CS268377B1 - Electron gun for electron microscope - Google Patents

Description

Vynález se týká elektronové trysky elektronového mikroskopu, tvořené katodou umístěnou ve Wehneltově válci, a proti katodě umístěnou, středovým otvorem opatřenou anodou.

Soustavy elektronových trysek elektronových mikroskopů jsou běžně konstruovány s vysokonapěEovými vakuovými průchodkami ve tvaru trubky z elektroizolačního materiálu, které jsou svým jedním koncem připevněny к plášti tubusu elektronového mikroskopu, zatímco к jejich druhému konci je připevněna vlastní elektronová tryska. Jiná známá konstrukce soustavy elektronové trysky je opatřena vysokonapěEovou vakuovou průchodkou ve tvaru desky z elektroizolačního materiálu, připevněné svým okrajem к plášti tubusu elektronového mikroskopu, přičemž ve středu této desky je vytvořen vakuotěsný elektrický průchod, к němuž je připojena vlastní elektronová tryska.

Nevýhody těchto známých řešení spočívají zejména v rozměrnosti soustavy elektronové trysky, která je v případě použití trubkovité vysokonapěEové vakuové průchodky příliš dlouhá a v případě použití deskovité vysokonapěEové vakuové průchodky příliš Široká. Navíc je u těchto řešení z hlediska ochrany proti záření nutné používat masivní kryt anody, čímž se zvyšuje hmotnost soustavy elektronové trysky, což je nevýhodné zejména u přenosných elektronových mikroskopů.

Uvedené nevýhody dosavadního stavu do značné míry odstraňuje elektronová tryska elektronového mikroskopu, tvořená katodou, umístěnou ve Wehneltově válci, a proti katodě umístěnou, středovým otvorem opatřenou anodou,.podle vynálezu, jehož podstatou je, že Wehneltův válec je připevněn к vrcholové části ve tvaru zvonu vytvořené vysokonapěEové vakuové průchodky, která je svým otevřeným dnem suvně uložena na tělese anody, přičemž mezi tělesem anody a vysokonapěEovou vakuovou průchodkou je uspořádáno v drážce uložené vakuové těsnění. Výhodné přitom je, jestliže drážka je vytvořena v tělese anody nebo jestliže drážka je uspořádána v dqsedací ploše vysokonapěEové vakuové průchodky. Výhodné rovněž je, jestliže ve zdviženém lemu tělesa anody je vytvořena soustava radiálně v pravidelných odstupech uspořádaných a závitem opatřených otvorů, v nichž jsou uloženy centrovací Šrouby, jejichž ovládací hlavy jsou vně tubusu mikroskopu a jejichž dříky dosedají na vnější plášE vysokonapěEové vakuové průchodky.

Výhody elektronové trysky elektronového mikroskopu podle vynálezu spočívají zejména v kompaktnosti a malé hmotnosti celého řešení, což vše umožňuje použití této elektronové trysky zejména u přenosného elektronového mikroskopu. Další výhodou je zjednodušení krytu anody a úspora těsnění velkého průměru.

Vynález bude dále podrobněji popsán podle přiloženého výkresu, na němž je v Částečném řezu schematicky znázorněno příkladné provedení soustavy elektronové trysky podle vynálezu.

Na výkrese je znázorněna vysokonapěEová vakuová průchodka _1_, vytvořená ve tvaru zvonu. К horní užší části vysokonapěEové vakuové průchodky J. je к jejímu středovému otvoru vakuotěsně připevněn Wehneltův válec 2. Vakuové utěsnění Wehneltova válce 2 je provedeno pomocí těsnicího O-krouŽku 3. VysokonapěEové vakuová průchodka dosedá svou dosedací plochou, vytvořenou na otevřeném dnu vysokonapěEové vakuové průchodky J_, na těsnění £, uložené v drážce v tělese 6^ anody. Těleso 6 anody má na svém vnějším obvodu vytvořen zdvižený lem 1_, v němž je vytvořena soustava s výhodou tří nebo čtyř v rovnoměrných odstupech uspořádaných radiálních, závitem opatřených otvorů 8. V otvorech 8^ jsou uloženy centrovací šrouby 9, jejichž ovládací hlavy jsou vně tubusu £0 mikroskopu a jejichž dříky dosedají na vnější plášE vysokonapěEové vakuové průchodky Na lemu 1_ je nasazen kryt 11 anody. S Wehneltovým válcem 2 je elektricky spojen vysokonapěEový kabel 12 >

V činnosti soustavy elektronové trysky elektronového mikroskopu podle vynálezu se

CS 268 377 BI napětí к Wehneltovu válci 2 а к neznázorněné katodě přivádí vysokonapěliovým kabelem )2.

Vysoká napětí je přitom od tělesa 6 anody odizolováno vakuem v prostoru uvnitř vysokonapčEové vakuové průchodky £ a vnitřním povrchem vysokonapětové vakuové průchodky 1_.

Centrování elektronového svazku se provádí centrovacími šrouby 9, které přesouvají vysokonapěžovou vakuovou průchodku £ po těsnění £ vůči středovému otvoru v tělese 6 anody.

Vynález lze s výhodou využít zejména při konstrukci přenosného elektronového mikroskopu.

Claims (4)

1. Elektronová tryska elektronového mikroskopu* tvořená katodou, umístěnou ve Wehneltově válci* a proti katodě umístěnou* středovým otvorem opatřenou anodou* vyznačující se tím, že Wehneltův válec /2/ je připevněn к vrcholové části ve tvaru zvonu vytvořené vysokonapětové vakuové průchodky /1/, která je svým otevřeným dnem suvně uložena na tělese /6/ anody* přičemž mezi tělesem /6/ anody a vysokonapěťovou vakuovou průchodkou /1/’ je uspořádáno v drážce /5/ uložené vakuové těsnění /4/.

2. Elektronová tryska elektronového mikroskopu podle bodu 1. vyznačující se tím, že drážka /5/ je vytvořena v tělese /6/ anody.

3. Elektronová tryska elektronového mikroskopu podle bodu 1, vyznačující se tím, že drážka /5/ je uspořádána v dosedací ploše vysokonapěEové vakuové průchodky /1/.

4. Elektronová tryska elektronového mikroskopu podle bodů 1 až 3, vyznačující se tím* Že ve zdvižném lemu./7/ tělesa /6/ cín od у je vytvořena soustava radiálně v pravidelných odstupech uspořádaných a závitem opatřených otvorů /8/, v nichž jsou uloženy centrovací šrouby /9/, jejichž ovládací hlavy jsou vně tubusu /10/ mikroskopu a jejichž dříky dosedají na vnější plášE vysokonapěbové vakuové průchodky /1/.