CS254230B1 - Ultrazvukový žiarič, najma pre zvlášť čisté prostredie - Google Patents
Ultrazvukový žiarič, najma pre zvlášť čisté prostredie Download PDFInfo
- Publication number
- CS254230B1 CS254230B1 CS862208A CS220886A CS254230B1 CS 254230 B1 CS254230 B1 CS 254230B1 CS 862208 A CS862208 A CS 862208A CS 220886 A CS220886 A CS 220886A CS 254230 B1 CS254230 B1 CS 254230B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- membrane
- ring
- metal
- ultrasonic emitter
- clean environment
- Prior art date
Links
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
Vynález sa týká riešenia ultrazvukového žiariča, najma pre zvlášť čisté prostredie.
Pri spracovávaní základného materiálu ako je křemík, germánium a podobné potřebného pre výrobu například tranzistorov, integrovaných obvodov, diód sa vyžadujú vysoké nároky na čistotu povrchov tohoto materiálu. Zvlášť pri nanášani roznych vrstiev na povrch tohoto materiálu nesmú byť přítomné molekulárně, iónové, ani atomárně znečistenia. V poslednej době sa odstránenie týchto nečistot sa používá ultrazvuková energia, ktorá sa do pracovnej kvapaliny pre čistenie vyžaruje pomocou ultrazvukového meniča. Ultrazvukový měnič, aby neznečišťoval pracovně prostredie, je opatřený ochrannou vrstvou hmoty, ktorá neznečišťuje prostredie.
Nevýhodou tejto vrstvy je jej veTmi malá životnost, spůsobená hlavně rozdielnou jej rozťažnostou a ultrazvukového meniča. Ďalšou nevýhodou tu je problém vhodnej izolácie prívodov elektrickej energie. Ďalšou nevýhodou tohoto žiariča je, že pri poškodení ochrannej vrstvy dochádza k znehodnoteniu pracovnej kvapaliny a celého zariadenia.
Vyššie uvedené nevýhody odstraňuje a technický problém rieši ultrazvukový žiarič, najma pre zvlášť čisté prostredie podl'a vynálezu, ktorého podstata spočívá v tom, že kovová membrána s prstencom je uložená v ochrannom plášti z plastickej hmoty a je s ním spojená prostredníctvom závitového spoja. Oproti kovověj membráně je kovový plášť tvořený přenosovou membránou. Medzi kovovou a přenosovou membránou je vytvořená prenosovo-akustická a chladiaca komora spojená s privádzacím a odvádzacím kanálom, ktoré sú vytvořené v prstenci.
Podstatou vynálezu je aj to, že ochranný plášť je oproti prstenců z vonkajšej strany privádzacieho a odvádzacieho kanála a oproti stene pracovnej vane nad vonkajším obvodom upevňovacích skrutiek opatřený tesniacimi výstupkami.
Ultrazvukovým žiaričom najmá pre zvlášť čisté prostredie podlá vynálezu ša docieli absolútna čistota pracovného prostredia, vysoká prevádzková životnost pri vysokej elektroakustickej účinnosti.
Na pripojenom výkrese je znázorněné příkladné riešenie ultrazvukového žiariča pre zvlášť čisté prostredie, kde je nakreslený v řeze.
Ultrazvukový žiarič pre zvlášť čisté prostredie pozostáva z kovověj membrány 2 po obvode opatrenej prstencom 3. Na vnútornej straně kovověj membrány 2 je přilepený piezoelektrický měnič 1. Prstenec 3 kovověj membrány 2 je na vonkajšom povrchu opatřený závitom. V prstenci 3 je vytvořený privádzací kanál 8 a odvádzací kanál 9 prenosovo-chladiacej kvapaliny 14. Kovová membrána 2 s prstencom 3 je uložená v ochrannom plášti 12 prostredníctvom závitového spoja 10.
Ochranný plášť 12 je vytvořený z teflonu. Oproti kovověj membráně 2 je ochranný plášť 12 tvořený přenosovou membránou 13. Medzi kovovou mebránou 2 a přenosovou membránou 13 je vytvořená prenosovo-chladiaca komora 4, ktorá je naplněná prenosovo-chladiacou kvapalinou 14. Ultrazvukový žiarič je prostredníctvom upevňovacích skrutiek 5 a príruby 11 uchytený na pracovnej váni 6. Ochranný plášť 12 je oproti prstenců 3 z vonkajšej strany privádzacieho a odvádzacieho kanála 8, 9 a oproti stene pracovnej vane 6 nad vonkajším obvodom upevňovacích skrutiek 5 opatřený tesniacimi výstupkami 7.
Po připojení ultrazvukového žiariča na zdroj ultrazvukovéj energie (na obr. nezakreslené) sa táto prostredníctvom piezoelektrického meniča 1 vyžaruje cez kovovú mebránu 2 prenosovo-chladiacu kvapalinu 14 a přenosová membránu 13 do pracovnej kvapaliny v pracovnej váni 6.
Ultrazvukový žiarič podfa vynálezu je možné využívat v mikroelektronike, biologii, medicíně a v dalších oboroch, kde sa vyžaduje zvlášť vysoká čistota vykonávaných technológií.
Claims (2)
1. Ultrazvukový žiarič, najmá pre zvlášť čisté prostredie, uchytený prostredníctvom upevňovacích skrutiek v pracovnej váni a pozostávajúci z kovověj membrány na obvode opatrenej prstencom, pričom z vnútornej strany je kovová membrána pevne opatřená piezoelektrickým meničom vyznačujúci sa tým, že kovová membrána (2j s prstencom (3) je uložená v ochrannom plášti (12) z plastickej hmoty a je s ním spojená prostredníctvom závitového spoja (10], pričom oproti kovověj membráně (2) je ochranný plášť (12) tvořený přenosovou VYNALEZU membránou (13), zatial' čo medzi kovovou membránou (2) a přenosovou membránou (13) je vytvořená prenosovo-akustická a chladiaca komora (4j spojená s privádzacím a odvádzacím kanálom (8, 9), ktoré sú vytvořené v prstenci (3).
2. Ultrazvukový žiarič podfa bodu 1 vyznačený tým, že ochranný plášť (12) je oproti prstenců (3) z vonkajšej strany privádzacieho a odvádzacieho kanála (8, 9) a oproti stene pracovnej vane (6) nad vonkajším obvodom upevňovacích skrutiek (5) opatřený tesniacimi výstupkami (7). 1 list výkresov 254230
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS862208A CS254230B1 (sk) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | Ultrazvukový žiarič, najma pre zvlášť čisté prostredie |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS862208A CS254230B1 (sk) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | Ultrazvukový žiarič, najma pre zvlášť čisté prostredie |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS220886A1 CS220886A1 (en) | 1987-05-14 |
| CS254230B1 true CS254230B1 (sk) | 1988-01-15 |
Family
ID=5358547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS862208A CS254230B1 (sk) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | Ultrazvukový žiarič, najma pre zvlášť čisté prostredie |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS254230B1 (cs) |
-
1986
- 1986-03-28 CS CS862208A patent/CS254230B1/cs unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS220886A1 (en) | 1987-05-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6723202B2 (en) | Worktable device and plasma processing apparatus for semiconductor process | |
| US5879040A (en) | Workpiece attracting device | |
| KR100206480B1 (ko) | 목적물을 세척하기 위한 정전 초음파 클리닝 시스템 | |
| US5365960A (en) | Megasonic transducer assembly | |
| US5870271A (en) | Pressure actuated sealing diaphragm for chucks | |
| US20230326724A1 (en) | Plasma processing apparatus | |
| JP4121569B2 (ja) | 高出力プラズマベース反応種ジェネレータ | |
| JPS60239039A (ja) | 半導体ウエハ−の保持装置および保持方法 | |
| KR940027046A (ko) | 성막 처리 장치 | |
| GB2285142B (en) | Fluid processing | |
| KR100491214B1 (ko) | 고전력마이크로파플라즈마어플리케이터 | |
| KR20010029912A (ko) | 반도체 처리 시스템 및 기판 처리 장치 | |
| TW200818311A (en) | Heat conductive structure and substrate treatment apparatus | |
| KR100353499B1 (ko) | 급속 열처리(ｒｔｐ) 시스템용 팽창성 엘라스토머 요소 | |
| US20020068872A1 (en) | Ultrasonic horn assembly | |
| CS254230B1 (sk) | Ultrazvukový žiarič, najma pre zvlášť čisté prostredie | |
| US20210287925A1 (en) | Substrate support plate and semiconductor manufacturing apparatus | |
| KR850006777A (ko) | 건식 에칭장치 | |
| US20060023395A1 (en) | Systems and methods for temperature control of semiconductor wafers | |
| JP2015029088A (ja) | 微細溝付き非付着面を有する装着装置 | |
| ES2185389T3 (es) | Metodo y aparato para el tratamiento de liquidos por medio de vibraciones ultrasonicas. | |
| JPS6081572A (ja) | シ−ル構造 | |
| CN105575873B (zh) | 压环机构及半导体加工设备 | |
| SU764938A1 (ru) | Устройство дл зажима и базировани цилиндрических тонкостенных легкодеформируемых изделий | |
| JP3789863B2 (ja) | プラズマ処理装置 |