CS259353B1 - Sposob výroby kyseliny sírovej kvality pre mikroelektroniku - Google Patents
Sposob výroby kyseliny sírovej kvality pre mikroelektroniku Download PDFInfo
- Publication number
- CS259353B1 CS259353B1 CS85780A CS78085A CS259353B1 CS 259353 B1 CS259353 B1 CS 259353B1 CS 85780 A CS85780 A CS 85780A CS 78085 A CS78085 A CS 78085A CS 259353 B1 CS259353 B1 CS 259353B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- sulfuric acid
- microelectronics
- water
- purity
- weight
- Prior art date
Links
Landscapes
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
Description
259353
Vynález sa týká výroby kyseliny sírovejpre mikroelektroniku, ktorá je vhodná pre-dovšetkým na využitie v planarnej techno-logií výroby integrovaných obvodov. Výroba kyseliny sírovej je jedna ž najroz-šírenejších výrob v chemickom priemysle.V súčasnosti je najpoužívanejší sposob pří-pravy kvalitnej kyseliny sírovej termickouoxidáciou síry na kysličník siřičitý, ktorý sakatalyticky oxiduje na kysličník sírový, atento je kontaktným sposobom absorbova-ný v cca 98 % kyselině sírovej. Takto při-pravená kyselina však ešte nespíňa požia-davky na čistotu nutnú pre použitie v pla-nárnej technologii pri výrobě integrovanýchobvodov. V súčasnej době sa připravuje kyselinasírová pre tieto účely čistěním od chemic-kých příměs rektifikáciou a následné od he-teročastíc mikrofiltráciou cez náročné za-riadenia obsahujúce filtračně sviečky s vel'-kosťou ok 0,2 až 0,45 μΐη.
Nakolko bežne připravovaná kyselina sí-rová obsahuje řádové 106 až 107 heteročas-tíc na jeden liter vSčších ako 0,5 ,um je ichodstraňovanie mikrofiltráciou z kyseliny sí-rovej vel'mi nákladné.
Samotná rektifikácia kyseliny sírovej jevefmi energeticky náročný proces.
Uvedené poznatky boli čerpané z nasle-dovných práč a materiálov: E. O. Stepun akol. — Metody polučenija osobo čistých ne-organičeskich veščestv. Moskva — 1969;Katalog fy Sartórius 1984; Katalog fy Milli-pore 1983; Katalog fy Merck — SelectipurMOS 1983 a Katalog fy Carlo Erba Montedi-zon 1983. Súčasne boli robené pokusy o čiastočnevyčistenie koncentrovanej kyseliny sírovejvyrábanej z dýmových plynov získaných ztavenia a zapekania sirnikových rúd. V tých-to kyselinách sa však nachádza velké množ-stvo ťažkých kovov, hlavně ortuti. Ich od-straňovanie je popísané v anglickom paten-te 6 215 z roku 1884 ako i v amerických pa-tentoch 314 548 (z roku 1885) 1891294 (zroku 1932) a 3 145 080 (z roku 1964), kdesú popisované spůsoby ich odstraňovaniapomocou rozpustných sírnikov reagujúcichna nerozpustné sírniky týchto kovov, ktorésú následné odfiltrované. Podobné aj v pa-tente USA 3 826 819 (z roku 1974) od Orlan-dinýho a Larzona je popísaný sposob čiste-nia kyseliny sírovej za pomoci sirovodíka.Vo všetkých týchto opísaných spósoboch súokrem prašnosti najvačšie ťažkosti s filtrá-ciou nerozpustných zvyškov.
Vo všeobecnosti pri príprave kyseliny sí-rovej premenou SO2 na SO3 cez ložko V2O5je účinnosť tejto katalytickej oxidácie cca97 % takže kyselina sirova obsahuje znač- né množstvo SO2 (cca 80 až 1 260 ppm),ktoré sa prácne odstraňuje prebublávanímsuchého vzduchu cez jej objem.
Hoře uvedené nedostatky odstránené spo-sobom výroby kyseliny sírovej pre mikroe-lektroniku, podstata ktorého je v tom, žesa do vysokočistej kyseliny sírovej pre mik-roelektroniku resp. v počiatočnej fáze dovody čistoty pre mikroelektroniku (s para-metrami 18 MQcm"1 a filtrovanej cez filt-račně zariadenie s pórmi 0,2 ^m), absorbu-je filtrovaný kysličník sírový získaný vytěs-něním z olea a súčasne sa takto získaná,koncentrovaná kyselina sírová riedi na po-žadovaná koncentráciu op3ť vodov čistotypre mikroelektroniku.
Vynález je možné využit na výrobu ky-seliny sírovej pre mikroelektroniku, ktoránájde využitie hlavně pri výrobě integrova-ných obvodov a iných elektrotechnickýchsúčiastok v elektrotechnickom priemysle. Příklad 1 Z 23 % hmot. olea bol zohriatím vytěsně-ný SO3, ktorý bol cez filtračně zariadeniepřivedený do absorpčnej banky, kde bola da-ná 98,4 % hmot. kyselina sírová kvality premikroelektroniku. Pri cirkulácii absorpčnejkyseliny sírovej sa zvýšila jej koncentrá-cia na 99,5 % hmot. Táto kyselina bola ná-sledné zriadená vodou čistoty pre mikroe-lektroniku na koncentráciu 96,2% hmot., amala následovně parametre: odparok 3 .. 10"4 % hmot., sírany 4 . 10"4 % hmot., ťaž-ké kovy 3 . 10"5 % hmot., chloridy 3 . 10"6pere. hmot., lítium menej ako 16"6 hmot.,hořčík menej ako 3 . 15 "6 % hmot.
Počet častíc vilo velkostnom intervale: 1 až 5 μΐη bol 9 670 5 až 25 jttm bol 350nad 25 μτη bol 36 Příklad 2
Postup bol rovnaký ako v prvom přípa-de, avšak počas absorpcie SO2 sa kontinuál-ně přidávala voda čistoty pre mikroelektro-niku, a tak sa udržiavala konštantná kon-centrácia absorpčnej kyseliny v rozmedzí 98,3 až 98,6 % hmot. Súčasne bola táto ky-selina odoberaná a dorieďovaná na koncen-tráciu 96,3 % hmot. pri súčasnom chladenízariadenia vodou. Takto získaná kyselina sí-rová mala následovně parametre: odparok2 . 10"4 % hmot., sírany 2 . 10"4 % hmot.,ťažké kovy 3 . 10"5 % hmot., sodík 4 . 10"5pere. hmot., draslík 2 . 10"6 % hmot., vápník16"6 % hmot., hořčík menej ako 3 . 10_ó %hmot.
Claims (2)
- 259353 S Počet častíc vilo velkostnom intervale:1 až 5 μϊα bol 6 354 5 až 25 μτη bol 937nad 25 μία bol 84 PREDMET1. Spósob výroby kyseliny sírovej kvali-ty pře mikroelektroniku vyznačujúci sa tým,že sa oxid sírový tepelne vytěsněný z oleozavádza do vody a/alebo zriedenej kyselinysírovej kvalit pre mikroelektroniku. VYNALEZU
- 2. Spósob podl'a bodu 1 vyznačujúci satým, že případné nečistoty strhávané plyn-ným oxidom sírovým sa zachytávajú filt-rom.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS85780A CS259353B1 (sk) | 1985-02-05 | 1985-02-05 | Sposob výroby kyseliny sírovej kvality pre mikroelektroniku |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS85780A CS259353B1 (sk) | 1985-02-05 | 1985-02-05 | Sposob výroby kyseliny sírovej kvality pre mikroelektroniku |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS78085A1 CS78085A1 (en) | 1988-03-15 |
| CS259353B1 true CS259353B1 (sk) | 1988-10-14 |
Family
ID=5340558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS85780A CS259353B1 (sk) | 1985-02-05 | 1985-02-05 | Sposob výroby kyseliny sírovej kvality pre mikroelektroniku |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS259353B1 (cs) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001047804A1 (de) * | 1999-12-28 | 2001-07-05 | Merck Patent Gmbh | Verfahren zur herstellung hochreiner schwefelsäure |
-
1985
- 1985-02-05 CS CS85780A patent/CS259353B1/cs unknown
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001047804A1 (de) * | 1999-12-28 | 2001-07-05 | Merck Patent Gmbh | Verfahren zur herstellung hochreiner schwefelsäure |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS78085A1 (en) | 1988-03-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1080938A (en) | Method of extracting and recovering mercury from gases | |
| CA1119387A (en) | Process for the purification of industrial waste gases | |
| CN102910590B (zh) | 一种二氧化硫烟气净化催化回收硫的方法及催化剂的应用 | |
| CN106834715B (zh) | 一种含砷物料的综合利用方法 | |
| PL74724B1 (cs) | ||
| US3855386A (en) | Catalytic fused salt extraction process for removal of sulfur oxides from flue or other gases | |
| WO2019016808A1 (en) | CATALYTIC OXIDATION OF NOX / SOX IN COMBUSTION GASES USING ATMOSPHERIC OXYGEN AS OXIDATION REAGENT | |
| WO2014075390A1 (zh) | 一种冶炼烟气中so2和重金属回收利用的方法 | |
| EA004577B1 (ru) | Способ удаления ртути из газа | |
| JPS63197521A (ja) | ガスからガス状水銀を除去する方法 | |
| CS259353B1 (sk) | Sposob výroby kyseliny sírovej kvality pre mikroelektroniku | |
| CA1112423A (en) | A process for the conversion of soluble thiosulfate in an effluent liquor to sulfates | |
| US3508868A (en) | Method of treating exhaust gases containing sulfur dioxide | |
| US4041142A (en) | Method for removing sulfur oxide from waste gases and recovering elemental sulfur | |
| JPH04504378A (ja) | ごみ焼却時に生成する煙道ガスの浄化法 | |
| RU2167212C2 (ru) | Способ переработки материала на основе углерода, содержащего благородный металл | |
| DE3324570A1 (de) | Verfahren zur reinigung von abgasen mit hydrogensulfaten | |
| CN1120018A (zh) | 一种湿法提砷方法 | |
| JPS6354641B2 (cs) | ||
| RU2077932C1 (ru) | Способ очистки промышленных газов от so2 и as2o3 | |
| JPS602896B2 (ja) | 製錬排ガスからの水銀除去方法 | |
| US4256712A (en) | Regenerable process for SO2 removal employing gelatinous aluminum hydroxide as absorbent | |
| SE462550B (sv) | Foerfarande foer att avlaegsna svavelinnehaallet i avgaser med laag halt av svaveldioxid eller svaveldioxid och svavelvaete | |
| CN120039831A (zh) | 一种高纯硫酸制备工艺 | |
| JPS6035290B2 (ja) | パラジウムの精製回収方法 |