CS256791B1 - Zapojení pro kompenzaoi teplotní závislosti piezorezlstivníoh snímačů tlaku - Google Patents

Zapojení pro kompenzaoi teplotní závislosti piezorezlstivníoh snímačů tlaku Download PDF

Info

Publication number
CS256791B1
CS256791B1 CS866788A CS678886A CS256791B1 CS 256791 B1 CS256791 B1 CS 256791B1 CS 866788 A CS866788 A CS 866788A CS 678886 A CS678886 A CS 678886A CS 256791 B1 CS256791 B1 CS 256791B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
supply circuit
differential amplifier
connection
pressure sensors
temperature dependence
Prior art date
Application number
CS866788A
Other languages
English (en)
Other versions
CS678886A1 (en
Inventor
Zdenek Kudlacek
Original Assignee
Zdenek Kudlacek
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zdenek Kudlacek filed Critical Zdenek Kudlacek
Priority to CS866788A priority Critical patent/CS256791B1/cs
Publication of CS678886A1 publication Critical patent/CS678886A1/cs
Publication of CS256791B1 publication Critical patent/CS256791B1/cs

Links

Landscapes

  • Measurement Of Force In General (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

U zapojení je do napájecího okruhu vřazena řada piezoreziatorů zapojených do otevřeného Wheátstoneova můstku, k němuž je připojena dvojice vyvažovačích odporů. Jeden z těchto odporů je spojen s prvním stejnosměrným diferenčním zesilovačem. Do napájeoího okruhu je vřazen apolu ae substrátovým přechodem zatěžovací odpor připojený ke druhému stejnosměrnému diferenčnímu zesilovači spojenému s potenoiometrem zapojeným do napájecího kruhu. Oba zesilovače jsou připojeny k sumačnímu zesilovači výstupního napětí. Zapojením je umožněn při výrobě snímače tlaku dokonalý přestup tepla s možností stavění výstupního napětí na hodnotu požadovanou uživatelem

Description

Vynález je zaměřen na řešení zapojení pro kompenzaci teplotní závislosti piezorezistivních snímačů tlaku.
Doposud se jako snímače tlaku používají zejména tenzometrická odporová čidla a piezorezistivní polovodičové snímače. Tenzometrická odporová čidla mají poměrně malou citlivost, a proto vyžadují speciální zesilovače, jejichž zapojení je provedeno s ohledem na potlačení nežádoucích rušivých signálů, které vznikají na přívodech k čidlům. Značnou nevýhodou u průmyslově vyráběných zesilovačů je to, že nelze při jmenovitém tlaku nastavit požadované výstupní napětí. Tím vznikají potíže při sběru, dat u automatizovaných měřicích systémů. Piezorezistivní snímače tlaku mají značnou teplotní závislost výstupního napětí. V případech, kde dochází k velkým změnám teploty měřeného media, je nutné použít čidla teploty v těsné blízkosti snímače tlaku a vhodným způsobem vykompenzovat teplotní závislost. Mechanická část snímače je podstatně složitější a dochází k nedokonalému přeSupu tepla mezi snímačem tlaku a čidlem teploty.
Uváděné nevýhody dosavadních snímačů tlaku odstraňuje ve značné míře zapojení podle vynálezu. Jeho podstata spočívá v tom, že do napájecího okruhu je vřazena řada piezorezistorů zapojených do otevřeného Wheatstoneova můstku, k němuž je připojen jednak první vyvažovači odpor, jednak druhý vyvažovači odpor. Tento druhý vyvažovači odpor je spojen s prvním stejnosměrným diferenčním zesilovačem, který je zpětně připojen k Wheatstoneovu můstku. Do napájecího okruhu je vřazen spolu se · substrátovým přechodem zatěžovací odpor připojený k prvnímu vstupu druhého stejnosměrného diferenčního zesilovače, k jehož druhému vstupu je připojen jezdec potenciometru zapojeného do napájecího okruhu. Každý z obou zesilovačů je spojen se sumač256791 ním zesilovačem výstupního napětí.
Výhody zapojení podle vynálezu jsou následující. Substrátový přechod tvoří součást křemíkové destičky s piezorezistory, čímž je zaručen dokonalý přestup tepla. U mechanické části snímače není zapotřebí umístění speciálního Čidla teploty a teplotní kompenzaci je možné provádět v celém rozsahu pracovních teplot snímače tlaku. Kromě toho je celé elektrické zapojení poměrně jednoduché s možností stavění výstupního napětí na určitou hodnotu požadovanou uživatelem bez ohledu na citlivost snímače tlaku.
Příklad zapojení podle vynálezu je znázorněn na přiloženém výkrese. Obrázek představuje blokové schéma zapojení.,
Do napájecího okruhu Ub je vřazena řada piezorezistorů Rp které jsou zapojeny do otevřeného Wheatstoneova můstku. K tomuto můstku je připojen jednak první vyvažovači odpor R^, jednak druhý vyvažovači odpor R spojený s prvním stejnosměrným diferenčním zesilovačem Zp Do napájecího okruhu je zařazen spolu se substrátovým přechodem Dg zatěžovací odpor R připojený k prvnímu vstupu druhého stejnosměrného diferenčního zesilovače Zg, k jehož druhému vstupu je připojen jezdec potenciometru P,'zapojeného do napájecího okruhu U^. Každý z obou zesilovačů Zp Z2 je spojen se sumačním zesilovačem Z^ výstupního napětí Ug. První stejnosměrný diferenční zesilovač je zpětně připojen k Wheatstoneovu můstku.
Při výrobě snímače tlaku jsou piezorezistory Rj zapojeny do otevřeného Wheatstoneova můstku. Vhodnou volbou velikosti obou vyvažovačích odporů R , R„ se můstek vyvažuje na nulové J? S napětí měřicí diagonály při nulovém tlaku. Napětí měřicí diagonály je zesilováno prvním stejnosměrným diferenčním zesilovačem Z,j. Substrátový přechod Dg je napájen z proudového zdroje v napájecím okruhu spolu se zatěžovacím odporem R. Kompenzační napětí vyplývá z rozdílu napětí na substrátovém přechodu D. a napětí na jezdci potenciometru P pomocí druhého stejnosměrného diferenčního zesilovače Z2. Potenciometrem P se na výstupu druhého stejnosměrného diferenčního zesilovače Z? nas- t taví nulové napětí. Minimální závislostí výstupního napětí)U„ na teplotě se docílí vhodnou volbou zesílení obou zesilovačů

Claims (1)

  1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU
    Zapojení pro kompenzaci teplotní závislosti piezorezistivních snímačů tlaku, vyznačené tím, že do napájecího okruhu (U&) je vřazena řada piezorezistorů (Rj) zapojených do otevřeného
    Wheatstoneova můstku, k němuž je připojen jednak první vyvažovači odpor (R_), jednak druhý vyvažovači odpor (Ř.) spojený s .
    p s prvním stejnosměrným diferenčním zesilovačem (Z^), který je zpětně připojen k Wheatstoneovu můstku, přičemž je do napájecího okruhu (Ub) vřazen spolu se substrátovým přechodem (Dg) zatěžovací odpor (R) připojený k prvnímu vstupu druhého stejnosměrného diferenčního zesilovače (Zg), k jehož druhému vstupu je připojen jezdec potenciometrů (P) zapojeného do napájecího okruhy (υ^) a každý zdobou zesilovačů (Zp Zg) je spojen se sumačním zesilovačem, (Zj).
CS866788A 1986-09-22 1986-09-22 Zapojení pro kompenzaoi teplotní závislosti piezorezlstivníoh snímačů tlaku CS256791B1 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS866788A CS256791B1 (cs) 1986-09-22 1986-09-22 Zapojení pro kompenzaoi teplotní závislosti piezorezlstivníoh snímačů tlaku

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS866788A CS256791B1 (cs) 1986-09-22 1986-09-22 Zapojení pro kompenzaoi teplotní závislosti piezorezlstivníoh snímačů tlaku

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS678886A1 CS678886A1 (en) 1987-09-17
CS256791B1 true CS256791B1 (cs) 1988-04-15

Family

ID=5415709

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS866788A CS256791B1 (cs) 1986-09-22 1986-09-22 Zapojení pro kompenzaoi teplotní závislosti piezorezlstivníoh snímačů tlaku

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS256791B1 (cs)

Also Published As

Publication number Publication date
CS678886A1 (en) 1987-09-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4414853A (en) Pressure transmitter employing non-linear temperature compensation
US5042307A (en) Amplifying compensation circuit for semiconductor
US4480478A (en) Pressure sensor employing semiconductor strain gauge
US4465075A (en) On-chip pressure transducer and temperature compensation circuit therefor
US4798093A (en) Apparatus for sensor compensation
JPH0797010B2 (ja) 半導体歪ゲ−ジブリツジ回路
EP0533389A3 (en) Amplified pressure transducer
US3956927A (en) Strain gauge transducer apparatus
US4157663A (en) Automatic thermocouple reference junction compensator
US4836027A (en) Circuit for a sensor
GB1569150A (en) Strain gauge arrangements
US6101883A (en) Semiconductor pressure sensor including a resistive element which compensates for the effects of temperature on a reference voltage and a pressure sensor
CS256791B1 (cs) Zapojení pro kompenzaoi teplotní závislosti piezorezlstivníoh snímačů tlaku
JPS6224121A (ja) 測定ヘツド
US4611129A (en) Signal conversion circuit
USRE30735E (en) Automatic thermocouple reference junction compensator
JPH0434091B2 (cs)
JPH10339680A (ja) 半導体圧力センサ
JPS59168331A (ja) 圧力変換器
SU1589088A1 (ru) Полупроводниковый датчик
JP4050813B2 (ja) トランスミッタ
JPS61259134A (ja) 半導体圧力センサ
JPS5845532A (ja) 圧力変換器
JPS59188567A (ja) 信号変換回路
JPH0125284Y2 (cs)