CZ302520B6 - Interferometrický systém s kompenzací zmen indexu lomu prostredí - Google Patents
Interferometrický systém s kompenzací zmen indexu lomu prostredí Download PDFInfo
- Publication number
- CZ302520B6 CZ302520B6 CZ20080280A CZ2008280A CZ302520B6 CZ 302520 B6 CZ302520 B6 CZ 302520B6 CZ 20080280 A CZ20080280 A CZ 20080280A CZ 2008280 A CZ2008280 A CZ 2008280A CZ 302520 B6 CZ302520 B6 CZ 302520B6
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- interferometric system
- interferometer
- interferometers
- refractive index
- compensation
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02017—Interferometers characterised by the beam path configuration with multiple interactions between the target object and light beams, e.g. beam reflections occurring from different locations
- G01B9/02021—Interferometers characterised by the beam path configuration with multiple interactions between the target object and light beams, e.g. beam reflections occurring from different locations contacting different faces of object, e.g. opposite faces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02001—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties
- G01B9/02002—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using two or more frequencies
- G01B9/02004—Interferometers characterised by controlling or generating intrinsic radiation properties using two or more frequencies using frequency scans
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02027—Two or more interferometric channels or interferometers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/45—Multiple detectors for detecting interferometer signals
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
Interferometrický systém s kompenzací zmen indexu lomu prostredí je tvoren svetelným zdrojem (2) a dvema interferometry (1a, 1b) s detektory (6). Mezi obema interferometry (1a, 1b), jejichž vzdálenost je fixní, je oboustranný pohyblivý odražec (5) a pred prvním interferometrem (1a) je delic (7) svazku pro prevod cásti svazku do druhého interferometru (1b). Detektory (6) prvního i druhého interferometru (1a, 1b) jsou napojeny na regulátor (4), který je spojen se svetelným zdrojem (2).
Description
Oblast techniky
Řešení je určeno k měření vzdálenosti v prostředí atmosféry s velkou přesností. Je vylepšením laserové interferometrie geometrických veličin.
io Dosavadní stav techniky
Metrologie délek je odvozena od vysoce přesného a stabilního etalonu optické frekvence; vlastní odměřování vzdáleností je čítáním elementárních délkových úseků daných vlnovou délkou zdroje světelného záření. Vlnová délka zdroje - laseru - je odvozena od jeho frekvence prostřednictvím is rychlosti šíření světla. Tuto rychlost lze považovat za známou a velmi přesnou ve vakuu, v jakémkoli jiném prostředí je ovlivněna hodnotou indexu lomu. V plynném a kapalném prostředí je navíc ovlivněna prouděním a gradienty hlavních fyzikálních parametrů. Nejobvyklejší prostředí vzduch prostřednictvím indexu lomu a jeho fluktuací ovlivňuje přesnost měření zcela zásadně, a to mnohem významněji, než na jaké úrovni se pohybují limity dané nejistotou základních etalonu nů.
Relativní nejistota interferometrického měření je primárně dána stabilitou (přesností) laserového zdroje. V případě měření na bázi jednoduchého čítání interferenčních maxim (proužků) se tato malá nejistota uplatní jen při měření velkých vzdáleností, kdy je čítači kvantízační chyba zaned25 batelná. Rozlišení v rozsahu malých vzdáleností je problémem vlnové délky světelného zdroje. Techniky pokročilého digitálního zpracování signálu umožňují rozlišit a interpolovat velmi malé zlomky interferenčního proužku. Zde je limit technický, daný šumem laseru, dynamikou analogově-digitálního převodu a šířky pásma. Moderní systémy dosahují rozlišení až na úrovni desítek pikometrů, hodnot nedosažitelných žádnou jinou optickou metodou.
Hodnota indexu lomu prostředí (vzduchu) je tedy vždy tím největším omezením. Řešení tohoto problému dalo vzniknout celému oboru metrologie - refraktometrii. V případě komerčních interferometrických systémů je tradičním způsobem stanovení vlivu indexu lomu vzduchu tzv. Edlénova formule. Jedná se o empirický vztah určující hodnotu indexu lomu ze základních fyzikál35 nich parametrů atmosféry - z teploty, tlaku, vlhkosti a případně i obsahu oxidu uhličitého. Limity určení indexu lomu prostřednictvím Edlénovy formule se pohybují na úrovni IO”6, v laboratorních podmínkách až k 10”7. Omezení jsou dána především prouděním vzduchu a teplotními gradienty současně s praktickou nemožností měřit vlastnosti atmosféry přesně v ose měřicího svazku.
Potýkání se s problémem indexu lomu vzduchu je již léta metrologickým evergreenem. V laboratořích metrologie geometrických veličin je interferometrícký refraktometr nepostradatelnou pomůckou. Umožňuje měřit hodnotu indexu lomu přímo a je nezbytný pro kalibrace celkové přesnosti průmyslových interferometrických systémů. Základní konfigurací interferometrického refraktometru je diferenční interferometr velkým rozlišením a s měřením rozdílu mezi vzdušnou a vakuovou dráhou uvnitř a podél evakuovatelné kyvety známé délky. Postupně se objevila rada konstrukcí refraktometrů, přičemž cílem bylo nalézt řešení kompaktní a přesné, kdy by hodnota indexu lomu byla k dispozici nepřetržitě, nebo alespoň častěji, než umožňuje periodické čerpání kyvety. Navrhované systémy pracovaly s posuvnou trojúhelníkovou kyvetou, délkově proměn50 nou kyvetou, aj.
Přestože úroveň nejistoty měření dosažitelná refraktometrem dosahuje až IO-8, problém fluktuaci indexu lomu vzduchu způsobený prouděním a teplotními gradienty je stále přítomen. Refraktometr může opět být pouze v blízkosti měřené dráhy. Použití refraktometrické kompenzace indexu
- I CZ 302520 Β6 lomu vzduchuje tedy odkázáno opět na laboratorní podmínky, kde lze zabezpečit teplotní stabilizaci a omezené proudění.
Snaha spojit interferometr pro měření vzdáleností a refraktometr do jednoho měřicího systému, který by vyhodnocoval hodnotu indexu lomu a s ní kompenzoval vlastní měření délky není nová. Objevily se sestavy s dvěma oddělenými interferometry měřícími index lomu a délku. Kompenzace vlivu indexu lomu je takto možná, ale není tím řešen problém určení hodnoty indexu lomu v ose měřicího svazku. Pozoruhodný přístup představuje využití vlivu disperze, kde měření na dvou různých vlnových délkách generovaných Nd:YAG laserem se zdvojnásobením frekvence umožňuje stanovit hodnotu indexu lomu na základě rozdílu hodnot odměřené délky na těchto dvou vlnových délkách. Systém měření na dvou různých vlnových délkách je schopen pouze zlepšit šumové podmínky způsobené turbulencemi vzduchu v dráze měření bez přímé kompenzace. Zlepšení v potlačení vlivu fluktuací indexu lomu vzduchu je také možné dvoufrekvenčním laserem s generací druhé harmonické a s řízením fáze v heterodynním detekčním systému. Jiná metoda navrhuje vazbu vlnové délky laseru na mechanickou délku rámu, nebo základové desky. Jedná se o sestavu dvou interferometrů, z nichž jeden měří pevnou a neměnnou délku a slouží jako reference pro vlnovou délku laseru. Princip laserové stabilizace a délkové metrologie je zde obrácený, etalonem zde není optická frekvence laserového zdroje kteráje prostřednictvím rychlosti šíření světla a známé hodnotě indexu lomu převedena ve vlnovou délku, ale vlnová délka je fixována na mechanickou, čímž jsou fluktuace indexu lomu vzduchu potlačeny. To ovšem vyžaduje široce a plynule laditelný laser. Není také možné takto vyřešit problém mimoběžných os měření kompenzačního a měřicího interferometru. Tento přehled nepokrývá všechna prezentovaná řešení, ale představuje nástin různých koncepcí a přístupů.
Podstata vynálezu
Výše uvedené nedostatky známých řešení odstraňuje zařízení podle tohoto vynálezu, jehož podstatou je použití dvou interferometrů odměřujících tutéž vzdálenost. Jejich funkce není odlišena na měřicí a kompenzační a oba interferometry odměřují vzdálenost protiběžně v téže ose. Sloučení funkcí interferometrů pro měření i kompenzaci umožňuje vyřešit zásadní problém - kompenzaci vlivu fluktuací indexu lomu v ose vlastního měření vzdálenosti. Jádrem řešení je uspořádání se dvěma interferometry odměřující tutéž vzdálenost diferenčně ze dvou směrů a se světelným zdrojem (laserem), kde vlnová délka jeho světlaje stabilizována na součet hodnot z výstupů obou interferometrů. Tento součet je konstantní při pohybu společného oboustranného odražeče obou interferometrů za předpokladu konstantní hodnoty indexu lomu vzduchu. V případě fluktuací indexu lomu se s nimi mění. Vazba vlnové délky laserového zdroje na celkovou délku rozsahu měření eliminuje vliv fluktuací indexu lomu a zajistí konstantní vlnovou délku v ose měření.
Interferometrický systém s kompenzací změn indexu lomu prostředí sestává ze zdroje záření a dvou protíběžných interferometrů s fixní vzdáleností, jejichž děliče svazku jsou nastaveny tak, aby osy měřicích ramen obou interferonů byly identické. Vzdálenost obou děličů tak vymezuje rozsah měření, v němž se může pohybovat společný oboustranný odražeč. Před prvním interferometrem je dělič svazku pro převod části svazku do druhého interferometru. Detektory prvního i druhého interferometru jsou napojeny na regulátor, který je spojen se zdrojem záření. Výstupní údaje obou interferometrů jsou zpracovány a vyhodnocen součet obou hodnot. Tento součet slouží jako veličina pro stabilizaci optického kmitočtu laseru.
Zmíněný odražeč může být vytvořen jako oboustranné rovinné zrcadlo nebojím mohou být dva koutové odražeče otočené svými vrcholy k sobě. Uspořádání interferometru s koutovými odrážecí je výhodné především proto, že není náchylné na úhlové odchylky odražeče při posuvu podél odměřované trasy. Jako dělič svazku lze použít polopropustné zrcadlo nejlépe s dělicím poměrem 1:1 a bez závislosti na polarizaci procházejícího světla nebo dělicí hranol. Tato varianta předpokládá celkové uspořádání ve volné optice, zrcadla jsou zrcadla s velkou odrazivostí. Další varianta představuje systém, kdy rozvod světelného záření do obou interferometrů je realizován pro- 7 CZ 302520 B6 střednictvím optovlákenných komponentů a dělič svazku je tím pádem tvořen optovlákenným děličem. Takovýto optovláknový dělič je potom s druhým interferometrem spojen optickým vláknem. Další varianta představuje systém, stejný, jako v předchozím případě, kdy celý rozvod světla je plně optovláknový počínaje laserem vyvázaným do vlákna, na vlákně umístěným opto5 vláknovým děličem a na něj navazujícími vlákny přivádějícími světelné záření do obou interferometrů, zakončenými vláknovými kolimátory. Další varianta představuje systém, kdy je kombinována volná a optovláknová optika, rozvod světelného záření je částečný volný z laseru po dělič svazku a vyvázání do vláken následuje až po děliči, dále je rozvod řešen, jako v předchozích příkladech s kolimátory na koncích vláken. Další varianta představuje systém, který může i o být kombinován se všemi předchozími principy, přičemž základní rozlišení interferometrů je zvýšeno víceprůchodovým uspořádáním.
Přehled obrázku na výkrese
Základní varianta navrhovaného řešení je znázorněna na obr. 1.
Příklady provedení vynálezu
Interferometr la, lb pro měření vzdáleností je Michelsonův interferometr a v sestavě jsou použity dva a jsou uspořádány protisměrně. Dělič 7 svazku a referenční ramena interferometrů la, lb jsou umístěny na základové desce (rámu) z materiálu s co nejmenší teplotní roztažností. Pohyblivý oboustranný odražeč 5 je společný oběma interferometrům la, lb. Oba interferometry la, lb jsou napájeny zjednoho světelného zdroje 2, kterým je plynule přeladitelný laser s rozsahem přeladění tak velkým, aby pokryl změny vlnové délky odpovídající změnám indexu lomu vzduchu v rozmezí předpokládaných pracovních podmínek. Optický svazek je rozdělen děličem 2 a jeho část je pomocí zrcadel 3 převedena do druhého interferometru [6. Výstupy z detektorů 6 interferometrického signálu udávající odměřenou vzdálenost jsou nepřetržitě během měření (pohybu) i v době klidu sčítány a v regulátoru 4 je optická frekvence laseru řízena tak, aby hodnota tohoto součtu byla stále konstantní. Tím je zajištěno nepřetržité řízení vlnové délky v celé měřené ose a v ose měřicího svazku s ohledem na mechanickou délkou sestavy a vliv změn indexu lomu prostředí je trvale regulátorem eliminován.
Průmyslová využitelnost
Využití nalezne systém všude, kde velmi záleží na přesnosti interferometrického inkrementálního měření vzdálenosti a kde není možno umístit měřicí sestavy ve vakuu.
Claims (9)
- PATENTOVÉ NÁROKY1. interferometrický systém s kompenzací změn indexu lomu prostředí sestávající ze světelného zdroje a dvou interferometrů sdetektory, vyznačující se tím, že mezi oběma interferometry (la, lb), jejichž vzdálenost je fixní, je oboustranný pohyblivý odražeč (5) a před50 prvním interferometrem (la) je dělič (7) svazku pro převod části svazku do druhého interferometru (lb), přičemž detektory (6) prvního i druhého interferometru (la, lb) jsou napojeny na regulátor (4), který je spojen se zdrojem (2) záření.
- 2. Interferometrický systém podle nároku 1, vyznačující se tím, že oboustranný55 pohyblivý odražeč (5) je oboustranné zrcadlo.-3CZ 302520 B6
- 3. Interferometrický systém podle nároku 1, vyznačující se tím, že oboustranný pohyblivý odražeč (5) je koutový odražeč.
- 4. Interferometrický systém podle nároku 2 nebo 3, vyznačující svazkuje polopropustné zrcadlo.se tím, že dělič (7)
- 5. Interferometrický systém podle nároku 2 nebo 3, vyznačující se svazkuje dělicí hranol.
- 6. Interferometrický systém podle nároku 2 nebo 3, vyznačující svazkuje optovláknový dělič.tím, že dělič (7) se tím, že dělič (7)
- 7. Interferometrický systém podle nároku 6, vyznačující se tím, že optovláknový dělič je s druhým interferometrem (1 b) spojen optickým vláknem.
- 8. Interferometrický systém podle nároku 4 nebo 5, vyznačující se tím, že na dělič (7) svazku navazuje soustava zrcadel (3).
- 9. Interferometrický systém podle nároku 4 nebo 5, vyznačující se tím, že na dělič (7) svazku navazuje vláknový kolimátor spojený s druhým interferometrem (lb) optickým vláknem.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CZ20080280A CZ302520B6 (cs) | 2008-05-06 | 2008-05-06 | Interferometrický systém s kompenzací zmen indexu lomu prostredí |
EP09737327A EP2286176A2 (en) | 2008-05-06 | 2009-05-04 | The interferometric system with compensation of the refractive index fluctuation of the ambiance |
PCT/CZ2009/000064 WO2009135447A2 (en) | 2008-05-06 | 2009-05-04 | The interferometric system with compensation of the refractive index fluctuation of the ambiance |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CZ20080280A CZ302520B6 (cs) | 2008-05-06 | 2008-05-06 | Interferometrický systém s kompenzací zmen indexu lomu prostredí |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CZ2008280A3 CZ2008280A3 (cs) | 2009-11-18 |
CZ302520B6 true CZ302520B6 (cs) | 2011-06-29 |
Family
ID=41165697
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CZ20080280A CZ302520B6 (cs) | 2008-05-06 | 2008-05-06 | Interferometrický systém s kompenzací zmen indexu lomu prostredí |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2286176A2 (cs) |
CZ (1) | CZ302520B6 (cs) |
WO (1) | WO2009135447A2 (cs) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CZ306015B6 (cs) * | 2014-10-20 | 2016-06-22 | Vysoké Učení Technické V Brně | Interferometrický systém a způsob měření prostorového rozložení indexu lomu |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA2989040C (en) * | 2015-09-08 | 2024-01-30 | Institut National De La Recherche Scientifique | System and method for phase-readout and active stabilization of optical interferometers |
DE102017100991B3 (de) * | 2017-01-19 | 2017-11-30 | Carl Mahr Holding Gmbh | Messvorrichtung und Verfahren zur Erfassung wenigstens einer Längenmessgröße |
DE102017100992A1 (de) | 2017-01-19 | 2018-07-19 | Carl Mahr Holding Gmbh | Messvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Messvorrichtung |
GB2623738A (en) * | 2022-06-28 | 2024-05-01 | Edinburgh Instr | Optical system and method |
WO2024003545A1 (en) * | 2022-06-28 | 2024-01-04 | Edinburgh Instruments Limited | Optical system and method |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4183669A (en) * | 1977-09-06 | 1980-01-15 | Laser Precision Corporartion | Dual beam Fourier spectrometer |
DE3632978A1 (de) * | 1986-09-29 | 1988-03-31 | Siemens Ag | Interferometer zur fernmessung von laengen |
DE3930273A1 (de) * | 1989-09-11 | 1991-03-14 | Helios Messtechnik | Messinterferometer, das mit dem licht eines lasers versorgt wird, welcher mit laserdioden angeregt ist |
JPH03285102A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-16 | Yokogawa Electric Corp | Fmヘテロダイン法を用いたアブソリュート測長方法およびアブソリュート測長器 |
WO2001014837A1 (de) * | 1999-08-19 | 2001-03-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Michelson-interferometer mit kalibrationsvorrichtung |
JP2003172656A (ja) * | 2001-12-06 | 2003-06-20 | Shibasoku:Kk | 干渉計 |
US20060285117A1 (en) * | 2005-06-17 | 2006-12-21 | Jds Uniphase Corporation | Apparatus and method for characterizing pulsed optical signals |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD120082A1 (cs) | 1975-06-20 | 1976-05-20 | ||
DE3124357C2 (de) | 1981-06-20 | 1983-07-07 | Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart | Längenmeßeinrichtung |
DE3503007A1 (de) | 1985-01-30 | 1986-07-31 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Verfahren zum messen von geometrischen groessen und einrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
DE4100773C2 (de) | 1991-01-12 | 1999-09-30 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Interferometrische Längenmeßeinrichtung |
-
2008
- 2008-05-06 CZ CZ20080280A patent/CZ302520B6/cs not_active IP Right Cessation
-
2009
- 2009-05-04 EP EP09737327A patent/EP2286176A2/en not_active Withdrawn
- 2009-05-04 WO PCT/CZ2009/000064 patent/WO2009135447A2/en active Application Filing
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4183669A (en) * | 1977-09-06 | 1980-01-15 | Laser Precision Corporartion | Dual beam Fourier spectrometer |
DE3632978A1 (de) * | 1986-09-29 | 1988-03-31 | Siemens Ag | Interferometer zur fernmessung von laengen |
DE3930273A1 (de) * | 1989-09-11 | 1991-03-14 | Helios Messtechnik | Messinterferometer, das mit dem licht eines lasers versorgt wird, welcher mit laserdioden angeregt ist |
JPH03285102A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-16 | Yokogawa Electric Corp | Fmヘテロダイン法を用いたアブソリュート測長方法およびアブソリュート測長器 |
WO2001014837A1 (de) * | 1999-08-19 | 2001-03-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Michelson-interferometer mit kalibrationsvorrichtung |
JP2003172656A (ja) * | 2001-12-06 | 2003-06-20 | Shibasoku:Kk | 干渉計 |
US20060285117A1 (en) * | 2005-06-17 | 2006-12-21 | Jds Uniphase Corporation | Apparatus and method for characterizing pulsed optical signals |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CZ306015B6 (cs) * | 2014-10-20 | 2016-06-22 | Vysoké Učení Technické V Brně | Interferometrický systém a způsob měření prostorového rozložení indexu lomu |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009135447A3 (en) | 2010-01-14 |
CZ2008280A3 (cs) | 2009-11-18 |
WO2009135447A2 (en) | 2009-11-12 |
EP2286176A2 (en) | 2011-02-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5541730A (en) | Interferometric measuring apparatus for making absolute measurements of distance or refractive index | |
CZ302520B6 (cs) | Interferometrický systém s kompenzací zmen indexu lomu prostredí | |
US5712705A (en) | Arrangement for analysis of substances at the surface of an optical sensor | |
CN102033053B (zh) | 基于激光合成波长干涉的空气折射率测量方法及装置 | |
CN104215176B (zh) | 高精度光学间隔测量装置和测量方法 | |
JPH051414B2 (cs) | ||
CN106940220B (zh) | 一种简易低成本的激光波长实时测量装置 | |
CN107144537B (zh) | 一种可见光傅里叶变换吸收光谱测量方法及系统 | |
RU155509U1 (ru) | Лазерно-интерференционный гидрофон с системой термостабилизации | |
CN102221343A (zh) | 基于可调分光比光纤全谱反射镜的准分布白光干涉应变传感系统 | |
CN203259473U (zh) | 一种折射率测量装置 | |
St‐Arnaud et al. | An accurate method for refractive index measurements of liquids using two Michelson laser interferometers | |
CN86107252A (zh) | 空气折射率测量装置 | |
RU81323U1 (ru) | Совмещенный волоконно-оптический датчик давления и температуры | |
Chen et al. | Pitch calibration by reflective laser diffraction | |
US3194109A (en) | Interferometric device for determining deviations from planar motion | |
瀬田勝男 et al. | Establishment of a High Accuracy Baseline for EDM Calibration in the NRLM Tunnel. | |
Smythe | Faster & More Accurate Measurement of Surface Radius | |
CN103499287B (zh) | 基于双标准光轴气浴的线位移激光干涉仪校准方法与装置 | |
Kruger et al. | Fizeau Interferometer to Measure Refractive Index of Air With Permanent Vacuum Prism Etalon | |
JP2004286575A (ja) | 光学材料の群屈折率精密計測方法及び装置 | |
Weichert et al. | A straightness measuring interferometer characterised with different wedge prisms | |
CN117589717A (zh) | 一种光学材料折射率测量方法 | |
NL1014807C2 (nl) | Heterodyne laser interferometer met fiber. | |
SU1679301A1 (ru) | Устройство дл измерени показател преломлени прозрачных сред |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | Patent lapsed due to non-payment of fee |
Effective date: 20180506 |