CS251042B1 - Zapojeni pro řízení korekčního obvodu rastrovacího elektronového mikroskopu - Google Patents

Abstract

Podstatou zapojeni je, že obvod objektivu je výstupem spojen a prvními vetupy prvního, druhého až n-tého komparátoru, jejichž druhé vstupy jsou spojeny S převodníkem a jejich vystupy a dekodé­ rem, spojeným a korekčním obvodem. Zdroj urychlovacího napiti je opojen a převodníkem a β dekodérem. Zapojeni je určeno pro rastrovací elektronové mikroskopy.

Description

Vynález se týká zapojeni pro řízení korekčního obvodu rastrovacího elektronového mikroskopu, která umožňuje automatizaci zadáváni jeho vstupních informaci.

Rastrovací elektronové mikroskopy umožňuji pozorováni a měřeni mikroskopických objektů při různých hodnotách urychlovacího napětí a v širokém rozsahu vzdálenosti pozorovaného vzorku od objektivu Tyto dvě základní veličiny značně ovlivňuji většinu funkci rastrovacího elektronového mikroskopu, například zvětšeni obrazu. Pro kompenzaci jejich vlivu se u dokonalejších přístrojů používají různé korekční obvody, které podle nároků na rozsah a přesnost korekce pracují buď spojitě, nebo nespojitě. Například v současné době používaný systém pro měření rozměrů mikroskopických objektů využívá nespojitě pracující korekční obvod, který umožňuje přesné měřeni při několika vybraných hodnotách urychlovacího napětí a při několika zadaných vzdálenostech pozorovaného vzorku od objektivu. Korekční obvod pracuje tak, že vhodně koriguje velikost měřeného signálu v závislosti na obou uvedených veličinách. Nevýhodou dosavadního stavu je, že vstupní informaci, to je hodnotu urychlovacího napětí a velikost vzdálenosti pozorovaného vzorku od objektivu je nutno zadávat ručně. Obvykle se k tomu účelu používají přepínače, které musi obsluha přístroje předem nastavit v souladu se skutečnými hodnotami obou veličin. Nutnost nastavováni zadaných hodnot zvyšuje počet ovládacích mlet při měřeni, což zatěžuje obsluhu přístroje a nevylučuje možnost nahodilých chyb.

Tyto dosavadní nevýhody odstraňuje zapojeni pro řízeni korekčního obvodu rastrovacího elektronového mikroskopu,jehož podstatou je, že obvod objektivu je výstupem spojen s prvními vetupy prvního, druhého až n-tóho komparátoru, jejichž druhé

2S1 042 vstupy jeou spojeny 8 převodníkem a jejich výstupy 8 dekodérem, spojeným s korekčním obvodem, přičemž zdroj urychlovacího napětí je spojen s převodníkem a e dekodérem. Obvod možno doplnit tak, že mezi výstup obvodu objektivu a prvni vstupy komparétorů je zapojen dělič napětí.

Hlavni výhodou zapojeni podle vynálezu je, že umožňuje automatické zadávání vstupních informací korekčního obvodu, usnadňuje a zjednodušuje obsluhu přístroje, snižuje počet ovládaných prvků, zabraňuje možnosti vzniku chybného měřeni a odstraňuje nutnost ručního mechanického zadáváni.

Vynález objasni přiložený výkree, na kterém je uveden přiklad zapojení v blokovém uspořádání.

Zapojení na obr. sestává z obvodu ,1 objektivu, který je spojen bu3 přímo, nebo přes dělič 2 napětí, naznačený čárkovaně _f s prvními vstupy prvniho, druhého až n-tého komparátoru 3a, 3b až 3n, jejichž výstupy jsou spojeny s dekodérem 6, výstupem spojeným s korekčním obvodem 7. Výstup zdroje 5 urychlovacího napětí je spojen jednak s dekodérem 6 a jednak 8 převodníkem 4, jehož jeden, případně více výstupů je spojeno s druhými vstupy komparátorů 3a, 3b až 3n.

Zapojeni pracuje za provozu takto: Na prvni vstupy komparátorů 3a. 3b až 3n je z obvodu 1_ objektivu přiváděno stejnosměrné napětí, které je přímo úměrné proudu objektivu. Toto stejnosměrné napětí je v komparátorsch 3a, 3b až 3n porovnáváno s odstupňovanou řadou referenčních napětí,přicházejícich z převodníku 4 druhými vstupy. Převodník 4 řídi tato referenční napětí v závislosti na logické informaci o velikosti urychlovacího napětí, která je přiváděna na jeho vstup ze zdroje 5 urychlov^jSfcího napětí. Na výstupech komparátorů ,3a, 3b až 3n je logická informace o velikosti vzdálenosti pozorovaného vzorku od objektivu. Tato informace přichází na vstupy dekodéru 6 a je vyhodnocena spolu s informaci o velikosti urychlovacího napětí, přicházející ze zdroje ,5 urychlovacího napětí a podle výsledné hodnoty je řízen korekční obvod 7.

2S1 042

Funkční podstata činnosti obvodu je následující:

Velikost proudu objektivu, potřebná pro zaostřeni obrazu, závisí na vzdálenosti pozorovaného vzorku od objektivu a na velikosti urychlovacího napětí. Při známá velikosti urychlovacího napětí lze proto vzdálenost pozorovaného vzorku od objektivu jednoznačně určit z velikosti proudu objektivu v zaostřeném stavu. K tomuto účelu slouží komparátory 3a,

3b až 3n a řada referenčních napětí, odpovídající řadě prahových hodnot vzdálenosti pozorovaného vzorku od objektivu. Převodník 4 kompenzuje vliv velikosti urychlovacího napět! tak, že každému z komparátorů 3a, 3b až 3n je třVale přiřazena neměnná prahová hodnota vzdálenosti pozorovaného vzorku od objektivu.

Stav komparátorů ,3a, 3b až 3n proto jednoznačně definuje velikost vzdálenosti pozorovaného vzorku od objektivu. Při nižších nárocích na přesnost lze použit jednoduchý převodník s pouze jedním výstupem, na který se připojí spojené druhé vstupy komparátorů 3a. 3b až 3 n. Současně je ale nutno zařadit mezi obvod .1 objektivu a komparátory 3a, 3b až 3n dělič 2 napětí, na jehož výstupy se připojí první vstupy komparátorů 3a, 3b až 3n.

Claims (2)

1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU

   1 Zapojení pro řízení korekčního obvodu rastrovacího elektronového mikroskopu, vyznačené tím, že obvod (1) objektivu je výstupem spojen s prvními vstupy prvního, druhého až n-tého komparátorů (3a, 3ba*3n), jejichž druhé vstupy jsou spojeny s převodníkem (4) a jejich výstupy s dekodérem (6), spojeným s korekčním obvodem (7), přičemž zdroj (5) urychlo vaciho napětí je spojen 8 převodníkem (4) φ s dekodérem (6).
2. 2» Zapojeni podle bodu 1,vyznačené tim, že mezi výstup obvodu (1) objektivu a prvni vstupy komparátorů (3a, 3be*3n) je zapojen dělič (2) napětí.