CS265332B1 - Ultrazvukový žiarič najma pre zvlášť čisté prostredie a veťké výkony - Google Patents

Description

Vynález sa týká ultrazvukového žiariča najmS pre zvlášť čisté prostredie a velké výkony.

Pri spracovaní základného materiálu ako je germánium, křemík pri výrobě polovodičových prvkov sa vyžadujú vysoké nároky na čistotu povrchov tohoto materiálu. Zvlášť pri nanášaní rázných vrstiev na povrch tohoto materiálu nesmú byť přítomné molekulárně, atomárně ani iónové znečistenia. V poslednom období na odstránenie týchto nečistát sa s úspechom používá ultrazvuková energia vyžarovaná do pracovnej kvapaliny pomocou ultrazvukového meniča. Ultrazvukový piezokeramický měnič, aby neznečišťoval pracovné prostredie je opatřený ochrannou vrstvou hmoty, ktorá neznečišťuje pracovné prostredie. Nevýhodou tohoto rešenia je, že pri nanášaní ochrannéj vrstvy na piezokeramický měnič, dochádza k jeho degradácii, hlavně teplom, takže piezokeramický měnič třeba znovu polarizovat, pričom zasa prichádza často k poškodeniu oohrannej vrstvy vplyvom rozdielnej tepelnej rozťažnosti piezokeramického meniča a oohrannej vrstvy. Iné riešenia využívajú přenos ultrazvukovej energie z piezokeramického meniča do pracovného prostredia cez pracovnú komárku naplnenú přenosovou kvapalinou. Nevýhodou tohoto riešenia je poměrně nízká prenášaná výkonová úroveň.

Vyššie uvedené nevýhody odstraňuje a technický problém rieši ultrazvukový žiarič najma pre zvlášť čisté prostredie a velké výkony podlá vynálezu, ktorého podstata spočívá v tom, že kovová membrána je na vnútornej vyžarovaoej straně opatřená ochrannou poritikoróznou vrstvou. Ultrazvukový žiarič je kompaktně spojený so stěnou pracovnej nádoby prostredníctvom výstupku dosadajúceho po obvode na ochrannú protikoróznu vrstvu.

Ultrazvukovým žiaričom najmS pre zvlášť čisé prostredie a velké výkony sa zamedzí akémukolvek znečistovaniu pracovného prostredia v pracovnej váni z kovověj membrány alebo zo závitového spoja. Dosiahne sa ním vysoká životnosť aj pri vysokých výkonoch pri vysokej elektroakustickej účinnosti.

Na pripojenom výkrese je znázorněné příkladné riešenie ultrazvukového žiariča pre zvlášť čisté prostredie a velké výkony, kde je nakreslený v řeze.

Ultrazvukový žiarič pre zvlášť čisté prostredie a velké výkony pozostáva z kovověj membrány 2 P° obvode opatrenej prstencom 2· Na kovověj membráně 3 je z vonkajšej strany přilepený piezokeramický měnič 2· Vnútorná strana kovověj membrány 2 js opatřená ochrannou protikoróznou vrstvou 6. Do steny pracovnej nádoby 2 je ultrazvukový žiarič 2 uchytený závitovým spojom 2 tak, že ochrana protikorózna vrstva 2 dosedá pevne po obvode na výstupok 7. vytvořený v stene pracovnej nádoby 2/ čím sa zabráni přístupu pracovnej kvapaliny na závitový spoj 2·

Po připojení ultrazvukového žiariča-2 na zdroj ultrazvukovej energie, na obr. nezakreslené sa táto vyzařuje prostredníctvom piezokeramického meniča 2 cez kovovú membránu 2 a ochrannú protikoróznu vrstvu 2 úo pracovnej kvapaliny v pracovnej nádobě 2.

Ultrazvukový žiarič podlá vynálezu je výhodné využívat v mikroelektronike, biologii, medicíně a v dalších oboroch, kde sa vyžaduje zvlášť vysoká čistota vykonávaných technolog!.

Claims (1)

1. PREDMET VYNÁLEZU Ultrazvukový žiarič najmS pre zvlášť čisté prostredie a velké výkony upevněný v stene pracovnej nádoby, pozostávajúci z kovověj membrány opatrenej na obvode prstencom a z vonkajšej strany opatrenej pevne piezokeramickým meničom vyznačujúci sa tým, že kovová membrána (3) je na vyžarovaoej straně opatřená ochrannou protikoróznou vrstvou (6), pričom ultrazvukový žiarič (1) je kompaktně spojený so stěnou pracovnej nádoby (2) prostredníctvom výstupku (7) dosadajúceho po obvode na ochrannú protikoróznu vrstvu (6). 1 výkres 265 332