paprskem s

- komorou (113) vzorku,

- prvním tubusem (101) s korpuskulámím paprskem s první optickou osou (102), přičemž první tubus (101) s korpuskulámím paprskem obsahuje první zdroj (103) paprsku pro vytváření prvního korpuskulámího paprsku a první čočku (107) objektivu pro fokusaci prvního korpuskulámího paprsku,

- alespoň jedním detektorem (117) pro detekci interakčních částic, které vznikají při dopadu prvního korpuskulámího paprsku na první, v komoře (113) vzorku umístěný vzorek (114), přičemž

- v komoře (113) vzorkuje uspořádán první držák (118) vzorku uložení prvního vzorku (114),

- první držák (118) vzorkuje uspořádán na nosiči (112) vzorku,

- nosič (112) vzorkuje uspořádán pohyblivě podél alespoň jedné první osy (x) a podél alespoň jedné druhé osy (y), přičemž první osa (x) a dmhá osa (y) jsou navzájem uspořádány pod prvním úhlem, který je různý od 0° a 180°,

- nosič (112) vzorkuje uspořádán otočně okolo alespoň jedné první rotační osy (124) a okolo alespoň jedné dmhé rotační osy (128), přičemž první rotační osa (124) a dmhá rotační osa (128) jsou navzájem uspořádány pod druhým úhlem, který je různý od 0° a 180°, vyznačující se tím, že - první držák (118) vzorkuje uspořádán otočně okolo třetí rotační osy (129) relativně vzhledem k nosiči (112) vzorku, přičemž třetí rotační osa (129) a dmhá rotační osa (128) jsou alespoň částečně navzájem laterálně posunuty a jsou uspořádány vůči sobě paralelně, přičemž

- na přístroji (100, 100') s korpuskulámím paprskem je ovládací zařízení (142), přičemž první držák (118) vzorkuje pomocí ovládacího zařízení (142) otočný okolo třetí rotační osy (129) do polohy zkoumání a/nebo opracovávání.
2. Přístroj (100, 101') s korpuskulámím paprskem podle nároku 1, vyznačující se tím, že třetí rotační osa (129) a dmhá rotační osa (128) jsou uspořádány vzájemně laterálně odděleně.
3. Přístroj (100, 101') s korpuskulámím paprskem podle některého z předchozích nároků, vyznačující se tím, že

- nosič (112) vzorkuje uspořádán pohyblivě podél alespoň jedné třetí osy (osy z),

- první osa (osa x) a třetí osa (osa z) jsou navzájem uspořádány pod třetím úhlem, který je různý od 0° a 180°, přičemž

- dmhá osa (osa y) a třetí osa (osa z) j sou navzáj em uspořádány pod čtvrtým úhlem, který j e různý od 0° a 180°.
4. Přístroj (100, 101') s korpuskulámím paprskem podle některého z předchozích nároků, vyznačující se tím, že

- první držák (118) vzorkuje uspořádán na prvním pohybovém zařízení (144, 147, 148), přičemž - ovládací zařízení (142) je spojeno s prvním pohybovým zařízením (144, 147, 148) pro pohybování prvním držákem (118) vzorku.
5. Přístroj (100, 101') s korpuskulámím paprskem podle některého z předchozích nároků, vyznačující se tím, že

- první (118) držák vzorkuje uspořádán pohyblivě tak, že při pohybu prvního držáku (118) vzorku zůstává první zadané místo na prvním vzorku (114) relativně vůči první optické ose (102) prvního tubusu (101) s korpuskulámím paprskem na jednom místě.
6. Přístroj (100, 101') s korpuskulámím paprskem podle některého z předchozích nároků, vyznačující se tím, že

- alespoň jeden dmhý držák (119) vzorkuje uspořádán na nosiči (112) vzorku k uložení druhého vzorku (115),

- dmhý držák (119) vzorkuje uspořádán relativně otočně vůči nosiči (112) vzorku okolo čtvrté rotační osy (130), přičemž čtvrtá rotační osa (130), třetí rotační osa (129) a dmhá rotační osa (128) jsou alespoň částečně vzájemně uspořádány jako laterálně přesazené, přičemž

- 15 CZ 309267 B6

- druhý držák (119) vzorkuje uspořádán na druhém pohybovém zařízení (144, 147, 148), přičemž ovládací zařízení (142) je spojeno s druhým pohybovým zařízením (144, 147, 148) pro pohybování druhým držákem (119) vzorku.
7. Přístroj (100, 101') s korpuskulámím paprskem podle nároku 6, vyznačující se tím, že - čtvrtá rotační osa (130), třetí rotační osa (129) a druhá rotační osa (128) jsou uspořádány navzájem laterálně odděleně a/nebo

- čtvrtá rotační osa (130), třetí rotační osa (129) a druhá rotační osa (128) jsou uspořádány navzájem paralelně.
8. Přístroj (100, 101') s korpuskulámím paprskem podle nároku 6 nebo 7, přičemž nárok 6 závisí na nároku 4, vyznačující se tím, že

- ovládací zařízení (142) je spojeno jak s prvním pohybovým zařízením (144, 147, 148), tak i s druhým pohybovým zařízením (144, 147, 148) a/nebo

- první pohybové zařízení (144, 147, 148) a druhé pohybové zařízení (144, 147, 148) je tvořeno jediným pohybovým zařízením.
9. Přístroj (100, 101') s korpuskulámím paprskem podle některého z předchozích nároků, vyznačující se tím, že první tubus s korpuskulámím paprskem (101) je vytvořen jako tubus s elektronovým paprskem nebo jako tubus s iontovým paprskem.
10. Přístroj (100, 101') s korpuskulámím paprskem podle některého z předchozích nároků, vyznačující se tím, že

- přístroj (100 ) s korpuskulámím paprskem obsahuje druhý tubus (131) s korpuskulámím paprskem s dmhou optickou osou (140) a

- druhý tubus (131) s korpuskulámím paprskem obsahuje dmhý zdroj (133) paprsku k vytváření dmhého korpuskulámího paprsku a dmhou čočku (136) objektivu k fokusaci druhého korpuskulámího paprsku.
11. Přístroj (100, 101') s korpuskulámím paprskem podle nároku 10, vyznačující se tím, že - první držák (118) vzorkuje uspořádán pohyblivě tak, že při pohybu prvního držáku (118) vzorku zůstává dmhé zadané místo na prvním vzorku (114) relativně vůči druhé optické ose (140) dmhého tubusu (131) s korpuskulámím paprskem na jednom místě.
12. Přístroj (100, 101') s korpuskulámím paprskem podle některého z nároků 6 až 11, vyznačující se tím, že

- dmhý držák (119) vzorkuje uspořádán pohyblivě tak, že při pohybu dmhého držáku (119) vzorku zůstává třetí zadané místo na dmhém vzorku (115) relativně vůči první optické ose (102) prvního tubusu (101) s korpuskulámím paprskem najednom místě.
13. Přístroj (100, 101') s korpuskulámím paprskem podle některého z nároků 10 až 12, vyznačující se tím, že

- dmhý držák vzorku (119) je tak pohyblivě uspořádán, že při pohybu dmhého držáku (119) vzorku zůstává čtvrté zadané místo na dmhém vzorku (115) relativně vůči dmhé optické ose (140) dmhého tubusu (131) s korpuskulámím paprskem najednom místě.
14. Přístroj (100, 101') s korpuskulámím paprskem podle některého z nároků 10 až

13, vyznačující se tím, že zahrnuje jeden z následujících znaků:

- první tubus (101) s korpuskulámím paprskem je vytvořen jako tubus s elektronovým paprskem a dmhý tubus (131) s korpuskulámím paprskem j e vytvořen j ako tubus s iontovým paprskem, - první tubus (101) s korpuskulámím paprskem je vytvořen jako tubus s iontovým paprskem a dmhý tubus (131) s korpuskulámím paprskem j e vytvořen j ako tubus s elektronovým paprskem, - první tubus (101) s korpuskulámím paprskem je vytvořen jako tubus s iontovým paprskem a dmhý tubus (131) s korpuskulámím paprskem j e vytvořen j ako tubus s iontovým paprskem, - první tubus (101) s korpuskulámím paprskem je vytvořen jako tubus s elektronovým paprskem a dmhý tubus (131) s korpuskulámím paprskem j e vytvořen j ako tubus s elektronovým paprskem.

- 16CZ 309267 B6
15. Zařízení pro uložení vzorku pro přístroj (100, 101') s korpuskulárním paprskem s - alespoň jedním prvním držákem (118) vzorku k uložení prvního vzorku (114), -jedním nosičem (112) vzorku, na kterém je uspořádán první držák (118) vzorku, přičemž - nosič (112) vzorkuje uspořádán pohyblivě alespoň podél jedné první osy (x) a podél alespoň jedné druhé osy (y), přičemž první osa (osa x) a druhá osa (osa y) jsou vzájemně uspořádány pod prvním úhlem, který je různý od 0° a 180°, - nosič (112) vzorkuje uspořádán otočně okolo alespoň jedné první rotační osy (124) a alespoň jedné druhé rotační osy (128), přičemž první rotační osa (124) a druhá rotační osa (128) jsou vzájemně uspořádány pod druhým úhlem, který je různý od 0° a 180°, vyznačující se tím, že

- první držák (118) vzorkuje uspořádán otočně okolo třetí rotační osy (129) relativně vůči nosiči (112) vzorku, přičemž třetí rotační osa (129) a druhá rotační osa (128) jsou uspořádány alespoň částečně jako vzájemně laterálně přesazené a jsou uspořádány vůči sobě paralelně, přičemž - zařízení pro uložení vzorku obsahuje ovládací zařízení (142), přičemž první držák (118) vzorku je pomocí ovládacího zařízení (142) otočný okolo třetí rotační osy (129) do polohy zkoumání anebo polohy opracování.
16. Zařízení pro uložení vzorku podle nároku 15, vyznačující se tím, že

- třetí rotační osa (129) a druhá rotační osa (128) jsou vzájemně laterálně oddělené a/nebo - nosič (112) vzorkuje uspořádán pohyblivě alespoň podél třetí osy (z), přičemž první osa (x) a třetí osa (z) jsou navzájem uspořádány pod třetím úhlem, který je různý od 0° a 180° a přičemž druhá osa (y) a třetí osa (z) jsou navzájem uspořádány pod úhlem různým od 0° a 180°.
17. Zařízení pro uložení vzorku podle nároku 15 nebo 16, vyznačující se tím, že první držák (118) vzorkuje uspořádán na prvním pohybovém zařízení (144, 147, 148), přičemž ovládací zařízení (142) je spojeno s prvním pohybovým zařízením (144, 147, 148) pro pohybování prvním držákem (118) vzorku.
18. Zařízení pro uložení vzorku podle některého nároku 15 až 17, vyznačující se tím, že - alespoň druhý držák (119) vzorku je uspořádán k uložení druhého vzorku (115) na nosiči (112) vzorku,

- druhý držák (119) vzorkuje uspořádán otočně okolo čtvrté rotační osy (130) relativně vzhledem k nosiči (112) vzorku, přičemž čtvrtá rotační osa (130), třetí rotační osa (129) a druhá rotační osa (128) jsou uspořádány alespoň částečně jako vzájemně laterálně přesazené, - druhý držák (119) vzorkuje uspořádán na druhém pohybovém zařízení (144, 147, 148), přičemž ovládací zařízení je spojeno s druhým pohybovým zařízením pro pohybování druhým držákem (119) vzorku.
19. Zařízení pro uložení vzorku podle nároku 18, vyznačující se tím, že

- čtvrtá rotační osa (130), třetí rotační osa (129) a druhá rotační osa (128) jsou vzájemně uspořádány jako laterálně oddělené a/nebo

- čtvrtá rotační osa (130), třetí rotační osa (129) a druhá rotační osa (128) jsou vůči sobě uspořádány paralelně.
20. Zařízení pro uložení vzorku podle nároku 18 nebo 19, vyznačující se tím, že zahrnuje jeden z následujících znaků:

- ovládací zařízení (142) je spojeno jak s prvním pohybovým zařízením (144, 147, 148), tak také s druhým pohybovým zařízením (144, 147, 148), nebo

- první pohybové zařízení (144, 147, 148) a druhé pohybové zařízení (144, 147, 148) je tvořeno jediným pohybovým zařízením.