CS257114B1 - Nosič na hromadné čistenie, najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí - Google Patents

Description

Vynález sa týká nosiča na hromadné čistenie najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí.

Čistenie křemíkových dosiek sa v súčasnosti vykonává na mechanických čističkách, ktoré využívajú čistenie kefami. Kefy rotujú a drhnu povrch kremíkovej došky, pričom prúd čistiacej kvapaliny tryská na čištěný povrch kremíkovej došky a tak odstraňuje povrchové nečistoty. Pri čistění kefou a prúdom kvapaliny pod tlakom sa používajú vyššie tlaky, ktoré sposobujú mechanické poškcdenie křemíkových dosiek. Taktiež je známy sposob čistenia v kvapalnom akustickom prostředí, kde sa používá nosič křemíkových dosiek, ale v statických podmienkach, čo sa prejavuje nerovnoměrným očistěním.

Uvedené nevýhody zmierňuje a technický problém rieši nosič na hromadané čistenie najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí, ktorého podstatou je, že pozostáva z dvoch rotačných čiel, ktoré sú opatřené čapmi. Na okrajoch rotačných čiel sú připevněné hřebene, z ktorých aspoň jeden je připevněný rozoberateine. Do podstaty patří tiež to, že čapy sú na rotačných celách uložené centricky alebo excentricky. Vzájomná vzdialenosť jednotlivých výstupkov hrebeňa je vačšia ako je hrúbka kremíkovej došky. Priemer kružnice tvořený výstupkami je menší ako priemer došky. Priemer kružnice vybraní je váčší ako priemer došky.

Výhodou nosiča na hromadné čistenie najmá křemíkových dosiek v akustickom prostředí je, že následkom planetárneho pohybu křemíkových dosiek sú tieto vystavené posobeniu ultrazvukových kmitov, takže každý bod na povrchu kremíkovej došky je vystavený maximálnym účinkom akustických kmitov, čo sa prejavuje vo vyššej kvalitě vyčistenia, v skrátenom čistiacom čase, oproti ostatným čístiacim prípravkom tohto druhu a tiež v tom, že sa zabráni hromadeniu mechanických nečistot v mieste, kde sa doska dotýká přípravku.

Nosič na hromadné čistenie najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí je příkladné znázorněný na pripojenom výkrese, kde na obr. 1 je nakreslený prípravok v axonoinetrickom pohlade a na obr. 2 je nakreslený prípravok uložený v ultrazvukové} čistiacej váni.

Nosič na hromadné čistenie najmá křemíkových dosiek v akustickom prostředí pozostáva z dvoch rotačných čiel 3, ktoré sú opatřené čapmi 7. Cápy 7 sú na rotačných čelách uložené centricky alebo excentricky. Na okrajoch rotačních čiel 3 sú připevněné hřebene 4, z ktorých aspoň jeden je připevněný rozoberateine. Vzájomná vzdialenosť jednotlivých výstupkov 2 hrebeňa 4 je vačšia ako je hrúbka kremíkovej došky

1. Priemer kružnice tvořený výstupkami 2 je menší ako priemer kremíkovej došky 1. Priemer kružnice vybraní 11 je vačší ako priemer kremíkovej došky 1. Čapy 7 nosiča sú uložené vo vedení 3 ultrazvukovej vane 6. Na čapě 7 je uložené ozubené koleso 8 a ďalšie spoluzaberajúce ozubené koleso 9 je umiestnené v ultrazvukovej váni 6. Ozubené koleso 9 je uložené na výstupnom hriadeli elektrického motora 10.

Funkcia nosiča na hromadné čistenie najmá křemíkových dosiek v akustickom prostředí je nasledovná: Hřeben 4, ktorý je upevněný na okrajoch rotačných čiel 3 sa odklopí a medzi výstupky 2 hrebeňov 4 sa uložia křemíkové došky 1. Nosič sa uzatvorí a vloží do vedenia 3 ultrazvukovej vane 8. Po spustení elektrického motora 10 sa nosič v ultrazvukovej váni 6 otáča. Křemíkové došky uložené vol'ne v ozubených hrebeňoch 4 sa pri otáčaní nosiča odvalujú, monia svoju polohu voči hrebeňom 4 a pri rotácii vychádzajú z akustického tieňa spůsobovaného hrebeňmi 4, následkom čoho sú křemíkové došky 1 rovnoměrně vystavené účinkom ultrazvukových kmitov.

Claims (6)

1. PREDMET

   1. Nosič na hromadné čistenie najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí, vyznačujúci sa tým, že pozostáva z dvoch rotačných čiel (3), ktoré sú opatřené čapmi (7), pričom na okrajoch rotačných čiel (3) sú připevněné hřebene (4), z ktorých aspoň jeden je připevněný rozoberateine.
2. 2. Nosič na hromadné čistenie najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí, podlá bodu 1, vyznačujúci sa tým, že čapy (7) sú na rotačných čelách (3) uložené centricky.
3. 3. Nosič na hromadné čistenie najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí podlá bodu 1, vyznačující sa tým, že čapy (7) sú v rotačných čelách (3) uložené excentricky.

   VYNALEZU
4. 4. Nosič na hromadné čistenie najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí podlá bodu 1, vyznačujúci sa tým, že vzájomná vzdialenosť jednotlivých výstupkov (2) hrebeňa (4) je vačšia ako je hrúbka kremíkovej došky (1).
5. 5. Nosič na hromadné čistenie najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí podlá bodu 1, vyznačujúci sa tým, že priemer kružnice tvořený výstupkami (2) je menší ako priemer kremíkovej došky (1).
6. 6. Nosič na hromadné čistenie najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí podlá bodu 1, vyznačujúci sa tým, že priemer kružnice vybraní (11) je vačší ako priemer kremíkovej došky (1).