CZ2001216A3 - Zařízení a způsob pro vytváření zlepšeného laserového paprsku - Google Patents

Zařízení a způsob pro vytváření zlepšeného laserového paprsku Download PDF

Info

Publication number
CZ2001216A3
CZ2001216A3 CZ2001216A CZ2001216A CZ2001216A3 CZ 2001216 A3 CZ2001216 A3 CZ 2001216A3 CZ 2001216 A CZ2001216 A CZ 2001216A CZ 2001216 A CZ2001216 A CZ 2001216A CZ 2001216 A3 CZ2001216 A3 CZ 2001216A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
laser beam
optical element
width
central region
cylindrical
Prior art date
Application number
CZ2001216A
Other languages
English (en)
Inventor
John A. Hopkins
Frederick A. Schwartz
Maryhelen Mccay
Thurman Dwayne Mccay
Narendra B. Dahotre
John Brice Bible
Original Assignee
The University Of Tennessee Research Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by The University Of Tennessee Research Corporation filed Critical The University Of Tennessee Research Corporation
Publication of CZ2001216A3 publication Critical patent/CZ2001216A3/cs

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/101Lasers provided with means to change the location from which, or the direction in which, laser radiation is emitted
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0938Using specific optical elements
    • G02B27/095Refractive optical elements
    • G02B27/0955Lenses
    • G02B27/0966Cylindrical lenses
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/062Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
    • B23K26/0626Energy control of the laser beam
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0648Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/0665Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by beam condensation on the workpiece, e.g. for focusing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/352Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment
    • B23K26/354Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment by melting
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0911Anamorphotic systems

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Lenses (AREA)

Description

Zařízeni a způsob pro vytvářeni zlepšeného laserového paprsku
Oblast techniky
Vynález se týká zlepšeného laserového paprsku pro zpracování povrchu materiálu a zařízení pro vytváření takového laserového paprsku. Zlepšený laserový paprsek podle vynálezu má takovou distribuci výkonu, že intenzita v okrajových oblastech paprsku je větší než ve středové oblasti. Vynález zahrnuje zařízení, které tvoří optické prvky 10 sestavené tak, aby zaostřovaly a/nebo tvarovaly laserový paprsek do nového tvaru vhodného pro zpracování povrchu materiálu. Laserový paprsek a zařízení podle vynálezu jsou vhodné pro způsoby laserových povrchových úprav (Laser Induced Surface Improvements) , které budou dále označovány 15 jen zkratkou LISÍ.
Dosavadní stav techniky
Laserové paprsky se používají pro ošetření a/nebo zpracování například kovových dílů. Dosud známá zařízení, v 20 nichž se využívá laserových paprsků ke zpracování materiálů, se skládají ze systému generování paprsku a f pohybového systému pro pohyb dílu vzhledem k paprsku. Zpracovací účinek, který má laserový paprsek na díl, je funkcí mnoha proměnných, mezi něž patří i distribuce výkonu a tvar paprsku. Obvykle se 25 vyžaduje rovnoměrné zpracování povrchu dílu.
Jedna skupina dosud známých zařízení má Gaussovu nebo normální distribuci výkonu a povrchy zpracované takovými zařízeními tudíž vykazují značné nerovnoměrnosti. Podrobnosti 30 lze nalézt například v článku Jones a kol.: Laser-beam Analysis Pinpoints Critical Parameters (Stanovení kritických parametrů analýzou laserového paprsku), Laser Focus World, leden 1993. Další druh známých laserových paprsků má v příčném průřezu paprskem vyrovnanou nebo stejnoměrnou
distribuci výkonu. Takový paprsek je popsán například v U.S. patentu 5,124,993. Vnější hranice oblasti ozařované laserovým paprskem se stejnoměrnou distribucí výkonu však stejně pohlcují méně energie, protože sousedí s chladnějšími, 5 neozařovanými oblastmi, do kterých se hodně tepla odvádí.
Nestejnoměrnost zpracování vede k vadám a »
nepravidelnostem na povrchu zpracovávaného dílu a nestejnoměrné hloubce laserovým paprskem ovlivněného 10 materiálu pod povrchem dílu. Dosavadní laserové paprsky mají převážně kruhový průřez. Výkonová hustota kruhových paprsků je největší uprostřed, takže maximální pohlcování energie zpracovávaným materiálem lze očekávat ve středu paprsku. Typická distribuce výkonu dosud používaných paprsků je na 15 Obr. 1A.
V LISÍ procesech, v nichž je bod A ozařován dle obr. 1, platí, že množství pohlcené energie v bodě A je úměrné součinu výkonu v bodě A a doby ozařování bodu A, t j .
EDA« PA x T. Pokud je distribuce výkonu prostorově nestejnoměrná, je příslušně nestejnoměrná i distribuce pohlcené energie.
Dalším nedostatkem normální distribuce výkonu dosud známých laserových paprsků je pokles výkonové hustoty a odpovídajícího pohlcování energie s rostoucí vzdáleností od středu paprsku. Díly zpracované dosud známými paprsky proto vykazují nadměrné zpracování v oblastech ozářených středem paprsku a jsou zpracovány nedostatečně v oblastech, kam paprsek zasahoval jen svými okraji. Hloubka zpracování je úměrná distribuci výkonu. Zpracovaná oblast se nazývá natavená oblast (melt region). Typický tvar natavené oblasti pro dosavadní paprsky s Gaussovou distribucí je ukázán na obr. 1B. Průběh teplot v jednotlivých bodech A, B a • ·
C natavené oblasti dle obr.
distribuci výkonu dle obr. 1A je • · · · · · · ·· ·· US-q*77f)V
IB zpracované na obr. 1C.
paprskem s
V současných způsobech paprsky překrývají. Zmenšuje zpracování zejména v okrajových pro použití LISÍ technologií bývá obvykle tvrdosti a odolnosti proti korozi. Tyto vlastnosti závisí zejména hladkosti a homogenitě složení povrchové vrstvy zpracovaného dílu. Překrývaní paprsků podle dosud používaných způsobů však vede k. nežádoucím ve zpracované hloubce, složení a profilu paprskem se nestejnoměrnost Hlavními důvody dosažení větší zpracování dílů překrýváj í.
laserovým se tím oblastech.
používaných nestejnoměrnostem povrchu.
V některých LISÍ procesech se na díl, který se má ozařovat, nejprve umístí přídavný materiál. Nízká výkonová hustota ve vnějších oblastech kruhového paprsku může způsobit roztavení a odstranění přídavného materiálu ještě předtím, než se spojí s podkladem. Výsledkem je vznik nezpracovaných 20 ozářených oblastí.
Účinnost zpracovacích systémů pracujících s laserovými paprsky závisí na mnoha proměnných, jako jsou mimo jiné například tvar paprsku, jeho velikost a distribuce výkonu.
Dosavadní laserová zařízení trpí zejména malou rychlostí zpracování dílů, která je dána zejména malou plochou paprsku, nestejnoměrnou distribucí výkonu a kruhovým tvarem paprsku.
Vynález nabízí oproti dosud známým zařízením několik 30 výhod: a) zlepšenou distribuci výkonu; b) zvýšenou, kvalitu zpracovaného povrchu; c) zvýšenou rychlost zpracováváni. Výhod se dosáhne použitím zařízení pro tvarování a zaměřování paprsku, které dává zlepšený laserový paprsek s novou distribucí výkonu, jehož intenzita je v okrajových částech 35 větší než v oblastech středových. Zvýšené kvality povrchu se
dosáhne přímo distribucí výkonu podle vynálezu. Zvýšení zpracovací rychlosti je důsledkem větší, nekruhové plochy paprsku a stejnoměrnosti distribuce výkonu.
Podstata vynálezu
Vynálezem je zlepšený laserový paprsek pro povrchové zpracování materiálu a zařízení pro generování zlepšeného laserového paprsku.
Laserový paprsek má distribuci výkonu, jehož intenzita je v podstatě stálá ve středové oblasti, zvýšená ve vnějších oblastech a která se prudce (skokově) snižuje v koncových oblastech. Termín v podstatě stálá ve středové oblasti ve smyslu použitém v této přihlášce znamená, že maximální odchylka intenzity ve středové oblasti je menší než 7.5% maximální úrovně intenzity ve středové oblasti.
Křivka distribuce výkonu podle vynálezu připomíná netopýří hlavu a proto se na ni dále odkazuje jako na netopýří (bat ears) distribuci. Poměr špičkové intenzity nebo velikosti výkonu ve vnějších oblastech k průměrné intenzitě nebo velikosti výkonu ve středové oblasti je větší nebo roven 1.2.
V podstatě stálá intenzita ve středové oblasti zajišťuje v podstatě stejnoměrné pohlcování energie a zpracování -materiá-l-u—ve středové oblasti. Zvýšená intenzita paprsků ve vnějších oblastech kompenzují zvýšený odvod tepla do nezpracovávaných (tj. chladnějších) oblastí.
Vynález se může použít pro LISÍ zpracování dílů s takovým objemem, kdy oblasti dílu mimo oblast ozařování pracuj i jakc velká tepelná jímka. Tepelné vlastnosti
I
•.JTS-nAlpo.
(teplotní vodivost) materiálu tepelné toky mezi ozařovanými a dílu poté způsobuji značné neozařovanými oblastmi.
V podstatě skokový pokles v koncových oblastech umožňuje řízené oblasti o šířce přibližně rovné šířce je výhodná zejména v zpracovává laserovým paprskem pásech. Díky poměrně přesně možné minimalizovat překrytí zpracování a zmenší nestejnoměrnost ozáření na hranicích pásů vzhledem k jejich středům.
distribuci výkonu v zpracování materiálu v paprsku. Tato vlastnost kdy se materiál dílu postupech, v dotýkajících se rovnoběžných ohraničené hranici ozařování je pásů, čímž se zvýší rychlost
Zařízení podle vynálezu je kombinaci optických prvků pro generování laserového paprsku podle vynálezu. Kombinace optických prvků se prvního válcového optického prvku.
podle vynálezu.
skládá z kolimačního optického prvku, optického prvku a druhého válcového
Zařízení tvoří optické prvky získaly popsané vlastnosti paprsku, odpovídající zaměřování kolimovaného nekolimovaného vstupního laserového tak, aby zabíralo minimálně zařízení je proměnná tak, nebo požadovaným výkonovým uspořádat vzdálenost stáváj icim uspořádané tak, aby se Zařízení umožňuje (rovnoběžného) nebo paprsku a může se místa. Ohnisková aby bylo možné vyhovět parametrům.
Protože zařízení podle vynálezu odlišných od podmínek pro lze množství nazpět poškození přiváděného po měrných výkonů nebo pasivním chlazením optických podmínek paprsek, pravděpodobnost následného laserového paprsku dosaženi vysokých zkonstruovat s aktivním se bude provozovat za odpovídající kruhový odražené energie a minimalizovat použitím optickém vlákně. Pro se zařízení může prvků.
• ·
Součástí zařízení může být i systém dodávky plynu, který podporuje vlastní zpracování paprskem, chladí zařízení a chrání optické prvky před možným znečištěním.
Zařízení se může vyrobit bezpečnosti by z libovolného materiálu, kvůli laserové však stěny zařízení měly být neprůhledné.
Vnitřní i vnější stěny se mohou opatřit povlakem pro pohlcováni vedlejších odražených paprsků. Optika se může před znečištěním chránit skleněným krytem, který nemění účinnost zařízení. Zařízení lze navrhnout tak, aby se spíše uvolnilo z uložení, než aby se samo poškodilo.
Přehled obrázků
Na obr. 1A je Gaussova (normální) distribuce výkonu 15 dosavadních paprsků;
Na obr. 1B je typický vzhled natavené oblasti dosavadního paprsku dle obr. 1A;
Na obr. 1C je typická závislost teploty na čase na dílu zpracovaném dosavadním paprskem příslušná natavenému profilu dle obr. 1B a distribuci výkonu dle obr. 1A;
Na obr. 2A je distribuce výkonu laserového paprsku podle 25 vynálezu v příčném směru;
. . obr.' 2B je distribuce výkonu laserového paprsku podle vynálezu v podélném směru;
Na obr. 2C je půdorys průřezu laserovým paprskem podle vynálezu;
Na obr. 3 je bokorys provedení zařízení podle vynálezu;
···· • · ··· · · · · · ·
-..••..US-íd.77ptk
Na obr. 4 je půdorys provedeni zařízeni podle vynálezu;
Na obr. 5 je izometrický pohled na provedení zařízeni podle vynálezu.
Příklady provedeni vynalezu
V přednostním provedení má laserový paprsek podle vynálezu v příčném řezu 20 šířkový rozměr 22 a délkový rozměr 24 (viz obr. 2C) . V přednostním provedení je šířka paprsku nejméně osmkrát větší než délka. Poměr šířky a délky měřené v místě poloviny maximální intenzity se dále v této přihlášce nazývá poměr stran.
Jak je ukázáno na obr. 2A, laserový paprsek dle vynálezu 15 má v příčném směru distribuci výkonu, která je ve středové oblasti 10 v podstatě konstantní, ve vnějších oblastech 12 se zvyšuje a v podstatě skokově klesá v koncových oblastech 14. Poměr intenzity nebo velikosti výkonu ve vnějších částech k intenzitě nebo velikosti výkonu ve středové oblasti je větší 20 než nebo roven 1.2. V dalším popisu se tento poměr nazývá poměr vnější intenzity k střední intenzitě.
V přednostním provedení zobrazeném na obr. 2A sahá středová oblast po nejméně 50% šířky, paprsku.. V dalším přednostním provedení sahá středová oblast po 60-75% šířky paprsku.
V přednostním provedení je distribuce výkonu v podélném směru v podstatě konstantní (viz obr. 2B). Velikost délky je s výhodou menší než 1 mm.
V přednostním provedení se může laserový paprsek podle vynálezu pohybovat podle potřeby ve směru rovnoběžném s délkovým rozměrem paprsku.
··· · · · ♦ · · · ···· · · · · · · ·* · · · · · · · · · • »····· · · · .... .. ·· ·· US-*l*77pt?
Zařízení podle vynálezu slouží k tvarování laserového paprsku, který vychází ze zdroje, tak, aby jeho poměr vnější intenzity k střední intenzitě byl větší než nebo rovný 1.2.
Zařízení podle vynálezu je zobrazeno na obr. 3 a 4. Zařízení zahrnuje kolimační optický prvek 32, který kolimuje (usměrňuje do přesně rovnoběžného uspořádání) laserový paprsek emitovaný ze zdroje. První válcový optický prvek 34 má první zakřivený vnější povrch 33. Kolimovaný laserový 10 paprsek putuje z kolimačniho optického prvku 32 do prvního válcového optického prvku 34, který je od kolimačniho optického prvku 32 vzdálen o 0.1 mm až 5 m. Na obr. 3 je tato vzdálenost naznačena písmenem D.
Další součástí zařízení podle vynálezu je druhý válcový optický prvek 36, který má druhý zakřivený vnější povrch 35, který je oproti prvnímu zakřivenému povrchu pootočen o 89.5 až 90.5 stupně. Laserový paprsek putuje z prvního válcového optického prvku 34 do druhého válcového optického prvku 36. V 20 přednostním provedení jsou první a druhý zakřivený povrch 33 a 35 otočeny směrem k sobě.
Jak je naznačeno na obr. 3 a 4, zahrnuje přednostní provedení vynálezu také bikonkávní (dvouvydutou) čočku 30, 25 která se nachází mezi zdrojem laserového paprsku a kolimačním optickým prostředkem. Čočka 30 rozbíhající se paprsek dále rozšiřuje.
V dalším přednostním provedení vynález zahrnuje také 30 laserový zdroj 71, který emituje paprsek koherentního světla s vlnovou délkou 1.06 μιη, a optické vlákno 72 o průměru 600 μπι, ze kterého paprsek vystupuje (viz obr. 5) . V přednostním provedení se laserový paprsek rozbíhá (diverguje) pod úhlem 4.4 stupně. V takovém přednostním provedení se čočka může vyrobit z taveného křemičitého skla a opatřit antireflexním
9-42
povlakem, který bude vhodný pro použiti s normálním dopadajícím zářením s vlnovou délkou 1.06 pm.
V dalším přednostním provedení má bikonkávní čočka ohniskovou vzdálenost 75 mm a leží 98 mm od bodového zdroje laserového paprsku. Kolimační optický prvek je sférický optický prvek s ohniskovou vzdáleností 100 mm a leží 41.3 mm za bikonkávní čočkou.
V přednostním provedení je prvním válcovým optickým prvkem válcová čočka s ohniskovou vzdáleností 200 mm, která leží 22 mm za kolimačním optickým prvkem. V přednostním provedení je druhým válcovým optickým prvkem válcová čočka s ohniskovou vzdáleností 152.4 mm, která leží 5 mm od prvního válcového optického prvku. Druhý válcový optický prvek je vzhledem k prvnímu válcovému optickému prvku otočen podél osy dráhy paprsku o 90 stupňů. Zakřivený povrch druhého válcového optického prvku směřuje k prvnímu válcovému optickému prvku (viz obr. 5). V přednostním provedení leží ohnisková rovina
7 3, ve které se dosahuje požadovaného průběhu, distribuce energie, 167.2 mm od druhého válcového optického prvku.
Výše uvedený popis vynálezu je pouze ilustrativní a příkladný. Popsaná provedení lze realizovat s mnohými změnami v tvaru, velikosti, použitých materiálech, apod., všechny takové změny je nutno posuzovat v duchu připojených patentových nároků.
0/-7·/6 ·· · · · · · · ·
US-477po

Claims (13)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY (UPRAVENÉ)
    1. Laserový paprsek, zahrnující středovou oblast a dvě kdy každá z vnějších distribuci výkonu, středové oblasti a vnější oblasti, hranu, mající konstantní ve oblastech a která klesá na vnějších oblastí zahrnuje vnější jenž je zvýšená hranách, v podstatě ve vnějších takže poměr špičkové vnější intenzity ku průměrné středové intenzitě paprsku je větší než nebo roven 1,2.
  2. 2. Laserový paprsek podle nároku 1, vyznačující se tím, že příčný řez paprskem má šířkový rozměr a délkový rozměr.
    15
  3. 3. Laserový paprsek podle nároku 2, vyznačující se tím, že středová oblast sahá po nejméně 50% šířky paprsku.
  4. 4. Laserový paprsek podle nároku 3, vyznačující se tím, že středová oblast sahá po 60-75% šířky paprsku.
  5. 5. Laserový paprsek podle nároku 2, vyznačující se tím, že má poměr šířky ku délce větší než nebo rovný 8.
  6. 6. Laserový paprsek podle nároku 2, vyznačující se tím, že 25 yelikost délkového rozměru je menší než 1 mm.
  7. 7_ Laserový paprsek, s obdélníkovým příčným průřezem s šířkovým rozměrem a délkovým rozměrem,kdy šířka je nejméně osminásobkem velikosti délkového rozměru,přičemž paprsek má 30 dále distribuci výkonu v šířkovém rozměru, distribuce výkonu zahrnuje středovou oblast a vnější oblasti, zahrnující vnější hrany,přičemž distribuce výkonu je v podstatě konstantní ve středové oblasti a zvýšená ve vnějších oblastech a klesající na vnějších hranách šířkového rozměru.
  8. 8. Laserový paprsek podle nároku 7, vyznačující se tím, že středová oblast sahá po nejméně 50% šířky paprsku.
  9. 9. Laserový paprsek podle nároku 7, vyznačující se tím, že
    5 poměr špičkové vnější intenzity ku průměrné středové intenzitě paprsku v šířkovém rozměru je větší než nebo roven 1,2.
  10. 10. Zařízení pro tvarování laserového paprsku, emitovaného 10 ze zdroje laserového paprsku, aby poměr špičkové vnější intenzity ku průměrné středové intenzitě paprsku byl větší než nebo roven 1,2, vyznačující se tím, že zahrnuje:
    a) kolimační optický prvek, umístěný tak, aby kolimoval laserový paprsek, emitovaný ze zdroje - optického
    15 vlákna;
    b) první válcový optický prvek, který má první zakřivený vnější povrch, první válcový optický prvek, je umístěný tak, aby do něho vstupoval kolimovaný laserový paprsek z kolimačního optického prvku, kde první válcový optický
    20 je od prvek kolimačního optického prvku vzdálen o 0,1 až
    5000,0 milimetrů;
    c) druhý válcový optický prvek, který má druhý zakřivený vnější povrch, který je vzhledem k prvnímu zakřivenému povrchu pootočen, o 89,5 až 90,5 stupně, druhý válcový
    25 optický prvek je umístěný 5 milimetrů od prvního válcového optického prvku; a d) bikonkávní čočku, která leží mezi zdrojem laserového paprsku a kolimačním optickým prvkem tak, aby na kolimační optický prvek předávala více se rozbíhající 30 laserový paprsek.
  11. 11. Zařízení podle nároku 10, vyznačující se tím, že kolimačním optickým prvkem je kolimační čočka.
    r • · ♦ · ·« ·· · * · · • · · »· ·' «··· * 15 • ··· Φ · 9 9 « · ··#· ·· ·· ·· ·· ·· US-477po
  12. 12. Zařízeni podle nároku 10, vyznačující se tím, že prvním a druhým válcovým optickým prvkem jsou válcové čočky.
    13. Zařízení podle nároku 13, vyznačující se tím, že 5 ohnisková vzdálenost prvního válcového optického prvku je 200 milimetrů.
    14. Zařízení podle nároku 10, vyznačující se tím, že ohnisková vzdálenost druhého válcového optického prvku je
    10 152,4 milimetrů.
  13. 15. Zařízení podle nároku 10, vyznačující se tím, že první a druhý zakřivený povrch jsou otočeny směrem k sobě.
CZ2001216A 1998-07-31 1999-07-09 Zařízení a způsob pro vytváření zlepšeného laserového paprsku CZ2001216A3 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/127,396 US6016227A (en) 1998-07-31 1998-07-31 Apparatus and method for producing an improved laser beam

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CZ2001216A3 true CZ2001216A3 (cs) 2001-08-15

Family

ID=22429890

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ2001216A CZ2001216A3 (cs) 1998-07-31 1999-07-09 Zařízení a způsob pro vytváření zlepšeného laserového paprsku

Country Status (11)

Country Link
US (1) US6016227A (cs)
EP (1) EP1101140A1 (cs)
JP (1) JP2002521833A (cs)
KR (1) KR20010072161A (cs)
CN (1) CN1149418C (cs)
AU (1) AU4867599A (cs)
BR (1) BR9912667A (cs)
CA (1) CA2338422A1 (cs)
CZ (1) CZ2001216A3 (cs)
IL (1) IL140883A (cs)
WO (1) WO2000007054A1 (cs)

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000026936A1 (en) * 1998-11-02 2000-05-11 Koninklijke Philips Electronics N.V. Laser illumination arrangement for a cathode ray tube
DE10049557B4 (de) * 2000-10-06 2004-09-02 Microlas Lasersystem Gmbh Vorrichtung zum Umwandeln der Intensitätsverteilung eines Laserstrahls
DE20101247U1 (de) * 2001-01-24 2001-04-05 Sator Laser Gmbh Vorrichtung zum Beschriften oder Markieren von Gegenständen mittels Laserstrahl
CA2475807C (en) 2002-02-11 2010-12-07 The Holland Group, Inc. Fifth wheel hitch requiring reduced or no lubricant
JP2004004152A (ja) * 2002-03-29 2004-01-08 Fuji Photo Optical Co Ltd 一次元集光光学系および光量分布補正照明光学系、ならびに露光ヘッド
US20040263986A1 (en) * 2002-09-30 2004-12-30 Brown Daniel M. Method and device for combining and shaping beams
JP4311158B2 (ja) * 2003-10-14 2009-08-12 株式会社デンソー 樹脂成形品およびその製造方法
JP4681821B2 (ja) * 2004-04-28 2011-05-11 オリンパス株式会社 レーザ集光光学系及びレーザ加工装置
US20060217691A1 (en) * 2005-02-25 2006-09-28 Georg Schuele Real-time therapeutic dosimetry based on dynamic response of treated tissue
JP2009506890A (ja) * 2005-09-03 2009-02-19 トルンプフ ヴェルクツォイクマシーネン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト 周縁フィールド除去のための光学絞りを備えたレーザ加工装置
US7458358B2 (en) * 2006-05-10 2008-12-02 Federal Mogul World Wide, Inc. Thermal oxidation protective surface for steel pistons
US7400457B1 (en) * 2007-01-04 2008-07-15 Stockeryale Canada Inc. Rectangular flat-top beam shaper
US20090050314A1 (en) * 2007-01-25 2009-02-26 Holmes Kevin C Surface improvement for erosion resistance
US8496650B2 (en) * 2008-12-15 2013-07-30 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Method and apparatus for photothermal therapy with adjustable spatial and/or temporal beam profile
US7821718B1 (en) * 2009-04-06 2010-10-26 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Laser line generator
KR101243920B1 (ko) * 2010-01-07 2013-03-14 삼성디스플레이 주식회사 기판 밀봉에 사용되는 레이저 빔 조사 장치, 기판 밀봉 방법, 및 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
ES2659189T3 (es) 2010-04-13 2018-03-14 Ge Video Compression, Llc Herencia en subdivisión de árbol múltiple de matriz de muestras
US10201877B2 (en) 2011-10-26 2019-02-12 Titanova Inc Puddle forming and shaping with primary and secondary lasers
KR101991405B1 (ko) * 2012-09-19 2019-06-20 삼성전자주식회사 빔 형상기, 이를 구비하는 레이저 어닐링 시스템 및 이 시스템을 이용하여 반사형 포토 마스크를 제작하는 방법
US10188519B2 (en) 2013-03-15 2019-01-29 University Of North Texas Laser-assisted machining (LAM) of hard tissues and bones
JP6502630B2 (ja) * 2013-09-30 2019-04-17 株式会社リコー 光学センサ、光学検査装置、及び光学特性検出方法
RU2580180C2 (ru) * 2014-03-06 2016-04-10 Юрий Александрович Чивель Способ лазерной наплавки и устройство для его осуществления
CN106556933B (zh) * 2017-01-03 2018-09-07 哈尔滨工业大学 一种可多维调整的激光光束片状整形装置及方法
US11333897B2 (en) 2019-03-12 2022-05-17 Coherent Lasersystems Gmbh & Co. Kg Apparatus for forming a homogeneous intensity distribution with bright or dark edges
CN110123248B (zh) * 2019-06-28 2021-09-21 牛欣青 一种医学影像成像用电子内窥镜
CN112719578B (zh) * 2020-12-25 2021-12-14 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 一种真空环境激光增材制造金属蒸发控制方法及装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3705758A (en) * 1969-12-30 1972-12-12 Honeywell Inc Apparatus for controlling a beam of coherent electro-magnetic waves
US3848104A (en) * 1973-04-09 1974-11-12 Avco Everett Res Lab Inc Apparatus for heat treating a surface
US4475027A (en) * 1981-11-17 1984-10-02 Allied Corporation Optical beam homogenizer
US5059013A (en) * 1988-08-29 1991-10-22 Kantilal Jain Illumination system to produce self-luminous light beam of selected cross-section, uniform intensity and selected numerical aperture
US5095386A (en) * 1990-05-01 1992-03-10 Charles Lescrenier Optical system for generating lines of light using crossed cylindrical lenses
NL9002036A (nl) * 1990-09-17 1992-04-16 Philips Nv Inrichting en werkwijze voor het met elektromagnetisch straling aanbrengen van merktekens op een voorwerp, en een voorwerp voorzien van merktekens.
US5331466A (en) * 1991-04-23 1994-07-19 Lions Eye Institute Of Western Australia Inc. Method and apparatus for homogenizing a collimated light beam

Also Published As

Publication number Publication date
CN1311870A (zh) 2001-09-05
KR20010072161A (ko) 2001-07-31
EP1101140A1 (en) 2001-05-23
WO2000007054A9 (en) 2000-08-03
CA2338422A1 (en) 2000-02-10
BR9912667A (pt) 2001-05-02
CN1149418C (zh) 2004-05-12
IL140883A (en) 2004-06-20
WO2000007054A1 (en) 2000-02-10
IL140883A0 (en) 2002-02-10
US6016227A (en) 2000-01-18
AU4867599A (en) 2000-02-21
JP2002521833A (ja) 2002-07-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ2001216A3 (cs) Zařízení a způsob pro vytváření zlepšeného laserového paprsku
US20210053160A1 (en) Method and System for Ultrafast Laser-based Material Removal, Figuring and Polishing
EP0080597B1 (en) Optical beam homogenizer
CA1188138A (en) Optical beam concentrator
KR20190019125A (ko) 웨이퍼 다이싱 또는 커팅을 위한 다중-세그먼트 포커싱 렌즈 및 레이저 가공 시스템
JP2008538324A (ja) 感熱性を有する誘電材料をレーザビームで精密に研磨/構造化する方法
Adams et al. Results of applying a non-evaporative mitigation technique to laser-initiated surface damage on fused-silica
CN106392337B (zh) 一种对射式多焦点激光分离脆性透射材料方法及装置
KR102233390B1 (ko) 파이버 어레이 라인 발생기
CN106271105B (zh) 一种可实现光纤端面角度控制的激光切割方法及系统
US6930274B2 (en) Apparatus and method of maintaining a generally constant focusing spot size at different average laser power densities
TWI715548B (zh) 硬脆材料的雷射切割方法及雷射切割機與雷射切割機的光學系統
US20210333564A1 (en) Apparatus for forming line beam
KR20000054978A (ko) 유리 절단 방법 및 그 장치
TWI614346B (zh) 熱處理方法及熱處理裝置
Tarasova et al. Micro-and Nanostructuring of Materials Surface in the Mode of Multiple Filamentation
Nosov et al. Investigation of heating laser head optical elements by radiation from high-power fiber laser
JPH11285869A (ja) レーザ歪加工方法及び装置
Qiao et al. Thermal modeling and heat mitigation for femtosecond-laser-based silicon processing
WO2019096345A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum laserhärten von werkstücken mittels einer mehrzahl von räumlich getrennten einzellaserstrahlen
Laser et al. TRANSMITTED ENERGY J
Canfield et al. Machining High Aspect Ratio Features with Single Femtosecond Laser Pulses
Bloehs et al. Efficient hardening with high-power solid-state lasers
LV13578B (en) Method for treatment end surface of optical fibre
JPS62299909A (ja) 光フアイバケ−ブル