CS254392B1

CS254392B1 - Wiring to eliminate erroneous measurement results

Info

Publication number: CS254392B1
Application number: CS856835A
Authority: CS
Inventors: Michael Rychnovsky
Original assignee: Michael Rychnovsky
Priority date: 1985-09-25
Filing date: 1985-09-25
Publication date: 1988-01-15
Also published as: CS683585A1

Abstract

Podstatou zapojení je vyhodnocovací obvod s více vstupy a měřící obvod, které jsou připojeny na vstupy sdružovače, který je výstupem spojen s registračním obvodem. Zapojení je určeno pro víceúčelové měřící zařízení, například v obvodech měřícího rastrovacího mikroskopu.The essence of the circuit is an evaluation circuit with multiple inputs and a measuring circuit, which are connected to the inputs of a combiner, which is connected to the registration circuit by its output. The circuit is intended for multi-purpose measuring devices, for example in the circuits of a measuring scanning microscope.

Description

Vynález se týká zapojení pro vyloučení chybných výsledků měření, například u měřicího rastrovacího elektronového mikroskopu.The invention relates to a circuit for avoiding erroneous measurement results, for example in a scanning electron microscope.

Měřicí rastrovací elektronové mikroskopy umožňují měření délkových rozměrů pozorovaných mikroskopických objektů. Technicky dokonalejší přístroje tohoto druhu jsou vybaveny obvody pro přesná měření rozměrů pozorovaných objektů v širokém rozsahu zvětšení s automatickým vyhodnocením a s číslicovým zobrazením výsledku měření. Rastrovací měřicí elektronové mikroskopy moderní koncepce jsou vybaveny pro široký rozsah aplikací, proto obsahují celou řadu různých rastrovacích režimů pro zobrazení pozorovaných objektů a mají nastavitelnou velikost urychlovacího napětí ve velkém rozsahu.Measuring scanning electron microscopes allow measuring the length dimensions of observed microscopic objects. Technically more sophisticated instruments of this kind are equipped with circuits for accurate measurement of the dimensions of the observed objects in a wide range of magnification with automatic evaluation and digital display of the measurement result. Modern concept scanning electron microscopes are equipped for a wide range of applications, therefore they include a variety of different scanning modes for displaying observed objects and have an adjustable range of accelerating voltage over a wide range.

Pro měření rozměrů pozorovaných objektů bývá vybíráno pouze několik základních režimů rastrování a několik vybraných hodnot urychlovacího napětí, při kterých je zaručena správnost probíhajícího měření. Nevýhodou dosavadních zapojeni měřicích obvodů je, že při volbě jiného režimu rastrování, případně volbou jiné hodnoty urychlovacího napětí dochází k chybě v měření a nesprávným údajům na výstupu číslicového voltmetru. Nevýhodou dosud používaného zapojení je, že neumožňuje rozlišit správné výsledky měření od chybných výsledků. Proto je nutná pravidelná kontrola nastavení vhodných podmínek pro měření.To measure the dimensions of the observed objects, only a few basic scanning modes and several selected values of accelerating voltage are selected, which guarantee the correctness of the ongoing measurement. The disadvantage of the current circuits of the measuring circuits is that when selecting another raster mode or selecting another value of the accelerating voltage, there is a measurement error and incorrect data at the output of the digital voltmeter. The disadvantage of the circuit used so far is that it does not make it possible to distinguish the correct measurement results from erroneous results. Therefore, it is necessary to regularly check the setting of suitable measurement conditions.

Tyto dosavadní nevýhody odstraňuje zapojení pro vyloučení chybných výsledků měření, jehož podstatou je, že vyhodnocovací obvod opatřený vstupy je výstupem spojen s druhým vstupem sdružovače, jehož první vstup je spojen s měřícím obvodem, zatím co výstup sdružovače je spojen s registračním obvodem, například číslicovým voltmetrem.These previous disadvantages are eliminated by the circuitry for avoiding erroneous measurement results, which is based on the input circuit being connected to the second input of the combiner, the first input of which is connected to the measuring circuit, while the output of the combiner is connected to a recording circuit .

Přednosti zapojení podle vynálezu je, že zabraňuje a vylučuje možnost registrace chybných výsledků měření. Zaručuje jednoznačnou indikaci nastavení nevhodných podmínek pro měření. Nevyžaduje nutnost stálé kontroly zadaných podmínek měření. Zapojení představuje výrobně nenáročnou a nákladově zanedbatelnou součást zařízení.The advantage of the circuitry according to the invention is that it prevents and eliminates the possibility of registering erroneous measurement results. It guarantees a clear indication of the setting of unsuitable measurement conditions. It does not require constant monitoring of the specified measurement conditions. The wiring is a low-cost and negligible part of the equipment.

Vynález blíže objasní přiložený výkres, na kterém je naznačen přiklad blokového zapojení.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention is illustrated in greater detail by the accompanying drawing, in which an example of a block circuit is shown.

Měřicí obvod 2 je spojen s prvním vstupem 2_1 sdružovače 2, jehož druhý vstup 22 je spojen s výstupem vyhodnocovacího obvodu 2' který může být s výhodou tvořen například logickým dekodérem. Vyhodnocovací obvod 4, je opatřen vstupy VI až Vn, které jsou spojeny s uzly, nesoucími informace o nastavených podmínkách. Výstup sdružovače 2 je spojen s registračním obvodem 2» například číslicovým voltmetrem.The measuring circuit 2 is connected to the first input 21 of the combiner 2, the second input 22 of which is connected to the output of the evaluation circuit 2 ', which may advantageously be formed, for example, by a logic decoder. The evaluation circuit 4 is provided with inputs VI to VN, which are connected to nodes carrying information on the set conditions. The output of the combiner 2 is connected to the registration circuit 2, for example by a digital voltmeter.

Obvod pracuje za provozu takto: na vstupy VI až Vn vyhodnocovacího obvodu 4 jsou přiváděny signály, nesoucí informace o nastavených podmínkách v obvodech elektronového rastrovacího mikroskopu, které měřicí obvod 2 sleduje. Jsou to například logické signály z přepínače urychlovacího napětí, nebo z ovládacího obvodu pro rastrování. Vyhodnocovací obvod 2 tyto signály sleduje a vyhodnocuje tak, že při vhodných podmínkách pro měření je jeho výstup bez signálu a při nevhodných podmínkách pro měření vysílá na výstup blokovací napětí, které je přiváděno do sdružovače 2, tvořeného například odporovoým sečítacím obvodem. Sdružovač 2 sdružuje analogový signál z měřicího obvodu 2 ^a blokovací napětí z vyhodnocovacího obvodu 4_. Pokud jsou vhodné podmínky pro měření, pak není na výstupu vyhodnocovacího obvodu 4_ žádné napětí a analogový signál z měřicího obvodu 2 prochází beze změny přes sdružovač 2 k registračnímu obvodu 2, který zobrazuje docílený správný výsledek měření. Pokud jsou nastaveny nevhodné podmínky, které.by výsledek měřeni znehodnotily pak na výstupu vyhodnocovacího obvodu £ se objeví blokovací napětí, které po průchodu sdružovačem 2 signalizuje v registračním obvodu 2 překročení rozsahu. Je-li pro registraci použit číslicový voltmetr, pak blokovací napětí bude použito vyšší, než je jeho měřicí rozsah. Tím se číslicový voltmetr zablokuje a místo nesprávného výsledku indikuje překročení rozsahu.The circuit operates in operation as follows: the signals VI to MV of the evaluation circuit 4 are supplied with signals carrying information on the set conditions in the electron scanning microscope circuits monitored by the measuring circuit 2. These are, for example, logic signals from the accelerator voltage switch or from the raster control circuit. The evaluation circuit 2 monitors and evaluates these signals so that, under suitable measurement conditions, its output is devoid of signal and, under unsuitable measurement conditions, it outputs a blocking voltage which is supplied to a combiner 2 formed, for example, by a resistive summing circuit. The combiner 2 combines an analog signal from the measuring circuit 2 ^{and a} blocking voltage from the evaluation circuit 4. If the measurement conditions are suitable, then there is no voltage at the output of the evaluation circuit 4. The analog signal from the measurement circuit 2 passes unchanged through the combiner 2 to the registration circuit 2, which shows the correct measurement result achieved. If unsuitable conditions are set to deteriorate the measurement result, a blocking voltage appears at the output of the evaluation circuit 6, which, after passing through the combiner 2, signals over-range in the registration circuit 2. If a digital voltmeter is used for registration, then the blocking voltage will be used higher than its measuring range. This locks the digital voltmeter and indicates that the range is exceeded instead of an incorrect result.

Zapojení podle vynálezu je určeno pro víceúčelové měřící zařízení, u kterého je výsledek měření závislý na nastavení vhodných podmínek pro měření, například v měřicích rastrovacích elektronových mikroskopech.The circuit according to the invention is intended for a multi-purpose measuring device in which the measurement result is dependent on the setting of suitable measurement conditions, for example in scanning scanning electron microscopes.

Claims

Wiring for avoiding erroneous measurement results characterized in that the evaluation circuit (4) provided with inputs (VI to Vn) is connected to the second input (22) of the combiner (2), the first input (21) of which is connected to the measuring circuit (1) wherein the output of the combiner (2) is connected to a registration circuit (3), for example a digital voltmeter.