CS254392B1 - Zapojení pro vyloučení chybných výsledků méření - Google Patents

Abstract

Podstatou zapojení je vyhodnocovací obvod s více vstupy a měřící obvod, které jsou připojeny na vstupy sdružovače, který je výstupem spojen s registračním obvodem. Zapojení je určeno pro víceúčelové měřící zařízení, například v obvodech měřícího rastrovacího mikroskopu.

Description

Vynález se týká zapojení pro vyloučení chybných výsledků měření, například u měřicího rastrovacího elektronového mikroskopu.

Měřicí rastrovací elektronové mikroskopy umožňují měření délkových rozměrů pozorovaných mikroskopických objektů. Technicky dokonalejší přístroje tohoto druhu jsou vybaveny obvody pro přesná měření rozměrů pozorovaných objektů v širokém rozsahu zvětšení s automatickým vyhodnocením a s číslicovým zobrazením výsledku měření. Rastrovací měřicí elektronové mikroskopy moderní koncepce jsou vybaveny pro široký rozsah aplikací, proto obsahují celou řadu různých rastrovacích režimů pro zobrazení pozorovaných objektů a mají nastavitelnou velikost urychlovacího napětí ve velkém rozsahu.

Pro měření rozměrů pozorovaných objektů bývá vybíráno pouze několik základních režimů rastrování a několik vybraných hodnot urychlovacího napětí, při kterých je zaručena správnost probíhajícího měření. Nevýhodou dosavadních zapojeni měřicích obvodů je, že při volbě jiného režimu rastrování, případně volbou jiné hodnoty urychlovacího napětí dochází k chybě v měření a nesprávným údajům na výstupu číslicového voltmetru. Nevýhodou dosud používaného zapojení je, že neumožňuje rozlišit správné výsledky měření od chybných výsledků. Proto je nutná pravidelná kontrola nastavení vhodných podmínek pro měření.

Tyto dosavadní nevýhody odstraňuje zapojení pro vyloučení chybných výsledků měření, jehož podstatou je, že vyhodnocovací obvod opatřený vstupy je výstupem spojen s druhým vstupem sdružovače, jehož první vstup je spojen s měřícím obvodem, zatím co výstup sdružovače je spojen s registračním obvodem, například číslicovým voltmetrem.

Přednosti zapojení podle vynálezu je, že zabraňuje a vylučuje možnost registrace chybných výsledků měření. Zaručuje jednoznačnou indikaci nastavení nevhodných podmínek pro měření. Nevyžaduje nutnost stálé kontroly zadaných podmínek měření. Zapojení představuje výrobně nenáročnou a nákladově zanedbatelnou součást zařízení.

Vynález blíže objasní přiložený výkres, na kterém je naznačen přiklad blokového zapojení.

Měřicí obvod 2 je spojen s prvním vstupem 2_1 sdružovače 2, jehož druhý vstup 22 je spojen s výstupem vyhodnocovacího obvodu 2' který může být s výhodou tvořen například logickým dekodérem. Vyhodnocovací obvod 4, je opatřen vstupy VI až Vn, které jsou spojeny s uzly, nesoucími informace o nastavených podmínkách. Výstup sdružovače 2 je spojen s registračním obvodem 2» například číslicovým voltmetrem.

Obvod pracuje za provozu takto: na vstupy VI až Vn vyhodnocovacího obvodu 4 jsou přiváděny signály, nesoucí informace o nastavených podmínkách v obvodech elektronového rastrovacího mikroskopu, které měřicí obvod 2 sleduje. Jsou to například logické signály z přepínače urychlovacího napětí, nebo z ovládacího obvodu pro rastrování. Vyhodnocovací obvod 2 tyto signály sleduje a vyhodnocuje tak, že při vhodných podmínkách pro měření je jeho výstup bez signálu a při nevhodných podmínkách pro měření vysílá na výstup blokovací napětí, které je přiváděno do sdružovače 2, tvořeného například odporovoým sečítacím obvodem. Sdružovač 2 sdružuje analogový signál z měřicího obvodu 2 ^a blokovací napětí z vyhodnocovacího obvodu 4_. Pokud jsou vhodné podmínky pro měření, pak není na výstupu vyhodnocovacího obvodu 4_ žádné napětí a analogový signál z měřicího obvodu 2 prochází beze změny přes sdružovač 2 k registračnímu obvodu 2, který zobrazuje docílený správný výsledek měření. Pokud jsou nastaveny nevhodné podmínky, které.by výsledek měřeni znehodnotily pak na výstupu vyhodnocovacího obvodu £ se objeví blokovací napětí, které po průchodu sdružovačem 2 signalizuje v registračním obvodu 2 překročení rozsahu. Je-li pro registraci použit číslicový voltmetr, pak blokovací napětí bude použito vyšší, než je jeho měřicí rozsah. Tím se číslicový voltmetr zablokuje a místo nesprávného výsledku indikuje překročení rozsahu.

Zapojení podle vynálezu je určeno pro víceúčelové měřící zařízení, u kterého je výsledek měření závislý na nastavení vhodných podmínek pro měření, například v měřicích rastrovacích elektronových mikroskopech.

Claims (1)

1. Zapojení pro vyloučení chybných výsledků měření vyznačené tím, že vyhodnocovací obvod (4) opatřený vstupy (VI až Vn) je výstupem spojen s druhým vstupem (22) sdružovače (2), jehož první vstup (21) je spojen s měřicím obvodem (1), přičemž výstup sdružovače (2) je spojen s registračním obvodem (3), například číslicovým voltmetrem.